JPWO2018173376A1 - 研削液の再生装置及び研削液の再生方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年3月23日出願の日本出願第2017−057082号に基づく優先権を主張し、前記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
上記公報に記載の使用済み研削液の再利用方法は、砥粒と分散液と切り粉とを含む使用済み研削液を遠心分離することでまず砥粒を回収し、次に砥粒回収後の使用済み研削液を高速遠心分離することで切り粉を分離し、さらに切り粉が分離された使用済み研削液を膜分離することで研削液を回収するものである。
[本開示の効果]
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の各実施形態に係る研削液の再生装置及び研削液の再生方法について説明する。
<研削液の再生装置>
図1の研削液の再生装置1(以下、単に「再生装置1」ともいう)は、研削屑を含む使用済み研削液Xの再生装置である。当該再生装置1は、使用済み研削液Xを貯留する貯留槽(研削液貯留槽2)と、研削液貯留槽2に貯留された使用済み研削液Xから研削屑を分離する濾過膜を有する膜分離モジュール3とを備える。当該再生装置1は、上記濾過膜の平均孔径が1.0μm以上10.0μm以下である。また、当該再生装置1は、膜分離モジュール3で膜分離された研削屑Aが排出される研削屑排出槽4と、研削液貯留槽2から排出された使用済み研削液Xを膜分離モジュール3に圧送するポンプ5とをさらに備える。
研削液(使用前の研削液)は、例えばワイヤソー等の研削加工機によって金属体等の加工対象物を切断する際に研削加工機及び加工対象物の潤滑性を高めるために用いられる。
上記研削液の種類としては、特に限定されるものではなく、例えば水中に鉱物油、動植物油、界面活性剤(アニオン系、カチオン系、ノニオン系)等を含み乳白色の外観を呈するエマルジョン系、水中に界面活性剤、水溶性成分、鉱物油、動植物油等を含み透明又は半透明の外観を呈するソリュブル系、灯油等のオイルを単独で含むか又はこのオイルに硫黄、塩素等の極圧添加剤を混合したオイルベース系等が挙げられる。中でも、当該再生装置1で再生処理される研削液としては、エマルジョン系が好ましい。当該再生装置1は、使用済みのエマルジョン系研削液を処理した場合、この研削液の有価成分の含有割合を使用前と同程度に保ちやすい。上記エマルジョン系の研削液における水100質量部に対する油の含有割合としては、例えば5質量部以上15質量部以下とすることができる。なお、この研削液は、通常砥粒が分散された状態で使用される。この砥粒の平均粒子径としては、一般的には10μm以上50μm程度とされている。
研削液貯留槽2は使用済み研削液Xを貯留する。使用済み研削液Xは、研削加工時に研削加工機と加工対象物との接触部に供給されることで、浮遊油、潤滑油、切り粉、摩擦粉、微生物等の研削屑が混入している。研削液貯留槽2は、例えば研削加工時に用いられた使用済み研削液Xが随時排出管6を通って貯留されるよう構成されている。
膜分離モジュール3には、研削液貯留槽2に貯留され、ポンプ5によって圧送された使用済み研削液Xが供給される。本実施形態において、膜分離モジュール3は、濾過膜を有する外圧型のデッドエンド方式の膜分離モジュールである。具体的には、膜分離モジュール3は、複数本の中空糸膜を有しており、これらの中空糸膜の外周面側に使用済み研削液Xが供給されるよう構成されている。膜分離モジュール3は、これらの中空糸膜の外周面側を高圧にすることで使用済み研削液Xに含まれる一定粒径以上の研削屑及び砥粒の透過を防止すると共にその他の成分を複数本の中空糸膜の内部に透過させる。上記複数本の中空糸膜の内部に透過した濾過液は、再生研削液Yとして系外に排出され、研削加工時に再利用される。つまり、当該再生装置1は、膜分離モジュール3のみによって研削液Xから研削屑を分離するもので、遠心分離機等の他の分離手段を有しないことが好ましい。
加えて、当該再生装置1では、使用済み研削液Xの再生処理を続けるうちに、上記濾過膜の表面に油分等の研削屑が徐々に付着していく。これらの研削屑は、水酸化ナトリウム水溶液等の強アルカリ性水溶液を用いて洗浄することで除去しやすい。この点に関し、上記濾過膜の主成分がPTFEであることで、他の有機膜に比較して水酸化ナトリウム等に対する耐性が高めることができ、上記濾過膜、ひいては当該再生装置1の長寿命化を促進することができる。
研削屑排出槽4は、膜分離モジュール3の上記複数本の中空糸膜の外周面側の空間と連通している。研削屑排出槽4には、膜分離モジュール3の上記複数本の中空糸膜の内部に透過しなかった研削屑が排出される。また、研削屑排出槽4には、使用済み研削液Xに含まれる砥粒が排出される。研削屑排出槽4に排出される研削屑は、例えば随時産業廃棄物等として廃棄される。
次に、図2を参照して、図1の再生装置1を用いた研削液の再生方法(以下、単に「再生方法」ともいう)について説明する。当該再生方法は、研削屑を含む使用済み研削液Xの再生方法である。当該再生方法は、使用済み研削液Xから上記研削屑を濾過膜によって分離する膜分離工程(S1)を備える。当該再生方法は、上記濾過膜の平均孔径が1.0μm以上10.0μm以下である。
S1は、図1の膜分離モジュール3によって行われる。具体的には、S1では、研削液貯留槽2に貯留され、ポンプ5によって圧送された研削液Xのうち一定粒径以上の研削屑及び砥粒を上記濾過膜によって膜分離する。S1では、上記濾過膜を透過した濾過液を再生研削液Yとして系外に排出する。一方、S1では、上記濾過膜を透過しなかった研削屑Aを研削屑排出槽4に排出する。
上記洗浄工程における具体的洗浄方法としては、上記濾過膜に付着した研削屑を除去することができる限り特に限定されるものではないが、上記洗浄工程は、上記濾過膜をもみ洗いするもみ洗い工程と、もみ洗い工程後に上記濾過膜をアルカリ洗浄するアルカリ洗浄工程とを有することが好ましい。上記もみ洗い工程では、例えば上記濾過膜を手もみ洗いする。また、上記アルカリ洗浄工程では、例えば上記濾過膜を水酸化ナトリウム水溶液等の強アルカリ性水溶液を用いてアルカリ洗浄する。当該再生方法は、上記濾過膜が上述のようにPTFEを主成分とする場合、この濾過膜を容易にもみ洗いすることができる。さらに、上記濾過膜の主成分がPTFEであることで、水酸化ナトリウム水溶液等の強アルカリ性水溶液を用いてアルカリ洗浄した場合でも上記濾過膜の劣化を抑制することができるので、上記濾過膜、ひいては当該再生装置1の長寿命化を促進することができる。
<研削液の再生装置>
図3の研削液の再生装置21(以下、単に「再生装置21」ともいう)は、研削屑を含む使用済み研削液Xの再生装置である。当該再生装置21は、使用済み研削液Xを貯留する研削液貯留槽2と、研削液貯留槽2に貯留された使用済み研削液Xから研削屑を分離する濾過膜を有する膜分離モジュール3とを備える。また、当該再生装置21は、膜分離モジュール3で膜分離された研削屑Aが排出される研削屑排出槽4と、研削液貯留槽2から排出された使用済み研削液Xを膜分離モジュール3に圧送するポンプ5とを備える。さらに、当該再生装置21は、研削液貯留槽2に貯留される使用済み研削液Xに凝集剤Bを添加する凝集剤添加機構22を備える。当該再生装置21は、上記濾過膜の平均孔径が1.0μm以上10.0μm以下である。当該再生装置21における研削液貯留槽2、膜分離モジュール3、研削屑排出槽4及びポンプ5としては、図1の再生装置1と同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
凝集剤添加機構22は、凝集剤Bを研削液貯留槽2に供給するための供給管22aと、研削液貯留槽2に供給された凝集剤Bを使用済み研削液Xと混合する攪拌機22bとを有する。凝集剤添加機構22は、使用済み研削液Xに含まれる研削屑、典型的には油分、をフロック化する。詳細には、凝集剤添加機構22は、使用済み研削液Xに含まれる上記研削屑を上記濾過膜の孔径よりも粒径が大きくなるようにフロック化する。
次に、図4を参照して、図3の再生装置21を用いた研削液の再生方法について説明する。当該再生方法は、研削屑を含む使用済み研削液Xの再生方法である。当該再生方法は、使用済み研削液Xから上記研削屑を濾過膜によって分離する膜分離工程(S1)と、研削液貯留槽2に貯留される使用済み研削液Xに凝集剤Bを添加する凝集剤添加工程(S2)とを備える。当該再生方法は、上記濾過膜の平均孔径が1.0μm以上10.0μm以下である。当該再生方法における膜分離工程(S1)は、図2の再生方法と同様であるため、説明を省略する。なお、当該再生方法は、S1のみによって使用済み研削液Xから研削屑を分離するもので、遠心分離工程等の他の分離工程を有しないことが好ましい。また、当該再生方法は、図2の再生方法と同様、上記濾過膜を洗浄する洗浄工程を備えていてもよい。
S2は、凝集剤添加機構22によって行われる。S2を行うタイミングについては特に限定されるものではなく、例えばS2は、研削液貯留槽2に使用済み研削液Xが供給される都度行われてもよい。この場合、当該再生方法は、S2の後にS1を行うことになる。
一方、当該再生方法は、図4に示すように、S1を連続的に又は断続的に行い、S1によって得られる濾過液中の研削屑の濃度、研削液貯留槽2に貯留される研削屑の濃度等が所定値以上になった場合にS2を行ってもよい。
そのため、当該再生方法は、使用済み研削液Xの再生をより容易かつ確実に行うことができる。また、当該再生方法は、例えば上記膜分離工程によって得られる濾過液中の研削屑の濃度、研削液貯留槽2に貯留される研削屑の濃度等が所定値以上になった場合にS2を行うことによって、再生研削液Yの品質をより安定的に保つことができる。
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
図1の再生装置1を用いた研削液の再生方法によって、研削屑を含む使用済みエマルジョン系研削液から再生研削液を生成した。使用前における研削液の成分を測定したところ、鉱物油5800ppm、動植物油7100ppm、BOD15000ppmであった。
また、使用後の研削液の成分を測定したところ、鉱物油40000ppm、動植物油42000ppm、BOD62000ppmであった。この再生装置1の膜分離モジュール3としては、3本の中空糸膜を有し、これらの中空糸膜の合計膜面積が1.05m2であり、複数本の中空糸膜の平均孔径が2.0μmであるものを用いた。
図3の再生装置21を模した装置を用いた研削液の再生方法によって、研削屑を含む使用済み研削液から再生研削液を生成した。使用済み研削液としてはNo.1と同様のものを用いた。また、膜分離モジュール3としては、No.1と同様のものを用いた。
上記複数本の中空糸膜の平均孔径を表1の通りとした以外、No.2と同様にして使用済み研削液の再生処理を行った。
表1に示すように、中空糸膜の平均孔径が2.0μmで、かつ使用済み研削液に凝集剤を添加したNo.2は、鉱物油、動植物油及びBODがいずれも使用前の値と同程度になっており、使用済み研削液を高精度で再生できている。これは、使用済み研削液に含まれる浮上油、潤滑油、切り粉、摩擦粉、微生物等の研削屑を高精度で除去することができたためと考えられる。また、No.2に対して凝集剤を添加しなかったNo.1についても鉱物油、動植物油及びBODをいずれも使用後の含有量に対して0.34倍以下に抑制することができており、使用済み研削液から研削屑を十分に分離することができている。さらに、中空糸膜の平均孔径が3.0μm及び5.0μmであるNo.3及びNo.4についても、鉱物油、動植物油及びBODがいずれも使用後の含有量に比べて低減されている。これは、中空糸膜の平均孔径が上記値である場合、使用済み研削液に含まれる浮上油を効果的に分離することができるためと考えられる。
2 研削液貯留槽
3 膜分離モジュール
4 研削屑排出槽
5 ポンプ
6 排出管
22 凝集剤添加機構
22a 供給管
22b 攪拌機
A 研削屑
B 凝集剤
X 使用済み研削液
Y 再生研削液
Claims (4)
- 研削屑を含む使用済み研削液の再生装置であって、
上記使用済み研削液を貯留する貯留槽と、
上記貯留槽に貯留された使用済み研削液から上記研削屑を分離する濾過膜を有する膜分離モジュールと
を備え、
上記濾過膜の平均孔径が1.0μm以上10.0μm以下である研削液の再生装置。 - 上記貯留槽に貯留される使用済み研削液に凝集剤を添加する凝集剤添加機構をさらに備える請求項1に記載の研削液の再生装置。
- 上記濾過膜の主成分がポリテトラフルオロエチレンである請求項1又は請求項2に記載の研削液の再生装置。
- 研削屑を含む使用済み研削液の再生方法であって、
上記使用済み研削液から上記研削屑を濾過膜によって分離する膜分離工程を備え、
上記濾過膜の平均孔径が1.0μm以上10.0μm以下である研削液の再生方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017057082 | 2017-03-23 | ||
JP2017057082 | 2017-03-23 | ||
PCT/JP2017/043460 WO2018173376A1 (ja) | 2017-03-23 | 2017-12-04 | 研削液の再生装置及び研削液の再生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018173376A1 true JPWO2018173376A1 (ja) | 2020-01-23 |
JP7003986B2 JP7003986B2 (ja) | 2022-01-21 |
Family
ID=63585144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019506936A Active JP7003986B2 (ja) | 2017-03-23 | 2017-12-04 | 研削液の再生装置及び研削液の再生方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7003986B2 (ja) |
CN (1) | CN110461544A (ja) |
WO (1) | WO2018173376A1 (ja) |
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- 2017-12-04 CN CN201780088519.1A patent/CN110461544A/zh active Pending
- 2017-12-04 JP JP2019506936A patent/JP7003986B2/ja active Active
- 2017-12-04 WO PCT/JP2017/043460 patent/WO2018173376A1/ja active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7003986B2 (ja) | 2022-01-21 |
CN110461544A (zh) | 2019-11-15 |
WO2018173376A1 (ja) | 2018-09-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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