JPWO2018012324A1 - ペリクル枠及びペリクル - Google Patents
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Abstract
Description
アルミニウム合金製フレーム枠の表面に陽極酸化皮膜を備えたペリクル枠であって、
前記アルミニウム合金製フレーム枠は、
Ca:5.0〜10.0wt%、残部がアルミニウムと不可避的不純物を有し、
分散相であるAl4Ca相の面積(体積)率が25%以上であり、
前記Al4Ca相の一部の結晶構造が単斜晶であるアルミニウム合金からなり、
前記陽極酸化皮膜がAl4Ca粒子を有すること、
を特徴とするペリクル枠、を提供する。
5.0〜10.0wt%のCaを含み、残部がアルミニウムと不可避的不純物からなり、分散相であるAl4Ca相の体積率が25%以上であるアルミニウム合金鋳塊に塑性加工を施してアルミニウム合金製塑性加工材を得る第一工程と、
前記アルミニウム合金製塑性加工材に対して、100〜300℃の温度範囲で熱処理を施す第二工程と、
前記熱処理後の前記アルミニウム合金製塑性加工材に対して、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属を電解質として含んだアルカリ性の電解液又はマレイン酸、シュウ酸、サリチル酸及びクエン酸のうちの1種類以上の有機酸を含むアルカリ性の電解液で陽極酸化処理を施す第三工程と、を有すること、
を特徴とするペリクル枠の製造方法、も提供する。
上述の本発明のペリクル枠と、
前記ペリクル枠に支持されたペリクル膜と、
を有するペリクル、も提供する。
本発明のペリクル枠は、Al−Ca合金からなること、を特徴とするペリクル枠であり、一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜を張設することで、リソグラフィ用のペリクルとして使用することができる。
本発明のペリクル枠の製造方法は、5.0〜10.0wt%のCaを含み、残部がアルミニウムと不可避的不純物からなり、分散相であるAl4Ca相の体積率が25%以上であるアルミニウム合金鋳塊に塑性加工を施してアルミニウム合金製塑性加工材を得る第一工程と、 前記アルミニウム合金製塑性加工材に対して、100〜300℃の温度範囲で熱処理を施す第二工程と、前記熱処理後の前記アルミニウム合金製塑性加工材に対して、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属を電解質として含んだアルカリ性の電解液又はマレイン酸、シュウ酸、サリチル酸及びクエン酸のうちの1種類以上の有機酸を含むアルカリ性の電解液で陽極酸化処理を施す第三工程と、を有すること、を特徴とするペリクル枠の製造方法である。
表1の試料1に示す組成(wt%)を有するアルミニウム合金をDC鋳造法により、φ8インチの鋳塊(ビレット)に鋳造した後、550℃×4時間の均質化処理後、押出温度500℃で横幅180mm×厚さ8mmの平板状に塑性加工した。その後、厚さ3.5mmまで冷間圧延した後、200℃で4hr保持する熱処理を行い、実施アルミニウム合金塑性加工材を得た。
表1の試料2に示す組成(wt%)を使用したこと以外は実施例と同様にして、膜厚7.1μmの陽極酸化皮膜を有する比較ペリクル枠1を得た。また、実施例と同様にして、比較ペリクル枠1の引張強度、耐力、ヤング率及びL*値を測定し、得られた結果を表2に示した。
陽極酸化電解液に酒石酸ナトリウム(53g/L)を加えたこと以外は実施例同様にして、膜厚6.6μmの陽極酸化皮膜を有する比較ペリクル枠2を得た。また、実施例と同様にして、比較ペリクル枠2の引張強度、耐力、ヤング率及びL*値を測定し、得られた結果を表2に示した。
2・・・ペリクル枠、
4・・・ペリクル膜貼り付け用接着層、
6・・・ペリクル膜、
8・・・露光原版(マスク又はレチクル)、
10・・・接着用粘着層。
Claims (8)
- アルミニウム合金製フレーム枠の表面に陽極酸化皮膜を備えたペリクル枠であって、
前記アルミニウム合金製フレーム枠は、
Ca:5.0〜10.0wt%、残部がアルミニウムと不可避的不純物を有し、
分散相であるAl4Ca相の面積(体積)率が25%以上であり、
前記Al4Ca相の一部の結晶構造が単斜晶であるアルミニウム合金からなり、
前記陽極酸化皮膜がAl4Ca粒子を有すること、
を特徴とするペリクル枠。 - 前記アルミニウム合金のV含有量及びFe含有量が、それぞれ0.0001〜0.005wt%及び0.05〜1.0wt%であること、
を特徴とする請求項1に記載のペリクル枠。 - 前記Al4Ca相の平均結晶粒径が1.5μm以下であること、
を特徴とする請求項1又は2に記載のペリクル枠。 - 5.0〜10.0wt%のCaを含み、残部がアルミニウムと不可避的不純物からなり、分散相であるAl4Ca相の体積率が25%以上であるアルミニウム合金鋳塊に塑性加工を施して、アルミニウム合金製塑性加工材を得る第一工程と、
前記アルミニウム合金製塑性加工材に対して、100〜300℃の温度範囲で熱処理を施す第二工程と、
前記熱処理後の前記アルミニウム合金製塑性加工材に対して、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属を電解質として含んだアルカリ性の電解液又はマレイン酸、シュウ酸、サリチル酸及びクエン酸のうちの1種類以上の有機酸を含むアルカリ性の電解液で陽極酸化処理を施す第三工程と、を有すること、
を特徴とするペリクル枠の製造方法。 - 前記アルミニウム合金鋳塊のV含有量及びFe含有量が、それぞれ0.0001〜0.005wt%及び0.05〜1.0wt%であること、
を特徴とする請求項4に記載のペリクル枠の製造方法。 - 前記第一工程の前に、前記アルミニウム合金鋳塊を400℃以上の温度に保持する熱処理を施すこと、
を特徴とする請求項4又は5に記載のペリクル枠の製造方法 - 前記第三工程の後に、更に、金属塩を含む電解液で二次電解着色を施すこと、
を特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載のペリクル枠の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のペリクル枠と、
前記ペリクル枠に支持されたペリクル膜と、を有すること、
を特徴とするペリクル。
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