JPWO2018008070A1 - 検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態に係る検査装置は、電磁波発生部と、電磁波検出部と、該電磁波検出部に印加されるバイアス電圧を調整する調整手段と、を備える。該調整手段は、電磁波を反射可能な反射部と、電磁波発生部から発生された電磁波が被検体に照射される検査期間の一部の期間に、電磁波を、反射部により被検体を介さずに、電磁波検出部に入射させ、電磁波検出部の検出感度に基づいて、バイアス電圧を調整する。電磁波の一例としては、テラヘルツ波が挙げられる。
実施形態に係る検査方法は、電磁波発生部と、電磁波検出部と、電磁波を反射可能な反射部と、を備える検査装置における検査方法である。当該検査方法は、電磁波発生部から発生された電磁波が被検体に照射される検査期間の一部の期間に、電磁波を、反射部により被検体を介さずに、電磁波検出部に入射させ、該電磁波検出部の検出感度に基づいて、電磁波検出部に印加されるバイアス電圧を調整する調整工程を備える。
テラヘルツ波計測装置の第1実施例について、図1乃至図5を参照して説明する。
テラヘルツ波計測装置1の構成について図1及び図2を参照して説明する。図1は、第1実施例に係るテラヘルツ波計測装置の構成を示す概略構成図である。図2は、第1実施例に係るテラヘルツ波計測装置の測定動作を示す概念図である。
図4において、先ず、信号処理・制御部20は、スキャン機構23により生成された撮像位置信号に基づいて、撮像ヘッド部10が、テラヘルツ波反射部34の下方に位置するか否かを判定する(ステップS101)。この判定において、撮像ヘッド部10が、テラヘルツ波反射部34の下方に位置しないと判定された場合(ステップS101:No)、信号処理・制御部20は、再びステップS101の処理を行う。つまり、撮像ヘッド部10が、テラヘルツ波反射部34の下方に位置するまで待機状態となる。
ステップS105の判定において、信号振幅が低下していないと判定された場合(ステップS105:No)、信号処理・制御部20は、ステップS103の処理を行う。尚、前回検出された信号振幅の初期値は、例えばゼロ等とすればよい。このように構成すれば、ステップS102の処理によりバイアス電圧が初期化された後、初めてステップS105の判定が行われる場合も、「S105:No」と進み、ステップS103の処理が行われる。
本実施例では、上述したバイアス電圧の設定処理が繰り返し行われる。この結果、撮像ヘッド部10がテラヘルツ波反射部34の下方に位置する度に、バイアス電圧が再設定(又は校正)される。このため、テラヘルツ波検出素子16aに、常に最適なバイアス電圧を印加することができ、当該テラヘルツ波計測装置1の安定した測定動作を実現することができる。
テラヘルツ波計測装置の第2実施例について、図6乃至図8を参照して説明する。第2実施例では、テラヘルツ波計測装置の構成及びバイアス電圧の設定処理の一部が異なっている以外は、上述した第1実施例と同様である。よって、第2実施例について、第1実施例と重複する説明を省略すると共に、図面上における共通箇所には同一符号を付して示し、基本的に異なる点についてのみ、図6乃至図8を参照して説明する。
テラヘルツ波計測装置2の構成について図6及び図7を参照して説明する。図6は、第2実施例に係るテラヘルツ波計測装置の構成を示す概略構成図である。図7は、第2実施例に係るテラヘルツ波計測装置の測定動作を示す概念図である。
図8において、先ず、信号処理・制御部20は、現在のバイアス電圧をメモリ1として記憶する(即ち、バイアス電圧に係る変数「メモリ1」の値を、現在のバイアス電圧とする)(ステップS201)。
本実施例では、特に、原理的に発生する、ポリゴンミラー41が撮像ヘッド部10´に正対する時(即ち、発生部11から出射されたテラヘルツ波の、ポリゴンミラー41の反射面に対する入射角が0度である時)に、テラヘルツ波検出素子16aのバイアス電圧が再設定(又は校正)される。ポリゴンミラー41が撮像ヘッド部10´に正対する時は、測定期間のデッドタイムに当たるので、バイアス電圧の再設定により測定時間が延長されることはない。
Claims (7)
- 電磁波発生部と、
電磁波検出部と、
電磁波を反射可能な反射部と、
前記電磁波発生部から発生された電磁波が被検体に照射される検査期間の一部の期間に、前記電磁波を、前記反射部により前記被検体を介さずに、前記電磁波検出部に入射させ、前記電磁波検出部の検出感度に基づいて、前記電磁波検出部に印加されるバイアス電圧を調整する調整手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記反射部は、前記被検体が載置される載置部の周囲の少なくとも一部に設けられており、
前記検査期間に、前記被検体及び前記反射部に前記電磁波が照射されるように、前記電磁波発生部及び前記電磁波検出部を一体として移動させる走査手段を更に備える
ことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記反射部は、前記電磁波発生部及び前記被検体を結ぶ前記電磁波の光路上に配置されており、
前記一部の期間に前記電磁波が前記被検体を介さずに前記電磁波検出部に入射し、前記検査期間の他の期間に前記電磁波が前記被検体に照射されるように、前記反射部の反射面の前記電磁波に対する角度を変更する角度変更手段を更に備える
ことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記電磁波検出部は、電流電圧特性に非線形性を有する電磁波検出素子を含み、
前記調整手段は、前記一部の期間に、前記バイアス電圧の電圧値を順次変更して前記検出感度が最大となる電圧値を特定し、前記特定された電圧値より所定値だけ低い電圧値に、前記バイアス電圧を調整する
ことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記電磁波検出素子は、共鳴トンネルダイオードであることを特徴とする請求項4に記載の検査装置。
- 前記電磁波は、テラヘルツ波であることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 電磁波発生部と、電磁波検出部と、電磁波を反射可能な反射部と、を備える検査装置における検査方法であって、
前記電磁波発生部から発生された電磁波が被検体に照射される検査期間の一部の期間に、前記電磁波を、前記反射部により前記被検体を介さずに、前記電磁波検出部に入射させ、前記電磁波検出部の検出感度に基づいて、前記電磁波検出部に印加されるバイアス電圧を調整する調整工程を備える
ことを特徴とする検査方法。
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