JPWO2017217320A1 - 液体組成物が収容された収容容器及び液体組成物の保管方法 - Google Patents
液体組成物が収容された収容容器及び液体組成物の保管方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017217320A1 JPWO2017217320A1 JP2018523858A JP2018523858A JPWO2017217320A1 JP WO2017217320 A1 JPWO2017217320 A1 JP WO2017217320A1 JP 2018523858 A JP2018523858 A JP 2018523858A JP 2018523858 A JP2018523858 A JP 2018523858A JP WO2017217320 A1 JPWO2017217320 A1 JP WO2017217320A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid composition
- container
- water
- storage
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 263
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 207
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 145
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 80
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 144
- 239000012756 surface treatment agent Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 80
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 79
- -1 silane compound Chemical class 0.000 claims description 71
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 40
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 37
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 37
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 31
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 23
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims description 23
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 21
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 20
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 19
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 19
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 15
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 13
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 12
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 12
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 12
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 12
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 11
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000004813 Perfluoroalkoxy alkane Substances 0.000 claims description 9
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 9
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 claims description 9
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 9
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 7
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 claims description 6
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 6
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 45
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 41
- 239000011356 non-aqueous organic solvent Substances 0.000 description 33
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 25
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 22
- 230000008859 change Effects 0.000 description 21
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 20
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 19
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 16
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 12
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000002585 base Substances 0.000 description 10
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 9
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 9
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 9
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N Trifluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 7
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 7
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 7
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 7
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N triflic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QAEDZJGFFMLHHQ-UHFFFAOYSA-N trifluoroacetic anhydride Chemical compound FC(F)(F)C(=O)OC(=O)C(F)(F)F QAEDZJGFFMLHHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 5-valerolactone Chemical compound O=C1CCCCO1 OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IFYYFLINQYPWGJ-UHFFFAOYSA-N gamma-decalactone Chemical compound CCCCCCC1CCC(=O)O1 IFYYFLINQYPWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 6
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N tetraglyme Chemical compound COCCOCCOCCOCCOC ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QRPLZGZHJABGRS-UHFFFAOYSA-N xi-5-Dodecanolide Chemical compound CCCCCCCC1CCCC(=O)O1 QRPLZGZHJABGRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RZTOWFMDBDPERY-UHFFFAOYSA-N Delta-Hexanolactone Chemical compound CC1CCCC(=O)O1 RZTOWFMDBDPERY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910014299 N-Si Inorganic materials 0.000 description 4
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 4
- 239000002168 alkylating agent Substances 0.000 description 4
- 229940100198 alkylating agent Drugs 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 4
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- TUEYHEWXYWCDHA-UHFFFAOYSA-N ethyl 5-methylthiadiazole-4-carboxylate Chemical compound CCOC(=O)C=1N=NSC=1C TUEYHEWXYWCDHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GAEKPEKOJKCEMS-UHFFFAOYSA-N gamma-valerolactone Chemical compound CC1CCC(=O)O1 GAEKPEKOJKCEMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 4
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 4
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- XUKSWKGOQKREON-UHFFFAOYSA-N 1,4-diacetoxybutane Chemical compound CC(=O)OCCCCOC(C)=O XUKSWKGOQKREON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VBVHNUMQFSVYGE-UHFFFAOYSA-N 1-[1-(1-methoxypropan-2-yloxy)propan-2-yloxy]propan-2-yl acetate Chemical compound COCC(C)OCC(C)OCC(C)OC(C)=O VBVHNUMQFSVYGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HYLLZXPMJRMUHH-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]butane Chemical compound CCCCOCCOCCOC HYLLZXPMJRMUHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KTSVVTQTKRGWGU-UHFFFAOYSA-N 1-[2-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]butane Chemical compound CCCCOCCOCCOCCOCCCC KTSVVTQTKRGWGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OHRSSDYDJRJIMN-UHFFFAOYSA-N 1-[2-[2-(2-butoxypropoxy)propoxy]propoxy]butane Chemical compound CCCCOCC(C)OCC(C)OCC(C)OCCCC OHRSSDYDJRJIMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SNAQINZKMQFYFV-UHFFFAOYSA-N 1-[2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]butane Chemical compound CCCCOCCOCCOCCOC SNAQINZKMQFYFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KIAMPLQEZAMORJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethane Chemical compound CCOCCOCCOCCOCC KIAMPLQEZAMORJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ORRRIJVZQZKAKQ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-[2-(2-ethoxypropoxy)propoxy]propane Chemical compound CCOCC(C)OCC(C)OCC(C)OCC ORRRIJVZQZKAKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RERATEUBWLKDFE-UHFFFAOYSA-N 1-methoxy-2-[2-(2-methoxypropoxy)propoxy]propane Chemical compound COCC(C)OCC(C)OCC(C)OC RERATEUBWLKDFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ROSYHLFNMZTEKZ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxy-2-[2-[2-(2-methoxypropoxy)propoxy]propoxy]propane Chemical compound COCC(C)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OC ROSYHLFNMZTEKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FLPPEMNGWYFRSK-UHFFFAOYSA-N 2-(2-acetyloxypropoxy)propyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC(C)OCC(C)OC(C)=O FLPPEMNGWYFRSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CKCGJBFTCUCBAJ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxypropoxy)propyl acetate Chemical compound CCOC(C)COC(C)COC(C)=O CKCGJBFTCUCBAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BJINVQNEBGOMCR-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound COCCOCCOC(C)=O BJINVQNEBGOMCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DRLRGHZJOQGQEC-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxypropoxy)propyl acetate Chemical compound COC(C)COC(C)COC(C)=O DRLRGHZJOQGQEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-acetyloxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOCCOC(C)=O OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HFNFWZALUXHJQK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-acetyloxypropoxy)propoxy]propyl acetate Chemical compound CC(=O)OC(C)COC(C)COC(C)COC(C)=O HFNFWZALUXHJQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NVSCAPMJFRYMFK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOCCOC(C)=O NVSCAPMJFRYMFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JDNLDGRWNMIHQC-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-ethoxypropoxy)propoxy]propyl acetate Chemical compound CCOC(C)COC(C)COC(C)COC(C)=O JDNLDGRWNMIHQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SDHQGBWMLCBNSM-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound COCCOCCOCCOC(C)=O SDHQGBWMLCBNSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DXYGJDUJLDXFOD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-acetyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(C)=O DXYGJDUJLDXFOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NTAADJGIMDADQS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-acetyloxypropoxy)propoxy]propoxy]propyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OCC(C)OC(C)=O NTAADJGIMDADQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MXVMODFDROLTFD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCOCCOCCO MXVMODFDROLTFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HYDWALOBQJFOMS-UHFFFAOYSA-N 3,6,9,12,15-pentaoxaheptadecane Chemical compound CCOCCOCCOCCOCCOCC HYDWALOBQJFOMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXRBWNLUQYZAAX-UHFFFAOYSA-N 6-Butyltetrahydro-2H-pyran-2-one Chemical compound CCCCC1CCCC(=O)O1 PXRBWNLUQYZAAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YZRXRLLRSPQHDK-UHFFFAOYSA-N 6-Hexyltetrahydro-2H-pyran-2-one Chemical compound CCCCCCC1CCCC(=O)O1 YZRXRLLRSPQHDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical group N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- VLSVVMPLPMNWBH-UHFFFAOYSA-N Dihydro-5-propyl-2(3H)-furanone Chemical compound CCCC1CCC(=O)O1 VLSVVMPLPMNWBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JYVPIEJECJXXKU-UHFFFAOYSA-N [butyl(dimethyl)silyl] 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound CCCC[Si](C)(C)OC(=O)C(F)(F)F JYVPIEJECJXXKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OEGAMYZOUWNLEO-UHFFFAOYSA-N [butyl(dimethyl)silyl] trifluoromethanesulfonate Chemical compound CCCC[Si](C)(C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F OEGAMYZOUWNLEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AQSDMBVSJLUVJX-UHFFFAOYSA-N [decyl(dimethyl)silyl] trifluoromethanesulfonate Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](C)(C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F AQSDMBVSJLUVJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PEFNDUOLISEFNU-UHFFFAOYSA-N [dimethyl(octyl)silyl] trifluoromethanesulfonate Chemical compound CCCCCCCC[Si](C)(C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F PEFNDUOLISEFNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KJUATNVXFLOMQN-UHFFFAOYSA-N [hexyl(dimethyl)silyl] 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound CCCCCC[Si](C)(C)OC(=O)C(F)(F)F KJUATNVXFLOMQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UMHKOAYRTRADAT-UHFFFAOYSA-N [hydroxy(octoxy)phosphoryl] octyl hydrogen phosphate Chemical compound CCCCCCCCOP(O)(=O)OP(O)(=O)OCCCCCCCC UMHKOAYRTRADAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 3
- FYTRVXSHONWYNE-UHFFFAOYSA-N delta-octanolide Chemical compound CCCC1CCCC(=O)O1 FYTRVXSHONWYNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UBPGILLNMDGSDS-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol diacetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOC(C)=O UBPGILLNMDGSDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N diimidazo[1,3-b:1',3'-e]pyrazine-5,10-dione Chemical compound O=C1C2=CN=CN2C(=O)C2=CN=CN12 UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FOTBOKBDKNTVLX-UHFFFAOYSA-N dimethylsilyl 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound C[SiH](C)OC(=O)C(F)(F)F FOTBOKBDKNTVLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 3
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JBFHTYHTHYHCDJ-UHFFFAOYSA-N gamma-caprolactone Chemical compound CCC1CCC(=O)O1 JBFHTYHTHYHCDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OALYTRUKMRCXNH-QMMMGPOBSA-N gamma-nonanolactone Chemical compound CCCCC[C@H]1CCC(=O)O1 OALYTRUKMRCXNH-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 3
- IPBFYZQJXZJBFQ-UHFFFAOYSA-N gamma-octalactone Chemical compound CCCCC1CCC(=O)O1 IPBFYZQJXZJBFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000013773 glyceryl triacetate Nutrition 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940116423 propylene glycol diacetate Drugs 0.000 description 3
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N triacetin Chemical compound CC(=O)OCC(OC(C)=O)COC(C)=O URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229960002622 triacetin Drugs 0.000 description 3
- YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N triglyme Chemical compound COCCOCCOCCOC YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WGPCZPLRVAWXPW-UHFFFAOYSA-N xi-Dihydro-5-octyl-2(3H)-furanone Chemical compound CCCCCCCCC1CCC(=O)O1 WGPCZPLRVAWXPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N (z)-2-cyano-3-thiophen-2-ylprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(\C#N)=C/C1=CC=CS1 QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N 0.000 description 2
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GDXHBFHOEYVPED-UHFFFAOYSA-N 1-(2-butoxyethoxy)butane Chemical compound CCCCOCCOCCCC GDXHBFHOEYVPED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQGIBEAIDUOVOH-UHFFFAOYSA-N 1-[2-[2-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]butane Chemical compound CCCCOCCOCCOCCOCCOCCCC MQGIBEAIDUOVOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRMSQVBRUNSOJL-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanoic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)C(F)(F)F LRMSQVBRUNSOJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JONNRYNDZVEZFH-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxypropoxy)propyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)COC(C)COC(C)=O JONNRYNDZVEZFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZXAHVCTRLTLNA-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxypropoxy)-1-propoxypropane Chemical compound CCCOCC(C)OCC(C)OC RZXAHVCTRLTLNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IZXIZTKNFFYFOF-UHFFFAOYSA-N 2-Oxazolidone Chemical group O=C1NCCO1 IZXIZTKNFFYFOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZYTRLHRQWPTWNT-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-butoxypropoxy)propoxy]propyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)COC(C)COC(C)COC(C)=O ZYTRLHRQWPTWNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LCZVSXRMYJUNFX-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-hydroxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound CC(O)COC(C)COC(C)CO LCZVSXRMYJUNFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTAKOUPXIUWZIA-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethanol Chemical compound CCOCCOCCOCCOCCO GTAKOUPXIUWZIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PCAADGZYCGLFCM-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methoxypropoxy)propoxy]propoxy]propyl acetate Chemical compound COC(C)COC(C)COC(C)COC(C)COC(C)=O PCAADGZYCGLFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JTXMVXSTHSMVQF-UHFFFAOYSA-N 2-acetyloxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOC(C)=O JTXMVXSTHSMVQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-phenylpyridine Chemical compound C1=NC(C)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GHBSPIPJMLAMEP-UHFFFAOYSA-N 6-pentyloxan-2-one Chemical compound CCCCCC1CCCC(=O)O1 GHBSPIPJMLAMEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N Morpholine Chemical group C1COCCN1 YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- QVHMSMOUDQXMRS-UHFFFAOYSA-N PPG n4 Chemical compound CC(O)COC(C)COC(C)COC(C)CO QVHMSMOUDQXMRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UWHCKJMYHZGTIT-UHFFFAOYSA-N Tetraethylene glycol, Natural products OCCOCCOCCOCCO UWHCKJMYHZGTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QHIJPBGTYHXSSQ-UHFFFAOYSA-N [decyl(dimethyl)silyl] 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](C)(C)OC(=O)C(F)(F)F QHIJPBGTYHXSSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JDYXTZFZYGJYCU-UHFFFAOYSA-N [dimethyl(octyl)silyl] 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound CCCCCCCC[Si](C)(C)OC(=O)C(F)(F)F JDYXTZFZYGJYCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HHSPZBRBLBLYJV-UHFFFAOYSA-N [hexyl(dimethyl)silyl] trifluoromethanesulfonate Chemical compound CCCCCC[Si](C)(C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F HHSPZBRBLBLYJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000738 acetamido group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)N([H])[*] 0.000 description 2
- OHBRHBQMHLEELN-UHFFFAOYSA-N acetic acid;1-butoxybutane Chemical compound CC(O)=O.CCCCOCCCC OHBRHBQMHLEELN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000005227 alkyl sulfonate group Chemical group 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N azide group Chemical group [N-]=[N+]=[N-] IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004663 dialkyl amino group Chemical group 0.000 description 2
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 2
- DPFCZRAGEMLFTN-UHFFFAOYSA-N dimethylsilyl trifluoromethanesulfonate Chemical compound C[SiH](C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F DPFCZRAGEMLFTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- 229940093858 ethyl acetoacetate Drugs 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- PHXATPHONSXBIL-JTQLQIEISA-N gamma-undecanolactone Chemical compound CCCCCCC[C@H]1CCC(=O)O1 PHXATPHONSXBIL-JTQLQIEISA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- ZQBFAOFFOQMSGJ-UHFFFAOYSA-N hexafluorobenzene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F ZQBFAOFFOQMSGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 2
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910003480 inorganic solid Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000002346 iodo group Chemical group I* 0.000 description 2
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 2
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZBKFYXZXZJPWNQ-UHFFFAOYSA-N isothiocyanate group Chemical group [N-]=C=S ZBKFYXZXZJPWNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 2
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 2
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VIYXXANHGYSBLY-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound C[Si](C)(C)OC(=O)C(F)(F)F VIYXXANHGYSBLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FTVLMFQEYACZNP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl trifluoromethanesulfonate Chemical compound C[Si](C)(C)OS(=O)(=O)C(F)(F)F FTVLMFQEYACZNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N (+)-propylene glycol Chemical compound C[C@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- LDTMPQQAWUMPKS-OWOJBTEDSA-N (e)-1-chloro-3,3,3-trifluoroprop-1-ene Chemical compound FC(F)(F)\C=C\Cl LDTMPQQAWUMPKS-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- ZHJBJVPTRJNNIK-UPHRSURJSA-N (z)-1,2-dichloro-3,3,3-trifluoroprop-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(\Cl)=C\Cl ZHJBJVPTRJNNIK-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N (z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;zirconium Chemical compound [Zr].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N 0.000 description 1
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- UVWPNDVAQBNQBG-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,9-icosafluorononane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F UVWPNDVAQBNQBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKIYQFLILPKULA-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2,2,3,3,4,4-nonafluoro-4-methoxybutane Chemical compound COC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F OKIYQFLILPKULA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZLFPVPRZGTCKP-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,3,3-pentafluorobutane Chemical compound CC(F)(F)CC(F)(F)F WZLFPVPRZGTCKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKIMETXDACNTIE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-dodecafluorocyclohexane Chemical compound FC1(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F RKIMETXDACNTIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWMJXZJISGDARB-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-decafluorocyclopentane Chemical compound FC1(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F PWMJXZJISGDARB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GGMAUXPWPYFQRB-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorocyclopentane Chemical compound FC1(F)CC(F)(F)C(F)(F)C1(F)F GGMAUXPWPYFQRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPBZZPOGZPKYKX-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxypropane Chemical compound CCOCC(C)OCC VPBZZPOGZPKYKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethoxypropane Chemical compound COCC(C)OC LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMCUNLUHTBHKTB-UHFFFAOYSA-N 1,4-dimethoxybutane Chemical compound COCCCCOC HMCUNLUHTBHKTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUVLMZNMSPJDON-UHFFFAOYSA-N 1-(1-butoxypropan-2-yloxy)propan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)OCC(C)O CUVLMZNMSPJDON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMGJMGFZLXYHCR-UHFFFAOYSA-N 1-(2-butoxypropoxy)butane Chemical compound CCCCOCC(C)OCCCC QMGJMGFZLXYHCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JKEHLQXXZMANPK-UHFFFAOYSA-N 1-[1-(1-propoxypropan-2-yloxy)propan-2-yloxy]propan-2-ol Chemical compound CCCOCC(C)OCC(C)OCC(C)O JKEHLQXXZMANPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOWSVNMPHMJCBZ-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-butoxypropoxy)propoxy]butane Chemical compound CCCCOCC(C)OCC(C)OCCCC UOWSVNMPHMJCBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GXGDLEBZHWVDTF-UHFFFAOYSA-N 1-[[[butyl(dimethyl)silyl]amino]-dimethylsilyl]butane Chemical compound CCCC[Si](C)(C)N[Si](C)(C)CCCC GXGDLEBZHWVDTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CAHMDKGTEUVXJQ-UHFFFAOYSA-N 1-[[[decyl(dimethyl)silyl]amino]-dimethylsilyl]decane Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](C)(C)N[Si](C)(C)CCCCCCCCCC CAHMDKGTEUVXJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNNPULJFGORMOI-UHFFFAOYSA-N 1-[[[dimethyl(octyl)silyl]amino]-dimethylsilyl]octane Chemical compound CCCCCCCC[Si](C)(C)N[Si](C)(C)CCCCCCCC CNNPULJFGORMOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUGWHZOLAHGHJL-UHFFFAOYSA-N 1-[[[dodecyl(dimethyl)silyl]amino]-dimethylsilyl]dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC[Si](C)(C)N[Si](C)(C)CCCCCCCCCCCC ZUGWHZOLAHGHJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJXRYSFPMDJANJ-UHFFFAOYSA-N 1-[[[hexyl(dimethyl)silyl]amino]-dimethylsilyl]hexane Chemical compound CCCCCC[Si](C)(C)N[Si](C)(C)CCCCCC SJXRYSFPMDJANJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUWDFGKRNIDKAE-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCCOCC(C)OC(C)=O FUWDFGKRNIDKAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFUYAWQUODQGFF-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane Chemical compound CCOC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F DFUYAWQUODQGFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SQEGLLMNIBLLNQ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-1,1,2,3,3,3-hexafluoro-2-(trifluoromethyl)propane Chemical compound CCOC(F)(F)C(F)(C(F)(F)F)C(F)(F)F SQEGLLMNIBLLNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIKLJUUTSQYGQI-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxypropoxy)propane Chemical compound CCOCC(C)OCC(C)OCC ZIKLJUUTSQYGQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIQAWCBKWSQMRQ-UHFFFAOYSA-N 16-methylheptadecanoic acid;2-methylprop-2-enoic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O HIQAWCBKWSQMRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEKHISJGRIEHRE-UHFFFAOYSA-N 16-methylheptadecanoic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IEKHISJGRIEHRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZUBVNGHMOTZBX-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-tributoxyethyl 3-oxobutanoate;zirconium Chemical compound [Zr].CCCCOC(OCCCC)(OCCCC)COC(=O)CC(C)=O IZUBVNGHMOTZBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XETRHNFRKCNWAJ-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanoyl 2,2,3,3,3-pentafluoropropanoate Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(=O)OC(=O)C(F)(F)C(F)(F)F XETRHNFRKCNWAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AACILMLPSLEQMF-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloroethenyl 2-ethylsulfinylethyl methyl phosphate Chemical compound CCS(=O)CCOP(=O)(OC)OC=C(Cl)Cl AACILMLPSLEQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJCYDDALXPHSHR-UHFFFAOYSA-N 2-(2-propoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCOCCOCCO DJCYDDALXPHSHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYVAYAJYLWYJJN-UHFFFAOYSA-N 2-(2-propoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound CCCOC(C)COC(C)CO XYVAYAJYLWYJJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- COBPKKZHLDDMTB-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCOCCO COBPKKZHLDDMTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SGQLKNKVOZVAAY-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOCCOC(C)=O SGQLKNKVOZVAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDSQBDGCMUXRBM-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-butoxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound CCCCOC(C)COC(C)COC(C)CO JDSQBDGCMUXRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFSMVVDJSNMRAR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethanol Chemical compound CCOCCOCCOCCO WFSMVVDJSNMRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMVOPJLFZGSYOS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-ethoxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound CCOC(C)COC(C)COC(C)CO FMVOPJLFZGSYOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WAEVWDZKMBQDEJ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methoxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound COC(C)COC(C)COC(C)CO WAEVWDZKMBQDEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCBPVRDDYVJQHA-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-propoxyethoxy)ethoxy]ethanol Chemical compound CCCOCCOCCOCCO KCBPVRDDYVJQHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XGPAKKIIHOORKP-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOCCOCCOC(C)=O XGPAKKIIHOORKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQBVDIXWZLYGOR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOCCOCCOC(C)=O UQBVDIXWZLYGOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVMHYFTZTYLUHL-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl acetate Chemical compound COCCOCCOCCOCCOC(C)=O OVMHYFTZTYLUHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXNRWWNGEQMQCB-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-propoxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethanol Chemical compound CCCOCCOCCOCCOCCO SXNRWWNGEQMQCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JABCKXBEMZTLNI-UHFFFAOYSA-N 2-[[dimethoxy(methyl)silyl]methyl]butane-1,4-diamine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CC(CN)CCN JABCKXBEMZTLNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJXNLVJQMJNEMN-UHFFFAOYSA-N 2-[difluoro(methoxy)methyl]-1,1,1,2,3,3,3-heptafluoropropane Chemical compound COC(F)(F)C(F)(C(F)(F)F)C(F)(F)F DJXNLVJQMJNEMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKOHCQAVIJDYAF-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid;propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O KKOHCQAVIJDYAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 3-(3-methoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound COCCCOCCCO QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEZMLECYELSZDC-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl-diethoxy-methylsilane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCCl KEZMLECYELSZDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KNTKCYKJRSMRMZ-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl-dimethoxy-methylsilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCCl KNTKCYKJRSMRMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 3-oxo-n-[2-(trifluoromethyl)phenyl]butanamide Chemical compound CC(=O)CC(=O)NC1=CC=CC=C1C(F)(F)F VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 3-propoxypropan-1-ol Chemical compound CCCOCCCO LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMLBDDCTBHGHEO-UHFFFAOYSA-N 4-methoxybutyl acetate Chemical compound COCCCCOC(C)=O LMLBDDCTBHGHEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007848 Bronsted acid Substances 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXYYMFGNZNYGOF-UHFFFAOYSA-N C(CCC)[Si](N(C)C)(C)C.C[Si](N(CC)CC)(C)C Chemical compound C(CCC)[Si](N(C)C)(C)C.C[Si](N(CC)CC)(C)C XXYYMFGNZNYGOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SRORDPCXIPXEAX-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCCCP(CCCCCCCCCCCCC)(O)(OCCCCCCCC)OCCCCCCCC.CCCCCCCCCCCCCP(CCCCCCCCCCCCC)(O)(OCCCCCCCC)OCCCCCCCC Chemical compound CCCCCCCCCCCCCP(CCCCCCCCCCCCC)(O)(OCCCCCCCC)OCCCCCCCC.CCCCCCCCCCCCCP(CCCCCCCCCCCCC)(O)(OCCCCCCCC)OCCCCCCCC SRORDPCXIPXEAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N Diethyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OCC OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L Magnesium sulfate Chemical compound [Mg+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KWYHDKDOAIKMQN-UHFFFAOYSA-N N,N,N',N'-tetramethylethylenediamine Chemical compound CN(C)CCN(C)C KWYHDKDOAIKMQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCEYBMNLGBUVTQ-UHFFFAOYSA-N N-methyl-N-methylsilylmethanamine Chemical compound C[SiH2]N(C)C QCEYBMNLGBUVTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-M Trifluoroacetate Chemical compound [O-]C(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N [(dimethyl-$l^{3}-silanyl)amino]-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)N[Si](C)C GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQBVXPMIWCELLZ-UHFFFAOYSA-K [Al+3].CC(=O)CC(=O)CC([O-])=O.CC(=O)CC(=O)CC([O-])=O.CC(=O)CC(=O)CC([O-])=O Chemical compound [Al+3].CC(=O)CC(=O)CC([O-])=O.CC(=O)CC(=O)CC([O-])=O.CC(=O)CC(=O)CC([O-])=O BQBVXPMIWCELLZ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- TUVYSBJZBYRDHP-UHFFFAOYSA-N acetic acid;methoxymethane Chemical compound COC.CC(O)=O TUVYSBJZBYRDHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-N acetoacetic acid Chemical class CC(=O)CC(O)=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001347 alkyl bromides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001348 alkyl chlorides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001349 alkyl fluorides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001351 alkyl iodides Chemical class 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N aluminium triethoxide Chemical compound CCO[Al](OCC)OCC JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- CWBHKBKGKCDGDM-UHFFFAOYSA-N bis[(2,2,2-trifluoroacetyl)oxy]boranyl 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound FC(F)(F)C(=O)OB(OC(=O)C(F)(F)F)OC(=O)C(F)(F)F CWBHKBKGKCDGDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SKFIUGUKJUULEM-UHFFFAOYSA-N butan-1-ol;zirconium Chemical compound [Zr].CCCCO SKFIUGUKJUULEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMRWNKZVCUKKSR-UHFFFAOYSA-N butane-1,2-diol Chemical class CCC(O)CO BMRWNKZVCUKKSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYDLBBUBQFJOJT-UHFFFAOYSA-L butyl(dichloro)tin Chemical compound CCCC[Sn](Cl)Cl FYDLBBUBQFJOJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001110 calcium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910001628 calcium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011148 calcium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 description 1
- 229950005499 carbon tetrachloride Drugs 0.000 description 1
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000008050 dialkyl sulfates Chemical class 0.000 description 1
- 125000005265 dialkylamine group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000950 dibromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- YFAXVVMIXZAKSR-UHFFFAOYSA-L dichloro(diethyl)stannane Chemical compound CC[Sn](Cl)(Cl)CC YFAXVVMIXZAKSR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PKKGKUDPKRTKLJ-UHFFFAOYSA-L dichloro(dimethyl)stannane Chemical compound C[Sn](C)(Cl)Cl PKKGKUDPKRTKLJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SYAXPJDYXAPBDK-UHFFFAOYSA-L dichloro(ethyl)tin Chemical compound CC[Sn](Cl)Cl SYAXPJDYXAPBDK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- NENHTYKSUUMRCM-UHFFFAOYSA-L dichloro(hexyl)tin Chemical compound CCCCCC[Sn](Cl)Cl NENHTYKSUUMRCM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BQWHLOCBVNERCO-UHFFFAOYSA-L dichloro(methyl)tin Chemical compound C[Sn](Cl)Cl BQWHLOCBVNERCO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N diethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOCC1CO1 OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- IEJIGPNLZYLLBP-UHFFFAOYSA-N dimethyl carbonate Chemical compound COC(=O)OC IEJIGPNLZYLLBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMQYIPNJVLNWOE-UHFFFAOYSA-N dioctyl hydrogen phosphite Chemical compound CCCCCCCCOP(O)OCCCCCCCC XMQYIPNJVLNWOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWEUIGNSBFLMFL-UHFFFAOYSA-N diphosphonate Chemical compound O=P(=O)OP(=O)=O YWEUIGNSBFLMFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N diphosphoric acid Chemical compound OP(O)(=O)OP(O)(O)=O XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- VTIXMGZYGRZMAW-UHFFFAOYSA-N ditridecyl hydrogen phosphite Chemical compound CCCCCCCCCCCCCOP(O)OCCCCCCCCCCCCC VTIXMGZYGRZMAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- NCXTWAVJIHJVRV-UHFFFAOYSA-N ethane-1,2-diol;16-methylheptadecanoic acid;titanium Chemical compound [Ti].OCCO.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O.CC(C)CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O NCXTWAVJIHJVRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N ethenyl-tris(2-methoxyethoxy)silane Chemical compound COCCO[Si](OCCOC)(OCCOC)C=C WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940045180 ethyl perfluoroisobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000002372 labelling Methods 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005905 mesyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N methoxy(trimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)C POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXHHBNMLPJOKQD-UHFFFAOYSA-M methyl carbonate Chemical compound COC([O-])=O CXHHBNMLPJOKQD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229940104873 methyl perfluorobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- 229940104872 methyl perfluoroisobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N n-Propyl acetate Natural products CCCOC(C)=O YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBMFCBOORRVHNB-UHFFFAOYSA-N n-[butyl(dimethyl)silyl]-n-ethylethanamine Chemical compound CCCC[Si](C)(C)N(CC)CC LBMFCBOORRVHNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEEBOCAZGQIEOY-UHFFFAOYSA-N n-[decyl(dimethyl)silyl]-n-ethylethanamine Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](C)(C)N(CC)CC LEEBOCAZGQIEOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVOFQSDLPSCYBH-UHFFFAOYSA-N n-[dimethyl(octyl)silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CCCCCCCC[Si](C)(C)N(C)C HVOFQSDLPSCYBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFPIPUGNJDXWLT-UHFFFAOYSA-N n-[dodecyl(dimethyl)silyl]-n-ethylethanamine Chemical compound CCCCCCCCCCCC[Si](C)(C)N(CC)CC LFPIPUGNJDXWLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URHRKEBGHLRDGY-UHFFFAOYSA-N n-[dodecyl(dimethyl)silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CCCCCCCCCCCC[Si](C)(C)N(C)C URHRKEBGHLRDGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGYSDCNRMHJVAH-UHFFFAOYSA-N n-[hexyl(dimethyl)silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CCCCCC[Si](C)(C)N(C)C DGYSDCNRMHJVAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LOQWAPNWOYMIHS-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-[hexyl(dimethyl)silyl]ethanamine Chemical compound CCCCCC[Si](C)(C)N(CC)CC LOQWAPNWOYMIHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXXSWZYRKAQQDI-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-silylethanamine Chemical compound CCN([SiH3])CC LXXSWZYRKAQQDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KAHVZNKZQFSBFW-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-trimethylsilylmethanamine Chemical compound CN(C)[Si](C)(C)C KAHVZNKZQFSBFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005702 oxyalkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006353 oxyethylene group Chemical group 0.000 description 1
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical class FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSSNHSVIGIHOJA-UHFFFAOYSA-N pentafluoropropane Chemical compound FC(F)CC(F)(F)F MSSNHSVIGIHOJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVBBRRALBYAZBM-UHFFFAOYSA-N perfluorooctane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F YVBBRRALBYAZBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N phosphorus pentoxide Inorganic materials O1P(O2)(=O)OP3(=O)OP1(=O)OP2(=O)O3 DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPGAWFIWCWKDDL-UHFFFAOYSA-N propan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-] XPGAWFIWCWKDDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940090181 propyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 235000013772 propylene glycol Nutrition 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 229940005657 pyrophosphoric acid Drugs 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid;sulfur trioxide Chemical compound O=S(=O)=O.OS(O)(=O)=O HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,7-diazaspiro[4.5]decane-7-carboxylate Chemical compound C1N(C(=O)OC(C)(C)C)CCCC11CNCC1 ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L tin(II) chloride (anhydrous) Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sn+2] AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 125000005424 tosyloxy group Chemical group S(=O)(=O)(C1=CC=C(C)C=C1)O* 0.000 description 1
- WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N tri(butan-2-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].CCC(C)[O-].CCC(C)[O-].CCC(C)[O-] WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005270 trialkylamine group Chemical group 0.000 description 1
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFRLQYJXUZRYDN-UHFFFAOYSA-K trichloro(methyl)stannane Chemical compound C[Sn](Cl)(Cl)Cl YFRLQYJXUZRYDN-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol monomethyl ether Chemical compound COCCOCCOCCO JLGLQAWTXXGVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-M triflate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WJKHJLXJJJATHN-UHFFFAOYSA-N triflic anhydride Chemical compound FC(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(F)(F)F WJKHJLXJJJATHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAAFTFDRHDSEON-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl 2,2,2-trifluoroacetate trimethylsilyl trifluoromethanesulfonate Chemical compound FC(S(=O)(=O)O[Si](C)(C)C)(F)F.FC(C(=O)O[Si](C)(C)C)(F)F LAAFTFDRHDSEON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001226 triphosphate Substances 0.000 description 1
- 235000011178 triphosphate Nutrition 0.000 description 1
- 125000002264 triphosphate group Chemical class [H]OP(=O)(O[H])OP(=O)(O[H])OP(=O)(O[H])O* 0.000 description 1
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N vinylsilane Chemical compound [SiH3]C=C UKRDPEFKFJNXQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 1
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D183/04—Polysiloxanes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D5/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, characterised by their physical nature or the effects produced; Filling pastes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/70—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for materials not otherwise provided for
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/02—Inorganic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5004—Organic solvents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2222/00—Aspects relating to chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive medium
- C23C2222/20—Use of solutions containing silanes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
- H01L23/296—Organo-silicon compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3157—Partial encapsulation or coating
- H01L23/3171—Partial encapsulation or coating the coating being directly applied to the semiconductor body, e.g. passivation layer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/80—Packaging reuse or recycling, e.g. of multilayer packaging
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Packages (AREA)
- Materials Applied To Surfaces To Minimize Adherence Of Mist Or Water (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
本発明の実施形態に係る収容容器は、水分濃度が400質量ppm以下の有機溶媒と、表面処理剤とを含有する液体組成物が収容された収容部を具備する。上記収容部の内壁における少なくとも上記液体組成物に接触する部位は、水に対する接触角θが10度以上150度以下である。
Description
そして、上述したパターン倒れの問題を解決するために、予め基板表面に撥水性保護膜を形成することにより、洗浄又はリンス時にパターンに作用する液体の表面張力を小さくする技術が知られている(例えば、特開2010−114414号公報、特開2010−192878号公報、特開2010−192879号公報、特開2010−272852号公報、特開2013−108044号公報等を参照)。
[1]
水分濃度が400質量ppm以下の有機溶媒と、表面処理剤とを含有する液体組成物が収容された収容部を具備する収容容器であって、上記収容部の内壁における少なくとも上記液体組成物に接触する部位は、水に対する接触角θが10度以上150度以下である収容容器。
上記表面処理剤がシラン化合物である、[1]に記載の収容容器。
上記表面処理剤がシリル化剤である、[1]は[2]に記載の収容容器。
上記液体組成物が撥水性保護膜形成用組成物である、[1]〜[3]のいずれかに記載の収容容器。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する上記部位は、上記液体組成物に接触した後における水に対する接触角をθBとし、上記接触前における水に対する接触角をθAとしたときの接触角の差|θB−θA|が、3度以上15度以下である、[1]〜[4]のいずれかに記載の収容容器。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する上記部位は、上記液体組成物に対する接触角θCが90度未満である、[1]〜[5]のいずれかに記載の収容容器。
上記有機溶媒の水分濃度が200質量ppm以下である、[1]〜[6]のいずれかに記載の収容容器。
上記有機溶媒の水分濃度が0.01質量ppt〜100質量ppmである、[1]〜[7]のいずれかに記載の収容容器。
上記液体組成物が収容された上記収容部における空隙部の割合が40〜0.01体積%である、[1]〜[8]のいずれかに記載の収容容器。
上記液体組成物が収容された上記収容部における空隙部を占める気体中の水分濃度が0.01質量ppt〜1質量ppmである、[1]〜[9]のいずれかに記載の収容容器。
上記液体組成物は、Cu、Fe及びZnからなる金属種から選択される1種又は2種以上の金属原子を含有し、上記金属原子の少なくとも1種を含む粒子性メタルの合計の含有率が、上記液体組成物の全質量を基準として、0.01〜100質量pptである、[1]〜[10]のいずれかに記載の収容容器。
上記粒子性メタルの質量が、SP−ICP−MS法により測定されたものである、[11]に記載の収容容器。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、ポリエチレン及びポリプロピレンから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、[1]〜[12]のいずれかに記載の収容容器。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ステンレス、ハステロイ、インコネル、モネルから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、[1]〜[13]のいずれかに記載の収容容器。
上記表面処理剤は、下記一般式[1]で表されるシリル化剤である、[1]〜[14]のいずれかに記載の収容容器。
(R1)aSi(H)bX1 4−a−b [1]
式中、
R1は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていてもよい炭素数1〜18の炭化水素基を含む1価の有機基を表す。R1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
X1は、ケイ素原子と結合する原子が窒素原子である1価の置換基、ケイ素原子と結合する原子が酸素原子である1価の置換基、ハロゲン原子、ニトリル基、および、−CO−NH−Si(CH3)3からなる群から選ばれる基又は原子を表す。X1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
aは1〜3の整数、bは0〜2の整数であり、aとbの合計は1〜3である。
水分濃度が400質量ppm以下の有機溶媒と、表面処理剤とを含有する液体組成物の保管方法であって、内壁の少なくとも一部が、水に対する接触角θが10度以上150度以下である部材から構成されている収容部を有する収容容器に上記液体組成物を収容することを含む、液体組成物の保管方法。
上記表面処理剤がシラン化合物である、[16]に記載の液体組成物の保管方法。
上記表面処理剤がシリル化剤である、[16]又は[17]に記載の液体組成物の保管方法。
上記液体組成物が撥水性保護膜形成用組成物である、[16]〜[18]のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する上記部位は、上記液体組成物に接触する前における水に対する接触角をθAとし、上記液体組成物に接触した後における水に対する接触角をθBとしたときの接触角の差|θB−θA|が、3度以上15度以下である、[16]〜[19]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する上記部位は、上記液体組成物に対する接触角θCが90度未満である、[16]〜[20]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記有機溶媒の水分濃度が200質量ppm以下である、[16]〜[21]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記有機溶媒の水分濃度が0.01質量ppt〜100質量ppmである、[16]〜[22]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記液体組成物が収容された上記収容部における空隙部の割合が40〜0.01体積%である、[16]〜[23]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記液体組成物が収容された上記収容部における空隙部を占める気体中の水分濃度が0.01質量ppt〜1質量ppmである、[16]〜[24]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記液体組成物は、Cu、Fe及びZnからなる金属種から選択される1種又は2種以上の金属原子を含有し、上記金属原子の少なくとも1種を含む粒子性メタルの合計の含有率が、上記液体組成物の全質量を基準として、0.01〜100質量pptである、[16]〜[25]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記粒子性メタルの質量が、SP−ICP−MS法により測定されたものである、[26]に記載の液体組成物の保管方法。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、ポリエチレン及びポリプロピレンから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、[16]〜[27]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記収容部の内壁における上記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ステンレス、ハステロイ、インコネル、モネルから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、[16]〜[28]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
上記表面処理剤は、下記一般式[1]で表されるシリル化剤である、[16]〜[29]のいずれかに記載の液体組成物の保管方法。
(R1)aSi(H)bX1 4−a−b [1]
式中、
R1は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていてもよい炭素数1〜18の炭化水素基を含む1価の有機基を表す。R1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
X1は、ケイ素原子と結合する原子が窒素原子である1価の置換基、ケイ素原子と結合する原子が酸素原子である1価の置換基、ハロゲン原子、ニトリル基、および、−CO−NH−Si(CH3)3からなる群から選ばれる基又は原子を表す。X1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
aは1〜3の整数、bは0〜2の整数であり、aとbの合計は1〜3である。
また、本明細書における「(メタ)アクリレート」とは、「アクリレート及びメタクリレートの少なくとも1種」を意味する。また、「(メタ)アクリル酸」とは、「アクリル酸及びメタクリル酸の少なくとも1種」を意味する。
また、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
以下、液体組成物について説明し、次いで収容容器について説明する。
本発明の液体組成物は、上述の通り、半導体デバイスの製造工程において、撥水性付与等の表面改質用途に用いられるものであり、表面処理剤と非水有機溶媒とを含有する。本発明の液体組成物は、更に、酸又は塩基を含有していてもよい。
本発明の液体組成物に含有される、水分濃度が400質量ppm以下の有機溶媒(非水有機溶媒)としては、例えば、極めて水及び金属不純物の少ないグレードのものを使用することが好ましく、これを更に脱水、精製した非水有機溶媒を用いることが好ましい。
本発明の液体組成物において、非水有機溶媒は、2種以上併用してもよい。
本発明の液体組成物に含有される表面処理剤は、用途としては特に限定されないが、例えば物質表面の親疎水性を制御する用途に用いられる。
表面処理剤としては、例えば、アルキル化剤、シラン化合物、アルミニウム系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、ジルコネートカップリング剤、スズカップリング剤、及びアルミン酸ジルコニウムカップリング剤などが挙げられる。なかでも、半導体装置の製造工程における表面処理用途では、シラン化合物を用いることがより好ましい。ここで、シラン化合物とは、分子内に、水素−ケイ素結合、又は、炭素−ケイ素結合をもつ化合物であり、シリル化剤、シランカップリング剤等が具体例として挙げられる。本発明の液体組成物において、表面処理剤は2種以上併用してもよい。
上記アルキル化剤は、例えば、R7−Xで表わされる化合物であることが好ましい。この一般式において、R7は、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、アリル基またはベンジル基を表し、Xは、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子、メシルオキシ基、トシルオキシ基またはトリフロロメチルスルフォニルオキシ基を表す。
上記シリル化剤は、下記一般式[1]で表されるケイ素含有化合物からなる群から選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。
式中、
R1は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていてもよい炭素数1〜18の炭化水素基を含む1価の有機基を表す。R1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
X1は、ケイ素原子と結合する原子が窒素原子である1価の置換基、ケイ素原子と結合する原子が酸素原子である1価の置換基、ハロゲン原子、ニトリル基、および、−CO−NH−Si(CH3)3からなる群から選ばれる基又は原子を表す。X1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
aは1〜3の整数、bは0〜2の整数であり、aとbの合計は1〜3である。
1又は2、iは0〜2の整数)、クロロ原子、ブロモ原子、ヨード原子、ニトリル基、または、−CO−NH−Si(CH3)3に置き換えた化合物などが挙げられる。
上記シランカップリング剤は、下記一般式[2]で表されるケイ素含有化合物からなる群から選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。
式中、
R1は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていてもよい炭素数1〜18の炭化水素基を含む1価の有機基を表す。R1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
Y1としては、炭素数1〜12(特に好ましくは、炭素数1〜10)のアルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基などの非置換一価炭化水素基や、これらの基の水素原子の一部又は全部をハロゲン原子(塩素、フッ素、臭素原子等)、シアノ基、オキシエチレン基等のオキシアルキレン基、ポリオキシエチレン基等のポリオキシアルキレン基、(メタ)アクリル基、(メタ)アクリロキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、アミノ基、アミド基、ウレイド基、エポキシ基などの官能基で置換した置換一価炭化水素基、これら非置換又は置換一価炭化水素基において、酸素原子、NH基、NCH3基、NC6H5基、C6H5NH−基、H2NCH2CH2NH−基などが介在した基を挙げることができる。
aは1〜3の整数、bは0〜2の整数であり、aとbの合計は1〜3である。
チタネート系カップリング剤としては、アミン系、亜リン酸型、ピロリン酸型、カルボン酸型等のチタネートカップリング剤が挙げられる。具体的には、例えば、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2-ジアリルオキシメチル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリ(N-アミノエチル・アミノエチル)チタネート、ジクミルフェニルオキシアセテートチタネート、ジイソステアロイルエチレンチタネート等が挙げられる。
アルミニウム系カップリング剤としては例えば、アルミニウムイソプロピレート、モノsec-ブトキシアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムsec-ブチレート、アルミニウムエチレート、エチルアセトアセテエートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムトリス(エチルアセトアセテート)、アルキルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムモノアセチルアセトネートビス(エチルアセトアセテート)、アルミニウムトリス(アセチルアセトアセテート)等を挙げることができる。
式中、R2は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていても良い炭素数が1乃至18の1価の炭化水素基である。
式中、R3は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていても良い炭素数が1乃至18の1価の炭化水素基である。
式中、
R4は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていても良い炭素数が1乃至18の1価の炭化水素基である。R4が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
式中、
R7は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていても良い炭素数が1乃至18の1価の炭化水素基である。R7が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
X3は、ケイ素原子と結合する原子が窒素原子であり、フッ素原子やケイ素原子を含んでいても良い1価の置換基である。X3が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
eは1〜3の整数であり、fは0〜2の整数であり、eとfの合計は1〜3である。
本発明の液体組成物は、異物の除去又は欠陥の低減などの目的で、フィルタで濾過することが好ましい。従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)及びナイロンが好ましい。フィルタの孔径は、0.001〜1.0μm程度が適しており、好ましくは0.02〜0.5μm程度、より好ましくは0.01〜0.1μm程度である。この範囲とすることにより、ろ過詰まりを抑えつつ、処理液に含まれる不純物又は凝集物など、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
本発明の液体組成物は、Na、Ca、Al、Cr、Co、Pb、Li、Mg、Mn、Ni、K、Agなどのイオン濃度がいずれも1ppm(parts per million)以下であることが好ましく、1ppb(parts per billion)以下であることがより好ましい。特に、pptオーダー(上記濃度はいずれも質量基準)であることが更に好ましく、実質的に含まないことが特に好ましい。
また、本発明の液体組成物は、粗大粒子を実質的に含まないことが好ましい。
なお、液体組成物に含まれる粗大粒子とは、原料に不純物として含まれる塵、埃、有機固形物、無機固形物などの粒子や、処理液の調製中に汚染物として持ち込まれる塵、埃、有機固形物、無機固形物などの粒子などであり、最終的に処理液中で溶解せずに粒子として存在するものが該当する。処理液中に存在する粗大粒子の量は、レーザを光源とした光散乱式液中粒子測定方式における市販の測定装置を利用して液相で測定することができる。
<液体組成物が収容された収容容器>
本発明は、上述した本発明の液体組成物が収容された収容部を具備する収容容器(以下、「本発明の収容容器」ともいう。)に関するものである。本発明の収容容器は、収容部の内壁における少なくとも本発明の液体組成物が接触する部位(以下において、「接触部位」ということがある。)は、水に対する接触角θが10度以上150度以下であることを第一の特徴とする。本発明の液体組成物がこのような収容容器に充填され保存された場合、撥水性等の性能の劣化を抑制することが可能となる。
本発明における接触角は、後掲の実施例で説明するθ/2法で測定した値である。
[処理液Aの調製]
脱水工程として、モレキュラーシーブ3A(ユニオン昭和製)を使用して、難燃性でありOH基を含有しない有機溶媒であるハイドロフルオロエーテル(3M製HFE−7100)に対して水分除去を施した。水分除去を施したHFE−7100の水分量は、カールフィッシャー式水分計(京都電子製、MKC−610−DT型)により測定を行ったところ、30質量ppmであった。
上述した処理液Aの調製方法に準じた方法で、表1に示す処理液B〜F、H〜Mを調製した。また、水分除去を施していない有機溶媒を使用した処理液Gを調製した。
処理液に含まれる金属不純物(Cu、Fe及びZn)に由来する粒子性メタルの含有率による影響を評価するため、表5に記載の処理液B−1〜B−11を調製した。処理液B−1〜B−11は、表1に記載の処理液Bに対し、有機溶媒のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を、それぞれ精製度の異なるPGMEAに変更したものである。PGMEAの精製度は、処理液Bで使用した精製後のPGMEAと、精製前のPGMEAとを任意の割合で混合することにより調整した。
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
IPA:イソプロピルアルコール
<保管>
得られた各処理液を、表2〜表5に記載の収容容器の収容部に充填した。各処理液を収容容器に充填する際、各表に記載の充填ガスで収容部の空隙部を充填した。
表2〜表5に記載の収容容器は、下記の通りである。
PE:収容部の内壁がポリエチレン(PE)の収容容器。
PP:収容部の内壁がポリプロピレン(PP)の収容容器。
PTFE:収容部の内壁がポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の収容容器。
PTFEコーティング:収容部の内壁がPTFEでコーティングされた収容容器。
PFA:収容部の内壁がペルフルオロアルコキシアルカン(PFA)の収容容器。
電解研磨ステンレス2:電解研磨ステンレス1に対し、電解研磨における処理電流密度を下げて作製した収容容器。
電解研磨ステンレス3:電解研磨ステンレス1に対し、電解研磨における処理電流密度を下げ、電解研磨ステンレス1の処理電流密度条件と、電解研磨ステンレス2の処理電流密度条件との間の処理電流密度条件にて作製した収容容器。
電解研磨ステンレス4:電解研磨ステンレス2に対し、電解研磨における処理電流密度を下げて作製した収容容器。
電解研磨ステンレス5:電解研磨ステンレス4に対し、電解研磨における処理電流密度を下げて作製した収容容器。
電解研磨ハステロイ:収容部の内壁が電解研磨されたハステロイの収容容器。
電解研磨インコネル:収容部の内壁が電解研磨されたインコネルの収容容器。
電解研磨モネル:収容部の内壁が電解研磨されたモネルの収容容器。
Z−3:特開2014−148332号公報の実施例(段落0037)において、プラズマエッチング処理時間を、10分(10秒で60回)から6分(10秒で36回)に変更して作製した収納容器。
窒素ガスA:水分濃度が0.01質量ppm/L
窒素ガスB:水分濃度が0.5質量ppm/L
窒素ガスC:水分濃度が10質量ppm/L
アルゴンガス:水分濃度が1質量ppm/L
大気:水分濃度が100質量ppm超/L
収容部の内容積は、超純水を100%充填したときの質量の増加量より算出した。1%を超える空隙率の調整は、所望の空隙率となる溶液の体積と溶液の比重から充填する溶液質量を求め、質量の増加量により充填量を調整して行った。1%以下の微量な空隙率の調整については、溶液を100%充填した後、所望の空隙率となる気体の体積に相当する量の溶液を清浄なスポイトで吸引して行った。
容器の内壁部材のテストピースを準備し、超純水で洗浄し、更にIPAで再度洗浄した後、十分に乾燥させた。このテストピース表面上に、超純水を約2μlを置き、超純水とテストピース表面とのなす角(接触角)θを接触角計(協和界面科学社製「DM−701」)を用い、θ/2法により測定した。θ/2法では、図1に示す液体11の半径rと、高さhを求め、これらを下式に代入して求められる。
[処理液の撥水性評価]
SiC、SiO2またはSiNの各材料で構成された、評価用の清浄な平坦膜を形成したウェハを準備した。自然酸化膜を除去するため、5質量%のフッ化水素酸(HF)で下処理を行った。この下処理後のウェハを使用して、ビーカーテストを行った。具体的には、まず、表1に示す処理液A〜Mを調製し、室温の各処理液をビーカー内に準備した。ビーカー内の各処理液を250rpmで攪拌しながら、ウェハを5分間各処理液中に浸漬させた。このようにして各処理液に接触させたウェハに対し、40℃のイソプロピルアルコール(IPA)にて30秒間リンス処理を施し、上記窒素ガスAで乾燥した。乾燥時の温度は、20℃(室温)とした。
B:接触角αが75°以上85°未満
C:接触角αが75°未満
調製した各処理液を、表2、表3に記載の収容容器に充填し、密閉状態且つ40℃の環境下で、2週間保管した後の処理液を用いて、上記撥水性評価と同様の評価を行った。なお、基板としては、表2に記載の実施例及び比較例の評価では、上記撥水性評価と同様の下処理を行ったSiCウェハ、SiO2ウェハ及びSiNウェハを用い、表3に記載の実施例の評価では、同様の下処理を行ったSiNウェハを用いた。
((保管前の撥水性評価の接触角α−保管後の撥水性評価の接触角α)÷保管前の撥水性評価の接触角α)×100
A:変化率が±5%以内
B:変化率が±5%超え±10%以内
C:変化率が±10%超え±15%以内
D:変化率が±15%超え
調製した処理液を、表4、表5に記載の収容容器に充填し、密閉状態且つ50℃の環境下で、30日間保管した後の処理液を用いて、上記撥水性評価と同様の評価を行った。なお、基板としては、上記撥水性評価と同様の下処理を行ったSiNウエハを用いた。
((保管前の撥水性評価の接触角α−保管後の撥水性評価の接触角α)÷保管前の撥水性評価の接触角α)×100
A:変化率が±5%以内
B:変化率が±5%超え±10%以内
C:変化率が±10%超え±15%以内
D:変化率が±15%超え
調製した処理液を、表4、表5に記載の収容容器に充填し、密閉状態且つ50℃の環境下で、3日間保管した後、処理液を取り出し、新しい処理液に入れ替えた。この操作を10回繰り返し、10回目の保管後の処理液を用いて、上記撥水性評価と同様の評価を行った。なお、基板としては、上記撥水性評価と同様の下処理を行ったSiNウエハを用いた。
保管前の接触角αに対する10回目の保管後の接触角αの変化率を算出し、以下の基準で評価を行った。変化率が小さいほど、容器を繰り返し使用しても、処理液の保管性能が劣化せず、収容容器のリサイクル性に優れる。
((保管前の撥水性評価の接触角α−保管後の撥水性評価の接触角α)÷保管前の撥水性評価の接触角α)×100
A:変化率が±7%以内
B:変化率が±7%超え±14%以内
C:変化率が±14%超え±20%以内
D:変化率が±20%超え
上記基準において、評価Cは、半導体製造工程における撥水性保護膜形成用処理液として要求されるレベルを達成している。
容器の内壁部材のテストピースを準備し、超純水で洗浄し、更にIPAで再度洗浄した後、十分に乾燥させた。このテストピース表面上に、超純水 約2μlを置き(滴下し)、超純水とテストピース表面とのなす角(接触角)を接触角計(協和界面科学社製「DM−701」)で測定した。ここで測定された接触角をθAとした。
容器の内壁部材のテストピースを準備し、超純水で洗浄し、更にIPAで再度洗浄した後、十分に乾燥させた。このテストピース表面上に、各処理液を約2μlを置き、各処理液とテストピース表面とのなす角(接触角θc)を、接触角計(協和界面科学社製「DM−701」)を用い、θ/2法により測定した。結果を表3に示す。
下記方法により、表5に記載の処理液に含有される総メタル含有率及び粒子性メタル含有率を測定した。結果を同表に示す。
清浄なガラス容器内へ超純水を計量投入し、メディアン径50nmの測定対象金属粒子を10000個/mlの濃度となるように添加した後、超音波洗浄機で30分間処理した分散液を輸送効率測定用の標準物質として用いた。
メーカー:PerkinElmer
型式:NexION350S
3)SP−ICP−MSの測定条件
SP−ICP−MSはPFA製同軸型ネブライザ、石英製サイクロン型スプレーチャンバ、石英製内径1mmトーチインジェクタを用い、測定対象液を約0.2mL/minで吸引した。酸素添加量は0.1L/min、プラズマ出力1600W、アンモニアガスによるセルパージを行った。時間分解能は50usにて解析を行った。
・イオン性メタル量と粒子性メタル量: ナノ粒子分析“SP−ICP−MS”専用Syngistix ナノアプリケーションモジュール
・総メタル量: Syngistix for ICP−MS ソフトウエア
<A> Poly-Si S.E.H AMERICA.
<B> Si0.5Ge0.5 Advanced materials technology Si/SiGe
<C> Si0.15Ge0.85 Advanced materials technology Si/SiGe
<D> Ge KST world corp. Si/Ge
<E> BDIII(Low-k) Advanced materials technology Bare Si/BDIII(k値は〜2.2)
Claims (30)
- 水分濃度が400質量ppm以下の有機溶媒と、表面処理剤とを含有する液体組成物が収容された収容部を具備する収容容器であって、前記収容部の内壁における少なくとも前記液体組成物に接触する部位は、水に対する接触角θが10度以上150度以下である収容容器。
- 前記表面処理剤がシラン化合物である、請求項1に記載の収容容器。
- 前記表面処理剤がシリル化剤である、請求項1又は2に記載の収容容器。
- 前記液体組成物が撥水性保護膜形成用組成物である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する前記部位は、前記液体組成物に接触した後における水に対する接触角をθBとし、前記接触前における水に対する接触角をθAとしたときの接触角の差|θB−θA|が、3度以上15度以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する前記部位は、前記液体組成物に対する接触角θCが90度未満である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記有機溶媒の水分濃度が200質量ppm以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記有機溶媒の水分濃度が0.01質量ppt〜100質量ppmである、請求項1〜7のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記液体組成物が収容された前記収容部における空隙部の割合が40〜0.01体積%である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記液体組成物が収容された前記収容部における空隙部を占める気体中の水分濃度が0.01質量ppt〜1質量ppmである、請求項1〜9のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記液体組成物は、Cu、Fe及びZnからなる金属種から選択される1種又は2種以上の金属原子を含有し、前記金属原子の少なくとも1種を含む粒子性メタルの合計の含有率が、前記液体組成物の全質量を基準として、0.01〜100質量pptである、請求項1〜10のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記粒子性メタルの質量が、SP−ICP−MS法により測定されたものである、請求項11に記載の収容容器。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、ポリエチレン及びポリプロピレンから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、請求項1〜12のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ステンレス、ハステロイ、インコネル、モネルから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、請求項1〜13のいずれか1項に記載の収容容器。
- 前記表面処理剤は、下記一般式[1]で表されるシリル化剤である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の収容容器。
(R1)aSi(H)bX1 4−a−b [1]
式中、
R1は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていてもよい炭素数1〜18の炭化水素基を含む1価の有機基を表す。R1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
X1は、ケイ素原子と結合する原子が窒素原子である1価の置換基、ケイ素原子と結合する原子が酸素原子である1価の置換基、ハロゲン原子、ニトリル基、および、−CO−NH−Si(CH3)3からなる群から選ばれる基又は原子を表す。X1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
aは1〜3の整数、bは0〜2の整数であり、aとbの合計は1〜3である。 - 水分濃度が400質量ppm以下の有機溶媒と、表面処理剤とを含有する液体組成物の保管方法であって、内壁の少なくとも一部が、水に対する接触角θが10度以上150度以下である部材から構成されている収容部を有する収容容器に前記液体組成物を収容することを含む、液体組成物の保管方法。
- 前記表面処理剤がシラン化合物である、請求項16に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記表面処理剤がシリル化剤である、請求項16又は17に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記液体組成物が撥水性保護膜形成用組成物である、請求項16〜18のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する前記部位は、前記液体組成物に接触する前における水に対する接触角をθAとし、前記液体組成物に接触した後における水に対する接触角をθBとしたときの接触角の差|θB−θA|が、3度以上15度以下である、請求項16〜19のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する前記部位は、前記液体組成物に対する接触角θCが90度未満である、請求項16〜20のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記有機溶媒の水分濃度が200質量ppm以下である、請求項16〜21のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記有機溶媒の水分濃度が0.01質量ppt〜100質量ppmである、請求項16〜22のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記液体組成物が収容された前記収容部における空隙部の割合が40〜0.01体積%である、請求項16〜23のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記液体組成物が収容された前記収容部における空隙部を占める気体中の水分濃度が0.01質量ppt〜1質量ppmである、請求項16〜24のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記液体組成物は、Cu、Fe及びZnからなる金属種から選択される1種又は2種以上の金属原子を含有し、前記金属原子の少なくとも1種を含む粒子性メタルの合計の含有率が、前記液体組成物の全質量を基準として、0.01〜100質量pptである、請求項16〜25のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記粒子性メタルの質量が、SP−ICP−MS法により測定されたものである、請求項26に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、ポリエチレン及びポリプロピレンから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、請求項16〜27のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記収容部の内壁における前記液体組成物に接触する部位の少なくとも一部が、ステンレス、ハステロイ、インコネル、モネルから選択される少なくとも1種を含有する材料から形成される、請求項16〜28のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
- 前記表面処理剤は、下記一般式[1]で表されるシリル化剤である、請求項16〜29のいずれか1項に記載の液体組成物の保管方法。
(R1)aSi(H)bX1 4−a−b [1]
式中、
R1は、一部または全ての水素原子がフッ素原子に置き換えられていてもよい炭素数1〜18の炭化水素基を含む1価の有機基を表す。R1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
X1は、ケイ素原子と結合する原子が窒素原子である1価の置換基、ケイ素原子と結合する原子が酸素原子である1価の置換基、ハロゲン原子、ニトリル基、および、−CO−NH−Si(CH3)3からなる群から選ばれる基又は原子を表す。X1が複数存在する場合には、同一でも異なっていてもよい。
aは1〜3の整数、bは0〜2の整数であり、aとbの合計は1〜3である。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016116837 | 2016-06-13 | ||
JP2016116837 | 2016-06-13 | ||
PCT/JP2017/021364 WO2017217320A1 (ja) | 2016-06-13 | 2017-06-08 | 液体組成物が収容された収容容器及び液体組成物の保管方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017217320A1 true JPWO2017217320A1 (ja) | 2019-03-14 |
JP6866368B2 JP6866368B2 (ja) | 2021-04-28 |
Family
ID=60663230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018523858A Active JP6866368B2 (ja) | 2016-06-13 | 2017-06-08 | 液体組成物が収容された収容容器及び液体組成物の保管方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11155717B2 (ja) |
JP (1) | JP6866368B2 (ja) |
KR (1) | KR102306472B1 (ja) |
TW (2) | TWI781939B (ja) |
WO (1) | WO2017217320A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7356041B2 (ja) * | 2018-10-12 | 2023-10-04 | セントラル硝子株式会社 | 液体組成物の保存方法および製品 |
CN116075780A (zh) * | 2020-09-08 | 2023-05-05 | 富士胶片株式会社 | 药液的供给方法、图案形成方法 |
WO2023136042A1 (ja) * | 2022-01-17 | 2023-07-20 | 富士フイルム株式会社 | 薬液、修飾基板の製造方法、積層体の製造方法、薬液収容体 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001220453A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-08-14 | Toray Ind Inc | 成形加工用二軸延伸ポリエステルフィルム |
JP2008192641A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Jsr Corp | 液浸露光用液体用容器 |
WO2013080832A1 (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | セントラル硝子株式会社 | 保護膜形成用薬液の調製方法 |
JP2013138178A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Central Glass Co Ltd | 保護膜形成用薬液の調製方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7838425B2 (en) | 2008-06-16 | 2010-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of treating surface of semiconductor substrate |
JP5533178B2 (ja) | 2009-04-24 | 2014-06-25 | セントラル硝子株式会社 | シリコンウェハ用洗浄剤 |
JP5446848B2 (ja) | 2009-01-21 | 2014-03-19 | セントラル硝子株式会社 | シリコンウェハ用洗浄剤 |
JP5482192B2 (ja) | 2009-01-21 | 2014-04-23 | セントラル硝子株式会社 | シリコンウェハ用洗浄剤 |
CA2749354A1 (en) | 2009-03-30 | 2010-10-14 | F. Hoffmann-La Roche Ag | A method for avoiding glass fogging |
-
2017
- 2017-06-08 JP JP2018523858A patent/JP6866368B2/ja active Active
- 2017-06-08 WO PCT/JP2017/021364 patent/WO2017217320A1/ja active Application Filing
- 2017-06-08 KR KR1020187037005A patent/KR102306472B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-12 TW TW106119378A patent/TWI781939B/zh active
- 2017-06-12 TW TW111137515A patent/TW202302808A/zh unknown
-
2018
- 2018-12-12 US US16/217,478 patent/US11155717B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001220453A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-08-14 | Toray Ind Inc | 成形加工用二軸延伸ポリエステルフィルム |
JP2008192641A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Jsr Corp | 液浸露光用液体用容器 |
WO2013080832A1 (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | セントラル硝子株式会社 | 保護膜形成用薬液の調製方法 |
JP2013138178A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Central Glass Co Ltd | 保護膜形成用薬液の調製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190008942A (ko) | 2019-01-25 |
JP6866368B2 (ja) | 2021-04-28 |
TWI781939B (zh) | 2022-11-01 |
TW201821583A (zh) | 2018-06-16 |
WO2017217320A1 (ja) | 2017-12-21 |
KR102306472B1 (ko) | 2021-09-29 |
TW202302808A (zh) | 2023-01-16 |
US20190112489A1 (en) | 2019-04-18 |
US11155717B2 (en) | 2021-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6032338B2 (ja) | 保護膜形成用薬液 | |
US9748092B2 (en) | Liquid chemical for forming protecting film | |
JP5288147B2 (ja) | 保護膜形成用薬液の調製方法 | |
TWI512846B (zh) | Water-based protective film formation liquid | |
US11155717B2 (en) | Storage container storing liquid composition and method for storing liquid composition | |
KR102349982B1 (ko) | 압송 용기 | |
JP2010192878A (ja) | シリコンウェハ用洗浄剤 | |
JP2012015335A (ja) | 保護膜形成用薬液、および、ウェハ表面の洗浄方法 | |
KR20140083046A (ko) | 보호막 형성용 약액의 조제 방법 | |
JP7277700B2 (ja) | 撥水性保護膜形成用薬液、及びウェハの表面処理方法 | |
CN111512418B (zh) | 表面处理剂和表面处理体的制造方法 | |
TWI461519B (zh) | A water-repellent protective film-forming agent, a liquid for forming a water-repellent protective film, and a method for cleaning the wafer using the liquid | |
TWI692675B (zh) | 撥水性保護膜形成用藥液、其調製方法、及表面處理體之製造方法 | |
CN111699546B (zh) | 拒水性保护膜形成剂和拒水性保护膜形成用化学溶液 | |
WO2019138870A1 (ja) | 撥水性保護膜形成用薬液、及びウェハの表面処理方法 | |
JP7397358B2 (ja) | 表面処理剤及び表面処理体の製造方法 | |
JP2023121003A (ja) | リンス液、基板の処理方法、及び半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210309 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210407 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6866368 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |