JPWO2017145700A1 - コンデンサ - Google Patents
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Abstract
本発明は、導電性多孔基材と、前記導電性多孔基材上に位置する誘電体層と、前記誘電体層上に位置する上部電極とを有して成り、導電性多孔基材の細孔内に、絶縁材料が存在することを特徴とするコンデンサを提供する。
Description
本発明は、コンデンサに関する。
近年、電子機器の高密度実装化に伴って、より高静電容量を有するコンデンサが求められている。このようなコンデンサとして、例えば、特許文献1には、多孔構造を有する金属基材上に、誘電体層が形成され、さらに誘電体層上に、上部電極が形成されたコンデンサが開示されている。このようなコンデンサは、基材の容積あたりの表面積が大きいため、静電容量形成部の面積を大きくすることができ、高静電容量を得ることができる。
特許文献1のように多孔構造を有する金属基材を利用したコンデンサは、細孔内に誘電体層および上部電極層を形成する必要があることから、これら誘電体層および上部電極層の厚みは非常に小さくなる。その結果、静電容量は大きくなるが、誘電体層および上部電極層の機械的強度は低くなり、クラックが生じたり、剥がれが生じたりする場合がある。図5に示すように、誘電体層101および上部電極層102にクラックや剥がれが生じると、金属基材103が細孔内部104に露出する。細孔は非常に小さく、露出部分105と上部電極層102の距離が近いことから、矢印で示すように、陰極(図5においては上部電極層102)から陽極(図5においては金属基材103)に向かって電子106が飛来し、リーク電流が生じ得る。
本発明の目的は、導電性多孔基材と、導電性多孔基材上に位置する誘電体層と、前記誘電体層上に位置する上部電極とを有して成るコンデンサにおいて、誘電体層および上部電極にクラックまたは剥がれが生じた場合であっても、リーク電流の発生が抑制されるコンデンサを提供することにある。
本発明者は、上記課題を解消すべく鋭意検討した結果、導電性多孔基材の細孔内に、絶縁材料を配置することにより、誘電体層および上部電極にクラックまたは剥がれが生じた場合であっても、リーク電流を抑制できることを見出し、本発明に至った。
本発明の要旨によれば、導電性多孔基材と、
前記導電性多孔基材上に位置する誘電体層と、
前記誘電体層上に位置する上部電極と、
を有して成り、
導電性多孔基材の細孔内において、上部電極上に、絶縁材料が存在することを特徴とするコンデンサが提供される。
前記導電性多孔基材上に位置する誘電体層と、
前記誘電体層上に位置する上部電極と、
を有して成り、
導電性多孔基材の細孔内において、上部電極上に、絶縁材料が存在することを特徴とするコンデンサが提供される。
一の態様において、導電性多孔基材の細孔の少なくとも一部が、絶縁材料により充填されていることを特徴とする、上記のコンデンサが提供される。
別の態様において、導電性多孔基材の細孔において、上部電極が、絶縁材料により被覆されていることを特徴とする上記のコンデンサが提供される。
本発明によれば、導電性多孔基材と、導電性多孔基材上に位置する誘電体層と、前記誘電体層上に位置する上部電極とを有して成るコンデンサにおいて、導電性多孔基材の細孔内に、絶縁材料を配置することにより、誘電体層および上部電極にクラックまたは剥がれが生じた場合であっても、リーク電流が生じにくいコンデンサが提供される。
以下、本発明のコンデンサについて、図面を参照しながら詳細に説明する。但し、本実施形態のコンデンサおよび各構成要素の形状および配置等は、図示する例に限定されない。
・第1の実施形態
本実施形態のコンデンサ1aの断面図を図1に、コンデンサ1aの細孔部分の断面図を図2に模式的に示す。尚、図1において、誘電体層4および上部電極5は、簡単のため、1つの層として記載している。本実施形態のコンデンサ1は、略直方体形状を有しており、図1および図2に示されるように、概略的には、導電性多孔基材2と、導電性多孔基材2上に形成された誘電体層4と、誘電体層4上に形成された上部電極5と、細孔3内に絶縁材料から形成された充填部6とを有して成る。コンデンサ1aは、さらにコンデンサ1aの上面(導電性多孔基材2の細孔が存在する側の面、図1において上側面)上に第1外部電極8、および下面(導電性多孔基材2の細孔が存在しない主表面、図1において下側面)上に第2外部電極9を備える。導電性多孔基材2は、誘電体層4を介して上部電極5と向かい合っており、静電容量形成部を構成する。導電性多孔基材2および上部電極5間に電圧を印加することにより、誘電体層4に電荷を蓄積することができる。
本実施形態のコンデンサ1aの断面図を図1に、コンデンサ1aの細孔部分の断面図を図2に模式的に示す。尚、図1において、誘電体層4および上部電極5は、簡単のため、1つの層として記載している。本実施形態のコンデンサ1は、略直方体形状を有しており、図1および図2に示されるように、概略的には、導電性多孔基材2と、導電性多孔基材2上に形成された誘電体層4と、誘電体層4上に形成された上部電極5と、細孔3内に絶縁材料から形成された充填部6とを有して成る。コンデンサ1aは、さらにコンデンサ1aの上面(導電性多孔基材2の細孔が存在する側の面、図1において上側面)上に第1外部電極8、および下面(導電性多孔基材2の細孔が存在しない主表面、図1において下側面)上に第2外部電極9を備える。導電性多孔基材2は、誘電体層4を介して上部電極5と向かい合っており、静電容量形成部を構成する。導電性多孔基材2および上部電極5間に電圧を印加することにより、誘電体層4に電荷を蓄積することができる。
コンデンサ1aにおいては、細孔内に絶縁材料が充填されていることから、誘電体層および上部電極のクラックまたは剥がれを抑制することができ、さらに誘電体層および上部電極にクラックまたは剥がれが生じた場合であっても、上部電極表面からの電子の放出を防止することができ、リーク電流の発生を抑制することができる。
上記導電性多孔基材2は、多孔構造を有する多孔部10を有し、表面が導電性であれば、その材料および構成は限定されない。例えば、導電性多孔基材としては、多孔質金属基材、または、多孔質シリカ材料、多孔質炭素材料もしくは多孔質セラミック焼結体の表面に導電性の層を形成した基材等が挙げられる。好ましい態様において、導電性多孔基材は、多孔質金属基材である。
上記多孔質金属基材を構成する金属としては、例えば、アルミニウム、タンタル、ニッケル、銅、チタン、ニオブおよび鉄の金属、ならびにステンレス、ジュラルミン等の合金等が挙げられる。一の態様において、多孔質金属基材は、アルミニウムまたはニッケル多孔基材、特にアルミニウム多孔基材であり得る。
多孔部10における空隙率は、好ましくは20%以上、より好ましくは30%以上、さらに好ましくは50%以上、さらにより好ましくは60%以上であり得る。空隙率を大きくすることにより、コンデンサの静電容量をより大きくすることができる。また、機械的強度を高める観点からは、多孔部10の空隙率は、好ましくは90%以下、より好ましくは80%以下であり得る。
本明細書において、「空隙率」とは、導電性多孔基材において空隙が占める割合を言う。当該空隙率は、下記のようにして測定することができる。尚、上記導電性多孔基材の空隙は、コンデンサを作製するプロセスにおいて、最終的に誘電体層および上部電極などで充填され得るが、上記「空隙率」は、このように充填された物質は考慮せず、充填された箇所も空隙とみなして算出する。
まず、導電性多孔基材を、FIB(集束イオンビーム:Focused Ion Beam)マイクロサンプリング法で加工し60nm以下の厚みの薄片試料に加工する。なお、FIB加工時に形成された試料表面のダメージ層は、Arイオンミリングによって除去する。この薄片試料の所定の領域(3μm×3μm)を、STEM(走査透過型電子顕微鏡:Scanning Transmission Electron Microscope)−EDS(エネルギー分散型X線分析:Energy dispersive X-ray spectrometry)マッピング分析で測定する。マッピング測定視野内において、導電性多孔基材が存在する面積を求める。そして、下記等式から空隙率を計算することができる。この測定を任意の3箇所で行い、測定値の平均値を空隙率とする。
空隙率(%)=((測定面積−導電性多孔基材が存在する面積)/測定面積)×100
空隙率(%)=((測定面積−導電性多孔基材が存在する面積)/測定面積)×100
多孔部10は、特に限定されないが、好ましくは30倍以上10,000倍以下、より好ましくは50倍以上5,000倍以下、例えば200倍以上600倍以下の拡面率を有する。ここに、拡面率とは、単位投影面積あたりの表面積を意味する。単位投影面積あたりの表面積は、BET比表面積測定装置を用いて、液体窒素温度における窒素の吸着量から求めることができる。
一の態様において、多孔部の細孔の平均孔径は、特に限定されないが、好ましくは10nm以上10μm以下であり、より好ましくは100nm以上1.0μm以下、さらに好ましくは150nm以上500nm以下であり得る。細孔の平均孔径をより大きくすることにより、細孔内の各層の形成、絶縁材料の充填等が容易にあなる。また、細孔の平均孔径をより小さくすることにより、多孔部における細孔の数を増やすことができ、拡面率を大きくすることができ、静電容量をより大きくすることができる。細孔の平均孔径が小さいほど、対向する面が近くなるので、誘電体層にクラックが生じた場合にリーク電流が生じ易くなる。従って、リーク電流を抑制できる本発明は、細孔の平均孔径が小さい場合に、より有効である。
多孔部の細孔の平均孔径は、ガス吸着法により測定することができる。具体的には、ガスを細孔表面に物理的に吸着させ、その吸着量と相対圧との関係から細孔分布を測定することができる。上記ガスとしては、典型的には、窒素が用いられる。
上記導電性多孔基材2には、低空隙率部12が存在する。本明細書において、「低空隙率部」とは、多孔部と比較して、空隙率が低い部分を意味する。図1においては、低空隙率部12は、導電性多孔基材2の左右に示されているが、低空隙率部12は、多孔部10を取り囲むように存在している。即ち、図面奥および手前にも存在する。低空隙率部12は、多孔部10よりも空隙率が小さい領域である。尚、低空隙率部12には、細孔が存在しなくてもよい。
低空隙率部12は、コンデンサの機械的強度の向上に寄与する。低空隙率部12の空隙率は、機械的強度を高める観点から、多孔部10の空隙率の60%以下の空隙率であることが好ましく、多孔部10の空隙率の50%以下の空隙率であることがより好ましい。例えば、低空隙率部12の空隙率は、20%以下であることが好ましく、10%以下であることがより好ましい。また、低空隙率部12の空隙率は、0%であってもよい。即ち、低空隙率部は、多孔構造を有していてもよく、有していなくてもよい。低空隙率部の空隙率が低いほど、コンデンサの機械的強度が向上する。
低空隙率部12は、好ましくは導電性多孔基材2の5体積%以上50体積%以下、より好ましくは8体積%以上40体積%以下、さらに好ましくは10体積%以上35体積%以下、例えば15体積%以上30体積%以下、20体積%以上30体積%以下存在し得る。低空隙率部12が、5体積%以上存在することにより、コンデンサの機械的強度がより向上する。また、低空隙率部12を50体積%以下とすることにより、コンデンサの静電容量をより大きくすることができる。
尚、本実施形態の導電性多孔基材2は低空隙率部12を有しているが、低空隙率部は必須の要素ではない。また、低空隙率部12を設ける場合にも、その存在位置、設置数、大きさ、形状等は特に限定されない。
本実施形態のコンデンサ1aにおいて、導電性多孔基材2上には、誘電体層4が形成されている。
上記誘電体層4を形成する材料は、絶縁性であれば特に限定されないが、好ましくは、AlOx(例えば、Al2O3)、SiOx(例えば、SiO2)、AlTiOx、SiTiOx、HfOx、TaOx、ZrOx、HfSiOx、ZrSiOx、TiZrOx、TiZrWOx、TiOx、SrTiOx、PbTiOx、BaTiOx、BaSrTiOx、BaCaTiOx、SiAlOx等の金属酸化物;AlNx、SiNx、AlScNx等の金属窒化物;またはAlOxNy、SiOxNy、HfSiOxNy、SiCxOyNz等の金属酸窒化物が挙げられ、AlOx、SiOx、SiOxNy、HfSiOxが好ましい。尚、上記の式は、単に材料の構成を表現するものであり、組成を限定するものではない。即ち、OおよびNに付されたx、yおよびzは0より大きい任意の値であってもよく、金属元素を含む各元素の存在比率は任意である。
誘電体層4は、1つの誘電体層から形成されていてもよく、2つ以上の誘電体層から形成されていてもよい。即ち、誘電体層は、単層であっても、多層であってもよい。多層である場合、各層は別個の材料から形成されていてもよい。
誘電体層4の厚みは、特に限定されないが、例えば5nm以上100nm以下が好ましく、10nm以上50nm以下がより好ましい。誘電体層の厚みを5nm以上とすることにより、絶縁性を高めることができ、漏れ電流をより小さくすることができる。また、誘電体層の厚みを100nm以下とすることにより、より大きな静電容量を得ることができる。
上記誘電体層は、好ましくは、気相法、例えば真空蒸着法、化学蒸着(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、スパッタ法、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法、パルスレーザー堆積法(PLD:Pulsed Laser Deposition)等により形成される。導電性多孔基材の細孔の細部にまでより均質で緻密な膜を形成できることから、CVD法またはALD法がより好ましく、ALD法が特に好ましい。
本実施形態のコンデンサ1aにおいて、上記誘電体層4上には、上部電極5が形成されている。尚、本発明において、上部電極とは、細孔内に存在する電極層のうち、細孔の最も内側に存在する電極層(導電性基材から最も遠い電極層)を意味する。
上部電極5を構成する材料は、導電性であれば特に限定されないが、Ni、Cu、Al、W、Ti、Ag、Au、Pt、Zn、Sn、Pb、Fe、Cr、Mo、Ru、Pd、Taおよびそれらの合金、例えばCuNi、AuNi、AuSn、ならびにTiN、TiAlN、TiON、TiAlON、TaN等の金属窒化物、金属酸窒化物、導電性高分子(例えば、PEDOT(ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン))、ポリピロール、ポリアニリン)などが挙げられ、TiNまたはTiAlNが好ましく、TiNがより好ましい。
上部電極5は、1つの上部電極層から形成されていてもよく、2つ以上の上部電極層から形成されていてもよい。即ち、上部電極は、単層であっても、多層であってもよい。多層である場合、各層は別個の材料から形成されていてもよい。
上部電極5の厚みは、特に限定されないが、例えば3nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましい。上部電極の厚みを3nm以上とすることにより、上部電極自体の抵抗を小さくすることができる。
上部電極5を形成する方法は、誘電体層を被覆することができる方法であれば特に限定されず、例えば、ALD法、CVD法、めっき、バイアススパッタ、Sol−Gel法、導電性高分子充填などの方法が挙げられる。多孔部材の細孔の細部にまでより均質で緻密な膜を形成できることから、CVD法またはALD法がより好ましく、ALD法が特に好ましい。
本実施形態のコンデンサ1aにおいて、細孔3内には、充填部6が存在する。
上記充填部6は、絶縁材料から構成され、絶縁材料を細孔に充填することにより形成される。
上記絶縁材料としては、絶縁性を有する材料であれば特に限定されない。絶縁材料の比抵抗は、好ましくは1×1012Ω・cm以上、より好ましくは1×1014Ω・cm以上である。
上記絶縁材料としては、例えば、樹脂材料または絶縁性無機材料が挙げられ、具体的には、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、シラン架橋性樹脂、AlOx(例えば、Al2O3)、SiOx(例えば、SiO2)、SiN等が挙げられる。
細孔を充填する場合、充填される絶縁材料としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂材料が好ましく、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂がより好ましい。
一の態様において、充填される絶縁材料は、エポキシ樹脂である。エポキシ樹脂を充填することにより、コンデンサの衝撃耐性を高めることができる。
別の態様において、充填される絶縁材料は、シリコン含有材料、例えばシリコーン樹脂である。シリコン含有材料は、充填性に優れ、また、硬化収縮が少ないため、硬化時のボイドの発生を抑制することができる。
絶縁材料の充填率は、多孔部の細孔全体に対して、好ましくは50体積%以上、より好ましくは80体積%以上、さらに好ましくは90体積%以上、さらにより好ましくは95体積%以上、例えば98体積%以上または99体積%以上、最も好ましくは実質的に100体積%であり、即ち、多孔部の細孔が、絶縁材料により実質的に完全に充填されている。
本明細書において、「充填率」とは、多孔部の空隙における絶縁材料が占める割合を言う。当該充填率は、下記のようにして測定することができる。尚、上記多孔部の空隙は、誘電体層および上部電極等が形成された後(充填部が形成されていない状態)の空隙を意味する。具体的には、下記のようにして算出する。
まず、コンデンサを、FIBマイクロサンプリング法で加工し60nm以下の厚みの薄片試料に加工する。この薄片試料の所定の領域(3μm×3μm)を、STEM−EDSマッピング分析で測定する。マッピング測定視野内において、充填部が存在しないとした場合の多孔部の空隙の面積を求める。次いで、細孔内の絶縁材料が存在する面積を求める。そして、下記等式から充填率を計算することができる。この測定を任意の3箇所で行い、測定値の平均値を充填率とする。
充填率(%)=(絶縁材料が存在する面積/多孔部の空隙の面積)×100
充填率(%)=(絶縁材料が存在する面積/多孔部の空隙の面積)×100
絶縁材料の細孔への充填方法は、特に限定されないが、例えば、ディップ法、ディスペンサ法等が挙げられる。好ましい態様において、ディップ法またはディスペンサ法のあと、真空脱泡して充填するのが好ましい。
本実施形態において、コンデンサ1aの上面には第1外部電極8が、下面には第2外部電極9が形成されている。
上記第1外部電極8および第2外部電極9を構成する材料は、特に限定されないが、例えば、Au、Pb、Pd、Ag、Sn、Ni、Cu、Ti等の金属およびこれらの合金、ならびに導電性高分子などが挙げられる。第1外部電極8および第2外部電極9の形成方法は、特に限定されず、例えばCVD法、電解めっき、無電解めっき、蒸着、スパッタ、導電性ペーストの焼き付け等を用いることができ、電解めっき、無電解めっき、蒸着、スパッタ等が好ましい。
尚、コンデンサ1aにおいては、上記第1外部電極8および第2外部電極9は、コンデンサの主表面全体に設置しているが、これに限定されず、各面の一部のみに、任意の形状および大きさで設置することができる。また、上記第1外部電極8および第2外部電極9は、必須の要素ではなく、存在しなくてもよい。存在しない場合、上部電極5が第1外部電極としても機能し、導電性多孔基材2が第2外部電極としても機能する。即ち、上部電極5と導電性多孔基材2とが一対の電極として機能してもよい。この場合、上部電極5がアノードとして機能し、導電性多孔基材2がカソードとして機能してもよい。あるいは、上部電極5がカソードとして機能し、導電性多孔基材2がアノードとして機能してもよい。
・第2の実施形態
本実施形態のコンデンサ1bの細孔部分の断面図を図3に模式的に示す。
本実施形態のコンデンサ1bの細孔部分の断面図を図3に模式的に示す。
本実施形態のコンデンサ1bは、絶縁材料が、細孔を埋めるように充填されず、細孔3内において、上部電極を覆うように層状に存在する点で上記コンデンサ1aと異なる。即ち、コンデンサ1bにおいて、上部電極5上に絶縁層15が形成されている。
コンデンサ1bにおいては、上部電極が絶縁層で覆われていることから、誘電体層および上部電極にクラックまたは剥がれが生じた場合であっても、上部電極表面からの電子の放出を防止することができ、リーク電流の発生を抑制することができる。
絶縁層15を構成する絶縁材料としては、絶縁性無機材料、例えばAlOx(例えば、Al2O3)、SiOx(例えば、SiO2)等が好ましい。
絶縁層15の厚みは、特に限定されないが、例えば5nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましい。絶縁層15の厚みを5nm以上とすることにより、絶縁性を高めることができ、リーク電流をより抑制することができる。絶縁層15の厚みの上限は特に限定されず、例えば100nm以下または50nm以下であってもよい。
上記絶縁層15は、好ましくは、気相法、例えば真空蒸着法、CVD法、スパッタ法、ALD法、PLD法等により形成される。導電性多孔基材の細孔の細部にまでより均質で緻密な膜を形成できることから、CVD法またはALD法がより好ましく、ALD法が特に好ましい。
・第3の実施形態
本実施形態のコンデンサ1cの細孔部分の断面図を図4に模式的に示す。
本実施形態のコンデンサ1cの細孔部分の断面図を図4に模式的に示す。
本実施形態のコンデンサ1cは、絶縁材料が、上部電極を覆うように層状に存在し、さらに細孔を埋めるように充填されている点で上記コンデンサ1aおよび1bと異なる。即ち、コンデンサ1cにおいて、細孔3内において、上部電極5上に絶縁層15が形成され、さらに充填部6が形成されている。コンデンサ1cは、コンデンサ1aおよび1bの両方の特徴を組み合わせたものであると言える。
コンデンサ1cにおいては、上部電極が絶縁層で覆われており、さらに細孔が絶縁材料により充填されていることから、誘電体層および上部電極のクラックまたは剥がれを抑制することができ、さらに誘電体層および上部電極にクラックまたは剥がれが生じた場合であっても、上部電極表面からの電子の放出を防止することができ、リーク電流の発生をより抑制することができる。
コンデンサ1cにおいて、充填部6および絶縁層15は、それぞれ、上記したコンデンサ1aおよびコンデンサ1bの充填部6および絶縁層15と同様のものであり、また、同様に形成することができる。
以上、本実施形態のコンデンサ1a〜1cについて説明したが、本発明のコンデンサは、種々の改変が可能である。
例えば、上記実施形態において、コンデンサは略直方体形状であるが、本発明はこれに限定されない。本発明のコンデンサは、任意の形状とすることができ、例えば、平面形状が円状、楕円状、また角が丸い四角形等であってもよい。
また、上記実施形態においては、導電性多孔基材2は、一方の主面にのみ多孔部を有するが、本発明はこれに限定されない。即ち、多孔部は2つの主面に存在してもよい。また、多孔部の存在位置、設置数、大きさ、形状等は、特に限定されない。
一の態様において、本発明のコンデンサは、導電性多孔基材と上部電極の間に誘電体層が存在していればよく、上記実施形態に示した層以外の層が存在してもよい。
例えば一の態様において、導電性多孔基材と誘電体層の間に他の層が存在してもよい。
別の態様において、誘電体層と上部電極の間に他の層が存在してもよい。
別の態様において、誘電体層と上部電極の間に、さらに電極層および誘電体層が存在してもよい。
実施例1および2、および比較例1
多孔部の平均細孔径が約200nmである空隙率42.5%のアルミニウムエッチング箔を準備した。アルミニウムエッチング箔の空隙率は、以下のようにして測定した。
多孔部の平均細孔径が約200nmである空隙率42.5%のアルミニウムエッチング箔を準備した。アルミニウムエッチング箔の空隙率は、以下のようにして測定した。
アルミニウムエッチング箔を、集束イオンビーム装置(エスアイアイ・ナノテクノロジーズ株式会社製、SM13050SE)によるFIBマイクロサンプリング法で加工することにより、アルミニウムエッチング箔の断面を露出させた。FIBマイクロサンプリング法で多孔部の断面TEM観察試料を作製し、断面の任意の場所3箇所を50000倍の倍率でSTEM−EDSマッピング写真を撮り、その写真から空隙部分の面積を測定し、全体の面積に対する空隙部分の面積を求めた。3箇所の測定結果の平均値を空隙率とした。なお、FIB加工時に形成された試料表面のダメージ層は、Arイオンミリングによって除去した。
上記のアルミニウムエッチング箔を3枚に切り分け、それぞれを箔A(実施例1)、箔B(実施例2)、箔C(比較例1)とした。
これらのアルミニウムエッチング箔に対し、トリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)ガス、および水蒸気(H2O)ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、箔上に、厚みが15nmのAl2O3層を形成した。次いで、トリスジメチルアミノシラン(SiH[N(CH3)2]3)、およびオゾン/酸素(O3/O2)混合ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、Al2O3層上に、厚みが10nmのSiO2層を形成した。これらの層を誘電体層とした。
次に、TiCl4(四塩化チタン)ガス、およびアンモニア(NH3)ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、誘電体層上に、上部電極層として、厚みが10nmのTiN層を形成した。
次に、箔Aに対して、TiN層の上に、さらにALD法により、約4nmのSiO2層を形成した。
その後、箔Aおよび箔Bに対して、ディップ法にてポジ型感光性エポキシ樹脂を塗布し、真空脱泡により、多孔部にエポキシ樹脂を充填した。次いで、95℃で仮乾燥を行い、紫外線露光およびアルカリ現像を行い、基材上に残っている余分なエポキシ樹脂を除去した後に、150℃でエポキシ樹脂の硬化を行い、細孔内に充填部を形成した。
その後、箔Aの表面に露出したSiO2を、5%希釈フッ酸を用いて除去した。
最後に、箔A、箔Bおよび箔Cに対して、スパッタ工法により、外部電極としてのTi/Cu層を形成し、個々のコンデンサに切り分けて試料を作製した。
実施例1(箔A)のコンデンサは、細孔において、上部電極がSiO2層により覆われており、さらに細孔の内部がエポキシ樹脂で充填されている。実施例2(箔B)のコンデンサは、上部電極の上にSiO2層を有しないが、細孔の内部がエポキシ樹脂で充填されている。比較例1(箔C)のコンデンサは、上部電極の上にSiO2層を有さず、さらに細孔の内部は充填されていない。
(評価)
・耐電圧試験
それぞれ、試料100個について、耐電圧の評価を行った。具体的には、試料の外部電極間に電圧を印加し、3〜5Vの範囲において急激に流れる電流値が大きくなる試料の割合を調べた。即ち、リーク電流が生じる試料の割合を調べた。結果を下記表に示す。
・耐電圧試験
それぞれ、試料100個について、耐電圧の評価を行った。具体的には、試料の外部電極間に電圧を印加し、3〜5Vの範囲において急激に流れる電流値が大きくなる試料の割合を調べた。即ち、リーク電流が生じる試料の割合を調べた。結果を下記表に示す。
上記の結果から、細孔内に絶縁材料が存在する実施例1および2は、リーク電流の発生頻度が小さいことが確認された。特に、上部電極上に絶縁層を形成し、さらに細孔内に充填部を形成した実施例1は、リーク電流の発生頻度が非常に小さかった。
実施例3および比較例2
多孔部の平均細孔径が約200nmである空隙率42.8%のアルミニウムエッチング箔を準備した。アルミニウムエッチング箔の空隙率は、上記と同様にして測定した。アルミニウムエッチング箔を2枚に切り分け、それぞれを箔D(実施例3)および箔E(比較例2)とした。
多孔部の平均細孔径が約200nmである空隙率42.8%のアルミニウムエッチング箔を準備した。アルミニウムエッチング箔の空隙率は、上記と同様にして測定した。アルミニウムエッチング箔を2枚に切り分け、それぞれを箔D(実施例3)および箔E(比較例2)とした。
これらのアルミニウムエッチング箔に対し、トリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)ガス、および水蒸気(H2O)ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、箔上に厚みが15nmのAl2O3層を形成した。次いで、トリスジメチルアミノシラン(SiH[N(CH3)2]3)、およびオゾン/酸素(O3/O2)混合ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、Al2O3層上に、厚みが10nmのSiO2層を形成した。さらに、テトラキスジメチルアミノハフニウム(TDMAHf)、およびオゾン/酸素(O3/O2)混合ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、SiO2層上に、厚みが5nmのHfO2層を形成した。これらの層を誘電体層とした。
次に、Ru(EtCp)2(シクロペンタジエニルルテニウム)ガス、および酸素(O2)ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、誘電体層上に、上部電極層として、厚みが10nmのRu層を形成した。
次に、箔Dに対して、Ru層の上に、さらにALD法にて、厚みが約5nmのAl2O3層を形成した。
その後、箔Dに対して、ディップ法にてポジ型感光性レジスト(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製 AZ6124)を塗布し、真空脱泡により、多孔部にレジストを充填した。次いで、110℃で仮乾燥を行い、紫外線露光およびアルカリ現像を行い、基材上に残っている余分なレジストを除去し、表面のAl2O3層を露出させた。その後、表面に露出したAl2O3層を、5%希釈フッ酸を用いて除去した。さらにアセトンに浸漬することによって、細孔内のレジスト除去を行った。
最後に、箔Dおよび箔Eに対して、スパッタ工法により、外部電極としてのTi/Cu層を形成し、個々のコンデンサに切り分けて試料を作製した。
実施例3(箔D)のコンデンサは、細孔において、上部電極がAl2O3により覆われており、細孔の内部は充填されていない。比較例2(箔E)のコンデンサは、上部電極上にAl2O3層を有さず、さらに細孔の内部は充填されていない。
(評価)
・耐電圧試験
それぞれ、試料100個について、耐電圧の評価を行った。具体的には、試料の外部電極間に電圧を印加し、3〜5Vの範囲において急激に流れる電流値が大きくなる試料の割合を調べた。即ち、リーク電流が生じる試料の割合を調べた。結果を下記表に示す。
・耐電圧試験
それぞれ、試料100個について、耐電圧の評価を行った。具体的には、試料の外部電極間に電圧を印加し、3〜5Vの範囲において急激に流れる電流値が大きくなる試料の割合を調べた。即ち、リーク電流が生じる試料の割合を調べた。結果を下記表に示す。
上記の結果から、細孔内において上部電極がAl2O3層により被覆されている実施例3は、リーク電流の発生頻度が小さいことが確認された。
実施例4および比較例3
多孔部の平均細孔径が約200nmである空隙率42.3%のアルミニウムエッチング箔を準備した。アルミニウムエッチング箔の空隙率は、上記と同様にして測定した。アルミニウムエッチング箔を2枚に切り分け、それぞれを箔F(実施例4)および箔G(比較例3)とした。
多孔部の平均細孔径が約200nmである空隙率42.3%のアルミニウムエッチング箔を準備した。アルミニウムエッチング箔の空隙率は、上記と同様にして測定した。アルミニウムエッチング箔を2枚に切り分け、それぞれを箔F(実施例4)および箔G(比較例3)とした。
これらのアルミニウムエッチング箔に対し、テトラキスジメチルアミノハフニウム(TDMAHf)、およびオゾン/酸素(O3/O2)混合ガスを交互に供給する工程と、トリスジメチルアミノシラン(SiH[N(CH3)2]3)、およびオゾン/酸素(O3/O2)混合ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、誘電体層として、厚みが25nmのHfO2/SiO2の超格子の層を形成した。
次に、Ru(EtCp)2(シクロペンタジエニルルテニウム)ガス、および酸素(O2)ガスを交互に供給する工程を所定回数繰り返すALD法により、誘電体層上に、上部電極層として、厚みが10nmのRu層を形成した。
次に、箔Fに対して、ディップ法にてシラン架橋性樹脂を塗布し、真空脱泡により、多孔部にシラン系コート剤を充填し、250℃で硬化させた。
その後、5%希釈フッ酸を用いて、箔の表面近傍のRu電極を露出させた。
最後に、箔Fおよび箔Gに対して、スパッタ工法により、外部電極としてのTi/Cu層を形成し、個々のコンデンサに切り分けて試料を作製した。
実施例4(箔F)のコンデンサは、細孔がシラン架橋性樹脂により充填されている。比較例3(箔G)のコンデンサは、細孔が充填されていない。
(評価)
・耐電圧試験
それぞれ、試料100個について、耐電圧の評価を行った。具体的には、試料の外部電極間に電圧を印加し、3〜5Vの範囲において急激に流れる電流値が大きくなる試料の割合を調べた。即ち、リーク電流が生じる試料の割合を調べた。結果を下記表に示す。
・耐電圧試験
それぞれ、試料100個について、耐電圧の評価を行った。具体的には、試料の外部電極間に電圧を印加し、3〜5Vの範囲において急激に流れる電流値が大きくなる試料の割合を調べた。即ち、リーク電流が生じる試料の割合を調べた。結果を下記表に示す。
上記の結果から、細孔内がシラン架橋性樹脂により充填されている実施例4は、リーク電流の発生頻度が小さいことが確認された。
本発明のコンデンサは、信頼性が高いので、種々の電子機器に好適に用いられる。
1a〜1c…コンデンサ;2…導電性多孔基材;3…細孔;4…誘電体層;
5…上部電極;6…充填部;8…第1外部電極;9…第2外部電極;
10…多孔部;12…低空隙率部;15…絶縁層;101…誘電体層;
102…上部電極層;103…金属基材;104…細孔内部;
105…露出部分;106…電子
5…上部電極;6…充填部;8…第1外部電極;9…第2外部電極;
10…多孔部;12…低空隙率部;15…絶縁層;101…誘電体層;
102…上部電極層;103…金属基材;104…細孔内部;
105…露出部分;106…電子
Claims (7)
- 導電性多孔基材と、
前記導電性多孔基材上に位置する誘電体層と、
前記誘電体層上に位置する上部電極と、
を有して成り、
導電性多孔基材の細孔内において、上部電極上に、絶縁材料が存在することを特徴とするコンデンサ。 - 前記絶縁材料が、樹脂材料または絶縁性無機材料であることを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ。
- 前記導電性多孔基材の細孔の少なくとも一部が、前記絶縁材料により充填されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のコンデンサ。
- 前記絶縁材料が、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂であることを特徴とする、請求項3に記載のコンデンサ。
- 前記絶縁材料が、シリコン含有材料であることを特徴とする、請求項3に記載のコンデンサ。
- 前記導電性多孔基材の細孔において、前記上部電極が、前記絶縁材料により被覆されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のコンデンサ。
- 前記絶縁材料が、Al2O3またはSiO2であることを特徴とする、請求項6に記載のコンデンサ。
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