JPWO2016194501A1 - 固体撮像素子、撮像装置、及び、固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(A)第1の実施形態:
(B)第2の実施形態:
(C)第3の実施形態:
図1は、本実施形態に係る固体撮像素子100の構造を説明する図である。
これら複数の画素Phは、受光面10の光軸中心11cからの離間度合に応じて段差部41Gの段差幅が徐々に増加する構成となっている。すなわち、光軸中心に近い画素Phから順に、段差部41Gの段差幅は、d1、d2、d3、d4、d5、d6となっており、これら段差幅は、d1<d2<d3<d4<d5<d6、の大小関係を有している。
読み出し走査とは、信号を読み出す単位画素を順に選択する走査である。読み出し走査は、基本的には行単位で順に行われるが、所定の位置関係にある複数画素の出力を加算もしくは加算平均することにより画素の間引きを行う場合は、所定の順番により行われる。
次に、上述した第1の実施形態に係る固体撮像素子を含んで構成される撮像装置200について説明する。図15は、本実施形態に係る撮像装置の機能構成の一例を説明する図である。
以下、上述した固体撮像素子300を製造するための製造方法の一例について説明する。図21〜図26は、固体撮像素子300の製造方法の各工程における固体撮像素子300の要部を示す図である。なお、本実施形態では、上述した裏面照射型のCMOSイメージセンサーの製造方法を示してある。
まず、図21に示すように、半導体基板301の画素領域を形成すべき領域に、各画素に対応させて光電変換部としてのフォトダイオードPDをそれぞれ形成する第1工程を行う。
Vapor Deposition)法、メッキ処理等により行われる。これにより、上述したアルミニウム等の金属膜が層間絶縁膜321の全面に形成される。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方で位置が互いに異なる第1縁部と第2縁部とを有する、固体撮像素子。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、その途中に段差部を有する、固体撮像素子。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、
前記画素は、本固体撮像素子の画隅部分に形成されており、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方と異なる第3方向に前記光電変換部の受光面上を通過する、固体撮像素子。
前記第3方向は、本固体撮像素子の受光面の光軸中心から延びる放射線に沿う方向である、前記(3)に記載の固体撮像素子。
前記縁部は、前記放射線に沿う方向と異なる方向線の組み合わせによりジグザグに形成されている、前記(4)に記載の固体撮像素子。
本固体撮像素子は、複数の画素を有し、
前記遮光部を有する画素は、2つ一組で設けられており、
当該2つ一組の各画素の遮光部は、画素の受光面の互いに異なる範囲を遮光する形状である、前記(1)〜前記(5)の何れか1項に記載の固体撮像素子。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方で位置が互いに異なる第1縁部と第2縁部とを有する、固体撮像素子と、
前記画素が生成する信号に基づいて位相差検出による合焦判定を行う合焦判定部と、を具備する撮像装置。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、前記縁部は、その途中に段差部を有する、固体撮像素子と、
前記画素が生成する信号に基づいて位相差検出による合焦判定を行う合焦判定部と、を具備する撮像装置。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、前記画素は、本固体撮像素子の画隅部分に形成されており、前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方と異なる第3方向に前記光電変換部の受光面上を通過する、固体撮像素子と、
前記画素が生成する信号に基づいて位相差検出による合焦判定を行う合焦判定部と、を具備する撮像装置。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を形成する工程を含み、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方で位置が互いに異なる第1縁部と第2縁部とを有する、固体撮像素子の製造方法。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を形成する工程を含み、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、その途中に段差部を有する、固体撮像素子の製造方法。
被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を形成する工程を含み、
前記画素は、本固体撮像素子の画隅部分に形成されており、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方と異なる第3方向に前記光電変換部の受光面上を通過する、固体撮像素子の製造方法。
Claims (12)
- 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方で位置が互いに異なる第1縁部と第2縁部とを有する、固体撮像素子。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、その途中に段差部を有する、固体撮像素子。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、
前記画素は、本固体撮像素子の画隅部分に形成されており、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方と異なる第3方向に前記光電変換部の受光面上を通過する、固体撮像素子。 - 前記第3方向は、本固体撮像素子の受光面の光軸中心から延びる放射線に沿う方向である、請求項3に記載の固体撮像素子。
- 前記縁部は、前記放射線に沿う方向と異なる方向線の組み合わせによりジグザグに形成されている、請求項4に記載の固体撮像素子。
- 本固体撮像素子は、複数の画素を有し、
前記遮光部を有する画素は、2つ一組で設けられており、
当該2つ一組の各画素の遮光部は、画素の受光面の互いに異なる範囲を遮光する形状である、請求項5に記載の固体撮像素子。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方で位置が互いに異なる第1縁部と第2縁部とを有する、固体撮像素子と、
前記画素が生成する信号に基づいて位相差検出による合焦判定を行う合焦判定部と、を具備する撮像装置。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、前記縁部は、その途中に段差部を有する、固体撮像素子と、
前記画素が生成する信号に基づいて位相差検出による合焦判定を行う合焦判定部と、を具備する撮像装置。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を備え、前記画素は、本固体撮像素子の画隅部分に形成されており、前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方と異なる第3方向に前記光電変換部の受光面上を通過する、固体撮像素子と、
前記画素が生成する信号に基づいて位相差検出による合焦判定を行う合焦判定部と、を具備する撮像装置。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を形成する工程を含み、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方で位置が互いに異なる第1縁部と第2縁部とを有する、固体撮像素子の製造方法。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を形成する工程を含み、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、その途中に段差部を有する、固体撮像素子の製造方法。 - 被写体からの光を集光するマイクロレンズと、
前記マイクロレンズが集光した被写体光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、
前記光電変換部と前記マイクロレンズの間に設けられた遮光部と、を有する画素を形成する工程を含み、
前記画素は、本固体撮像素子の画隅部分に形成されており、
前記遮光部は、前記光電変換部の受光面上を通過する縁部を有し、
前記縁部は、出力画像の上下方向に対応する第1方向と出力画像の左右方向に対応する第2方向との双方と異なる第3方向に前記光電変換部の受光面上を通過する、固体撮像素子の製造方法。
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