JPWO2016121116A1 - レーザ加工機およびアライメント調整方法 - Google Patents

Abstract

テーブル（１０８）に載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機が、液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズル（２６ｂ）を有し、該ノズル（２６ａ）にレーザ光を導入して照射する光学ヘッド（１０）と、光学ヘッド（１０）に対面するように配置されレーザ光を反射する反射板（４２）、および該反射板（４２）のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部（３４）を有し、柱状の液体流（６０）に対するレーザ光の導入位置または姿勢を調整するアライメント調整装置（４０）とを具備する。

Description

本発明は、液体をノズルから噴射して形成される柱状の液体流にレーザ光を通してワークを加工するレーザ加工機において、レーザ光の光軸と液体流の中心軸とを一致させるアライメント調整機能を有したレーザ加工機およびそのアライメント調整方法に関する。

液体をノズルから噴射して形成される柱状の液体流にレーザ光を通してワークを加工するレーザ加工機では、レーザ光の光軸を液体流の中心軸に一致させなければならない。特許文献１には、そうしたアライメント調整装置を備えたレーザ加工装置が開示されている。

特許文献１のアライメント調整装置は、液体を噴射して液柱を形成するジェットノズルの入口開口部の画像と、レーザの像の画像とに基づいて、レーザの像の中心が入口開口部の中心に一致するように、ジェットノズルと光ファイバとを相対移動させようになっている。

特開２０１１−２３５３４７号公報

レーザ加工機で用いられるレーザ光は、JIS（日本工業規格）C6802やIEC（国際電気標準会議）60825-1において安全基準のクラス４に分類される。特許文献１のアライメント調整装置では、そうしたクラス４のレーザ光が露出しているため、安全にアライメント調整を行おうとすると、クラス４が定める安全基準に準拠した環境にレーザ加工機を設置しなければならず、施設が大掛かりになってしまうという問題があった。

本発明は、こうした従来技術の問題を解決することを技術課題としており、安全かつ容易に柱状の液体流とレーザ光とのアライメントを調整できるレーザ加工機およびアライメント調整方法を提供することを目的としている。

上述の目的を達成するために、本発明によれば、テーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機において、液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルを有し、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドと、前記光学ヘッドに対面するように配置されレーザ光を反射する反射板、および該反射板のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部を有し、前記柱状の液体流に対するレーザ光の導入位置または姿勢を調整するアライメント調整装置とを具備するレーザ加工機が提供される。

また、本発明によれば、液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルを有し、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドからテーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機のレーザ光のアライメント調整方法において、レーザ光を反射する反射板を前記光学ヘッドのノズルに対面させて配置する段階と、レーザ光の漏洩を防止する遮光部材によって前記ノズルと前記反射板との間の空間を包囲する段階と、前記ノズルヘッドへ向けてレーザ光を照射する段階と、前記ノズルヘッドに照射したレーザ光の光軸を前記ノズルの中心に位置決めするように、前記レーザ光の焦点位置を移動する段階とを含むアライメント調整方法が提供される。

本発明によれば、光学ヘッドがアライメント調整に際して、光学ヘッドに対面するように配置されレーザ光を反射する反射板、および該反射板のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部を設けたので、アライメント調整作業中にレーザ光が外部に漏洩することが防止される。従って、従来技術では、JIS C6802やIEC 60825-1によるクラス４に準拠してアライメント調整作用を行わなければならないが、本実施形態のレーザ加工機では、より危険度の低いクラス１に従った簡単な設置環境下でアライメント調整作用を行うことが可能となる。

本発明の好ましい実施形態による光学ヘッドおよびアライメントユニットの略示断面図であり、光学ヘッドがアライメント調整位置にあり、レーザ光が照射されている状態を示す図である。 図１と同様の光学ヘッドおよびアライメントユニットの略示断面図であり、光学ヘッドがアライメントユニットから上方に離反し、レーザ光が照射されていない状態を示す図である。 アライメントユニットの斜視図である。 アライメントユニットの平面図であり、アライメント調整のための回転位置にある反射板を示す図である。 図４と同様のアライメントユニットの平面図であり、レーザ光の出力を測定するための回転位置にある反射板を示す図である。 反射板の平面図である。 本発明を適用するレーザ加工機の一例を示す斜視図である。 レーザ加工機のディスプレイに表示される画面の一例を示す略図である。 オペレーターに対してカメラフォーカスを調整する段階を教示する画面の一例を示す図８と同様の略図である。 オペレーターに対してターゲットサークルとノズルとを位置合わせする段階を教示する画面の一例を示す図８と同様の略図である。 ターゲットサークルがノズルに対して位置合わせされた状態の画面の一例を示す図８と同様の略図である。 オペレーターに対してレーザスポットのフォーカスを調整する段階を教示する画面の一例を示す図８と同様の略図である。 オペレーターに対してレーザスポットのＸ位置を調整する段階を教示する画面の一例を示す図８と同様の略図である。 オペレーターに対してレーザスポットのＹ位置を調整する段階を教示する画面の一例を示す図８と同様の略図である。 アライメント調整が終了した状態の画面の一例を示す図８と同様の略図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態を説明する。
本発明を適用するレーザ加工機の一例を示す図７を参照すると、レーザ加工機１００は、ワークを取り付けるためのテーブル１０８と、該テーブル１０８に対してＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交３軸方向に相対的に直線移動可能に設けられた光学ヘッド１０を具備しており、該光学ヘッド１０およびテーブル１０８は直方体状のカバー１０２によって包囲されている。カバー１０２は、左右方向（Ｘ軸方向）にスライド可能な安全扉１０６を有しており、該安全扉１０６を開くことによって、オペレーターは開口部１０４を通じて光学ヘッド１０およびテーブル１０８へアクセス可能となる。安全扉１０６は、安全扉１０６が閉じていることを検出する開閉検出部１０６ａを備えている。テーブル１０８には、また、アライメントユニット４０と、密着検出装置５０（図１参照）が配設されている。

また、カバー１０２の正面側壁には、レーザ加工機１００のための操作盤１１０が取り付けられている。操作盤１１０は、レーザ加工機１００の状態や動作を示すパラメータや、オペレーターに対する操作方法を教示するアイコン等を表示するディスプレイ１１２および各種操作ボタン１１４を有している。ディスプレイ１１２は、オペレーターが指でアイコンにタッチするとによってレーザ加工機１００に対して様々な操作を行うことを可能とするタッチパネルとすることができる。また、操作盤１１０は制御装置を内蔵し、オペレータの入力や制御装置内に記憶されたプログラムに従ってレーザ加工機１００を制御する。

図１、２に一例として示す光学ヘッド１０は、ハウジング１２内に配設され、レーザ発振器１４からのレーザ光を光ファイバーのような導光部材１４ａを介して受け取り、コリメーションレンズ１８へ向けて照射するレーザ照射ヘッド１６を具備している。レーザ照射ヘッド１６からのレーザ光は、コリメーションレンズ１８で平行光線となって、第１のミラー２０によって第２のミラー２２に向けて反射され、該第２のミラー２２によってフォーカスレンズ２４へ向けて反射される。フォーカスレンズ２４で絞られたレーザ光は、ノズルヘッド２６を通してハウジング１２の外部に照射される。このとき、光学ヘッド１０が照射するレーザ光の光軸はＺ軸に略平行となっている。

第１と第２のミラー２０、２２は平面状の反射面を有しており、該反射面の方向（反射面に垂直な方向）を調節し、光学ヘッド１０から照射されるレーザ光の方向を調節するためミラー配向変更手段としてモータ２０ａ、２２ａを有している。また、第１と第２のミラー２０、２２、特にフォーカスレンズ２４へ向けレーザ光を反射する第２のミラー２２は、レーザ発振器１４から照射されるレーザ光の波長に適合し、該レーザ光を反射し、かつ、該レーザ光の波長以外の波長の光を透過する誘電体多層膜を含んでいる。より詳細には、ガラス板にこうした誘電体多層膜を蒸着して形成されている。第２のミラー２２を誘電体多層膜から形成することによって、ノズル２６ｂから照射されるレーザ光とノズル２６ｂとの位置関係をカメラ３２によって監視することが可能となっている。

ノズルヘッド２６は、水供給源３０から管路２８を介して水の供給を受ける中空状の部材である。ノズルヘッド２６のテーブル１０８に対面する底壁にウォータジェットを噴出するノズル２６ｂが設けられ、該底壁の反対側のフォーカスレンズ２４に対面する上面にガラス等の透明な部材より成る窓２６ａが設けられている。ノズル２６ｂは光学ヘッド１０のハウジング１２の底面に形成されているオリフィス１２ｂを通じてハウジング１２の外部に連通している。

アライメントユニット４０は、テーブル１０８上において、レーザ加工機１００のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交３軸の送り装置によって、光学ヘッド１０とテーブル１０８とを相対移動させることによって、光学ヘッド１０に対面可能な位置に配置されている。アライメントユニット４０は、テーブル１０８に固定されるベース部材４８、ベース部材４８の上面に固定される環状の下保持部材４６、下保持部材４６に着脱可能に取り付けられる環状の上保持部材４４、上、下保持部材４４、４６の間に保持される反射板４２および上保持部材４４の上面に固定される環状の遮光部材３４を具備している。

遮光部材３４は、光学ヘッド１０から照射されるレーザに対して不透過性の材料より成り、好ましくは光学ヘッド１０のハウジング１２の底面１２ａに密着して該遮光部材３４と光学ヘッド１０との間に光が漏れる隙間が形成されない材料、例えば合成樹脂製のスポンジや発泡ゴムから形成することができる。

反射板４２は、例えばステンレス鋼製の略円形板から形成することができ、上下保持部材４４、４６の間に周方向に回転可能に保持される。図３〜図６に示すように、反射板４２は、上、下保持部材４４、４６の間に保持されるとき、オペレーターによる反射板４２の回転操作を容易にするために、その一部分４２ａが上、下保持部材４４、４６の外部に突出するように配置される。このとき、径方向に該一部分４２ａの反対側の部分４２ｂは、光学ヘッド１０の光軸上に配置される。また、反射板４２は、外周縁部に半径方向に切り欠いた欠切部４２ｃを有しており、該欠切部４２ｃの径方向に反対側の外周縁部の一部を径方向に対して垂直に平坦に形成した平坦部４２ｄが設けられている。

また、レーザ加工機１００は、図１、２に示すように、テーブル１０８においてアライメント調整位置にある光学ヘッド１０が照射するレーザ光の光軸上にセンサ部を有したパワーメータ８０が埋設されており、光学ヘッド１０から照射されるレーザ光の出力を測定可能となっている。図５に示すように、反射板４２の欠切部４２ｃをレーザ光の光軸上に配置するように反射板４２を回転させることによって、レーザ光の出力測定が可能となる。また、その際、オペレーターは、径方向に欠切部４２ｃの反対側に形成された平坦部４２ｄの位置から、欠切部４２ｃの位置合わせを容易に行うことが可能となる。

密着検出装置５０は、光学ヘッド１０のハウジング１２の底面が図１に示すように十分に密着していることを検出するための装置であって、ハウジング１２の底面に取り付けられたインターロックスイッチ５４、該インターロックスイッチ５４を包囲するスイッチカバー５２、および、スイッチカバー５２の底面に形成された開口部５２ａからスイッチカバー５２内に進入可能に設けられたピン５６を具備している。ピン５６はＺ軸方向、本実施形態では鉛直方向に配向され、テーブル１０８に固定されたピンカバー５８内に収容されている。なお、パワーメータ８０は、テーブル１０８ではなく、アライメントユニット４０のベース部材４８に埋設してもよい。

ピンカバー５８はテーブル１０８の上面に取り付けたときに、オペレーターが外側からピンカバー５８内にアクセス可能なように一側面５８ｂが開口した箱形の部材である。ピンカバー５８の上面には開口部５８ａが形成されており、該開口部５８ａを通してピン５６がインターロックスイッチ５４に向けて突出するようになっている。ピン５６は、インターロックスイッチ５４とは反対側の端部である下端部が半径方向に広がったフランジ部５６ａとなっている。本実施形態では、フランジ部５６ａは磁石（図示せず）を含み、ピンカバー５８は鉄その他の磁性材料から形成され、フランジ部５６ａがピンカバー５８の上壁の内面に磁力により吸着できるようになっている。

以下、本実施形態の作用を説明する。
水供給源３０から管路２８を介してノズルヘッド２６に水が供給されると、この水はノズル２６ｂから噴出され、Ｚ軸方向に延びる細い柱状の液体流（水柱）６０が形成される。レーザ発振器１４からのレーザ光は、導光部材１４ａ、レーザ照射ヘッド１６、コリメーションレンズ１８、第１と第２のミラー２０、２２を経てフォーカスレンズ２４で絞られ、ノズルヘッド２６の窓２６ａおよびノズルヘッド２６内の水を通過して、柱状の液体流６０内に導入され、テーブル１０８へ向けて照射される。フォーカスレンズ２４によって集光されたレーザ光を柱状の液体流６０内に導入するために、以下に説明するように、レーザ光と柱状の液体流６０とを軸方向に位置決めするアライメント調整が行われる。

先ず、オペレーターが操作盤１１０でアライメント調整機能を選択し、操作盤ボタン１１４中のスタートボタンを押下すると、光学ヘッド１０がレーザ加工機１００のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の送り装置によってアライメント調整位置へ向けて移動を開始する。先ず、光学ヘッド１０は、アライメントユニット４０の上方に配置され、次いで、光学ヘッド１０のハウジング１２の底面１２ａがアライメントユニット４０の遮光部材３４に密着するまでＺ軸沿いに下動する。このとき、密着検出装置５０のピン５６がインターロックスイッチ５４に当接し、該インターロックスイッチ５４が閉成することによって、レーザ加工機１００の制御装置は、光学ヘッド１０がアライメント調整位置に到達したと判断して、Ｚ軸送りを停止する。なお、光学ヘッド１０のアライメント調整位置への移動は、例えば、制御装置へ導入するプログラムにアライメント調整位置への移動を定義してもよいが、予めオペレーターが教示動作によってアライメント調整位置を制御装置に教示するようにしてもよい。

アライメント調整を行うために安全扉１０６が開いている状態のときに、ピン５６がインターロックスイッチ５４に当接しない場合、レーザ加工機１００の制御装置は、光学ヘッド１０がアライメント調整位置にないと判断し、レーザ光の照射を禁止すると共に、警告をディスプレイ１１０に表示したり警告音を発したりする。また、ピン５６は、フランジ部５６ａの磁石によってピンカバー５８に取着されているので、光学ヘッド１０のアライメント調整位置への移動に際して、光学ヘッド１０がＺ軸方向に下動し過ぎた場合に自動的にピン５６がピンカバー５８から脱離するようになっている。また、Ｘ軸、Ｙ軸方向にずれた位置にあるときには、ピン５６がスイッチカバー５２の加工部５２ａに入らず、ピンカバー５８から脱離するようになっている。

また、レーザ加工機１００の制御装置は、予めオペレーターが教示したアライメント調整位置をレーザ加工機の各送り軸の座標として記憶している。このため、安全扉１０６を明けてアライメント調整を行っているときに、レーザ加工機の各送り装置の座標が記憶されたアライメント調整位置と異なる場合、レーザ加工機１００の制御装置は、光学ヘッド１０がアライメント調整位置にないと判断し、レーザ光の照射を禁止すると共に、警告をディスプレイ１１０に表示したり警告音を発したりする。

オペレーターが操作盤１１０のスタートボタンを押下して、光学ヘッド１０がレーザ加工機１００のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の送り装置によってアライメント調整位置へ向けて移動させた後、操作盤１１０のディスプレイ１１２には図８に示すような画面２００が表示される。画面２００には、カメラ３２によって撮像されたノズル２０２、レーザ加工機が画面２００内に生成したクロスライン２０６ａ、２０６ｂを含むターゲットサークル２０８、オペレーターへのアライメント調整方法の各段階を教示するテキスト表示するテキスト表示領域２０１、および、オペレーターがアライメント調整操作を逐次進めるための継続アイコン２１０を含んでいる。継続アイコン２１０は、アライメント調整位置への移動が完了した後に選択が可能になる。なお、ターゲットサークル２０８は、ノズル２０２よりも大きな直径を有している。

光学ヘッド１０がアライメント調整位置へ到達すると、既述したように、光学ヘッド１０からレーザ光が加工時よりも弱いアライメント出力で照射される。この時点では、レーザ光はノズルの位置に一致していないため、レーザ光が照射されると、レーザ光は、ノズルヘッド２６の内部で乱反射する。乱反射したレーザ光の一部が反射板４２で反射され、ノズル２６ｂを通ってカメラ３２へ到達する。このため、ディスプレイ１１２には、ノズル２６ｂの輪郭が、ノズル２０２として、内側は明るく外側が暗く表示される。図９では、レーザ光の光軸がノズル２０２の中心に一致していない状態が示されており、ノズルヘッド２６の内面でのレーザ光の反射がレーザスポット２０４として示されている。次いで、オペレーターが継続アイコン２１０をタップすると、図９に示すように、画面２００のテキスト表示領域２０１にオペレーターに対してカメラのフォーカスを調整することを指示するテキスト「カメラフォーカスを調整して下さい。」が表示される。カメラ３２のフォーカスを調整する作業を行うため、オペレーターは光学ヘッド１０に接近する必要があるので、遮光部材３４がないと、レーザ光の暴露を受ける危険性があった。

オペレーターが継続アイコン２１０をタップすると、図１０に示すように、テキスト表示領域２０１にオペレーターに対してターゲットサークル２０８とノズル２０２の位置を合わせることを指示するテキスト「円を移動してノズルに合わせて下さい。」が表示される。オペレーターが移動アイコン２１４、２１６、２１８、２２０をタップすることによって、ターゲットサークル２０８がクロスライン２０６ａ、２０６ｂと共に、移動アイコン２１４〜２２０が示す方向に移動する。

ターゲットサークル２０８が、図１１に示すように、ノズル２０２と概ね同心となる位置に移動した後、オペレーターが継続アイコン２１０をタップすると、図１２に示すように、テキスト表示領域にオペレーターに対してレーザ光のフォーカスを調節することを指示するテキスト「レーザスポットのフォーカスを調整して下さい。」が表示される。レーザスポットのフォーカス調整は、フォーカスレンズ２４を光軸方向へ移動することによって行われる。このフォーカスレンズ２４を移動せる作業を行うため、オペレーターは光学ヘッド１０に接近する必要があり、従来はレーザ光の暴露を受ける危険性があった。

オペレーターが、レーザスポットのフォーカスを調整した後、オペレーターが継続アイコン２１０をタップすると、図１３に示すようにレーザフォーカスアイコンが消え、テキスト表示領域２０１にオペレーターに対してレーザスポット２０４をＸ軸方向に位置決めすべきことを指示するテキスト「レーザスポットと円のＸ位置を合わせて下さい。」が表示されると共に、画面に縦（Ｙ軸）のクロスライン２０６ａを挟んで２本の縦の補助線２２４ａ、２２４ｂが表示される。オペレーターが移動アイコン２１４、２１６、２１８、２２０をタップすることによって、移動アイコン２１４〜２２０が示す方向にレーザスポットが移動する。レーザスポットの移動は、第１と第２のミラー２０、２２のモータ２０ａ、２２ａを駆動して、第１と第２のミラー２０、２２の配向を変更することによって行われる。すなわち、レーザ光の導入位置または角度が調節される。図１３に示すように、破線で示す補助線２２４ａ、２２４ｂの間にレーザスポット２０４を配置することによって、オペレーターは、レーザスポット２０４のＸ軸方向の位置決めを容易に行うことができる。

レーザスポット２０４が、図１３に示すように、Ｘ軸方向に位置決めされた後、オペレーターが継続アイコン２１０をタップすると、図１４に示すように縦の補助線２２４ａ、２２４ｂが消え、テキスト表示領域２０１にオペレーターに対してレーザスポット２０４をＹ軸方向に位置決めすべきことを指示するテキスト「レーザスポットと円のＹ位置を合わせて下さい。」が表示されると共に、画面に横（Ｘ軸）のクロスライン２０６ｂを挟んで２本の横の補助線２２６ａ、２２６ｂが表示される。オペレーターが移動アイコン２１４、２１６、２１８、２２０をタップすることによって、移動アイコン２１４〜２２０が示す方向にレーザスポットが移動する。図１４に示すように、破線で示す補助線２２６ａ、２２６ｂの間にレーザスポット２０４を配置することによって、オペレーターは、レーザスポット２０４のＹ軸方向の位置決めを容易に行うことができる。こうして、レーザスポット２０４がノズル２０２に対して略同心に配置される。

次いで、オペレーターが継続アイコン２１０をタップすると、図１５に示すように横の補助線２２６ａ、２２６ｂが消えると共に、上述したアライメント調整作業が開始される以前の位置に光学ヘッド１０が帰還する。

本実施形態によれば、光学ヘッド１０のアライメント調整位置への移動を制御装置で制御することで確実に行うことができる。また、柱状の液体流６０の軸心とレーザ光の光軸とを一致させるアライメント調整の作業手順を操作盤１１０のディスプレイ１１２上で段階毎に逐次表示するので、オペレーターは、作業手順を間違えて、遮光されていない状態でレーザ光照射されることがなく、安全かつ容易に作業を行うことができる。

更に、本実施形態によれば、光学ヘッド１０がアライメント調整位置に配置されたとき、光学ヘッド１０のハウジング１２の底面がアライメントユニット４０の遮光部材３４に密着し、アライメント調整作業中にレーザ光が外部に漏洩することが防止される。従って、従来技術では、例えばJIS C6802やIEC 60825-1によるクラス４に準拠してアライメント調整作用を行わなければならないが、本実施形態のレーザ加工機１００では、クラス１に従ってアライメント調整作用を行うことができ、オペレーターは安全扉１０６を開いた状態でもアライメント調整作業を行うことができる。

１０ 光学ヘッド
１２ ハウジング
１４ レーザ発振器
１６ レーザ照射ヘッド
１８ コリメーションレンズ
２０ 第１のミラー
２２ 第２のミラー
２４ フォーカスレンズ
２６ ノズルヘッド
２６ｂ ノズル
３０ 水供給源
３２ カメラ
３４ 遮光部材
４０ アライメントユニット
４２ 反射板
４２ｃ 欠切部
４２ｄ 平坦部
４４ 上保持部材
４６ 下保持部材
４８ ベース部材
５０ 密着検出装置
６０ 柱状の液体流
１００ レーザ加工機
１０８ テーブル
１１０ 操作盤
２０２ ノズル
２０４ レーザスポット
２０８ ターゲットサークル

Claims (13)

1. テーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機において、
   液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルを有し、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドと、
   前記光学ヘッドに対面するように配置されレーザ光を反射する反射板、および該反射板のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部を有し、前記柱状の液体流に対するレーザ光の導入位置または角度を調整するアライメント調整装置と、
   を具備することを特徴としたレーザ加工機。
2. 前記光学ヘッドは、レーザ発振器からレーザ光を前記ノズルへ向けて導く光学システムと、前記ノズルおよび前記反射板の画像を撮像するカメラと、前記光学システムおよびカメラを収納するハウジングとを具備し、前記ノズルが前記ハウジングの底面に配設されており、
   前記アライメント調整装置は、レーザ加工機において、前記遮光部が前記光学ヘッドのハウジングの底面に密着して前記ノズルを囲繞できる位置に配設されている請求項１に記載のレーザ加工機。
3. 前記光学ヘッドのハウジングが前記遮光部に密着したことを検知する密着検出装置を具備する請求項２に記載のレーザ加工機。
4. 前記密着検出装置が前記光学ヘッドのハウジングが前記遮光部に密着したことを検知したときに、レーザ光を照射することができる制御装置を具備する請求項３に記載のレーザ加工機。
5. 前記光学ヘッドのハウジングが前記遮光部材に密着するアライメント調整位置でのレーザ加工機の各軸の送り装置の座標であるアライメント調整座標を記憶し、該各軸の送り装置の座標が該アライメント調整座標にあるときにレーザ光の照射をすることができる制御装置を具備する請求項３に記載のレーザ加工機。
6. 前記アライメント調整装置は、前記テーブルに固定されるベース部と、該ベース部に設けられ前記反射板を保持する環状の部材から成る保持部とを具備し、前記遮光部が該保持部の上面に取り付けられた環状の部材より成る請求項１に記載のレーザ加工機。
7. 前記反射板は、前記保持部に回転可能に保持されている請求項６に記載のレーザ加工機。
8. 前記反射板が略円形の部材より成り、外周縁部から半径方向に延びる欠切部を有している請求項６に記載のレーザ加工機。
9. 前記反射板が、径方向に前記欠切部の反対側に設けられた平坦部を有している請求項８に記載のレーザ加工機。
10. アライメント調整方法を段階毎に逐次表示するディスプレイを更に具備する請求項１に記載のレーザ加工機。
11. 液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルを有し、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドからテーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機のレーザ光のアライメント調整方法において、
    レーザ光を反射する反射板を前記光学ヘッドのノズルに対面させて配置する段階と、
    レーザ光の漏洩を防止する遮光部材によって前記ノズルと前記反射板との間の空間を包囲する段階と、
    前記反射板へ向けてレーザ光を照射する段階と、
    前記反射板で反射したレーザ光の光軸を前記ノズルの中心に位置決めするように、前記レーザ光の焦点位置を移動する段階と、
    を含むアライメント調整方法。
12. 前記ノズルと反射板との間の空間を包囲する段階は、前記レーザ加工機の送り装置を用いて実行される請求項１１に記載のアライメント調整方法。
13. 前記ノズルと反射板との間の空間を包囲する段階は、前記レーザ加工機の光学ヘッドを前記遮光部材に密着させて行われる請求項１１に記載のアライメント調整方法。

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