JP6395869B2 - レーザ加工機およびアライメント調整方法 - Google Patents

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Description

本発明は、液体をノズルから噴射して形成される柱状の液体流にレーザ光を通してワークを加工するレーザ加工機において、レーザ光の光軸と液体流の中心軸とを一致させるアライメント調整機能を有したレーザ加工機およびそのアライメント調整方法に関する。
液体をノズルから噴射して形成される柱状の液体流にレーザ光を通してワークを加工するレーザ加工機では、レーザ光の光軸を液体流の中心軸に一致させなければならない。特許文献1には、そうしたアライメント調整装置を備えたレーザ加工装置が開示されている。
特許文献1のアライメント調整装置は、液体を噴射して液柱を形成するジェットノズルの入口開口部の画像と、レーザの像の画像とに基づいて、レーザの像の中心が入口開口部の中心に一致するように、ジェットノズルと光ファイバとを相対移動させようになっている。
特開2011−235347号公報
レーザ加工機で用いられるレーザ光は、JIS(日本工業規格)C6802やIEC(国際電気標準会議)60825-1において安全基準のクラス4に分類される。特許文献1のアライメント調整装置では、そうしたクラス4のレーザ光が露出しているため、安全にアライメント調整を行おうとすると、クラス4が定める安全基準に準拠した環境にレーザ加工機を設置しなければならず、施設が大掛かりになってしまうという問題があった。
本発明は、こうした従来技術の問題を解決することを技術課題としており、安全かつ容易に柱状の液体流とレーザ光とのアライメントを調整できるレーザ加工機およびアライメント調整方法を提供することを目的としている。
上述の目的を達成するために、本発明によれば、テーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機において、液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルと、レーザ発振器からレーザ光を前記ノズルへ向けて導く光学システムと、前記ノズルおよび前記反射板の画像を撮像するカメラと、前記光学システムおよびカメラを収納するハウジングとをを有し、前記ノズルが前記ハウジングの底面に配設されており、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドと、前記光学ヘッドに対面するように配置されレーザ光を反射する反射板、および該反射板のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部を有し、前記遮光部が前記光学ヘッドのハウジングの底面に密着して前記ノズルを囲繞できる位置に配設されており、前記柱状の液体流に対するレーザ光の導入位置または姿勢を調整するアライメント調整装置とを具備するレーザ加工機が提供される。
また、本発明によれば、液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルと、レーザ発振器からレーザ光を前記ノズルへ向けて導く光学システムと、前記ノズルおよび前記反射板の画像を撮像するカメラと、前記光学システムおよびカメラを収納するハウジングとをを有し、前記ノズルが前記ハウジングの底面に配設されており、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドからテーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機のレーザ光のアライメント調整方法において、レーザ光を反射する反射板を前記光学ヘッドのノズルに対面させて配置する段階と、レーザ光の漏洩を防止する遮光部を前記光学ヘッドのハウジングの底面に密着させ、該遮光部によって前記ノズルと前記反射板との間の空間を包囲する段階と、前記反射板へ向けてレーザ光を照射する段階と、前記カメラで撮像した前記ノズルおよび前記反射板の画像に基づき、前記反射板で反射したレーザ光の光軸を前記ノズルの中心に位置決めするように、前記レーザ光の焦点位置を移動する段階とを含むアライメント調整方法が提供される。
本発明によれば、光学ヘッドがアライメント調整に際して、光学ヘッドに対面するように配置されレーザ光を反射する反射板、および該反射板のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部を設けたので、アライメント調整作業中にレーザ光が外部に漏洩することが防止される。従って、従来技術では、JIS C6802やIEC 60825-1によるクラス4に準拠してアライメント調整作用を行わなければならないが、本実施形態のレーザ加工機では、より危険度の低いクラス1に従った簡単な設置環境下でアライメント調整作用を行うことが可能となる。
本発明の好ましい実施形態による光学ヘッドおよびアライメントユニットの略示断面図であり、光学ヘッドがアライメント調整位置にあり、レーザ光が照射されている状態を示す図である。 図1と同様の光学ヘッドおよびアライメントユニットの略示断面図であり、光学ヘッドがアライメントユニットから上方に離反し、レーザ光が照射されていない状態を示す図である。 アライメントユニットの斜視図である。 アライメントユニットの平面図であり、アライメント調整のための回転位置にある反射板を示す図である。 図4と同様のアライメントユニットの平面図であり、レーザ光の出力を測定するための回転位置にある反射板を示す図である。 反射板の平面図である。 本発明を適用するレーザ加工機の一例を示す斜視図である。 レーザ加工機のディスプレイに表示される画面の一例を示す略図である。 オペレーターに対してカメラフォーカスを調整する段階を教示する画面の一例を示す図8と同様の略図である。 オペレーターに対してターゲットサークルとノズルとを位置合わせする段階を教示する画面の一例を示す図8と同様の略図である。 ターゲットサークルがノズルに対して位置合わせされた状態の画面の一例を示す図8と同様の略図である。 オペレーターに対してレーザスポットのフォーカスを調整する段階を教示する画面の一例を示す図8と同様の略図である。 オペレーターに対してレーザスポットのX位置を調整する段階を教示する画面の一例を示す図8と同様の略図である。 オペレーターに対してレーザスポットのY位置を調整する段階を教示する画面の一例を示す図8と同様の略図である。 アライメント調整が終了した状態の画面の一例を示す図8と同様の略図である。
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態を説明する。
本発明を適用するレーザ加工機の一例を示す図7を参照すると、レーザ加工機100は、ワークを取り付けるためのテーブル108と、該テーブル108に対してX軸、Y軸、Z軸の直交3軸方向に相対的に直線移動可能に設けられた光学ヘッド10を具備しており、該光学ヘッド10およびテーブル108は直方体状のカバー102によって包囲されている。カバー102は、左右方向(X軸方向)にスライド可能な安全扉106を有しており、該安全扉106を開くことによって、オペレーターは開口部104を通じて光学ヘッド10およびテーブル108へアクセス可能となる。安全扉106は、安全扉106が閉じていることを検出する開閉検出部106aを備えている。テーブル108には、また、アライメントユニット40と、密着検出装置50(図1参照)が配設されている。
また、カバー102の正面側壁には、レーザ加工機100のための操作盤110が取り付けられている。操作盤110は、レーザ加工機100の状態や動作を示すパラメータや、オペレーターに対する操作方法を教示するアイコン等を表示するディスプレイ112および各種操作ボタン114を有している。ディスプレイ112は、オペレーターが指でアイコンにタッチするとによってレーザ加工機100に対して様々な操作を行うことを可能とするタッチパネルとすることができる。また、操作盤110は制御装置を内蔵し、オペレータの入力や制御装置内に記憶されたプログラムに従ってレーザ加工機100を制御する。
図1、2に一例として示す光学ヘッド10は、ハウジング12内に配設され、レーザ発振器14からのレーザ光を光ファイバーのような導光部材14aを介して受け取り、コリメーションレンズ18へ向けて照射するレーザ照射ヘッド16を具備している。レーザ照射ヘッド16からのレーザ光は、コリメーションレンズ18で平行光線となって、第1のミラー20によって第2のミラー22に向けて反射され、該第2のミラー22によってフォーカスレンズ24へ向けて反射される。フォーカスレンズ24で絞られたレーザ光は、ノズルヘッド26を通してハウジング12の外部に照射される。このとき、光学ヘッド10が照射するレーザ光の光軸はZ軸に略平行となっている。
第1と第2のミラー20、22は平面状の反射面を有しており、該反射面の方向(反射面に垂直な方向)を調節し、光学ヘッド10から照射されるレーザ光の方向を調節するためミラー配向変更手段としてモータ20a、22aを有している。また、第1と第2のミラー20、22、特にフォーカスレンズ24へ向けレーザ光を反射する第2のミラー22は、レーザ発振器14から照射されるレーザ光の波長に適合し、該レーザ光を反射し、かつ、該レーザ光の波長以外の波長の光を透過する誘電体多層膜を含んでいる。より詳細には、ガラス板にこうした誘電体多層膜を蒸着して形成されている。第2のミラー22を誘電体多層膜から形成することによって、ノズル26bから照射されるレーザ光とノズル26bとの位置関係をカメラ32によって監視することが可能となっている。
ノズルヘッド26は、水供給源30から管路28を介して水の供給を受ける中空状の部材である。ノズルヘッド26のテーブル108に対面する底壁にウォータジェットを噴出するノズル26bが設けられ、該底壁の反対側のフォーカスレンズ24に対面する上面にガラス等の透明な部材より成る窓26aが設けられている。ノズル26bは光学ヘッド10のハウジング12の底面に形成されているオリフィス12bを通じてハウジング12の外部に連通している。
アライメントユニット40は、テーブル108上において、レーザ加工機100のX軸、Y軸、Z軸の直交3軸の送り装置によって、光学ヘッド10とテーブル108とを相対移動させることによって、光学ヘッド10に対面可能な位置に配置されている。アライメントユニット40は、テーブル108に固定されるベース部材48、ベース部材48の上面に固定される環状の下保持部材46、下保持部材46に着脱可能に取り付けられる環状の上保持部材44、上、下保持部材44、46の間に保持される反射板42および上保持部材44の上面に固定される環状の遮光部材34を具備している。
遮光部材34は、光学ヘッド10から照射されるレーザに対して不透過性の材料より成り、好ましくは光学ヘッド10のハウジング12の底面12aに密着して該遮光部材34と光学ヘッド10との間に光が漏れる隙間が形成されない材料、例えば合成樹脂製のスポンジや発泡ゴムから形成することができる。
反射板42は、例えばステンレス鋼製の略円形板から形成することができ、上下保持部材44、46の間に周方向に回転可能に保持される。図3〜図6に示すように、反射板42は、上、下保持部材44、46の間に保持されるとき、オペレーターによる反射板42の回転操作を容易にするために、その一部分42aが上、下保持部材44、46の外部に突出するように配置される。このとき、径方向に該一部分42aの反対側の部分42bは、光学ヘッド10の光軸上に配置される。また、反射板42は、外周縁部に半径方向に切り欠いた欠切部42cを有しており、該欠切部42cの径方向に反対側の外周縁部の一部を径方向に対して垂直に平坦に形成した平坦部42dが設けられている。
また、レーザ加工機100は、図1、2に示すように、テーブル108においてアライメント調整位置にある光学ヘッド10が照射するレーザ光の光軸上にセンサ部を有したパワーメータ80が埋設されており、光学ヘッド10から照射されるレーザ光の出力を測定可能となっている。図5に示すように、反射板42の欠切部42cをレーザ光の光軸上に配置するように反射板42を回転させることによって、レーザ光の出力測定が可能となる。また、その際、オペレーターは、径方向に欠切部42cの反対側に形成された平坦部42dの位置から、欠切部42cの位置合わせを容易に行うことが可能となる。
密着検出装置50は、光学ヘッド10のハウジング12の底面が図1に示すように十分に密着していることを検出するための装置であって、ハウジング12の底面に取り付けられたインターロックスイッチ54、該インターロックスイッチ54を包囲するスイッチカバー52、および、スイッチカバー52の底面に形成された開口部52aからスイッチカバー52内に進入可能に設けられたピン56を具備している。ピン56はZ軸方向、本実施形態では鉛直方向に配向され、テーブル108に固定されたピンカバー58内に収容されている。なお、パワーメータ80は、テーブル108ではなく、アライメントユニット40のベース部材48に埋設してもよい。
ピンカバー58はテーブル108の上面に取り付けたときに、オペレーターが外側からピンカバー58内にアクセス可能なように一側面58bが開口した箱形の部材である。ピンカバー58の上面には開口部58aが形成されており、該開口部58aを通してピン56がインターロックスイッチ54に向けて突出するようになっている。ピン56は、インターロックスイッチ54とは反対側の端部である下端部が半径方向に広がったフランジ部56aとなっている。本実施形態では、フランジ部56aは磁石(図示せず)を含み、ピンカバー58は鉄その他の磁性材料から形成され、フランジ部56aがピンカバー58の上壁の内面に磁力により吸着できるようになっている。
以下、本実施形態の作用を説明する。
水供給源30から管路28を介してノズルヘッド26に水が供給されると、この水はノズル26bから噴出され、Z軸方向に延びる細い柱状の液体流(水柱)60が形成される。レーザ発振器14からのレーザ光は、導光部材14a、レーザ照射ヘッド16、コリメーションレンズ18、第1と第2のミラー20、22を経てフォーカスレンズ24で絞られ、ノズルヘッド26の窓26aおよびノズルヘッド26内の水を通過して、柱状の液体流60内に導入され、テーブル108へ向けて照射される。フォーカスレンズ24によって集光されたレーザ光を柱状の液体流60内に導入するために、以下に説明するように、レーザ光と柱状の液体流60とを軸方向に位置決めするアライメント調整が行われる。
先ず、オペレーターが操作盤110でアライメント調整機能を選択し、操作盤ボタン114中のスタートボタンを押下すると、光学ヘッド10がレーザ加工機100のX軸、Y軸、Z軸の送り装置によってアライメント調整位置へ向けて移動を開始する。先ず、光学ヘッド10は、アライメントユニット40の上方に配置され、次いで、光学ヘッド10のハウジング12の底面12aがアライメントユニット40の遮光部材34に密着するまでZ軸沿いに下動する。このとき、密着検出装置50のピン56がインターロックスイッチ54に当接し、該インターロックスイッチ54が閉成することによって、レーザ加工機100の制御装置は、光学ヘッド10がアライメント調整位置に到達したと判断して、Z軸送りを停止する。なお、光学ヘッド10のアライメント調整位置への移動は、例えば、制御装置へ導入するプログラムにアライメント調整位置への移動を定義してもよいが、予めオペレーターが教示動作によってアライメント調整位置を制御装置に教示するようにしてもよい。
アライメント調整を行うために安全扉106が開いている状態のときに、ピン56がインターロックスイッチ54に当接しない場合、レーザ加工機100の制御装置は、光学ヘッド10がアライメント調整位置にないと判断し、レーザ光の照射を禁止すると共に、警告をディスプレイ110に表示したり警告音を発したりする。また、ピン56は、フランジ部56aの磁石によってピンカバー58に取着されているので、光学ヘッド10のアライメント調整位置への移動に際して、光学ヘッド10がZ軸方向に下動し過ぎた場合に自動的にピン56がピンカバー58から脱離するようになっている。また、X軸、Y軸方向にずれた位置にあるときには、ピン56がスイッチカバー52の加工部52aに入らず、ピンカバー58から脱離するようになっている。
また、レーザ加工機100の制御装置は、予めオペレーターが教示したアライメント調整位置をレーザ加工機の各送り軸の座標として記憶している。このため、安全扉106を明けてアライメント調整を行っているときに、レーザ加工機の各送り装置の座標が記憶されたアライメント調整位置と異なる場合、レーザ加工機100の制御装置は、光学ヘッド10がアライメント調整位置にないと判断し、レーザ光の照射を禁止すると共に、警告をディスプレイ110に表示したり警告音を発したりする。
オペレーターが操作盤110のスタートボタンを押下して、光学ヘッド10がレーザ加工機100のX軸、Y軸、Z軸の送り装置によってアライメント調整位置へ向けて移動させた後、操作盤110のディスプレイ112には図8に示すような画面200が表示される。画面200には、カメラ32によって撮像されたノズル202、レーザ加工機が画面200内に生成したクロスライン206a、206bを含むターゲットサークル208、オペレーターへのアライメント調整方法の各段階を教示するテキスト表示するテキスト表示領域201、および、オペレーターがアライメント調整操作を逐次進めるための継続アイコン210を含んでいる。継続アイコン210は、アライメント調整位置への移動が完了した後に選択が可能になる。なお、ターゲットサークル208は、ノズル202よりも大きな直径を有している。
光学ヘッド10がアライメント調整位置へ到達すると、既述したように、光学ヘッド10からレーザ光が加工時よりも弱いアライメント出力で照射される。この時点では、レーザ光はノズルの位置に一致していないため、レーザ光が照射されると、レーザ光は、ノズルヘッド26の内部で乱反射する。乱反射したレーザ光の一部が反射板42で反射され、ノズル26bを通ってカメラ32へ到達する。このため、ディスプレイ112には、ノズル26bの輪郭が、ノズル202として、内側は明るく外側が暗く表示される。図9では、レーザ光の光軸がノズル202の中心に一致していない状態が示されており、ノズルヘッド26の内面でのレーザ光の反射がレーザスポット204として示されている。次いで、オペレーターが継続アイコン210をタップすると、図9に示すように、画面200のテキスト表示領域201にオペレーターに対してカメラのフォーカスを調整することを指示するテキスト「カメラフォーカスを調整して下さい。」が表示される。カメラ32のフォーカスを調整する作業を行うため、オペレーターは光学ヘッド10に接近する必要があるので、遮光部材34がないと、レーザ光の暴露を受ける危険性があった。
オペレーターが継続アイコン210をタップすると、図10に示すように、テキスト表示領域201にオペレーターに対してターゲットサークル208とノズル202の位置を合わせることを指示するテキスト「円を移動してノズルに合わせて下さい。」が表示される。オペレーターが移動アイコン214、216、218、220をタップすることによって、ターゲットサークル208がクロスライン206a、206bと共に、移動アイコン214〜220が示す方向に移動する。
ターゲットサークル208が、図11に示すように、ノズル202と概ね同心となる位置に移動した後、オペレーターが継続アイコン210をタップすると、図12に示すように、テキスト表示領域にオペレーターに対してレーザ光のフォーカスを調節することを指示するテキスト「レーザスポットのフォーカスを調整して下さい。」が表示される。レーザスポットのフォーカス調整は、フォーカスレンズ24を光軸方向へ移動することによって行われる。このフォーカスレンズ24を移動せる作業を行うため、オペレーターは光学ヘッド10に接近する必要があり、従来はレーザ光の暴露を受ける危険性があった。
オペレーターが、レーザスポットのフォーカスを調整した後、オペレーターが継続アイコン210をタップすると、図13に示すようにレーザフォーカスアイコンが消え、テキスト表示領域201にオペレーターに対してレーザスポット204をX軸方向に位置決めすべきことを指示するテキスト「レーザスポットと円のX位置を合わせて下さい。」が表示されると共に、画面に縦(Y軸)のクロスライン206aを挟んで2本の縦の補助線224a、224bが表示される。オペレーターが移動アイコン214、216、218、220をタップすることによって、移動アイコン214〜220が示す方向にレーザスポットが移動する。レーザスポットの移動は、第1と第2のミラー20、22のモータ20a、22aを駆動して、第1と第2のミラー20、22の配向を変更することによって行われる。すなわち、レーザ光の導入位置または角度が調節される。図13に示すように、破線で示す補助線224a、224bの間にレーザスポット204を配置することによって、オペレーターは、レーザスポット204のX軸方向の位置決めを容易に行うことができる。
レーザスポット204が、図13に示すように、X軸方向に位置決めされた後、オペレーターが継続アイコン210をタップすると、図14に示すように縦の補助線224a、224bが消え、テキスト表示領域201にオペレーターに対してレーザスポット204をY軸方向に位置決めすべきことを指示するテキスト「レーザスポットと円のY位置を合わせて下さい。」が表示されると共に、画面に横(X軸)のクロスライン206bを挟んで2本の横の補助線226a、226bが表示される。オペレーターが移動アイコン214、216、218、220をタップすることによって、移動アイコン214〜220が示す方向にレーザスポットが移動する。図14に示すように、破線で示す補助線226a、226bの間にレーザスポット204を配置することによって、オペレーターは、レーザスポット204のY軸方向の位置決めを容易に行うことができる。こうして、レーザスポット204がノズル202に対して略同心に配置される。
次いで、オペレーターが継続アイコン210をタップすると、図15に示すように横の補助線226a、226bが消えると共に、上述したアライメント調整作業が開始される以前の位置に光学ヘッド10が帰還する。
本実施形態によれば、光学ヘッド10のアライメント調整位置への移動を制御装置で制御することで確実に行うことができる。また、柱状の液体流60の軸心とレーザ光の光軸とを一致させるアライメント調整の作業手順を操作盤110のディスプレイ112上で段階毎に逐次表示するので、オペレーターは、作業手順を間違えて、遮光されていない状態でレーザ光照射されることがなく、安全かつ容易に作業を行うことができる。
更に、本実施形態によれば、光学ヘッド10がアライメント調整位置に配置されたとき、光学ヘッド10のハウジング12の底面がアライメントユニット40の遮光部材34に密着し、アライメント調整作業中にレーザ光が外部に漏洩することが防止される。従って、従来技術では、例えばJIS C6802やIEC 60825-1によるクラス4に準拠してアライメント調整作用を行わなければならないが、本実施形態のレーザ加工機100では、クラス1に従ってアライメント調整作用を行うことができ、オペレーターは安全扉106を開いた状態でもアライメント調整作業を行うことができる。
10 光学ヘッド
12 ハウジング
14 レーザ発振器
16 レーザ照射ヘッド
18 コリメーションレンズ
20 第1のミラー
22 第2のミラー
24 フォーカスレンズ
26 ノズルヘッド
26b ノズル
30 水供給源
32 カメラ
34 遮光部材
40 アライメントユニット
42 反射板
42c 欠切部
42d 平坦部
44 上保持部材
46 下保持部材
48 ベース部材
50 密着検出装置
60 柱状の液体流
100 レーザ加工機
108 テーブル
110 操作盤
202 ノズル
204 レーザスポット
208 ターゲットサークル

Claims (11)

  1. テーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機において、
    液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルと、レーザ発振器からレーザ光を前記ノズルへ向けて導く光学システムと、前記ノズルおよび前記反射板の画像を撮像するカメラと、前記光学システムおよびカメラを収納するハウジングとをを有し、前記ノズルが前記ハウジングの底面に配設されており、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドと、
    前記光学ヘッドに対面するように配置されレーザ光を反射する反射板、および該反射板のレーザ光を反射する部分の周囲に遮光部を有し、前記遮光部が前記光学ヘッドのハウジングの底面に密着して前記ノズルを囲繞できる位置に配設されており、前記柱状の液体流に対するレーザ光の導入位置または角度を調整するアライメント調整装置と、
    を具備することを特徴としたレーザ加工機。
  2. 前記光学ヘッドのハウジングが前記遮光部に密着したことを検知する密着検出装置を具備する請求項に記載のレーザ加工機。
  3. 前記密着検出装置が前記光学ヘッドのハウジングが前記遮光部に密着したことを検知したときに、レーザ光を照射することができる制御装置を具備する請求項に記載のレーザ加工機。
  4. 前記光学ヘッドのハウジングが前記遮光部に密着するアライメント調整位置でのレーザ加工機の各軸の送り装置の座標であるアライメント調整座標を記憶し、該各軸の送り装置の座標が該アライメント調整座標にあるときにレーザ光の照射をすることができる制御装置を具備する請求項に記載のレーザ加工機。
  5. 前記アライメント調整装置は、前記テーブルに固定されるベース部と、該ベース部に設けられ前記反射板を保持する環状の部材から成る保持部とを具備し、前記遮光部が該保持部の上面に取り付けられた環状の部材より成る請求項1に記載のレーザ加工機。
  6. 前記反射板は、前記保持部に回転可能に保持されている請求項に記載のレーザ加工機。
  7. 前記反射板が略円形の部材より成り、外周縁部から半径方向に延びる欠切部を有している請求項に記載のレーザ加工機。
  8. 前記反射板が、径方向に前記欠切部の反対側に設けられた平坦部を有している請求項に記載のレーザ加工機。
  9. アライメント調整方法を段階毎に逐次表示するディスプレイを更に具備する請求項1に記載のレーザ加工機。
  10. 液体を噴射して柱状の液体流を形成するノズルと、レーザ発振器からレーザ光を前記ノズルへ向けて導く光学システムと、前記ノズルおよび前記反射板の画像を撮像するカメラと、前記光学システムおよびカメラを収納するハウジングとをを有し、前記ノズルが前記ハウジングの底面に配設されており、該ノズルにレーザ光を導入して照射する光学ヘッドからテーブルに載置されたワークにレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工機のレーザ光のアライメント調整方法において、
    レーザ光を反射する反射板を前記光学ヘッドのノズルに対面させて配置する段階と、
    レーザ光の漏洩を防止する遮光部を前記光学ヘッドのハウジングの底面に密着させ、該遮光部によって前記ノズルと前記反射板との間の空間を包囲する段階と、
    前記反射板へ向けてレーザ光を照射する段階と、
    前記カメラで撮像した前記ノズルおよび前記反射板の画像に基づき、前記反射板で反射したレーザ光の光軸を前記ノズルの中心に位置決めするように、前記レーザ光の焦点位置を移動する段階と、
    を含むアライメント調整方法。
  11. 前記ノズルと反射板との間の空間を包囲する段階は、前記レーザ加工機の送り装置を用いて実行される請求項10に記載のアライメント調整方法。
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