JPWO2016121079A1 - イオンミリング装置を備えた電子顕微鏡、および三次元再構築方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 試料室
3 対物レンズ
4 試料
5 二次電子検出器
6 反射電子検出器
7 イオン銃
8 イオン銃制御部
9 真空ポンプ
10 試料台
11 試料ステージ
12 遮蔽板
13 コンピューターシステム
14 ブロードイオンビーム
15 ステージ回転モーター
16 電子ビーム
17 キャリブレーション試料
18 固定治具
19 キャリブレーション試料表面の観察面
20 Z軸基準位置
21 加工穴の底部
Claims (20)
- 載置された試料を回転または傾斜させる試料ステージと、
試料に電子ビームを照射する電子銃と、
試料にブロードイオンビームを照射するイオン銃と、
ブロードイオンビームによる加工面に電子ビームが照射されることにより発生する情報を取得できる検出器と、を備え、
試料のイオンミリング加工と電子顕微鏡観察を繰り返して連続イオンミリング画像を取得し、連続イオンミリング画像から三次元再構築画像を取得することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
イオンミリング加工の掘削レートに基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
ブロードイオンビームの照射時間に基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を求めることを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
イオンミリング画像にかかる加工面形状に基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
試料室内の真空度、ブロードイオンビームの強度または試料の素材の変化した場合の削除レートを有することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
ブロードイオンビームの軸が、電子ビームの軸に垂直な面に対して傾斜するように、電子銃とイオン銃が配置されていることを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
イオンミリング加工中に電子ビームの経路を遮蔽する遮蔽板を備えることを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
イオンミリング加工の掘削レートを計測する手段を有することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
キャリブレーション用試料の一部を遮蔽する遮蔽板を着脱できることを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- 請求項1において、
電子ビームの軸に平行な測長手段を有することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。
- イオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡において、
試料ステージに載置された試料を回転または傾斜させながら、イオン銃からブロードイオンビームを照射し、
電子銃から試料に電子ビームを照射して、ブロードイオンビームによる加工面に電子ビームが照射されることにより発生する情報を検出器により取得し、
前記試料のイオンミリング加工と電子顕微鏡観察を繰り返して連続イオンミリング画像を取得し、
連続イオンミリング画像から三次元再構築画像を取得することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項10において、
イオンミリング加工の掘削レートに基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
ブロードイオンビームの照射時間に基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を求めることを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
イオンミリング画像にかかる加工面形状に基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
予め取得した、試料室内の真空度、ブロードイオンビームの強度または試料の素材の変化した場合の削除レートに基づいて連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
ブロードイオンビームの軸を、電子ビームの軸に垂直な面に対して傾斜させ、試料のイオンミリング加工と電子顕微鏡観察を繰り返すことを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
イオンミリング加工中に電子ビームの経路を遮蔽板により遮蔽することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
電子顕微鏡の計測機能を用いてイオンミリング加工の掘削レートを計測することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
キャリブレーション用試料の一部遮蔽してイオンミリング加工してイオンミリング加工の掘削レートを計測することを特徴とする三次元再構築方法。
- 請求項11において、
電子ビームの軸に平行な測長機能を用いてイオンミリング加工の掘削レートを計測することを特徴とする三次元再構築方法。
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