JP6374035B2 - イオンミリング装置を備えた電子顕微鏡、および三次元再構築方法 - Google Patents
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Description
2 試料室
3 対物レンズ
4 試料
5 二次電子検出器
6 反射電子検出器
7 イオン銃
8 イオン銃制御部
9 真空ポンプ
10 試料台
11 試料ステージ
12 遮蔽板
13 コンピューターシステム
14 ブロードイオンビーム
15 ステージ回転モーター
16 電子ビーム
17 キャリブレーション試料
18 固定治具
19 キャリブレーション試料表面の観察面
20 Z軸基準位置
21 加工穴の底部
Claims (2)
- 載置された試料を回転または傾斜させる試料ステージと、
試料に電子ビームを照射する電子銃と、
試料にブロードイオンビームを照射するイオン銃と、
ブロードイオンビームによる加工面に電子ビームが照射されることにより発生する情報を取得できる検出器と、を備え、
試料のイオンミリング加工と電子顕微鏡観察を繰り返して連続イオンミリング画像を取得し、連続イオンミリング画像から三次元再構築画像を取得し、前記イオンミリング画像にかかる加工面形状に基づいて前記連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とするイオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡。 - イオンミリング装置を搭載した電子顕微鏡において、
試料ステージに載置された試料を回転または傾斜させながら、イオン銃からブロードイオンビームを照射し、
電子銃から試料に電子ビームを照射して、ブロードイオンビームによる加工面に電子ビームが照射されることにより発生する情報を検出器により取得し、
前記試料のイオンミリング加工と電子顕微鏡観察を繰り返して連続イオンミリング画像を取得し、
連続イオンミリング画像から三次元再構築画像を取得し、前記イオンミリング画像にかかる加工面形状に基づいて前記連続イオンミリング画像の深さ情報を修正することを特徴とする三次元再構築方法。
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