JPWO2016084181A1 - オゾン発生装置 - Google Patents
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- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 59
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 53
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 29
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 28
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 15
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 52
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XMTQQYYKAHVGBJ-UHFFFAOYSA-N 3-(3,4-DICHLOROPHENYL)-1,1-DIMETHYLUREA Chemical compound CN(C)C(=O)NC1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1 XMTQQYYKAHVGBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000005293 duran Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004063 acid-resistant material Substances 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001877 deodorizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
- C01B13/115—Preparation of ozone by electric discharge characterised by the electrical circuits producing the electrical discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
- H05H1/2443—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes the plasma fluid flowing through a dielectric tube
- H05H1/245—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes the plasma fluid flowing through a dielectric tube the plasma being activated using internal electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/14—Concentric/tubular dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
- C01B2201/22—Constructional details of the electrodes
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
Description
以下、この発明の実施の形態1を図面で説明する。図1は、この発明の実施の形態に係るオゾン発生装置100の構造を説明する図である。高圧容器である高圧タンク50は、円筒を横向きに置いたような外形を有する。高圧タンク50の左上には、高電圧電源7からの高電圧配線8をタンク内に導入するために、高電圧線導入口53が設けられている。高電圧線導入口53には、接地されている高圧タンク50と高電圧配線8の間を十分に絶縁し、かつガスが漏れないような対策をとる。高圧タンク50の左下には原料ガス入口51が、右下にはオゾン化ガス出口52がそれぞれ設けられている。
20bの内径と誘電体放電管3の外径の差を0.3mm〜2mmの間となるようにした。密封性能をアップするために、接着剤21Aを誘電体放電管3の開放端部にも塗布し密封接着した。
実施の形態1では、高電圧電極1は高電圧電源7と直接接続されている。実施の形態2では図5に示すように、高電圧電極1は、給電ブラシ13、給電棒14A、ヒューズ15、給電棒14B、高電圧配線8を通じて高電圧電源7に接続されている。ヒューズ15は、誘電体放電管3で絶縁破壊が発生するなどして、高電圧電極1と接地電極2の間に過度の電流が流れる状況が発生した場合に、即座に過度の電流を遮断し、誘電体放電管3を電気回路から切り離す。
実施の形態1では、給電ブラシ13を高電圧電極1に接触させて給電している。実施の形態3では、図6に示すように、給電線14Cを高電圧電極1に半田22で電気接合することにより給電を行う。半田は、オゾンや酸で腐食されるので、通常は高圧タンク50の内部では使用できない。しかしながら本実施の形態によるオゾン発生装置では誘電体放電管の内部を密閉用フタ20で密封しているので、半田を使用しても腐食が進展しない。特に、半田22に低温半田を使用すれば、高電圧電極1と給電線14Cを電気接合する場合の温度上昇を低く抑えることができるので、電気接合する際に誘電体放電管3に使用するDURAN管が熱で割れることがなくなる。実施の形態1に比べると、給電線14Cを確実に誘電体放電管3の内部の高電圧電極1に接続できる。
実施の形態3では、給電線14Cを誘電体放電管の内部の高電圧電極1に直接接続している。実施の形態4では図7に示すようにヒューズ15を給電線14Cと給電線14Dの間に接続し、給電線14Cと高電圧電極1とを半田22で電気接合している。ヒューズ15から出ている端子線をそのまま給電線14C、14Dとして使用できるので、使用部品が増えることがない。ヒューズ15に端子線が無い場合においても、給電線14Cと給電線14Dとヒューズ15とを半田22で電気接合できるので電気的接続性の信頼度が向上する。
実施の形態1では、誘電体放電管3をガス流方向に1本だけ使用していた。実施の形態5では、図8に示すように、いわゆるタンデム配置された2本の誘電体放電管を用いる。それぞれの誘電体放電管の密封側を接地電極2の長手方向の中央部に突き合せて設置する。誘電体放電管3A(第1の誘電体放電管)の開口部(開放端3b)を原料ガス流入側に、誘電体放電管3B(第2の誘電体放電管)の開口部(開放端3b)をオゾン化ガス出口側にそれぞれ配置している。密閉用フタ20A(第1の密閉用フタ)は誘電体放電管3Aの開放端3bを覆っている。密閉用フタ20B(第2の密閉用フタ)は誘電体放電管3Bの開放端3bを覆っている。
3b 開放端、4 放電空間、4A スペーサ、5 構造体、5a 水路、
5b 貫通穴、6 冷却水、7 高電圧電源、8 高電圧配線、
13 給電ブラシ、14 給電棒、14C 給電線、15 ヒューズ、
20 密閉用フタ、20a 本体部、20b 円筒部、20c 開口、
21A 接着剤、21B 接着剤、22 半田、50 高圧タンク、
51 原料ガス入口、52 オゾン化ガス出口、53 高電圧線導入口、
54 冷却水入口、55 冷却水出口、100 オゾン発生装置。
Claims (5)
- 相対向する閉鎖端と開放端を有し、内面には電極が形成されている誘電体放電管と、
前記誘電体放電管の開放端を覆い、前記誘電体放電管と接着剤で固定されている密閉用フタと、
前記誘電体放電管の内面に形成されている電極に内接する給電ブラシと、
前記誘電体放電管と同心円状に配置されている接地電極と、を備え、
前記密閉用フタは相互に繋がっている本体部と円筒部を有し、
前記円筒部の内径は前記誘電体放電管の外径よりも大きいことを特徴とするオゾン発生装置。 - 前記給電ブラシと前記密閉用フタの間にヒューズが設置されていることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 相対向する閉鎖端と開放端を有し、内面には電極が形成されている誘電体放電管と、
前記誘電体放電管の開放端を覆い、前記誘電体放電管と接着剤で固定されている密閉用フタと、
前記誘電体放電管の内面に形成されている電極に半田で接続された給電線と、
前記誘電体放電管と同心円状に配置されている接地電極と、を備え、
前記密閉用フタは相互に繋がっている本体部と円筒部を有し、
前記円筒部の内径は前記誘電体放電管の外径よりも大きいことを特徴とするオゾン発生装置。 - 前記給電線と前記密閉用フタの間にヒューズが設置されていることを特徴とする請求項3に記載のオゾン発生装置。
- 相対向する閉鎖端と開放端を有し、内面には電極が形成されている第1の誘電体放電管と、
相互に繋がっている本体部と円筒部を有し、前記第1の誘電体放電管の開放端を覆い、前記第1の誘電体放電管と接着剤で固定されている第1の密閉用フタと、
相対向する閉鎖端と開放端を有し、内面には電極が形成されている第2の誘電体放電管と、
相互に繋がっている本体部と円筒部を有し、前記第2の誘電体放電管の開放端を覆い、前記第2の誘電体放電管と接着剤で固定されている第2の密閉用フタと、
前記第1の誘電体放電管および前記第2の誘電体放電管と同心円状に配置されている接地電極と、を備え、
前記第1の誘電体放電管および前記第2の誘電体放電管は閉鎖端を対面させて配置され、
前記第1の密閉用フタの円筒部の内径は前記第1の誘電体放電管の外径よりも大きく、
前記第2の密閉用フタの円筒部の内径は前記第2の誘電体放電管の外径よりも大きいことを特徴とするオゾン発生装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/081316 WO2016084181A1 (ja) | 2014-11-27 | 2014-11-27 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5872117B1 JP5872117B1 (ja) | 2016-03-01 |
JPWO2016084181A1 true JPWO2016084181A1 (ja) | 2017-04-27 |
Family
ID=55362174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015532626A Active JP5872117B1 (ja) | 2014-11-27 | 2014-11-27 | オゾン発生装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10112832B2 (ja) |
EP (1) | EP3205623B1 (ja) |
JP (1) | JP5872117B1 (ja) |
CN (1) | CN106922143A (ja) |
CA (1) | CA2969091C (ja) |
WO (1) | WO2016084181A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6783389B2 (ja) * | 2017-05-31 | 2020-11-11 | 三菱電機株式会社 | 電流遮断素子、およびオゾン発生装置 |
JP6935014B2 (ja) * | 2018-05-30 | 2021-09-15 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置 |
BR202019005250U2 (pt) * | 2019-03-18 | 2020-09-29 | Antônio Flávio Dos Santos | Aparelho gerador de ozônio |
CZ308279B6 (cs) * | 2019-07-08 | 2020-04-08 | ÄŚeskĂ© vysokĂ© uÄŤenĂ technickĂ© v Praze | Způsob generování ozonu a dalších aktivních částic a zařízení k provádění tohoto způsobu |
JP7199314B2 (ja) * | 2019-07-09 | 2023-01-05 | 株式会社東芝 | 放電管診断装置、放電管診断方法、およびプログラム |
JP7417262B2 (ja) * | 2020-05-11 | 2024-01-18 | 株式会社イー・エム・ディー | プラズマ生成装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1130827A (en) | 1910-12-01 | 1915-03-09 | Knox Terpezone Company Of America | Apparatus for generating ozone. |
JPH07330308A (ja) | 1994-06-06 | 1995-12-19 | Sankyo Denki Kk | 短波長紫外線ランプ |
JP3015268B2 (ja) | 1994-12-27 | 2000-03-06 | オーニット株式会社 | 低温プラズマ発生体 |
JPH10338503A (ja) | 1997-04-08 | 1998-12-22 | Fuji Electric Co Ltd | オゾン発生装置 |
JPH1135303A (ja) | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Meidensha Corp | オゾン発生装置 |
JP4669379B2 (ja) | 2005-11-25 | 2011-04-13 | 野村電子工業株式会社 | 小容量オゾン発生装置 |
JP4999503B2 (ja) | 2007-03-13 | 2012-08-15 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置 |
JP5661003B2 (ja) | 2011-08-30 | 2015-01-28 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生管、およびオゾン発生装置 |
JP2013094711A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Sharp Corp | オゾン液生成装置 |
JP2014101260A (ja) | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン発生装置 |
-
2014
- 2014-11-27 WO PCT/JP2014/081316 patent/WO2016084181A1/ja active Application Filing
- 2014-11-27 CA CA2969091A patent/CA2969091C/en active Active
- 2014-11-27 CN CN201480083475.XA patent/CN106922143A/zh active Pending
- 2014-11-27 JP JP2015532626A patent/JP5872117B1/ja active Active
- 2014-11-27 US US15/325,814 patent/US10112832B2/en active Active
- 2014-11-27 EP EP14907014.6A patent/EP3205623B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3205623A1 (en) | 2017-08-16 |
US10112832B2 (en) | 2018-10-30 |
US20170158507A1 (en) | 2017-06-08 |
EP3205623A4 (en) | 2018-05-30 |
WO2016084181A1 (ja) | 2016-06-02 |
EP3205623B1 (en) | 2021-04-07 |
CN106922143A (zh) | 2017-07-04 |
CA2969091C (en) | 2021-08-10 |
JP5872117B1 (ja) | 2016-03-01 |
CA2969091A1 (en) | 2016-06-02 |
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