JP2008031002A - オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体 - Google Patents

オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体 Download PDF

Info

Publication number
JP2008031002A
JP2008031002A JP2006206935A JP2006206935A JP2008031002A JP 2008031002 A JP2008031002 A JP 2008031002A JP 2006206935 A JP2006206935 A JP 2006206935A JP 2006206935 A JP2006206935 A JP 2006206935A JP 2008031002 A JP2008031002 A JP 2008031002A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
ozone generator
plate member
generator according
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006206935A
Other languages
English (en)
Inventor
Huei Tarng Liou
輝堂 劉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2006206935A priority Critical patent/JP2008031002A/ja
Publication of JP2008031002A publication Critical patent/JP2008031002A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

【課題】オゾン発生装置において、オゾン発生効率が高く、大きさが小型で、熱放散と酸化防止性能が良好となるようにする。
【解決手段】冷却板32と、それに対向して配置された高電圧板34と、冷却板32と高電圧板34との間に配置された流路構成体36とを有し、流路構成体36が、内側の表面と、冷却板32に当接された、外側の表面とを有する第1の板部材361と、その内側の表面に対向する内側の表面と高電圧板34に当接された外側の表面とを有する第2の板部材362と、第1の板部材361を第2の板部材362に連結し、第1の板部材361と第2の板部材362との間に空間366を形成する複数の側板と、側板の1つに形成され、空気を空間366の内部に向けるために空間366に通じる開口364および空気を空間366から流し出すために空間366に通じる開口365とを備える。
【選択図】図3

Description

本発明は、オゾン発生装置に関し、特に、容易に積み重ねることができて、そのため装置サイズを小型化できるオゾン発生装置に関する。
オゾン(O)は、清浄化すべき気体もしくは液体から汚染物質を除去するために広く用いられるガスの一種である。オゾンは、通常の温度および圧力の下では、それ自体が化学的に不安定な特性を有するため、他の汚染物質と化合して良性の化合物を形成する傾向がある。それゆえ、オゾンはクリーニングガスとしてよく用いられるようになっている。近年では、家庭用電気器具用途、例えば、洗濯機、冷蔵庫、空調機、種々の空気清浄機などに採用されてきた。
従来の方法では、オゾンを発生させるためにオゾン管が利用されている。図1は、従来のオゾン管10の構造を示している。オゾン管10は、内側管状電極12を取り囲む外側管状電極11から構成される。外側管状電極11と内側管状電極12はいずれもステンレス鋼で作られている。内側管状電極12の外側の表面は、さらに、誘電体として用いられる中空のガラス管13の内面に当接されている。そのため、空間14が、外側管状電極11とガラス管13との間に形成され、空気で満たされた状態になっている。この2つの電極に高電圧を印加することによって、空間14にコロナ放電が発生される。そして、その中のガスがイオン化されるに至り、さらには、オゾンが形成される結果となる。しかしながら、この従来のオゾン管は、以下に述べるような欠点を含んでいる。まず第一に、空気と外側管状電極11とが直接的に接触し、高電圧下のコロナ放電のため多量の熱が発生することによって、電極が過剰に加熱されることになり、外側管状電極11の内面の酸化を招く恐れがある。また、そのためにオゾン管の効率が低下する恐れがある。さらには、高周波電流が2つの電極に導通されることにより、ガラス管13が破損する恐れもあり、そうなるとオゾン管10が動作できなくなってしまう。
特許文献1は、オゾン管の改良された構造を開示している。図2は、オゾン管20の断面図を示している。図2に示すように、空気を内外に導くための案内空間21が、オゾン管20の両端部のそれぞれに配置されている。案内孔22は、一方の端部で放電空間26の中に空気を導くとともに、他方の端部で放電空間26から空気が流出するように方向づける設計とされている。オゾン管20は、さらに、中心電極25を囲む外側リング電極23を備えている。上記の2つの電極に高電圧を印加することによって、コロナ放電が発生され、放電空間26内で、空気がイオン化され、それによりオゾンが形成される。長期間にわたる高電圧下で電極が酸化されないようにするために、外側リング電極23は抗酸化層24によって覆われていることに留意されたい。
Taiwan Utility Model Pat. No. M270172
上記を考慮すると、上述のようなオゾン管は、以下の欠点を有する。
I. オゾン管は、長く延ばされた外観を呈しているので大きな体積を占め、また、オゾン管を通して軸方向に沿って流れる空気は制限される。もし、オゾンの体積流量を増大させなければならないとすると、この目的を達成する唯一の手段は、複数のオゾン管を管組立体として合体させることである。しかしながら、管組立体は、オゾン発生装置の総体的な大きさを増大させ、それゆえに製造コストを増大させることになる。
II. オゾン管に印加される高電圧に伴って、多量の熱が生じる。この熱のために各構成要素の温度が上昇し、これらの構成要素に悪影響をもたらすことは明白である。最悪の場合、構成要素がまったく動作しなくなってしまうかもしれない。
したがって、オゾン発生効率が高く、装置サイズが小型であるという利点を備えたオゾン発生装置を開発することが必要である。加えるに、熱放散能力に優れ、酸化を防止できることも求められている。
本発明の目的は、小型で、しかもオゾン発生率が高いという利点を有するオゾン発生装置を提供することである。
本発明の他の目的は、優れた熱放散能力を有し、それによりコロナ放電によって発生した多量の熱を効率的に放散できるようにしたオゾン発生装置を提供することである。
本発明のもう一つの目的は、長期の稼働期間で高電圧に曝されて、電極が酸化されるのを防ぎ、それにより装置の寿命を延ばすことができるオゾン発生装置を提供することである。
上記の目的を達成するため、本発明は、オゾンを発生するために内部に空気を導くように改造したオゾン発生装置を開示する。本発明のオゾン発生装置は、冷却板と、この冷却板に対向して配置された高電圧板と、冷却板と高電圧板との間に配置された流路構成体とを備える。この流路構成体は、内側の表面と、冷却板に当接された、外側の表面とを有する第1の板部材と、この第1の板部材の前記内側の表面に対向する内側の表面と、高電圧板に当接された外側の表面とを有する第2の板部材と、第1の板部材を第2の板部材に連結し、第1の板部材と第2の板部材との間に空間を形成する複数の側板と、これら側板の1つに形成されるとともに、空気を前記空間の内部に向けるために前記空間に通じる第1の開口と、前記側板の1つに形成されるとともに、空気を前記空間から流し出すために前記空間に通じる第2の開口とを備える。
本発明の好ましい実施形態の1つによれば、前記高電圧板は電源と変圧器とに電気的に接続され、前記冷却板は接地される。前記高電圧板と前記冷却板とはアルミニウムで作られた中空板とすることができる。この高電圧板と冷却板とは、それぞれ冷却剤を流入および流出させるための2つの開口を備えている。この高電圧板と冷却板とは、より良好な冷却効率を達成するために、さらに循環冷却システムと接続されるようにすることができる。前記流路構成体は、さらに、前記側板から延ばされ、前記空間を流路に区分するように配された複数の隔離部材を備える。これら隔離部材は、円柱または四角柱としてもよい。これら隔離部材の直径または厚さは前記第1の板部材と前記第2の板部材との間の離間距離に等しく、良好なコロナ放電効果を得るには、この離間距離を約0.5mmとすることが好ましい。前記流路構成体を製作する材料としては、石英を用いることが好ましい。また、前記流路構成体の各部は、溶接密閉されることが好ましい。さらに、前記第2の板部材の前記外側の表面は、例えば金(Au)などの金属層により覆うことができる。これにより前記第2の板部材と前記高電圧板との間の電気伝導率を高めることができる。
本発明の好ましい実施形態のもう1つによれば、オゾン発生装置の構造は積み重ねられた形態とすることができる。本発明の第1の実施形態による複数のオゾン発生装置は、積み重ねることにより積層組立体を形成することができる。2つのオゾン発生装置は、共通の高電圧板を用いることによって、1つのオゾン発生装置モジュールに組み立てることができる。このモジュールは、2つの対向する流路構成体、2枚の冷却板、および1枚の高電圧板を備える。この2枚の冷却板は、前記2つの対向する流路構成体を間に挟み、それぞれの冷却板が、それぞれ前記流路構成体の1つの第1の板部材と当接している。前記高電圧板は、前記流路構成体の第2の板部材の間に挟まれている。なお、2つ以上のオゾン発生装置モジュールは、積み重ねられることで、さらに積層組立体を形成することができる。このオゾン発生装置の積層組立体において、1つのオゾン発生装置モジュールの冷却板の1つは、他のオゾン発生装置モジュールの冷却板の1つとなっている。それゆえ、上述したような積み重ね方法によれば、高いオゾン発生率、大きな体積流量を備え、装置を小型とすることができるという利点を有するオゾン発生装置の積層組立体が形成される。
本発明によるオゾン発生装置は、以下のような利点がある。
I. 本発明の構造は、積み重ねることが容易である。そのため、オゾン発生装置の全体の大きさが抑制されるとともに、オゾン発生率および体積流量が増大される。
II. オゾンは石英で作られた流路構成体の第1の板部材と第2の板部材との間で発生されるので、電極の酸化および金属酸化により形成される汚染という欠陥は、もはや存在しないものとなる。この石英から成る流路構成体は、高電圧および高周波の下でも破損が起こらないものになる。したがって、オゾン発生装置の寿命が延ばされる。
III. 高電圧板と冷却板との冷却構造の設計により、高電圧板、冷却板、および石英から成る流路構成体からの発熱を効率的に除去することができる。それにより、内部の温度が低減され、したがって、オゾン発生装置の構成要素が破損しないようにすることができる。
本発明の特徴は、本発明の図面および以下に詳述される好ましい実施形態の説明を参照することにより、当業者にとって明白なものとなる。
図3は、本発明の第1の好ましい実施形態によるオゾン発生装置の構造の断面を示す。図3に示すように、オゾン発生装置30は、冷却板32、高電圧板34、および流路構成体36から構成されている。冷却板32は、高電圧板34に対向して配置され、流路構成体36は、2つの板部材32、34の間に配置されている。高電圧板34は、さらに、電源39および変圧器40と電気的に接続されている。そして、冷却板32は接地することができる。さらに、冷却板32は、冷却剤で満たされた中空部と、この中空部に通じることで冷却剤を流入、流出させることができる開口322、324とを含む中空板とすることができる。同様に、高電圧板34は、冷却剤で満たされた中空部と、この中空部に通じることで冷却剤を流入、流出させることができる開口342、344とを含む中空板とすることができる。冷却板32および高電圧板34は、アルミニウムからなる中空板であることが好ましく、さらに循環冷却システムと接続されるようにすることができる。これにより、電気伝導率と熱放散性の性能を良好にし、併せて製作コストを低減することができる。
図4は、上面から見たときの流路構成体36の断面を示す。図3、4に示すように、流路構成体36は、第1の板部材361、第2の板部材362、複数の側板363、および2つの開口364、365を含んでいる。第1の板部材361は、内側の表面と、冷却板32の一方の面に当接した外側の表面とを有する。第2の板部材362もまた、第1の板部材361の内側の表面に対向する内側の表面と、高電圧板34の一方の面に当接した外側の表面とを有する。複数の側板363は、第1の板部材361と第2の板部材362とを連結し、それらの間に空間366を形成するように構成されている。開口364、365は、少なくとも1つの側板363上に形成され、空間366に通じており、それぞれ空間366の入口および出口となっている。図4に示すように、流路構成体36は、さらに、側板363から延ばされるとともに、空間366を一続きの流路368に区分するように間隔を置いて配置された複数の隔離部材367を備えることができる。それゆえ、開口364を経由して、流路構成体36の内側の流路368に流入する空気が閉じ込められ、流路368に沿って流れ、それから、開口365を経由して流路構成体36から出ていく。隔離部材367の断面形状は円柱や四角柱とすることができることに留意されたい。これらの円柱や四角柱は第1の板部材361および第2の板部材362の内側の表面にそれぞれ当接される。すなわち、隔離部材367の直径あるいは厚さは、第1の板部材361と第2の板部材362との離間距離に等しい。さらに、この離間距離は、約0.5mmとすることが好ましく、それによりコロナ放電効果の性能を向上することができる。
流路構成体36の第1の板部材361および第2の板部材362の外側の表面は、冷却板32の内側の表面および高電圧板34の内側の表面にそれぞれ当接している。さらに、流路構成体36は、抗酸化特性を有する誘電体として用いることができるような材質で形成するべきである。本発明によれば、流路構成体36を製作する材質として、石英を用いることが好ましく、流路構成体36の各部は溶接密閉されていてもよい。さらに、第2の板部材362の外側の表面は、例えば、金(Au)などの金属層で覆われていてもよく、これにより、第2の板部材362と高電圧板34との間の電気伝導率を向上することができる。
本発明によるオゾン発生装置の動作原理は以下のように説明される。冷却板32と高電圧板34は、オゾン発生装置30の2つの電極として働く。電源39によって電流が供給される間、約7000Hzから約17000Hzまでの範囲の高周波電流が発生され、高周波変圧器40に供給される。高周波変圧器40は、この電流の電圧を約6000ボルトから約30000ボルトの範囲の電圧に昇圧し、高電圧板34に印加する。冷却板32は接地されているので、それによって高い電位差が、高電圧板34と冷却板32との間に存在する。期待される通り、このような高い電位差が原因となり、流路構成体36の流路368を通して流れる気体中でコロナ放電が発生する。開口364から流入した、流路368内の気体あるいは空気はコロナ放電のためにイオン化され、そしてオゾンが発生される。中にオゾンを含む空気流は、それから開口365を通して流路構成体36から流出する。その結果、オゾン発生装置30はオゾンを発生する機能を果たす。
オゾン発生装置30が運転されている間、冷却剤が、開口322、342を通してそれぞれ冷却板32および高電圧板34の中空部の中に供給される。以後、この冷却剤は、開口322、342を通してそれぞれ冷却板32および高電圧板34から流出し、そのために、高電圧のために発生する熱が除去され、したがってオゾン発生装置が冷却される。これに加えて、石英で製作された流路構成体36は、金属の酸化による汚染の形成を効果的に防止することができ、したがってこのオゾン発生装置の寿命を延ばすことができる。また、この石英から成る流路構成体36は、破損を回避することができるよう、高周波かつ高電圧の電流に耐えることができる。
本発明の第1の実施形態による複数のオゾン発生装置は、積み重ねることにより積層組立体50を形成することができる。図5は、本発明によるもう一つの好ましい実施形態を示す。図5に示すように、この実施形態では、2つのオゾン発生装置が共通の高電圧板54を用いることによってモュール51に一体に結合できるようにしたものである。図示のように、それぞれのオゾン発生装置モジュール51は、2枚の冷却板56とともに、一対の対向する流路構成体52、および1枚の高電圧板54を備えている。各流路構成体52の構造は、本発明の第1の実施形態で開示されたものと同様の構成と、第1の板部材521および第2の板部材522(図5では、電源および変圧器は図示を省略している。)を含んでいる。2枚の冷却板56は、その間に2つの流路構成体52を挟んでいる。各流路構成体52の第1の板部材521は、それぞれ冷却板56に当接している。各流路構成体52の第2の板部材522は、それらの間に高電圧板54をそれぞれ挟んでおり、それによりそれぞれ1つのオゾン発生装置モジュール51を構成している。上述の構造よれば、一方のオゾン発生装置モジュール51は、図5に示すように、冷却板56を共通に用いることによって、他方のオゾン発生装置モジュール51’と一体に結合されることが可能となり、積層組立体50を形成することができる。このようにして、オゾン発生装置の上記の積層組立体は、高いオゾン発生率、大きな体積流量を備え、装置サイズを小型とすることができる。
本発明は、その精神及び本質を逸脱すること無しに他の具体的態様によっても実施することができる。したがって、上述の実施例は、説明的なものにすぎず、これに限定されると理解してはならない。特許請求の範囲及び特許請求の範囲の均等物の意味するところ及び範囲が整合するすべての変形は、この発明の技術的範囲に属するべきものである。
従来のオゾン管の構造を示す。 従来のオゾン管の他の1つの断面を示す。 本発明の第1の好ましい実施形態によるオゾン発生装置の構造の断面を示す。 上面から見たときの本発明の流路構成体の断面を示す。 本発明による他の好ましい実施形態を示す。
符号の説明
30 オゾン発生装置
32、56 冷却板
34、54 高電圧板
36、52 流路構成体
39 電源
40 変圧器
50 積層組立体
51、51’ オゾン発生装置モジュール
322 開口(第5の開口)
324 開口(第6の開口)
342 開口(第3の開口)
344 開口(第4の開口)
361、521 第1の板部材
362、522 第2の板部材
363 側板
364 開口(第1の開口)
365 開口(第2の開口)
366 空間
367 隔離部材
368 流路

Claims (21)

  1. 冷却板と、
    該冷却板に対向して配置された高電圧板と、
    前記冷却板と前記高電圧板との間に配置された流路構成体であって、
    内側の表面と、前記冷却板に当接された、外側の表面とを有する第1の板部材と、
    該第1の板部材の前記内側の表面に対向する内側の表面と、前記高電圧板に当接された外側の表面とを有する第2の板部材と、
    前記第1の板部材を前記第2の板部材に連結し、前記第1の板部材と前記第2の板部材との間に空間を形成する複数の側板と、
    前記側板の1つに形成されるとともに、空気を前記空間の内部に向けるために前記空間に通じる第1の開口と、
    前記側板の1つに形成されるとともに、空気を前記空間から流し出すために前記空間に通じる第2の開口と、
    を備える流路構成体と、
    を備えるオゾン発生装置。
  2. 前記冷却板は接地されている請求項1に記載のオゾン発生装置。
  3. さらに、電源と、前記高電圧板および前記電源に電気的に接続された変圧器とを備える請求項1に記載のオゾン発生装置。
  4. 前記電源は、前記変圧器に約7000Hzから約17000Hzまでの範囲の高周波電流を供給するようにした請求項3に記載のオゾン発生装置。
  5. 前記変圧器は、前記電流の電圧を約6000ボルトから約30000ボルトまでの範囲に昇圧するようにした請求項4に記載のオゾン発生装置。
  6. 前記流路構成体は、さらに、前記側板の間で離間して配置されるとともに前記第1の板部材および前記第2の板部材に当接し、これにより前記空間を、空気を閉じ込めるための流路に区分して、前記空気が前記第1の開口から前記第2の開口まで流れるようにした複数の隔離部材を備える請求項1に記載のオゾン発生装置。
  7. 前記隔離部材の厚さが約0.5mmである請求項6に記載のオゾン発生装置。
  8. 前記隔離部材の断面形状が円柱である請求項6に記載のオゾン発生装置。
  9. 前記第1の板部材と前記第2の板部材とが、石英で作られている請求項6に記載のオゾン発生装置。
  10. 前記側板が、石英で作られている請求項6に記載のオゾン発生装置。
  11. 前記隔離部材が、石英で作られている請求項10に記載のオゾン発生装置。
  12. 前記第2の板部材の前記外側の表面は金属層で覆われている請求項1に記載のオゾン発生装置。
  13. 前記金属層が金である請求項12に記載のオゾン発生装置。
  14. 前記高電圧板は、該高電圧板を冷却するために用いられる冷却剤で満たされる中空部を備える請求項1に記載のオゾン発生装置。
  15. 前記冷却板は、該冷却板を冷却するために用いられる冷却剤で満たされる中空部を備える請求項1に記載のオゾン発生装置。
  16. 前記高電圧板がアルミニウムから作られている請求項14に記載のオゾン発生装置。
  17. 前記冷却板がアルミニウムから作られている請求項15に記載のオゾン発生装置。
  18. 前記高電圧板は、該高電圧板の前記中空部に通じる第3の開口および第4の開口を備え、前記第3の開口は前記冷却剤を前記中空部の内部に向け、前記第4の開口は前記冷却剤を前記中空部から流し出すようにした請求項14に記載のオゾン発生装置。
  19. 前記冷却板は、該冷却板の前記中空部に通じる第5の開口および第6の開口を備え、前記第5の開口は前記冷却剤を前記中空部の内部に向け、前記第4の開口は前記冷却剤を前記中空部から流し出すようにした請求項15に記載のオゾン発生装置。
  20. 2つの対向する流路構成体であって、該それぞれの流路構成体が、
    第1の板部材と、
    前記第1の板部材に対向する第2の板部材と、
    前記第1の板部材を前記第2の板部材に連結し、前記第1の板部材と前記第2の板部材との間に空間を形成する複数の側板と、
    前記側板の1つに形成された第1の開口と、
    前記側板の1つに形成された第2の開口と、
    を備える流路構成体と、
    2つの冷却板であって、該2つの冷却板は、前記2つの流路構成体を間に挟み、前記冷却板のそれぞれが前記流路構成体のそれぞれの前記第1の板部材と当接する2つの冷却板と、
    前記流路構成体の前記第2の板部材間に挟まれた高電圧板と、
    を備えるオゾン発生装置モジュール。
  21. 請求項20に記載のオゾン発生装置モジュールを2つ以上備え、前記オゾン発生装置モジュールのうちの1つの冷却板の1つが、他の前記オゾン発生装置モジュールの冷却板であるオゾン発生装置の積層組立体。
JP2006206935A 2006-07-28 2006-07-28 オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体 Pending JP2008031002A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006206935A JP2008031002A (ja) 2006-07-28 2006-07-28 オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006206935A JP2008031002A (ja) 2006-07-28 2006-07-28 オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008031002A true JP2008031002A (ja) 2008-02-14

Family

ID=39120826

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006206935A Pending JP2008031002A (ja) 2006-07-28 2006-07-28 オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008031002A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2509180C2 (ru) * 2012-04-28 2014-03-10 Открытое акционерное общество криогенного машиностроения Электрод озонаторной установки и способ его изготовления
RU2600475C1 (ru) * 2015-07-14 2016-10-20 Юрий Васильевич Горбатский Устройство для синтеза озона

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2509180C2 (ru) * 2012-04-28 2014-03-10 Открытое акционерное общество криогенного машиностроения Электрод озонаторной установки и способ его изготовления
RU2600475C1 (ru) * 2015-07-14 2016-10-20 Юрий Васильевич Горбатский Устройство для синтеза озона

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3848538B2 (ja) オゾン発生器
KR101349488B1 (ko) 오존발생장치
JP5048714B2 (ja) オゾン発生装置
US6905659B2 (en) Ozonizer
JP2004142963A (ja) オゾン発生器
US20040052701A1 (en) Ozonizer
US20080025883A1 (en) Ozone generator
KR101354145B1 (ko) 오존발생장치
JP4464931B2 (ja) オゾン発生装置
JP2008031002A (ja) オゾン発生装置、オゾン発生装置モジュール、およびオゾン発生装置の積層組立体
CN101190783B (zh) 水冷式臭氧发生装置
CN110526218B (zh) 一种臭氧发生模块及臭氧发生器
EP1882673A1 (en) Ozone generator
JP5395142B2 (ja) オゾン発生装置
JP2004203741A (ja) オゾン発生器
CN101112972A (zh) 臭氧发生器
JP2013018682A (ja) オゾン発生装置、およびオゾン発生装置の製造方法
JP3870940B2 (ja) オゾン発生装置
KR101582315B1 (ko) 오존 발생기
JP4138684B2 (ja) オゾン発生方法およびオゾン発生装置
JP3708948B2 (ja) オゾン発生装置用放電セル
JP2002087804A (ja) オゾン発生装置
JP2014105149A (ja) オゾン発生装置
JP2000226202A (ja) 管型オゾン発生装置
WO2003089131A1 (en) Ozone generator