JP5669685B2 - オゾン発生装置、およびオゾン発生装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、この発明の実施の形態1によるオゾン発生装置を図1、図2に基づいて説明する。図1は本発明の実施の形態1によるオゾン発生装置の概略構成を示す側面断面図であり、図2は本発明の主要部を示す拡大断面図である。
となる。図3において、a、b、cそれぞれの曲線の左端の点は、主放電部の放電電力密
度を示している。また、a、b、cいずれの曲線も、Pで示すd2=0.8mmの直線に対
してほぼ対称となっている。よって、d2における放電電力密度がd1における放電電力密度よりも小さくなるのは、概略、
d2>0.8+(0.8−d1)=(1.6−d1)mm (1)
の条件を満足する場合である。すなわち、管板11に対向する部分の間隙21の間隙距離d2を1.6mm−d1より大きくしておけば、間隙21の部分の放電電力密度が、主放電部の放電電力密度よりも小さくなり、管板11に対向する部分の誘電体管5の温度上昇が抑えられる。なお、式(1)の条件でd2を決定できるのは、主放電部の間隙距離d1が0.4mm以下の場合である。
る。一般的に行われる管板11と接地電極管4との接合方法とは、溶接、あるいは拡管(管板に固定するための拡管)、さらにはOリング等により固定する方法などがある。なお、拡管加工で固定する場合は、万一、上記接地電極管単体での加工(管板11に対向する部分の内径を大きくする)において、接地電極管内面に傷等凹凸が生じた場合に、拡管ツールで表面を圧接することより、当該凹凸をある程度平坦化する効果がある。またオゾン側の管板12と接地電極管4との接合においても、どのような接合方法を用いても良い。ただし、この部分の接合を、酸素側の管板11と接地電極管4とが固定された状態で行う場合は、接地電極管のオゾン側を拡管すると接地電極管が延びて曲がるため、拡管は避けた方が良い。
図4および図5は、本発明の実施の形態2の構成を示す図である。図4は、実施の形態2による主要部を示す拡大断面図であり、図5は図4のA−A部の断面図である。なお、図4は図2と同様、管板11に対向する付近であって、接地電極管4や誘電体管5の中心軸に対して片側のみを示している。
た金属材料であっても良い。
本実施の形態は、実施の形態1と構造はほとんど同じであるが、製造方法が異なるものである。実施の形態1においては、接地電極管4は単体で径を広げる加工を行うが、本実施の形態3においては、管板11への固定と同時に行う。管板11に開けられた接地電極管4を通すための穴の直径は実施の形態1においては接地電極管(一部径を大きくする加工後)の外径より0.2mm程度大きいものであるが、本実施の形態においては、接地電極
管(加工前)の外径よりも例えば約2.0mm大きくしておく。そして、通常(従来)の
オゾン発生装置において、管板11と接地電極管4を固定するための拡管ツールを用いて、接地電極管4の管板11に対向する部分の内径を2.2mm拡げると接地電極管4の肉厚が約0.1mm薄くなり、接地電極管4の当該部分の外径は約2.0mm拡大され、管板11の穴にほぼ接する。さらに、軸方向の位置を微調整しながら、接地電極管4の内径を約0.4mm拡げることにより接地電極管4が管板11の穴に強固に固着されシールが完了する。本実施の形態では、接地電極管4の当該部分の内径は、結果的に主放電部より2.2+0.4=2.6mm大きくなる。誘電体管5の外径はほぼ一定であるから、間隙の距離は、管板11に対向する位置だけ、主放電部よりも1.3mm大きくなることになる。なお、上記加工のうち、最初に接地電極管4の内径を約2.2mm広げる(管板の穴にほぼ接する)までの作業は、通常の拡管と異なり接地電極管4が軸方向に動いてしまうため、管板12側に接地電極管4が軸方向に移動しないようにするためのストッパを設けて実施する必要がある。
図6は、本発明の実施の形態4によるオゾン発生装置の概略構成を示す側面断面図である。図6において、図1と同一符号は、同一または相当する部分を示す。上記実施の形態1〜3では、当該部分の接地電極管4の内径を大きくする例を示したが、本実施の形態4では、図5に示すように接地電極管4に内径は全ての部分で一定であり、誘電体管5の管板11に対向する位置から外側の部分51の外形を小さくした。
のため、管板11に対向する部分の間隙21における放電電力密度によって、投入電力の上限が決まることなく、主放電部における放電電力密度を増大でき、放電管への全投入電力を向上させることができる効果がある。
3:オゾン化ガス出口 4:接地電極管
5:誘電体管 6:金属膜(金属電極)
10:交流高圧電源 11:第一の管板(原料ガス入口側の管板)12:第二の管板(オゾン化ガス出口側の管板)
20:主放電部の間隙 21:管板11に対向する部分の間隙
30:位置決め部材 50:高圧電極管
100:原料ガス入口側の空間 200:オゾン化ガス出口側の空間
Claims (7)
- 気密密閉容器と、
穴が開いた導電金属板であって、上記気密密閉容器の内部を3つの空間に仕切るように平行に設置された2枚の管板と、
この2枚の管板の上記穴同士を連結するように設けられた接地電極管と、
外壁と上記接地電極管内壁とが所定の間隙距離を有するように上記接地電極管内部に保持され、内部に金属電極を備え、片端が閉鎖された誘電体管と、
上記接地電極管と上記金属電極との間に交流の高電圧を印加するための交流高圧電源とを備え、
上記3つの空間のうち両端にある空間の一方の空間から、少なくとも上記間隙を通って両端にある空間の他方の空間に酸素を含む原料ガスを流し、上記誘電体管内部の金属電極を高電位、上記接地電極管および上記管板を接地電位として、上記間隙を流れる原料ガスを放電させてオゾンを発生させるとともに、上記2枚の管板と上記接地電極管外壁、および上記気密密閉容器の内壁とで区切られた空間に冷却水を流すことにより、上記間隙に流れるガスを介して上記誘電体管を冷却するように構成されたオゾン発生装置であって、
上記管板に対向する上記間隙部分の放電電力密度が、上記所定の間隙距離の部分の放電電力密度よりも小さくなるよう、上記管板に対向する上記間隙部分の間隙距離を、上記所定の間隙距離よりも広くしたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 上記所定の間隙距離をd1とし、d1が0.4mm以下であり、上記管板に対向する上記間隙部分の間隙距離d2を、1.6mm−d1より大きくしたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 上記接地電極管の内径が、上記管板に対向する部分で大きくなっていることを特徴とする請求項1または2に記載のオゾン発生装置。
- 上記誘電体管の外径が、上記管板に対向する部分で小さくなっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のオゾン発生装置。
- 上記管板に対向する部分の上記間隙部分に、上記誘電体管を上記接地電極管と同軸にな
るよう配置する位置決め部材を設けたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のオゾン発生装置。 - 請求項3に記載のオゾン発生装置の製造方法であって、上記接地電極管を単体で、上記接地電極管の端部の内径を拡げる工程の後、上記接地電極管を上記管板に固定する工程を行うことを特徴とする、オゾン発生装置の製造方法。
- 請求項3に記載のオゾン発生装置の製造方法であって、上記接地電極管の端部の内径を拡げると同時に、上記接地電極管を上記管板に固定する工程を行うことを特徴とする、オゾン発生装置の製造方法。
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