JP4138684B2

JP4138684B2 - オゾン発生方法およびオゾン発生装置

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Publication number: JP4138684B2
Application number: JP2004067026A
Authority: JP
Inventors: 正樹田口
Original assignee: 富士電機水環境システムズ株式会社
Priority date: 2004-03-10
Filing date: 2004-03-10
Publication date: 2008-08-27
Anticipated expiration: 2024-03-10
Also published as: JP2005255432A

Description

本発明はオゾンを効率よく発生することができるオゾン発生管およびそのオゾン発生管を備えるオゾン発生装置に関する。また、オゾン発生管およびそのオゾン発生管を備えるオゾン発生装置を用いるオゾン発生方法およびオゾン発生管やオゾン発生装置に備える対向電極に関する。とくに、接地電極と長尺化された高電圧電極とから構成される対向電極であって、均一なギャップ長を保持でき、しかも冷却媒質（以下、冷媒ということがある）で高電圧電極の内側から効果的に電極を冷却することが可能な対向電極を備えたオゾン発生管およびそのオゾン発生管を備えるオゾン発生装置に関する。

オゾンは、上下水処理、殺菌処理、漂白処理などに利用され、その有効性のため重要視され、オゾンを効率よく発生する技術の検討がなされていた。たとえば、オゾン発生管においての電極の構造、対向電極間の空間、オゾン発生管を備えたオゾン発生装置の冷却方法などに関する数多くの研究結果が報告されている。とくに、オゾン発生管においては、長尺な電極を使用するとより効率的にオゾン化ガスを発生することができるため、長尺な電極を製造する工夫がなされている。

図７、図８に従来から知られている円筒電極型オゾン発生管の対向電極の例を示す。
図７は、円筒電極型オゾン発生管の対向電極の横断面図であり、その電極は、オゾン化ガス７排出側に給電端子８が接続されている端面を有する円筒高電圧電極２の外側表面に、ガラスあるいはセラミックス等からなる誘電体３を円筒高電圧電極２の原料ガス６供給側の端部まで覆い隠すように配置し、円筒接地電極１の内面にギャップスペーサ１２を介して円筒接地電極１を円筒高電圧電極２と対向するように配置する構造である。
放電空間４内に酸素を含んだ原料ガス６を供給し、前記対向電極間に交流高電圧電源（図示されていない）を接続して、両電極間に交流高電圧を印加することにより、放電空間４内に無声放電（オゾナイザ放電）が一様に発生する。

また、図８は前記と異なる円筒電極を備えたオゾン発生管の横断面図であり、そこでの対向電極は、一つの長い円筒状の接地電極１の内側に、ギャップスペーサ１２を介して誘電体３を表面に設けた複数個の円筒高電圧電極２を配置し、円筒高電圧電極２の中心部に設けた長尺の接続棒により円筒高電圧電極２同士を連結する構造となっている（たとえば、特許文献１を参照）。
放電空間４内に酸素を含んだ原料ガス６を供給し、前記電極間に交流高電圧電源（図示されていない）を接続して、両電極間に交流高電圧を印加することにより、放電空間４内に無声放電（オゾナイザ放電）が一様に発生する。
この技術においては、複数個の高電圧電極を連結棒で接続する方法を採用しており、長い一つの接地電極内に、複数個の電極を連結することで長尺化した高電圧電極を一様なギャップ長を保つように対向保持することは極めて困難なことであった。そして、対向電極を一様なギャップ長で保てないと、オゾン濃度が高いオゾン化ガスを安定して発生させることは不可能である。さらに、各円筒高圧電極２と接続棒９の接続面の接触に不安定性があるため、両電極間に交流高電圧を印加しても均一な放電を発生しない可能性があり、電極の長尺化ができにくくなるばかりでなく、オゾン発生特性を低下させる可能性もある。

その点、特許文献２では、オゾン発生管の対向電極として、高電圧電極の先端部にステンレス鋼製のナットを溶接し、ステンレス製の接続部材で高電圧電極の先端部をねじ込み、接続する技術が開示されている。たしかに、この技術により、連結した円筒高電圧電極２の電気的接続も良好となり、接地電極および高電圧電極の反り、曲がりなどに応じて対向電極間のギャップは均一に保持されるように高電圧電極を接続することができるのであるが、それでも満足できるほどではなく、より均一のギャップ長を保持できるような新しい技術の開発が求められた。

そこで、ユニバーサル継手を介して複数個の高電圧電極同士を接続し、長尺な電極構造であり、しかも対向電極間のギャップはより均一に保持されるオゾン発生管が開発された（特許文献３を参照）。この技術により、確かに長尺な電極構造をとることができ、今まで以上の精度で一様なギャプ長を保持することができるのであるが、電極をその内側から冷却することができず、冷却が不十分であり、せっかく発生されたオゾン化ガスが分解され、オゾンの発生効率の低下を招き、高いオゾン濃度を有するオゾン化ガスを得ることができないという、新たな不都合が生じてきた。

なお、図９に従来例のオゾン発生管内の冷媒の流れを示す。
オゾン化ガス７排出側に給電端子８が接続されている端面を有する円筒高電圧電極２の外側表面に、ガラスあるいはセラミックス等からなる誘電体３を円筒高電圧電極２の原料ガス６供給側の端部まで覆い隠すように配置し、誘電体３の外側にギャップスペーサ１２を介して円筒接地電極１を円筒高電圧電極２と対向するように配置するオゾン発生管の電極を、冷却装置２０からの冷却媒質２１で図の矢印のように冷却媒質２１を移動させて、円筒接地電極１の外側を冷却する。

特開平４−２１４００４号公報特開平１１−１４７７０２号公報特開２００３−１４６６２２号公報

前記従来技術の状況に鑑み、接地電極と複数個の高電圧電極同士を接続した長尺化された高電圧電極からなる対向電極であり、その対向電極間のギャップはより均一に保持される電極構造をとり、該長尺化された高電圧電極の内側から電極を冷却することができ、そのうえオゾン化ガスを効率よく発生できると共に発生されたオゾンが熱分解されないようなオゾン発生管およびそのオゾン発生管を備えるオゾン発生装置を提供することが本発明の課題である。さらには、前記のようなオゾン発生管であって、電気的な接続も良好であり、冷却媒質がスムーズに移動できるような経路が確保され、均一な放電処理を可能とするオゾン発生管およびそのオゾン発生管を備えるオゾン発生装置を提供することも本発明の課題である。

本発明者は、前記課題を解決するため工夫する最中、長尺化された高電圧電極の電極内部を冷却する方法として、高電圧電極の端面にフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とからなる接続治具を配し、その接続治具を介して高電圧電極同士を接続すると、電気的接続および冷却媒質の経路、冷却媒質の円滑な移動の問題点など前記問題点を解決できることに気づき、本発明に到達した。

すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成のオゾン発生管用対向電極において、該高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で接続されていることを特徴とするオゾン発生管用対向電極の発明である。
請求項２に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続し長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成のオゾン発生管用対向電極において、前記複数個の高電圧電極のそれぞれの端面に冷媒通過孔が設けられ、その冷媒通過孔を設けた端面であって高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で、隣接する高電圧電極の内部を冷媒が通過可能に、しかも冷媒が染み出されないように接続され、かつ長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプが、その高電圧電極と金属パイプの内部を冷媒が通過可能にしかも冷媒が染み出されないように設けられていることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管において、前記隣接する高電圧電極の端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから形成した接続治具で接続されていることを特徴とする。
請求項４に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管において、前記複数個の高電圧電極のそれぞれの端面に冷媒通過孔が設けられ、その冷媒通過孔を設けた端面であって高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で、隣接する高電圧電極の内部を冷媒が通過可能に、しかも冷媒が染み出されないように接続され、かつ長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプが、その高電圧電極と金属パイプの内部を冷媒が通過可能にしかも冷媒が染み出されないように設けられていることを特徴とする。

本発明の請求項５に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えたオゾン発生装置において、前記隣接する高電圧電極の端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから形成した接続治具で接続されていることを特徴とする。
請求項６に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えたオゾン発生装置において、前記複数個の高電圧電極のそれぞれの端面に冷媒通過孔が設けられ、その冷媒通過孔を設けた端面であって高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で、隣接する高電圧電極の内部を冷媒が通過可能に、しかも冷媒が染み出されないように接続され、かつ長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプが、その高電圧電極と金属パイプの内部を冷媒が通過可能にしかも冷媒が染み出されないように設けられていることを特徴とする。
請求項７に係る発明は、請求項４記載のオゾン発生管を用いるオゾン化ガスの発生方法であって、かつそのオゾン発生管に備わる長尺化された高電圧電極の一方の端面の金属パイプ端部から他方の端面の金属パイプに冷却媒質を通過させて、前記長尺化された高電圧電極をその内部から冷却することを特徴とするオゾン化ガスの発生方法である。
請求項８に係る発明は、請求項６記載のオゾン発生装置を用いるオゾン化ガスの発生方法であって、かつそのオゾン発生装置に備わる長尺化された高電圧電極の一方の端面の金属パイプ端部から他方の端面の金属パイプに冷却媒質を通過させて、前記長尺化された高電圧電極をその内部から冷却することを特徴とするオゾン化ガスの発生方法である。

以下、本発明を詳細に説明する。
前記複数個の高電圧電極同士を接続する接続治具はフレキシブルな導通性金属パイプとそのパイプの両端部に配置された接続端子とから構成される（たとえば図３）。
前記フレキシブルな導通性金属パイプはすでに知られており、市販品を購入することにより入手できる。本発明では、ステンレススチールなどの導電性の金属材料から発生された可撓性に優れたパイプを使用することが好ましい。また、高電圧電極の接続治具を構成する接続端子もすでに知られている。接続端子はステンレススチールなどの導電性の金属材料から製造されていることが好ましい。接続端子としては、継手ネジが有効である。接続端子は市販品を購入することにより入手できる。
フレキシブルな導通性金属パイプに接続端子を配置する方法は一般的な方法を適用すればよい。

本発明では前記高電圧電極の接続治具を使用して、高電圧電極同士を、その内部を冷却媒質が通過可能に接続する。その際、あらかじめ円筒高電圧電極の端面に冷媒通過用の孔を設けることが好ましい。その冷媒通過孔は冷却媒質が通過できる形状であればとくに限定されないが、ほぼ円形であり、フレキシブルな導通性金属パイプを嵌入できる形の孔が好ましい。高電圧電極の端面のほぼ中央部に一つの冷媒通過孔を設けてもよいし、複数個の冷媒通過孔を設けてもよい。さらに、高電圧電極の端面の一部を円筒状に押出加工し、その凸部平面に冷媒通過孔を設けてもよい。
前記フレキシブルな導通性金属パイプを接続端子で高電圧電極の端面に、冷却媒質が染み出ないように固定する。また、高電圧電極の端面と前記フレキシブルな導通性金属パイプとが良好な電気的接続を保てるように接続端子で固定する。その方法は一般的な方法を適用すればよい。たとえば、前記凸部平面に設けた冷媒通過孔に前記フレキシブルな導通性金属パイプを嵌入し、接続端子で固定する方法、高電圧電極の端面に設けた円形の冷媒通過孔の径よりもやや大きめの接続ネジ（ナット）を円筒高電圧電極の端面に溶着し、その溶着したナットに前記フレキシブルな導通性金属パイプをねじ込む方法などを挙げることができる。
なお、冷却媒質が高電圧電極の内部を通過可能に接続するとは、上記方法で高電圧電極同士を接続すると共に、それら高電圧電極内部およびフレキシブルな導通性属パイプ内部を冷却媒質が自由に通過できるように接続されるという意味であり、接続部分からは冷却媒質が染み出さないという意味である。

前記長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプを設け、そのパイプ内部に冷媒を通過させると好ましい結果をもたらすことができる。すなわち、長尺化された高電圧電極の一方の金属パイプから冷媒を供給すると、その冷媒は金属パイプの内部から高電圧電極内部を通過し、さらに高電圧電極端面の接続治具のフレキシブルな導通性金属パイプ内部を通過し、前記高電圧電極と接続する別な高電圧電極の内部を通過し、最後に前記長尺化された高電圧電極の他方の金属パイプから冷媒が排出される。なお、金属パイプとして、導通性金属パイプを用いることが好ましい。
前記金属パイプを長尺化された高電圧電極の両端面に接続端子で固定することができる。
前記長尺化された高電圧電極をその内側から冷却するとともに従来から知られている接地電極をその外側から冷却する、いわゆる両面冷却法を採用すると、さらにいっそう優れた効果をもたらすことができる。
本発明で言う、対向電極、誘電体、オゾン発生管、筐体、冷却媒質、冷却装置、交流高電圧電源などはすでに知られている一般的なものを使用することができる。

本発明により、接地電極の外側および高電圧電極の内側からの両面から冷却可能であるオゾン発生管およびそれを備えるオゾン発生装置が提供される。このオゾン発生管およびそれを備えるオゾン発生装置では、高電圧電極間の電気的接続も十分に満足できる程度であり、冷却媒質が高電圧電極内およびフレキシブルな導通性金属パイプ内を円滑に、漏れることなく移動でき、内部の対向電極および放電空間が高温とならず、発生されたオゾンの熱分解も大幅に減少され、濃度の高いオゾン化ガスを効率よく発生させることができる。しかも、高電圧電極を容易に長尺化することが可能となり、接地電極や高電圧電極の反りや曲げが吸収され、接地電極と高電圧電極間のギャップ長が一様に保持されるオゾン発生管およびそれを備えるオゾン発生装置であるので、濃度の高いオゾン化ガスを効率よく発生することができる。

発明の実施の形態

以下、図を参照しながら本発明を詳細に説明する。
図１に本発明のオゾン発生管の電極構造の一例を示す。
円筒接地電極１の内側に誘電体層３を形成し、その内側にギャップスペーサ１２を介して、長尺化された円筒状の高電圧電極を同心状に配置する。この長尺化された円筒状の高電圧電極は円筒高電圧電極２の両端面に取付けた接続治具１０を介して接続されたものである。長尺化された高電圧電極の両端面には接続端子で固定された金属パイプ１１が設けられている。
図２に接続治具１０の一例を示す。
接続治具は、フレキシブルな導通性金属パイプ１０ａと接続端子１０ｂから構成される。
図３に接続治具１０で高電圧電極端面２６を接続する例を示す。
高電圧電極端面２６の一部を円筒状に押出成形し、凸部平面に冷媒通過孔２７を設け、凸部の外周面にねじ切りする。フレキシブルな導通性金属パイプ１０ａを冷媒通過孔２７に嵌入し、接続端子１０ｂでフレキシブルな導通性金属パイプ１０ａを固定する。高電圧電極端面２６に隣接する高電圧電極端面（図示してない）にも同様な操作を行い、前記フレキシブルな導通性金属パイプ１０ａを接続端子（図示してない）で固定する。かくして隣接する高電圧電極の端面同士が接続されことになる。

また、図１では２個の円筒高電圧電極２を連結しているが、この構造をとれば複数個の円筒高電圧電極２の連結も可能となる。電極１本当たりのオゾン発生量を増加させるために、長尺な円筒接地電極１の使用および円筒高電圧電極２の長尺化が考えられる。これによりそれぞれの電極の曲がりが大きくなり、対向電極の円滑な製造が困難になりがちである。しかし、円筒高電圧電極２の長さを短くすることにより、個々の円筒高電圧電極２の曲がりが小さくなるため、曲がりの大きくなった円筒接地電極１に挿入することが可能となり、かつ接続治具１０のフレキシブルパイプで個々の円筒高電圧電極２の曲がりによるずれ分を吸収することが出来、円筒高電圧電極２の長尺化および円筒高電圧電極２の冷却を容易に可能とする。
すなわち、この接続治具１０の導通性かつフレキシブルな導通性金属パイプで円筒高電圧電極２同士を接続することで、電極間の内側を空間的に接続することが可能となり、接続される高電圧電極の数が増えても、それら高電圧電極の内側を冷媒で冷却することは可能である。しかも、電気的な接続も良好であり、均一な放電が生じることとなる。

図４は、図１と異なるオゾン発生管を示す。円筒高電圧電極２の外側に誘電体層３を形成した電極構造となっている。その他の構造については、図１の電極構成と同様である。
図５は、図４に示した電極構造を複数個並列に接続した構造を示しており、大容量オゾン発生量を必要としたときに有用な構造となっている。

図６に、円筒接地電極１および円筒高電圧電極２の両方を冷媒で冷却する構造を示す。円筒接地電極１の内側に誘電体層３を形成し、その内側にギャップスペーサ１２を介して、円筒高電圧電極２の両端面に取付けた接続治具１０を介して接続された高電圧電極を配置する。
対向電極間に交流高電圧電源（図示していない）にて高電圧を印加すると共に、接続された円筒高電圧電極２と円筒接地電極１との間にある放電空間４内で無声放電（オゾナイザ放電）が生じ、放電空間４内に供給された原料ガス６がオゾン化ガスとして発生される。また冷却装置２０から冷媒２１が図内の矢印のように移動し、冷却装置２０と接続された導通性金属パイプ１１に冷媒２１を流すことにより円筒高電圧電極２の内部から円筒高電圧電極２を冷却する。また、冷却装置２０からの冷媒２１は円筒接地電極１の外部から円筒接地電極を冷却する。このように、円筒高電圧電極２および円筒接地電極が冷却され、放電空間４内で形成されたオゾン化ガス７の熱分解も抑制され、オゾン化ガス７を効率よく発生させることが出来る。

前記の記載から本発明を次のように記載することもできる。
（１）請求項４〜５記載のオゾン発生管あるいは請求項７〜９記載のオゾン発生装置での長尺化高電圧電極の一方の端面から他方の端面に冷却媒質を通過させて長尺化高電圧電極をその内部から冷却することを特徴とするオゾン発生方法。
（２）両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備え、前記円筒状の接地電極の外側を冷却媒質により冷却するとともに対抗電極内の空隙に酸素を含む原料ガスを供給するオゾン発生装置において、該隣接する高電圧電極のそれぞれの端面間に接続端子とフレキシブルな導通性金属パイプとから形成した接続治具を備え、隣接する高電圧電極の内部を冷却媒質が通過可能となることを特徴とするオゾン発生装置。

本発明のオゾン発生管に使用される対向電極の一例の横断面略図である。本発明の高電圧電極を接続する接続治具の一例の横断面略図である。本発明の高電圧電極端面を接続治具で接続した部分の拡大横断面図である。本発明のオゾン発生管に使用される対向電極の前記と異なる例の横断面略図である。前記図４の対向電極を多数設置したオゾン発生装置の要部一例の横断面略図である。本発明のオゾン発生管内の冷媒の流れを示す略図である。従来例のオゾン発生管に使用される対向電極の一例の横断面図である。従来例のオゾン発生管に使用される対向電極の前記と異なる例の横断面図である。従来例のオゾン発生管内の冷却媒質の流れを示す図である。

符号の説明

１．円筒接地電極
２．円筒高電圧電極
３．誘電体
４．放電空間
６．原料ガス
７．オゾン化ガス
８．給電端子
９．接続棒
１０．接続治具
１０ａ．フレキシブルな導通性金属パイプ
１０ｂ．接続端子
１１．金属パイプ
１２．ギャップスペーサ
２０．冷却装置
２１．冷媒
２２．冷媒流れ
２６．高電圧電極端面
２７．冷媒通過孔

Claims

両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続し長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成のオゾン発生管用対向電極において、前記高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で接続されていることを特徴とするオゾン発生管用対向電極。
両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続し長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成のオゾン発生管用対向電極において、前記複数個の高電圧電極のそれぞれの端面に冷媒通過孔が設けられ、その冷媒通過孔を設けた端面であって高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で、隣接する高電圧電極の内部を冷媒が通過可能に接続され、かつ長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプが、その高電圧電極と金属パイプの内部を冷媒が通過可能に設けられていることを特徴とするオゾン発生管用対向電極。
両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管において、前記高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で接続されていることを特徴とするオゾン発生管。
両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管において、前記複数個の高電圧電極のそれぞれの端面に冷媒通過孔が設けられ、その冷媒通過孔を設けた端面であって高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で、隣接する高電圧電極の内部を冷媒が通過可能に接続され、かつ長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプが、その高電圧電極と金属パイプの内部を冷媒が通過可能に設けられていることを特徴とするオゾン発生管。
両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えたオゾン発生装置において、前記高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で接続されていることを特徴とするオゾン発生装置。
両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心円筒状に配置され、原料ガスの入口側に高電圧供給用の給電端子を有する高電圧電極を含む複数個の高電圧電極を接続した長尺化された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に誘電体層を形成した構成の対向電極を備えたオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えたオゾン発生装置において、前記複数個の高電圧電極のそれぞれの端面に冷媒通過孔が設けられ、その冷媒通過孔を設けた端面であって高電圧電極の隣接する端面同士がフレキシブルな導通性金属パイプと接続端子とから構成した接続治具で、隣接する高電圧電極の内部を冷媒が通過可能に接続され、かつ長尺化された高電圧電極の両端面に金属パイプが、その高電圧電極と金属パイプの内部を冷媒が通過可能に設けられていることを特徴とするオゾン発生装置。
請求項４記載のオゾン発生管を用いるオゾン化ガスの発生方法であって、かつそのオゾン発生管に備わる長尺化された高電圧電極の一方の端面の金属パイプ端部から他方の端面の金属パイプに冷却媒質を通過させて、前記長尺化された高電圧電極をその内部から冷却することを特徴とするオゾン化ガスの発生方法。
請求項６記載のオゾン発生装置を用いるオゾン化ガスの発生方法であって、かつそのオゾン発生装置に備わる長尺化された高電圧電極の一方の端面の金属パイプ端部から他方の端面の金属パイプに冷却媒質を通過させて、前記長尺化された高電圧電極をその内部から冷却することを特徴とするオゾン化ガスの発生方法。