JP4206048B2 - オゾン化ガスの分解を抑制したオゾン発生装置 - Google Patents
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Description
従来から知られているオゾン発生管の一例を図6、7 に示す。
図6において、このオゾン発生管は、耐オゾン性の高いステンレス鋼で作られた円筒状の接地電極1と、該接地電極1の内周面にライニングしたガラスなどの誘電体層3と、その内側に放電空間6を介して接地電極1に同心配置した中空円筒形のステンレス鋼製高電圧電極2とからなるオゾン化ガス発生ユニットを含む(たとえば特許文献1を参照)。
かかる構成で、オゾン発生管の円筒高電圧電極2と円筒接地電極1との間に電源7にて交流高電圧を印加した上で、オゾン発生管に供給された酸素を含んだ原料ガス4は円筒高電圧電極2と円筒接地電極1との間の放電空間6中で、下記の反応によりオゾン化ガス5を生成する。
O2 + O + M → O3 + M
なお、式中Mは第三体を意味し、具体的にはAr、He、N2等が挙げられる。
すなわち、図7において、このオゾン発生装置は、耐オゾン性の高いステンレス鋼で作られた円筒状の接地電極1と、その内側に放電空間6を介して該接地電極1と同心状に配置したガラスなどの誘電体層3を設けた円筒状の高電圧電極とからなるオゾン化ガス発生ユニットを支持部材(図示していない)で多数個支持された構造を含む。
オゾン発生ユニットの円筒高電圧電極2と円筒接地電極1との間に電源7にて交流高電圧を印加した上で、オゾン発生管に供給された酸素を含んだ原料ガス4は円筒高電圧電極2と円筒接地電極1との間の放電空間6中で、上記の反応によりオゾン化ガス5を生成する。
また、図には示していないが、円筒高電圧電極、円筒接地電極の両側に誘電体を配置して、放電空間を形成しているものも、同様のことがいえる。
O3 + Wall → O2 + O + Wall ・・・(3)
これは生成したオゾン化ガスが電極表面あるいは誘電体表面に衝突して、分解することを示すものである。オゾン発生管を使用してオゾン化ガスを生成する場合、オゾン発生管内の放電空間で生じる放電により、放電が熱源となり放電空間に接する電極を加熱し、加熱された電極(例えば、円筒高電圧電極)に生成されたオゾン化ガスが接触し、オゾン化ガス中のオゾンが電極の熱により分解され、酸素分子に戻ってしまうことを意味する。とくに、オゾン発生管内の電極の一方のみだけを冷却しているオゾン発生管を使用する場合には、冷却されない電極表面は温度が高くなり、生成されたオゾン化ガスの分解も促進されることになる。
また、非特許文献1では、その最終頁の5結論において、窒素を添加するとオゾンの表面消滅確率は低減し、純酸素における表面消滅確率と酸化亜鉛および酸化ケイ素に対する表面消滅確率の数値が報告されている。
そこで、本発明の課題は放電空間中での熱、その中でも電極等の表面との接触による熱的分解を抑制する技術を提供することにある。また、できるだけオゾン濃度が高いオゾン化ガスを得る技術を提供することでもある。
このため、放電空間を中心に原料ガス側とオゾン化ガス側に、それぞれガス溜まりが存在することとなり、このガス溜まり、その中でもオゾン化ガス側のガス溜まりがあるため、一度生成されたオゾン化ガスが分解されてしまうのではないかと推測した。
そこで、本発明者らはつぎのような工夫を施した。
対向して配置された電極と、その電極の少なくとも一方に誘電体を配置した構成であるオゾン発生管の放電空間のオゾン化ガス排出側に、耐オゾン性のある材質で構成される部品を配置し、オゾン化ガス側のガスが滞在できる空間の容積を減少して、オゾン化ガスのオゾン発生器内に滞在する時間を低減することである。
請求項2に係る発明は、両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心状に配置した円筒高電圧電極と、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に形成した誘電体層とからなり、前記接地電極の電極長さを電極端部での沿面放電の発生を防止できるよう前記高電圧電極の電極長さよりも長くした構成で、その電極間に酸素を含む原料ガスを供給しながら、交流高電圧を印加することにより放電を発生させる電極構造を有するオゾン発生管において、耐オゾン性のある絶縁物で形成され、オゾン化ガスが排出される側の対向する前記高電圧電極の端部から前記接地電極の差による空間の容積を低減させる部品であって、かつオゾン化ガスが滞留する時間を低減し、移動できるための部品を前記オゾン化ガスが排出される側の空間に配置し、固定することを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2記載のオゾン発生管において、オゾン発生管のオゾン化ガス側に取付ける密閉用のフタに、空間低減部品を一体化した構造として取付ける構造を備えることを特徴とするオゾン発生管である。
請求項5に係る発明は、請求項1〜3のいずれかに記載のオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えることを特徴とするオゾン発生装置である。
本発明でいうオゾン化ガス側の空間の容積を低減する手段としては、耐オゾン性のある部品(以下、空間低減部品ということがある)をオゾン化ガス側の空間に備える構成を例示することができる。とくにこの空間低減部品をオゾン化ガス側の空間に配置し、固定する構成を挙げることができる。前記空間低減部品としては、耐オゾン性のある絶縁物で形成された部品がより好ましい。
空間低減部品としては、フッ素樹脂、セラミックス、ガラスなどの絶縁性が高い材質を使用できる。この部品の形状は、オゾン化ガス側の空間に配置し、固定したときに、その周囲をオゾン化ガスが円滑に移動できる形状であればとくに限定されないが、たとえば円筒状電極を使用したオゾン発生管に使用する場合には、電極の形状に類似する円筒状の形状が好ましく、圧力損失などの点から、高電圧電極と同じ直径、もしくはそれ以下の直径を有する円筒状の形状がより好ましい。
この空間低減部品をオゾン化ガス側の空間に配置し、固定する手段は特に限定されないのであり、一般的な手段を使用すればよい。
さらに、両端部に密閉用のフタを備えた径の大きなチューブ状の容器内に複数個の対向電極構造ユニットを備えるオゾン発生器において、オゾン発生器のオゾン化ガス側に取付ける密閉用のフタに、上記空間低減部品を一体化した構造として取付ける構造も可能である
上記オゾン化ガス側の空間を低減する手段を備えたことにより、オゾン化ガスのオゾン発生器内に滞留する時間を低減することを可能とし、その結果オゾン化ガスの分解を抑制することが達成され、オゾン濃度が高いオゾン化ガスを製造することができる。
本発明では、オゾン発生管あるいはそれを有するオゾン発生装置において、電極を冷却する手段をさらに備えると、生成したオゾン化ガスの分解がさらに抑制され、好ましい結果がもたらされる。
オゾン発生管に供給されるオゾン生成のための原料ガスは酸素を含むガスであればとくに制限されない。具体的には、空気、純酸素、純酸素に窒素、Ar,Heなどを混入させた混合ガスなどを挙げることができる。
図1は本発明のオゾン発生管の対向電極の一例を示す。
図1では、オゾン発生管の対向電極は、円筒接地電極1の放電空間6側に誘電体3を配置し、放電空間6を介して円筒高電圧電極2を同心状に設置し、オゾン化ガス5側に高電圧電極と同様な形状を有する耐オゾン性のある絶縁物から構成される空間低減部品8を配置した構成である。前記接地電極と高電圧電極間に交流高電圧を印加して前記電極間で形成された空間に放電を発生させる。オゾン発生管内に供給される原料ガスは放電空間6内で放電処理され、オゾン化ガスが生成される。生成されたオゾン化ガスはオゾン発生器内に長維持間滞在することなく排出され、オゾン発生器内でのオゾン分解は抑制される。
図2でのオゾン発生装置用対向電極は、円筒接地電極1と、放電空間6を介して該円筒接地電極1と同心状に配置した誘電体3が表面に設けられた円筒高電圧電極2とからなる対向電極ユニットを複数本組み合わせたときの構成であり、円筒高電圧電極2と円筒接地電極1で構成された電極ユニット毎に、オゾン化ガス側の空間に空間低減部品8を設置しており、これによりオゾン化ガス側の空間を低減している。各対向電極ユニットは支持部材(図示してない)にて支持されている。
さらに、円筒高電圧電極と円筒接地電極で構成された電極ユニットの複数個が支持部材で支持され、チューブ型、あるいは角柱型パイプ(内側は空洞)型であって、両端に扉を有する容器(図示されていない)に収められていてもよい。そして、各電極ユニットに、空間低減部品8を配置するのではなく、オゾン化ガス側の扉に放電空間低減部品8を取付けた扉を使用することによって放電空間の体積が軽減される構成としてもよく、この構成によっても同様の効果を得ることができる。
試験条件は下記のとおりである。
図3(b)に示されるように、従来例のオゾン発生器と本発明品のオゾン発生器を使用した。対向電極(ギャップ長は0.5mm)を有するオゾン発生器の放電空間に空気を0.25MPaで供給した。電源から交流電圧を印加し、供給される空気を放電処理し、オゾンを発生させた。円筒接地電極を15℃に冷却した。なお、図3(a)では電力密度W/Q(Wは電力を、Qは流量を示す)とオゾン濃度(g/Nm3)の関係を示す。
図3(a)から明らかなように、オゾン化ガス空間側に空間低減部品8を設置することにより、オゾン発生特性が向上していることが明らかである。図3(a)では空気を用いて試験したが、酸素を用いて試験してもほぼ同様な傾向が得られる。
図4では、オゾン発生管の対向電極は、円筒接地電極1の放電空間6側に誘電体3を配置し、放電空間6を介して円筒高電圧電極2を同心状に設置し、オゾン化ガス側に高電圧電極と同様な形状を有する耐オゾン性のある絶縁物で構成された空間低減部品8を配置した構成である。前記接地電極と高電圧電極間に交流高電圧を印加して前記電極間で形成された空間に放電を発生させる。オゾン発生管内に供給される原料ガスは放電空間6内で放電処理され、オゾン化ガスが生成される。生成されたオゾン化ガスはオゾン発生器内に長維持間滞在することなく排出され、オゾン発生器内でのオゾン分解は抑制される。
円筒接地電極1の外表面は冷却装置10からの冷却水11にて循環冷却される。
図5でのオゾン発生装置は、円筒接地電極1と、放電空間6を介して該円筒接地電極1と同心状に配置した誘電体3が表面に配置された円筒高電圧電極2とからなる対向電極ユニットを複数本組み合わせたときの構成であり、円筒高電圧電極2と円筒接地電極1で構成された電極ユニット毎に、オゾン化ガス側の空間に空間低減部品8を設置しており、これによりオゾン化ガス側の空間を低減している。各対向電極ユニットは支持部材(図示してない)にて支持されている。
円筒接地電極1の外表面は冷却装置10からの冷却水11にて循環冷却される。
(1)対向して配置された電極と前記電極の対向する表面の少なくとも一方に誘電体を配置し、前記電極端部をそろえずに沿面距離を取った構成の対向電極を備えるオゾン発生管において、前記対向する電極間の空間に隣接するオゾン化ガス側の空間を低減する手段をオゾン化ガス側の空間に備え、オゾン化ガスのオゾン発生器内に滞留する時間を低減することを特徴とするオゾン発生管。
(2)対向して配置された電極と前記電極の対向する表面の少なくとも一方に誘電体を配置し、前記電極端部をそろえずに沿面距離を取った構成の対向電極を備えるオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えたオゾン発生装置において、前記対向する電極間の空間に隣接するオゾン化ガス側の空間を低減する手段をオゾン化ガス側の空間に備え、オゾン化ガスのオゾン発生器内に滞留する時間を低減することを特徴とするオゾン発生装置。
(4)対向して配置された電極と前記電極の少なくとも一方に誘電体を配置し、前記電極端部での沿面放電の発生を防ぐため、どちらか一方の電極長さが他方の電極長さより長くあるいは短くして電極端部をそろえずに沿面距離を取った構成で、しかも前記対向する電極間の空間に隣接するオゾン化ガス側の空間に空間低減部品を配置したオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えたオゾン発生装置を作製し、前記電極間に交流高電圧を印加して前記電極間で放電を発生させると共に前記放電空間中に酸素を含む原料ガスを供給することを特徴とするオゾン化ガスの生成方法。
(5)前記オゾン発生管あるいはオゾン発生装置を冷却することを特徴とするオゾン化ガスの生成方法。
2.円筒高電圧電極
3.誘電体
4.原料ガス
5.オゾン化ガス
6.放電空間
7.電源
8.空間低減部品
10.冷却装置
11.冷却水
Claims (5)
- 互いに対向して配置された電極と、前記電極の対向する表面の少なくとも一方に配置した誘電体とからなり、前記電極のいずれか一方の電極長さを、電極端部での沿面放電の発生を防止できるよう他方の電極長さよりも長くした構成で、その電極間に酸素を含む原料ガスを供給しながら、交流高電圧を印加することにより放電を発生させる電極構造を有するオゾン発生管において、耐オゾン性のある絶縁物で形成され、オゾン化ガスが排出される側の対向する短い電極の端部から他方の長い電極の差による空間の容積を低減させる部品であって、かつオゾン化ガスが滞留する時間を低減し、移動できるための部品を前記オゾン化ガスが排出される側の空間に配置し、固定することを特徴とするオゾン発生管。
- 両端が開口された円筒状の接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して同心状に配置した円筒高電圧電極と、前記接地電極と高電圧電極の対向する面の少なくとも一方に形成した誘電体層とからなり、前記接地電極の電極長さを電極端部での沿面放電の発生を防止できるよう前記高電圧電極の電極長さよりも長くした構成で、その電極間に酸素を含む原料ガスを供給しながら、交流高電圧を印加することにより放電を発生させる電極構造を有するオゾン発生管において、耐オゾン性のある絶縁物で形成され、オゾン化ガスが排出される側の対向する前記高電圧電極の端部から前記接地電極の差による空間の容積を低減させる部品であって、かつオゾン化ガスが滞留する時間を低減し、移動できるための部品を前記オゾン化ガスが排出される側の空間に配置し、固定することを特徴とするオゾン発生管。
- 請求項1又は2記載のオゾン発生管において、オゾン発生管のオゾン化ガス側に取付ける密閉用のフタに、空間低減部品を一体化した構造として取付ける構造を備えることを特徴とするオゾン発生管。
- 電極のいずれか一方、あるいは両方の電極が冷却されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のオゾン発生管。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のオゾン発生管と、このオゾン発生管を内蔵する筐体とを備えることを特徴とするオゾン発生装置。
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