JPWO2016006375A1 - 電子顕微鏡、及び、試料の観察方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、全体を通して、各図における同一の各構成部分には同一の符号を付して説明を省略することがある。
≪装置構成≫
図1に本実施の形態に係る電子顕微鏡1の基本構成を示す。電子顕微鏡1の鏡体は、主として、電子銃2、コンデンサーレンズ3、対物レンズ4、中間レンズ5および投射レンズ6により構成される。
≪本体制御部の構成≫
図11は、本体制御部21に含まれる構成のうち、主に、後述する本実施の形態に係る結晶方位合わせに関係する構成部について説明する図である。結晶方位合わせに関係する構成部としては、主として、メインスポット設定部34、パターン設定部35、ベクトル設定部36、ベクトル情報取得部、演算部38、試料微動機構指示部39、観察モード切替え部40がある。なお、本体制御部21は上述の構成部以外にも種々の構成部を含むものとする。
≪光路図≫
図2に本実施の形態に係る電子線回折パターン22の観察時の透過電子顕微鏡1の光路図を示す。本図では、光軸から蛍光板10が外れるように移動したときの様子を示しているが、カメラ11の上部に蛍光板10を配置するようにすることもできる。電子線15は試料8に平行照射される。試料8が結晶性試料の場合、電子線15には結晶によって回折を受けずに直進する電子線15aと、回折を受ける電子線15bが存在し、同じ角度で回折された電子線15bは対物レンズ4の後焦点面で1点に集まり、後焦点面上に電子線回折パターン22aを形成する。
〔式1〕R=Ltanθ〜Lθ
で表わされる。ここで、Lは予め既知の結晶性の試料8を用いて求められるので、電子線回折パターン22aが形成される面における距離Rと、試料8の結晶面の結晶軸8aに対して電子線15が入射する角度θは、回折パターン22上の距離Rを測定することによって式(1)により求めることができる。
(第2の実施形態)
図7は、本実施の形態に係る結晶方位合わせの動作を説明する図である。円形状パターン
第1の実施形態において上述した図4の例では、回折パターン22の輝度分布と円形状パターン26の大きさをフィッティングさせる手法について説明した。しかしながら、回折パターン22の観察開始時に、結晶方位が晶帯軸入射から大きくずれている場合には、上述の手法では円形状パターン26によるフィッティングが困難となってしまうことがある。
(第3の実施形態)
図8は、第3の実施形態に係る結晶方位合わせの手法を示す図である。本実施の形態では、上述の円形状パターン26に代えて、円弧状パターン(円周の一部)33を利用してフィッティングを行う手法について説明する。
〔式2−1〕a2+b2=r2〔式2−2〕(x1−a)2+(y1−b)2=r2〔式2−3〕(x2−a)2+(y2−b)2=r2 上記の式から求めた結果より、中心点の仮想座標点P(a,b)から原点0(0,0)
すなわちマーカ25までのベクトル28が得られ、対応する試料8の傾斜の量および方向を求めて、試料微動駆動機構9の試料傾斜機構9bにより試料8を傾斜させ、結晶方位合わせを行って、晶帯軸入射(d)となるように調整することができる。
(第4の実施形態)
図10は、第4の実施の形態に係る動作を説明する図である。(a)は、電子線15の入射軸に対し、結晶方位が晶帯軸からずれている場合の電子線回折パターン22bを示し、(b)は電子線15の入射軸に対し、結晶方位が晶帯軸と一致している、すなわち晶帯軸入射の状態の電子線回折パターン22bを示す。本実施の形態では、回折スポットにフィッティングさせる円形状パターン26の円周は、線ではなく半透明の任意の幅の帯状のマーカとして表示する。これにより、回折スポットの上に重ね合わせて表示しても、回折スポットの位置を確認できる。よって、上述した実施の形態と比較して、回折スポットへのフィッティングをより容易に行うことができる。
2・・・電子銃
3・・・コンデンサーレンズ
4・・・対物レンズ
5・・・中間レンズ
6・・・投射レンズ
7・・・試料ホルダ
8・・・試料
8・・・結晶軸
9・・・試料微動駆動機構
9a・・・試料移動機構
9b・・・試料傾斜機構
10・・・蛍光板
11・・・カメラ
12・・・カメラ制御部
13・・・モニタ
14・・・画像解析部
15・・・電子線
16・・・収束可動絞り
17・・・対物可動絞り
18・・・制限視野可動絞り
19・・・可動絞り駆動制御機構
20・・・レンズ電源
21・・・本体制御部
22a・・・電子線回折パターン
22b・・・蛍光板またはカメラに投影後の電子線回折パターン
23・・・メインスポット
24・・・回折スポット
25・・・マーカ
26・・・円形状パターン
27・・・マーカ
28・・・ベクトル
29・・・Si基板
30・・・ゲート電極
31・・・ゲート電極エッジ
32・・・試料ステージ
33・・・円弧状パターン(円周の一部)
34・・・メインスポット設定部
35・・・パターン設定部
36・・・ベクトル設定部
37・・・ベクトル情報取得部
38・・・演算部
39・・・試料微動駆動機構指示部
40・・・観察モード切替え部
Claims (9)
- 電子線を試料に照射する電子源と、
前記試料を保持する試料ステージと、
前記試料ステージを駆動する駆動部と、
当該電子線の照射によって試料から得られる信号を取得し、試料像を検出する検出部と、
前記試料の電子線回折像を表示する表示部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記表示部に表示された電子線回折パターンにおける回折スポットの輝度分布に基づいて、メインスポットが円周上に位置するように重ね合わせて表示されるフィッティング用の円形状パターンを設定するパターン設定部と、
当該表示された円形状パターンの中心位置を始点とし、前記円形状パターン形状パターンの円周上に位置するメインスポットの位置を終点として表示されるベクトルを設定するベクトル設定部と、を有し、
当該表示されたベクトルの向き、及び大きさに基づいて、前記試料を傾斜するように、前記駆動部を制御することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記パターン設定部は、
前記フィッティング用の円形状パターンを、前記輝度分布が存在する領域の内側に表示されるように設定することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記パターン設定部は、
前記円形状パターンの大きさを変更することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記制御部は、
前記ベクトル設定部によって設定されたベクトルの向きに基づいて前記試料の傾斜方向を求め、前記ベクトルの大きさに基づいて前記試料の傾斜角度を求めることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記制御部は、
前記試料を傾斜しているときに、
当該検出部に検出された試料像を前記表示部に表示するように観察モードを切り替えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記電子線の照射領域を偏向する偏向器を備え、
前記制御部は、
前記試料を傾斜しているときに生じる視野ずれを補正するように、前記偏向器を制御することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記パターン設定部は、
前記フィッティング用の円形状パターンに代えて、前記表示部に表示された電子線回折パターンにおける回折スポットの輝度分布に基づいて、メインスポットが円周上に位置するように重ね合わせて表示される前記円形状パターンの円周の一部を形成するフィッティング用の円弧状パターンを設定し、
前記ベクトル設定部は、
当該表示された円弧状パターンの円周上の任意の2点の座標に基づいて、前記円形状パターンの半径を求め、
当該求めた半径に基づいて、前記円形状パターンの中心位置を設定し、当該設定した中心位置を始点とし、前記円形状パターンの円周上に位置するメインスポットの位置を終点として表示されるベクトルを設定することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された電子顕微鏡において、
前記パターン設定部は、
前記フィッティング用の円形状パターンを、半透明の帯状に設定することを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子線を試料に照射する電子源と、
前記試料を保持する試料ステージと、
前記試料ステージを駆動する駆動部と、
当該電子線の照射によって試料から得られる信号を取得し、試料像を検出する検出部と、
前記試料の電子線回折像を表示する表示部と、
制御部と、を備えた電子顕微鏡を用いた試料の観察方法であって、
前記表示部に表示された電子線回折パターンにおける回折スポットの輝度分布に基づいて、メインスポットが円周上に位置するように重ね合わせて表示されるフィッティング用の円形状パターンを設定するステップと、
当該表示された円形状パターンの中心位置を始点とし、前記円形状パターンの円周上に位置するメインスポットの位置を終点として表示されるベクトルを設定するステップと、
当該表示されたベクトルの向き、及び大きさに基づいて、前記試料を傾斜するステップと、を有することを特徴とする試料の観察方法。
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