JP2013101791A - 走査透過電子顕微鏡、および試料観察方法 - Google Patents
走査透過電子顕微鏡、および試料観察方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】走査透過電子顕微鏡において、前記電子線経路上に前記電子線の収差を補正する収差補正器と、前記試料の電子線回折像及びロンチグラムを観察するカメラを備え、前記カメラにより取得されたロンチグラムを用いて、前記収差補正器を調整し、前記カメラにより取得された電子線回折像を用いて前記電子線の試料に対する照射方向を調整し、当該調整された電子ビームを試料に照射して当該電子線の照射位置から発生する二次電子を検出し、当該二次電子の信号に基づき試料像を形成する走査透過電子顕微鏡。
【選択図】 図1
Description
電子顕微鏡に移動した試料は非晶質領域を用いたビーム調整とSi単結晶基板部などの領域を用いた試料方位調整を行う。
その後、観察領域に移動して倍率を設定、フォーカスを微調整して撮像する。この際にオートフォーカス機能を用いると測定者によるばらつきを低減できる。一度に観察できる領域は高倍率ほど狭くなるため、複数枚の画像をつなぎ写真として表示する機能を提供する。また、試料ステージの位置情報も記憶し、再観察する際に記憶されていた領域へ自動で移動する。
2 電子銃
3 収束レンズ
4 球面収差補正器
5 対物レンズ
6 投射レンズ
7 走査電極
8 試料
9 二次電子/反射電子検出器
10 検出器出入制御部
11 暗視野電子検出器
12 明視野電子検出器
13 CCDカメラ
14 EBSD検出器
15 試料ホルダー
16 試料ステージ
17 試料制御部
18 CPU処理装置
19 画像表示部
20 電子線
21 調整用領域
22 観察領域
23 ロンチグラム観察領域
24 電子線回折像観察領域
25 厚膜領域
26 観察面
27 結晶方位確認用試料面
Claims (8)
- 電子線を放出する電子銃と、試料を搭載する試料ステージと、前記電子線を当該試料上に照射する対物レンズと、前記試料への電子線照射により放出された二次電子を検出する検出器と、前記試料を透過した透過電子を検出する透過電子検出器を備えた走査透過電子顕微鏡において、
前記電子線経路上に前記電子線の収差を補正する収差補正器と、前記試料の電子線回折像及びロンチグラムを観察するカメラを備え、
前記カメラにより取得されたロンチグラムを用いて、前記収差補正器を調整し、前記カメラにより取得された電子線回折像を用いて前記電子線の試料に対する照射方向を調整し、
当該調整された電子ビームを試料に照射して当該電子線の照射位置から発生する二次電子を検出し、当該二次電子の信号に基づき試料像を形成する走査透過電子顕微鏡。 - 請求項1において、前記試料像は前記試料を構成する原子が観測可能であることを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
- 請求項1において、前記試料の観察領域近傍に、非晶質領域と単結晶領域が形成されていることを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
- 請求項1において、EBSD検出器を備えたことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
- 請求項1において、前記二次電子の信号に基づいて作成された試料像の結晶情報を用いて当該試料像の倍率を構成することを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
- 試料の結晶構造を有する観察領域に収束した電子線を照射し、当該試料から発生した二次電子を用いて試料像を形成して観察する試料観察方法において、
前記観察領域の近傍に、非晶質領域の薄膜および結晶領域の薄膜を形成し、
前記電子線を非晶質領域に照射して取得したロンチグラムに基づき電子線の収差を調整し、前記結晶領域の電子線回折像に基づき当該電子線の試料に対する照射方向を調整し、
当該調整された電子線を前記試料の観察領域に照射し、放出された二次電子に基づいて試料像を形成することを特徴とする試料観察方法。 - 請求項6において、前記試料像は前記試料の観察領域を構成する原子が観測可能であることを特徴とする試料観察方法。
- 請求項6において、前記二次電子の信号に基づいて作成された試料像の結晶情報を用いて当該試料像の倍率を較正することを特徴とする試料観察方法。
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