JPWO2015181924A1 - 塗布装置、インプリント装置および物品の製造方法 - Google Patents
塗布装置、インプリント装置および物品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015181924A1 JPWO2015181924A1 JP2016523038A JP2016523038A JPWO2015181924A1 JP WO2015181924 A1 JPWO2015181924 A1 JP WO2015181924A1 JP 2016523038 A JP2016523038 A JP 2016523038A JP 2016523038 A JP2016523038 A JP 2016523038A JP WO2015181924 A1 JPWO2015181924 A1 JP WO2015181924A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- imprint material
- storage unit
- imprint
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/34—Feeding the material to the mould or the compression means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C2037/96—Filters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/34—Feeding the material to the mould or the compression means
- B29C2043/3433—Feeding the material to the mould or the compression means using dispensing heads, e.g. extruders, placed over or apart from the moulds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
- B29C2043/585—Measuring, controlling or regulating detecting defects, e.g. foreign matter between the moulds, inaccurate position, breakage
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
Description
(インプリント装置)
図1を用いてインプリント装置100について説明する。第1実施形態の説明では、基板1(シリコンウエハ、ガラスプレート)が配置される面をXY面、それに直交する方向をZ方向として、図に示したように各軸を決める。ここでは、光(紫外光)の照射によってインプリント材を硬化させる光硬化型を適用したインプリント装置100について説明する。インプリント材として紫外線硬化樹脂(樹脂、レジスト)を用いる。しかし、本発明は、紫外光とは異なる波長域の光を照射することによってインプリント材を硬化させるインプリント装置や、他のエネルギー(例えば、熱エネルギー)によって樹脂を硬化させるインプリント装置であっても良い。
次に、図4を用いて第1実施形態のインプリント動作を説明する。インプリント装置100は、制御部Cを備える。制御部Cは、インプリント装置100の動作を制御するプログラムが格納されたメモリと、メモリに格納されたプログラムを実行するプロセッサなどを含む。実行されたプログラムに従ってインプリント装置100を構成する各ユニットを制御するための信号を出力する。
インプリント装置100は、上述のインプリント動作を繰り返すことで、基板1上の複数のショット領域や、複数の基板1にパターンを形成することができる。インプリント装置100で形成されたパターンに欠陥が生じた場合、基板1に塗布された樹脂中に異物が存在している可能性がある。異物としては、例えば、ノズル7や樹脂タンク8に付着したパーティクルが樹脂中に混ざったもの、樹脂タンク8内の樹脂が変質してゲル化したもの、樹脂の一部が硬化して固体粒子となったもの、などがある。
図5は、退避位置近くに備えられた、樹脂循環装置14とノズル7が設けられた樹脂タンク8を示している。樹脂循環装置14には、樹脂タンク8に樹脂を供給するための供給部14a(第1接続部)が設けられている。樹脂タンク8には、供給部14aに接続し樹脂循環装置14から供給される樹脂が通過する供給口8aが設けられている。図5(A)に示すように、樹脂タンク8に新しい樹脂を供給する際や樹脂内の異物を除去する際は、ノズル7と樹脂タンク8を退避位置に移動させる。そして、樹脂タンク8が接続位置に移動することで、供給部14aと供給口8aにおいて、樹脂循環装置14と樹脂タンク8が接続する。又は、供給部14aが移動することで、供給部14aと供給口8aが接続してもよい。
図8に第2実施形態の塗布装置13に含まれる樹脂循環装置14を示す。樹脂循環装置14以外のインプリント装置100の構成は第1実施形態と同様なので説明を省略する。同一の部材については、第1実施形態と同一の参照番号を付している。点線の矢印は樹脂の経路を示している。
図9に第3実施形態の塗布装置13に含まれる樹脂循環装置14を示す。樹脂循環装置14以外のインプリント装置100の構成は第1実施形態と同様なので説明を省略する。同一の部材については、第1実施形態と同一の参照番号を付している。点線の矢印は樹脂の経路を示している。
図10に第4実施形態の塗布装置13を示す。塗布装置13以外のインプリント装置100の構成は第1実施形態と同様なので説明を省略する。同一の部材については、第1実施形態と同一の参照番号を付している。点線の矢印は樹脂の経路を示している。
図11に第5実施形態の塗布装置13に含まれる樹脂循環装置14を示す。樹脂循環装置14以外のインプリント装置100の構成は第1実施形態と同様なので説明を省略する。同一の部材については、第1実施形態と同一の参照番号を付している。
上述した何れの実施形態も、樹脂循環装置14で樹脂タンク8内の樹脂の濾過(濾過工程)を行うかは、インプリント装置100のインプリント動作の各種パラメータによって、判断することができる。図12を用いて樹脂を濾過する際の要否を判断する工程の詳細を示す。
物品としてのデバイス(半導体集積回路デバイス、液晶表示デバイス、MEMS等)の製造方法は、前述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)にパターンを転写(形成)するステップを含む。さらに、該製造方法は、パターンが転写された前記基板をエッチングするステップを含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングステップの代わりに、パターンが転写された前記基板を加工する他の加工ステップを含みうる。
5 型
7 ノズル
8 樹脂タンク
14 樹脂循環装置
14p 循環ポンプ
14t バッファータンク
14f 濾過フィルタ
14m 樹脂計測器
Claims (20)
- モールドを用いて基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント装置において前記基板上に前記インプリント材を供給するために用いられる塗布装置であって、
前記インプリント材を収容する収容部と、
前記収容部に設けられ、前記収容部の前記インプリント材を前記基板上に吐出する吐出部と、を有し、
前記インプリント装置に対し着脱可能であることを特徴とする塗布装置。 - 前記収容部に設けられ、前記収容部に前記インプリント材を供給するための供給口を有することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記収容部に設けられ、前記収容部の前記インプリント材を取り出すための排出口を有することを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記収容部の前記インプリント材を取り出すためのポンプと、
該ポンプで取り出された前記インプリント材を濾過する濾過手段と、を有し、
該濾過手段で濾過された前記インプリント材を前記収容部に供給することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の塗布装置。 - モールドを用いて基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント装置において前記基板上に前記インプリント材を供給するために用いられる塗布装置であって、
前記インプリント材を収容する収容部と、
前記収容部に設けられ、前記収容部の前記インプリント材を前記基板上に吐出する吐出部と、
前記収容部に設けられ、前記収容部に前記インプリント材を供給するための供給口と、
前記収容部に供給するインプリント材を保管する保管部と、を有し、
前記保管部は、前記収容部と接続する接続部を備え、
前記接続部に形成された供給部から、前記供給口を介して前記保管部に保管された前記インプリント材を前記収容部に供給することを特徴とする塗布装置。 - 前記供給口から前記収容部に収容された前記インプリント材を取り出した後、
前記接続部に形成された供給部から、前記供給口を介して前記保管部に保管された前記インプリント材を前記収容部に供給することを特徴とする請求項5に記載の塗布装置。 - 前記保管部には、前記収容部から取り出された前記インプリント材を濾過する濾過手段を有し、
前記供給部から取り出された前記インプリント材を前記濾過手段によって濾過し、前記濾過手段によって濾過された前記インプリント材を前記供給部から前記収容部に供給することを特徴とする請求項6に記載の塗布装置。 - モールドを用いて基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント装置において前記基板上に前記インプリント材を供給するために用いられる塗布装置であって、
前記インプリント材を収容する収容部と、
前記収容部に設けられ、前記収容部の前記インプリント材を前記基板上に吐出する吐出部と、
前記収容部に設けられ、前記収容部の前記インプリント材を取り出すための排出口と、
前記収容部に設けられ、前記収容部に前記インプリント材を供給するための供給口と、
前記収容部に供給するインプリント材を保管する保管部と、を有し、
前記保管部には、前記収容部と接続する接続部を備え、
前記接続部に形成された供給部から、前記供給口を介して前記保管部に保管された前記インプリント材を前記収容部に供給し、
前記接続部に形成された排出部から、前記排出口を介して前記収容部の前記インプリント材を前記保管部に排出することを特徴とする塗布装置。 - 前記保管部には、前記収容部から取り出された前記インプリント材を濾過する濾過手段を有し、
前記排出部から取り出された前記インプリント材を前記濾過手段によって濾過し、前記濾過手段によって濾過された前記インプリント材を前記供給部から前記収容部に供給することを特徴とする請求項8に記載の塗布装置。 - 前記保管部には、インプリント材の状態を計測する計測器を有し、
前記計測器によって計測された前記インプリント材を前記供給部から前記収容部に供給することを特徴とする請求項8又は9の何れかに記載の塗布装置。 - 前記保管部には、インプリント材の状態を計測する計測器を有し、
前記計測器は、前記収容部から取り出された前記インプリント材の状態を計測し、
前記計測器で計測した計測結果から、取り出された前記インプリント材の濾過の要否を求めることを特徴とする請求項9に記載の塗布装置。 - インプリント装置により前記基板上に形成されたパターンの欠陥を計測し、計測結果から前記収容部のインプリント材を前記濾過手段による濾過の要否を求めることを特徴とする請求項9に記載の塗布装置。
- インプリント装置により前記基板上にパターンを形成した回数を計測し、計測結果から前記収容部のインプリント材を前記濾過手段による濾過の要否を求めることを特徴とする請求項9に記載の塗布装置。
- 前記インプリント材が前記収容部に収容された時間を計測し、計測結果から前記収容部のインプリント材を前記濾過手段による濾過の要否を求めることを特徴とする請求項9に記載の塗布装置。
- 前記濾過の要否を求めた結果、濾過の必要がある場合、
前記収容部のインプリント材を前記排出口から取り出し、取り出された前記インプリント材を前記濾過手段によって濾過し、前記濾過手段によって濾過されたインプリント材を前記供給口から前記収容部に供給することを特徴とする請求項11〜14の何れか一項に記載の塗布装置。 - 前記接続部が移動することにより、前記供給部と前記供給口とが接続し、前記排出部と前記排出口とが接続することを特徴とする請求項8〜15の何れか一項に記載の塗布装置。
- 前記収容部が移動することにより、前記供給部と前記供給口とが接続し、前記排出部と前記排出口とが接続することを特徴とする請求項8〜16の何れか一項に記載の塗布装置。
- 前記インプリント装置に対し着脱可能であることを特徴とする請求項5〜17の何れか一項に記載の塗布装置。
- モールドを用いて基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板上にインプリント材を塗布する塗布装置を備え、
該塗布装置は請求項1〜18の何れか一項に記載の塗布装置であることを特徴とするインプリント装置。 - 請求項19に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する工程と、を含む物品の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/064227 WO2015181924A1 (ja) | 2014-05-29 | 2014-05-29 | 塗布装置、インプリント装置および物品の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018166296A Division JP6580226B2 (ja) | 2018-09-05 | 2018-09-05 | 塗布装置、インプリント装置および物品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015181924A1 true JPWO2015181924A1 (ja) | 2017-04-20 |
JP6400090B2 JP6400090B2 (ja) | 2018-10-03 |
Family
ID=54698304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016523038A Active JP6400090B2 (ja) | 2014-05-29 | 2014-05-29 | 塗布装置、インプリント装置および物品の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10022900B2 (ja) |
JP (1) | JP6400090B2 (ja) |
WO (1) | WO2015181924A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017145924A1 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置およびその動作方法ならびに物品製造方法 |
JP6997546B2 (ja) * | 2016-06-24 | 2022-01-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置、プリンタ、および物品製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004041943A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および有機el塗布装置 |
JP2010080632A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Canon Inc | インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2011091104A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Canon Inc | インプリント装置、及びそれを用いた物品の製造方法 |
JP2011101851A (ja) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Koganei Corp | 薬液供給装置および薬液供給方法 |
JP2012041521A (ja) * | 2010-05-12 | 2012-03-01 | Fujifilm Corp | 光硬化性組成物およびそれを用いた硬化物の製造方法 |
JP2013094778A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Nordson Corp | 容積式ディスペンサー及び個別量の液体を吐出する方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2466483B1 (fr) * | 1979-10-02 | 1985-06-07 | Poncet Pierre | Perfectionnements a la preparation de complexes de matiere plastique et de fibres ne renfermant pas de gaz |
US5755882A (en) * | 1995-06-06 | 1998-05-26 | Patrick; Dennis A. | Closed loop controllable fluid application system |
US6921435B2 (en) * | 2001-08-10 | 2005-07-26 | Konica Corporation | Apparatus and method for coating electro-photographic sensitive members, and electro-photographic sensitive members made thereby |
JP2004230803A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Canon Inc | 記録装置 |
JP4225076B2 (ja) * | 2003-02-19 | 2009-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置 |
US20050048208A1 (en) * | 2003-09-02 | 2005-03-03 | Yao-Hwan Kao | Resist supply apparatus with resist recycling function, coating system having the same and method of resist recycling |
JP4049084B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 流体制御弁および液滴吐出装置 |
EP1843387A4 (en) * | 2005-01-25 | 2010-01-13 | Jsr Corp | IMMERSION EXPOSURE SYSTEM, RECYCLING METHOD, AND LIQUID DELIVERY METHOD FOR IMMERSION EXPOSURE |
EP2001602B1 (en) * | 2006-04-03 | 2011-06-22 | Molecular Imprints, Inc. | Lithography imprinting system |
US8707890B2 (en) * | 2006-07-18 | 2014-04-29 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
GB0720289D0 (en) * | 2007-10-12 | 2007-11-28 | Videojet Technologies Inc | Ink jet printer |
US20110185768A1 (en) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | Anna Pinchuk | Decorative jewelry double clasp with single spring for bracelets & necklaces |
JP2011161714A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置、及び液体噴射装置におけるノズルの回復方法 |
US8474930B2 (en) * | 2010-08-30 | 2013-07-02 | Donald O. Rasmussen | Inkjet printer ink delivery system |
JP2012250229A (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-20 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP5787691B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2015-09-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP5584241B2 (ja) * | 2012-02-27 | 2014-09-03 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JP5865340B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2016-02-17 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
US20160288378A1 (en) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint material discharging device |
JP6702672B2 (ja) * | 2015-09-03 | 2020-06-03 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法及び供給装置 |
-
2014
- 2014-05-29 JP JP2016523038A patent/JP6400090B2/ja active Active
- 2014-05-29 WO PCT/JP2014/064227 patent/WO2015181924A1/ja active Application Filing
-
2015
- 2015-05-26 US US14/721,419 patent/US10022900B2/en active Active
-
2018
- 2018-06-18 US US16/011,278 patent/US10406731B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004041943A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および有機el塗布装置 |
JP2010080632A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Canon Inc | インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2011091104A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Canon Inc | インプリント装置、及びそれを用いた物品の製造方法 |
JP2011101851A (ja) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Koganei Corp | 薬液供給装置および薬液供給方法 |
JP2012041521A (ja) * | 2010-05-12 | 2012-03-01 | Fujifilm Corp | 光硬化性組成物およびそれを用いた硬化物の製造方法 |
JP2013094778A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Nordson Corp | 容積式ディスペンサー及び個別量の液体を吐出する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015181924A1 (ja) | 2015-12-03 |
US10406731B2 (en) | 2019-09-10 |
US20150343680A1 (en) | 2015-12-03 |
US20180297247A1 (en) | 2018-10-18 |
JP6400090B2 (ja) | 2018-10-03 |
US10022900B2 (en) | 2018-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6530653B2 (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置および物品製造方法 | |
JP6700757B2 (ja) | 塗布装置、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
US11267252B2 (en) | Ejection apparatus and imprint apparatus | |
US10406731B2 (en) | Application device, imprinting apparatus, and method for manufacturing object | |
KR102049240B1 (ko) | 임프린트 장치, 물품의 제조 방법 및 공급 장치 | |
JP6580226B2 (ja) | 塗布装置、インプリント装置および物品の製造方法 | |
JP2020145383A (ja) | インプリント装置の制御方法、インプリント装置、および物品製造方法 | |
KR102393023B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
KR102445120B1 (ko) | 토출재 충전 방법, 토출재 토출 장치, 및 임프린트 장치 | |
JP6723139B2 (ja) | 液体供給装置、インプリント装置および物品製造方法 | |
KR102317410B1 (ko) | 임프린트 장치, 임프린트 방법, 임프린트재의 배치 패턴의 결정 방법 및 물품의 제조 방법 | |
US20220111634A1 (en) | Liquid discharge device and imprint apparatus | |
US10894420B2 (en) | Ejection-material injecting method, ejection-material ejection apparatus, and imprinting apparatus | |
JP2018006387A (ja) | 吐出装置、インプリント装置、検出方法、判定方法及び物品の製造方法 | |
US10350631B2 (en) | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article | |
JP2020026129A (ja) | モジュール基板の洗浄方法および洗浄装置 | |
KR102482141B1 (ko) | 토출 장치 및 임프린트 장치 | |
JP7374680B2 (ja) | 吐出材吐出装置、インプリント装置、及び検出方法 | |
US20230182473A1 (en) | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and cleaning method | |
JP2022064733A (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置及び検出方法 | |
JP2021126631A (ja) | 液体吐出装置、液体吐出方法、インプリント装置、物品の製造方法及びコンピュータプログラム | |
JP2021068766A (ja) | 液体吐出装置、成形装置、及び物品の製造方法 | |
TW202333961A (zh) | 液體排放設備及壓印設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180807 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180904 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6400090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |