JPWO2015159540A1 - テラヘルツ波検出器 - Google Patents
テラヘルツ波検出器 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015159540A1 JPWO2015159540A1 JP2016513642A JP2016513642A JPWO2015159540A1 JP WO2015159540 A1 JPWO2015159540 A1 JP WO2015159540A1 JP 2016513642 A JP2016513642 A JP 2016513642A JP 2016513642 A JP2016513642 A JP 2016513642A JP WO2015159540 A1 JPWO2015159540 A1 JP WO2015159540A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave detector
- reflective film
- film
- substrate
- terahertz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 192
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 43
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 29
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0225—Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0225—Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
- G01J5/024—Special manufacturing steps or sacrificial layers or layer structures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0803—Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0808—Convex mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J2005/103—Absorbing heated plate or film and temperature detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Description
以下、本発明の第1の実施形態を図面を参照して説明する。
以下、本発明の第2の実施形態を図面を参照して説明する。
以下、本発明の第3の実施形態を図面を参照して説明する。
以下、本発明の第4の実施形態を図面を参照して説明する。
以下、本発明の第5の実施形態を図面を参照して説明する。
2a、102a 読出回路
3、103 反射膜
3a 第2反射膜
4、104 コンタクト
5、105 第1保護膜
6、106 第2保護膜
7、107 ボロメータ薄膜
8、108 第3保護膜
9、109 電極配線
10、110 第4保護膜
11、111 吸収膜
12、112 庇
13、113 支持部
14、114 温度検出部(ダイアフラム)
15、115 ギャップ
16、116 エアギャップ
Claims (8)
- 基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するテラヘルツ波検出器であって、
前記基板上に形成されるテラヘルツ波を反射する反射膜と、
前記温度検出部に形成されるテラヘルツ波を吸収する吸収膜とを備え、
前記反射膜は隣り合うテラヘルツ波検出器の反射膜と一体に形成される
ことを特徴とするテラヘルツ波検出器。 - 反射膜のシート抵抗が、100Ω/□以下である
請求項1に記載のテラヘルツ波検出器。 - 基板に形成された読出回路と支持部が含む電極配線とを電気的に接続するコンタクトの面積に合わせて、反射膜に前記コンタクト用の穴が形成される
請求項1または請求項2に記載のテラヘルツ波検出器。 - 基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するテラヘルツ波検出器であって、
前記基板上に形成されるテラヘルツ波を反射する反射膜の上側に当該反射膜を覆うように形成される第2反射膜と、
前記温度検出部に形成されるテラヘルツ波を吸収する吸収膜とを備え、
前記第2反射膜は隣り合うテラヘルツ波検出器の第2反射膜と一体に形成される
ことを特徴とするテラヘルツ波検出器。 - 反射膜と第2反射膜とが分離している
請求項4に記載のテラヘルツ波検出器。 - 第2反射膜のシート抵抗が、100Ω/□以下である
請求項4または請求項5に記載のテラヘルツ波検出器。 - 基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するテラヘルツ波検出器であって、
前記基板上に形成されるテラヘルツ波を反射する反射膜と、
前記温度検出部に形成されるテラヘルツ波を吸収する吸収膜とを備え、
前記反射膜は隣り合うテラヘルツ波検出器の反射膜と隙間なく形成される
ことを特徴とするテラヘルツ波検出器。 - 基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するテラヘルツ波検出器であって、
前記基板上に形成されるテラヘルツ波を反射する反射膜と、
前記温度検出部に形成されるテラヘルツ波を吸収する吸収膜とを備え、
前記反射膜はテラヘルツ波反射率の偏光角度依存性が所定値より小さくなるように形成される
ことを特徴とするテラヘルツ波検出器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014086412 | 2014-04-18 | ||
JP2014086412 | 2014-04-18 | ||
PCT/JP2015/002076 WO2015159540A1 (ja) | 2014-04-18 | 2015-04-15 | テラヘルツ波検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015159540A1 true JPWO2015159540A1 (ja) | 2017-04-13 |
JP6292297B2 JP6292297B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=54323763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016513642A Active JP6292297B2 (ja) | 2014-04-18 | 2015-04-15 | テラヘルツ波検出器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170030775A1 (ja) |
EP (1) | EP3133379A4 (ja) |
JP (1) | JP6292297B2 (ja) |
CA (1) | CA2945597C (ja) |
WO (1) | WO2015159540A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6814442B2 (ja) * | 2015-11-30 | 2021-01-20 | 国立大学法人 東京大学 | ボロメータ型テラヘルツ波検出素子およびボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ |
JP2017101956A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 国立大学法人 東京大学 | ボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ |
CN107128872B (zh) * | 2017-05-11 | 2018-09-18 | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 | 一种新型偏振非制冷红外焦平面探测器及其制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071452A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-08 | Nec Corp | 熱型赤外線検出器 |
JP2005043381A (ja) * | 2004-10-18 | 2005-02-17 | Nec Corp | 熱型赤外線検出器およびその製造方法 |
JP2009025306A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Ulis | 電磁放射検出器およびこの検出器の製造方法 |
JP2009222649A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線撮像素子およびその製造方法 |
US20110303847A1 (en) * | 2010-06-15 | 2011-12-15 | Seiji Kurashina | Bolometer type terahertz wave detector |
JP2013164364A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Seiko Epson Corp | テラヘルツカメラ及び電子機器 |
JP2014032088A (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁波センサ及び電磁波センサ装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3921320B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2007-05-30 | 日本電気株式会社 | 熱型赤外線検出器およびその製造方法 |
FR2855609B1 (fr) * | 2003-05-26 | 2005-07-01 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de detection bolometrique a antenne, a cavite optimisee, pour ondes electromagnetiques millimetriques ou submillimetriques, et procede de fabrication de ce dispositif |
US8495882B2 (en) * | 2009-08-10 | 2013-07-30 | General Electric Company | Syngas cleanup section with carbon capture and hydrogen-selective membrane |
WO2012018377A2 (en) * | 2010-07-31 | 2012-02-09 | The Scripps Research Institute | Liposome targeting compounds and related uses |
FR2977937B1 (fr) * | 2011-07-15 | 2013-08-16 | Centre Nat Rech Scient | Detecteur bolometrique a performances ameliorees |
-
2015
- 2015-04-04 US US15/302,237 patent/US20170030775A1/en not_active Abandoned
- 2015-04-15 CA CA2945597A patent/CA2945597C/en active Active
- 2015-04-15 WO PCT/JP2015/002076 patent/WO2015159540A1/ja active Application Filing
- 2015-04-15 JP JP2016513642A patent/JP6292297B2/ja active Active
- 2015-04-15 EP EP15780439.4A patent/EP3133379A4/en not_active Withdrawn
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071452A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-08 | Nec Corp | 熱型赤外線検出器 |
JP2005043381A (ja) * | 2004-10-18 | 2005-02-17 | Nec Corp | 熱型赤外線検出器およびその製造方法 |
JP2009025306A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Ulis | 電磁放射検出器およびこの検出器の製造方法 |
JP2009222649A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線撮像素子およびその製造方法 |
US20110303847A1 (en) * | 2010-06-15 | 2011-12-15 | Seiji Kurashina | Bolometer type terahertz wave detector |
JP2012002603A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Nec Corp | ボロメータ型テラヘルツ波検出器 |
JP2013164364A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Seiko Epson Corp | テラヘルツカメラ及び電子機器 |
JP2014032088A (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁波センサ及び電磁波センサ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3133379A4 (en) | 2017-11-22 |
CA2945597A1 (en) | 2015-10-22 |
JP6292297B2 (ja) | 2018-03-14 |
US20170030775A1 (en) | 2017-02-02 |
CA2945597C (en) | 2019-01-15 |
EP3133379A1 (en) | 2017-02-22 |
WO2015159540A1 (ja) | 2015-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4964935B2 (ja) | 半導体光素子および半導体光装置 | |
US9121761B2 (en) | Infrared detectors | |
TWI671508B (zh) | 熱測量器型THz檢測器 | |
US20120235045A1 (en) | BOLOMETER-TYPE THz WAVE DETECTOR | |
US9638578B2 (en) | Terahertz wave detecting device, camera, imaging apparatus, and measuring apparatus | |
JP6292297B2 (ja) | テラヘルツ波検出器 | |
WO2010079686A1 (ja) | 光検出器 | |
US11215510B2 (en) | Thermal infrared detector and manufacturing method for thermal infrared detector | |
JP6225582B2 (ja) | 熱型赤外線センサー | |
JP2012177696A (ja) | 半導体光素子および半導体光装置 | |
JP5353138B2 (ja) | 赤外線撮像素子 | |
JP6834974B2 (ja) | ボロメータ型テラヘルツ波検出器 | |
US11255730B2 (en) | Light detector | |
US20200249084A1 (en) | Light detector | |
CN110023724B (zh) | 光检测器 | |
US11519785B2 (en) | Light detector | |
JP2010101675A (ja) | 赤外線撮像素子およびその製造方法 | |
JP5264471B2 (ja) | 赤外線検出器および赤外線固体撮像装置 | |
JP2015135264A (ja) | 焦電型光検出器、焦電型光検出装置、電子機器 | |
JP2014095674A (ja) | 赤外線検出器およびその製造方法 | |
JP2013253896A (ja) | 光検出素子、カメラおよび電子機器 | |
WO2017094769A1 (ja) | ボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ | |
JP2014153187A (ja) | 半導体物理量センサ | |
JP2010185708A (ja) | ボロメータ型赤外線センサ | |
JP2012127881A (ja) | 赤外線センサおよび赤外線センサアレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6292297 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |