JP5264471B2 - 赤外線検出器および赤外線固体撮像装置 - Google Patents
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Description
周辺部と、周辺部に囲まれた凹部とを有する基板と、
該凹部上に、該基板の周辺部から支持脚で支持され、検知膜が設けられた検出部と、
その一部が該支持脚の上方を覆うように、該周辺部の上に設けられた第1の赤外線反射膜と、
該検出部の上に設けられ、複数の支持部を有するスペーサと、
該スペーサの上に設けられた第2の赤外線反射膜と、
該第1の赤外線反射膜の上方まで延びるように、該第2の赤外線反射膜の上に支持部で支持された赤外線吸収傘とを含む赤外線検出器である。
検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器であって、
周辺部と、周辺部に囲まれた凹部とを有する基板と、
該凹部上に、該基板の周辺部から支持脚で支持された検出部であって、検知膜と第3の赤外線反射膜とが設けられた検出部と、
その一部が該支持脚の上方を覆うように、該周辺部の上に設けられた第1の赤外線反射膜と、
該検出部の上に設けられ、複数の支持部を有するスペーサと、
該第1の赤外線反射膜の上方まで延びるように、該スペーサの上に接合された赤外線吸収傘とを含む赤外線検出器でもある。
検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器の製造方法であって、
基板を準備する工程と、
該基板上に、配線層と、該配線層に接続された検知膜とを含む絶縁膜を形成する工程と、
該絶縁膜上に、第1の犠牲層を形成する工程と、
該第1の犠牲層に第1孔部を形成し、該絶縁層を露出させる工程と、
該第1の孔部を埋め込むように、該第1の犠牲層上にスペーサを形成する工程と、
該スペーサ上に、第2の犠牲層を形成する工程と、
該第2の犠牲層に第2の孔部を形成し、該スペーサを露出させる工程と、
該第2の孔部を埋め込むように該第2の犠牲層上に赤外線吸収層を形成し、赤外線吸収傘とする工程と、
該第1および第2の犠牲層を除去する工程と、
該基板をエッチングして、該配線層を含む支持脚と、該支持脚に支持され、その上に該赤外線吸収傘を備えた検出部を形成する工程とを含む赤外線検出器の製造方法でもある。
図1は、本発明の実施の形態1にかかる赤外線固体撮像装置300の斜視図である。赤外線固体撮像装置300は、シリコン等の半導体から形成された基板301を含む。基板301の上には、赤外線検出器100をマトリックス状に配列した検出器アレイ502と、赤外線検出器100から出力された電気信号を処理して外部に出力する信号処理回路509が設けられている。赤外線検出器100と信号処理回路509は、垂直信号線302および水平駆動線303によって接続している。
なお、以下の実施の形態2〜4においても、赤外線固体撮像装置の外観は、図1に示す赤外線固体撮像装置300と同じである。図1では2画素×3画素の検出器アレイを示したが、言うまでもなくこれ以外のアレイサイズの形成も可能である。
従って、この光学的共振構造では、赤外線の波長λと、赤外線吸収傘507と赤外線反射膜501との間の物理的な距離dとの間には、以下の数(2)の関係が成り立つ。
(a)は赤外線吸収傘が反っていない場合であり、(b)は下方に反った場合、(c)は上方に反った場合、(d)は左方の傾斜した場合である。本実施の形態1では、2つの支持部500で赤外線吸収傘を支え、2つの支持部500の間隔を広くとるため、赤外線吸収傘が反った場合でも、反り量を小さく抑えることができる。
以上の工程により、図3の示す赤外線検出器100が完成する。
図7は、全体が110で表される、本発明の実施の形態2にかかる赤外線検出器の断面図である。図7は、図3と同一部分における断面図であり、図7中、図3と同一符号は、同一または相当箇所を示す。
また、スペーサ520の上には反射膜が設けられず、直接、赤外線吸収傘507が接続されている。
図9は、全体が120で表される、本発明の実施の形態3にかかる赤外線検出器の断面図である。図9は、図3と同一部分における断面図であり、図9中、図3と同一符号は、同一または相当箇所を示す。
図11は、全体が130で表される、本発明の実施の形態4にかかる赤外線検出器の断面図である。図11は、図3と同一部分における断面図であり、図7中、図3と同一符号は、同一または相当箇所を示す。
Claims (5)
- 検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器であって、
周辺部と、周辺部に囲まれた凹部とを有する基板と、
該凹部上に、該基板の周辺部から支持脚で支持され、検知膜が設けられた検出部と、
その一部が該支持脚の上方を覆うように、該周辺部の上に設けられた第1の赤外線反射膜と、
該検出部の上に設けられ、複数の支持部を有するスペーサと、
該スペーサの上に設けられた第2の赤外線反射膜と、
該第1の赤外線反射膜の上方まで延びるように、該第2の赤外線反射膜の上に支持部で支持された赤外線吸収傘とを含む赤外線検出器。 - 上記スペーサが有する支持部の間の距離は、上記第2の赤外線反射膜の上の支持部の間の距離と同等またはそれ以上であることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出器。
- 検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器であって、
周辺部と、周辺部に囲まれた凹部とを有する基板と、
該凹部上に、該基板の周辺部から支持脚で支持された検出部であって、検知膜と第3の赤外線反射膜とが設けられた検出部と、
その一部が該支持脚の上方を覆うように、該周辺部の上に設けられた第1の赤外線反射膜と、
該検出部の上に設けられ、複数の支持部を有するスペーサと、
該第1の赤外線反射膜の上方まで延びるように、該スペーサの上に接合されていて、支持部を有する赤外線吸収傘とを含み、
該赤外線吸収傘と該第1の赤外線反射膜の光学距離と、該赤外線吸収傘と該第3の赤外線反射膜の光学距離とが等しい赤外線検出器。 - 上記スペーサが有する支持部の間の距離は、上記赤外線吸収傘の支持部の間の距離と同等またはそれ以上であることを特徴とする請求項3に記載の赤外線検出器。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の赤外線検出器をマトリックス状に配置した赤外線固体撮像装置。
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