JP6814442B2 - ボロメータ型テラヘルツ波検出素子およびボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ - Google Patents
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Description
ボロメータ薄膜を含む温度検出部と、前記ボロメータ薄膜側の表面に反射膜が形成されていると共に内部に読出回路が形成された回路基板と、前記ボロメータ薄膜と前記読出回路とを接続する電極配線と、を備えるボロメータ型テラヘルツ波検出素子であって、
前記ボロメータ薄膜と前記反射膜との間の中間部に、垂直方向から見た平面構造の対称性が高くなるようにダミー部材を構成した、
ことを特徴とする。
Claims (5)
- ボロメータ薄膜を含む温度検出部と、前記ボロメータ薄膜側の表面に反射膜が形成されていると共に内部に読出回路が形成された回路基板と、前記ボロメータ薄膜と前記読出回路とを接続する電極配線と、を備え、垂直方向から見たときに矩形となるように形成されたボロメータ型テラヘルツ波検出素子であって、
前記ボロメータ薄膜と前記反射膜との間の中間部に、前記読出回路とは接続されておらず、前記電極配線における前記ボロメータ薄膜と前記反射膜との間の中間部に位置する接続部の少なくとも一部を模したダミー部材と、を備え、
前記接続部は、垂直方向から見たときに対向する2辺に点対称となるように配置されており、
前記ダミー部材は、垂直方向から見たときに前記接続部が配置されていない対向する2辺に点対称となるように配置されている、
ことを特徴とするボロメータテラヘルツ波検出素子。 - 請求項1記載のボロメータ型テラヘルツ波検出素子であって、
前記ダミー部材は、前記接続部と同一の材料により形成されている、
ボロメータ型テラヘルツ波検出素子。 - 請求項2記載のボロメータ型テラヘルツ波検出素子であって、
前記中間部には、前記温度検出部側からエアギャップと誘電体層とが形成されており、
前記ダミー部材は、前記誘電体層に形成されている、
ボロメータ型テラヘルツ波検出素子。 - 請求項3記載のボロメータ型テラヘルツ波検出素子であって、
前記接続部は、前記誘電体層内では高さの異なる複数の平板を連結するように形成されており、
前記ダミー部材は、前記接続部における前記複数の平板の少なくとも1つの平板と同一平面に形成されている、
ボロメータ型テラヘルツ波検出素子。 - 請求項1ないし4のうちのいずれか1つの請求項に記載のボロメータ型テラヘルツ波検出素子を縦横に整列配置してなるボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ。
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