RU2684897C1 - Широкополосный детектор терагерцевого излучения (варианты) - Google Patents
Широкополосный детектор терагерцевого излучения (варианты) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2684897C1 RU2684897C1 RU2018124492A RU2018124492A RU2684897C1 RU 2684897 C1 RU2684897 C1 RU 2684897C1 RU 2018124492 A RU2018124492 A RU 2018124492A RU 2018124492 A RU2018124492 A RU 2018124492A RU 2684897 C1 RU2684897 C1 RU 2684897C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metamaterial
- matrix
- absorber
- insulator
- superconductor
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 5
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 229910002710 Au-Pd Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области тонкопленочной СВЧ микроэлектроники и антенной техники, в том числе массивам антенн и метаматериалам. Широкополосный детектор терагерцевого излучения состоит из распределенного абсорбера в виде матрицы антенн в конфигурации метаматериала, микроболометров, подключенных к каждому элементу метаматериала. Каждый элемент матрицы метаматериала имеет симметричную форму для обеспечения одинаковой чувствительности к обеим поляризациям, элементы матрицы представляют собой электрические замкнутые контуры. Позади метаматериала абсорбера расположена дополнительная плоскость, отделенная от метаматериала слоем диэлектрика. Матрица антенн выполнена из сильно взаимодействующих между собой кольцевых электрически малых планарных антенн в конфигурации метаматериала, в разрыв которых включены по четыре болометра структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник, соединенных последовательно по току смещения и сигналу считывания. Технический результат заключается в расширении спектральной полосы согласования, увеличении быстродействия детектора, снижении трудоемкости и времени изготовления устройства, уменьшении количества технологических операций и в применении стандартных методов и материалов тонкопленочной микроэлектроники. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретение относится к области тонкопленочной СВЧ микроэлектроники и антенной техники, в том числе массивам антенн и метаматериалам. Широкополосные детекторы терагерцевого излучения востребованы для активных и пассивных систем дистанционного контроля безопасности, медицинской диагностики, дистанционного контроля загрязнений атмосферы, обнаружения ядовитых и взрывчатых веществ, радиоастрономии, неразрушающего контроля материалов. Применение обычных матриц антенн размером порядка половины длины волны совместно с микродетекторами и болометрами не позволяет обеспечить достаточную ширину полосы и эффективность приема. Применение матрицы антенн в виде метаматериала с размером каждой антенны много меньше длины волны позволяет максимально расширить полосу приема и эффективность, приближаясь к характеристикам распределенного абсорбера.
Известно устройство-аналог [1]: матрица из 30 квадратных рамочных полуволновых антенн с четырьмя интегрированными болометрами структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС) в каждой антенне. На центральной частоте 345 ГГц полоса приема составила 15 ГГц. К недостаткам аналога относится узкая полоса согласования и жесткие требования к импедансу болометра по согласованию с импедансом антенны. Конструкция оказывается критически чувствительной к толщине подложки и требует вытравливания подложки до 140 мкм с точностью до 1 мкм.
Известно устройство-аналог [2]: матрица из 21 кольцевых рамочных полуволновых антенн с четырьмя интегрированными болометрами структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС) в каждой антенне. На центральной частоте 345 ГГц полоса приема составила 30 ГГц. К недостаткам аналога относится сравнительно узкая полоса согласования и жесткие требования к импедансу болометра по согласованию с импедансом антенны. Конструкция требует использования подложки полуволновой толщины и контррефлектора на расстоянии четверть волны от антенной структуры.
Известно устройство-аналог [3]: матрица антенных элементов в виде метаматериала из разрезанных кольцевых резонаторов размером 1/10 длины волны на частоте 11 ГГц с полосой пропускания 10% и эффективностью поглощения 88%. К недостаткам аналога относится узкополосность и невозможность интегрировать болометры и детекторы в элементы метаматериала.
Известно устройство-аналог [4]: матрица антенных элементов в виде метаматериала из гантелеобразных антенн, которая имеет эффективность поглощения 95% в диапазоне от 0.95 до 2.4 ТГц. К недостаткам аналога относится невозможность интегрировать болометры и детекторы в элементы метаматериала.
Известно устройство-прототип [5], подробно описанное в более позднем патенте [6]. Устройство представляет собой абсорбер в виде метаматериала и интегрированных микроболометров, оптимизированный для детектирования излучения диапазона 2.5 ТГц. Одиночный элемент матрицы представляет собой крестообразный замкнутый контур размером 24 мкм и шириной 2.5 мкм, подключенный к земляной шине через два КМОП детектора или болометра. Период структуры составляет 30 мкм. Металлическая шина расположена позади приемной структуры через SiO2 изолятор толщиной 2 мкм и выполняет функции емкости в контуре резонатора. Согласно формуле этого изобретения детектор в фокальной плоскости состоит из:
- распределенного абсорбера в конфигурации многослойного метаматериала,
- микроболометров, подключенных к каждому элементу метаматериала,
- дополнительных пассивных слоев метаматериалов, отделенных от основного дополнительными диэлектриками,
- каждый элемент матрицы метаматериала имеет симметричную форму для обеспечения одинаковой чувствительности к обеим поляризациям,
- элементы матрицы представляют собой электрические замкнутые контуры крестообразной формы,
- для расширения полосы согласования конструкция представляет собой стопку таких метаматериалов с отличающимися размерами,
- позади метаматериала абсорбера расположена дополнительная плоскость, отделенная от метаматериала слоем диэлектрика толщиной меньше 1/30 длины волны,
- каждый микроболометр термически связан с элементом матрицы метаматериала и измеряет температуру нагрева этого элемента.
Недостатками прототипа являются узкополосность и малое быстродействие, необходимость нанесения большого числа слоев металлов и диэлектриков для расширения полосы, необходимость использовать помимо металлов и диэлектриков, также и полупроводников для создания детекторов.
Целью предлагаемого изобретения является: расширение спектральной полосы приема, увеличение быстродействия, упрощение технологии, снижение количества слоев металлов, устранение полупроводниковых слоев, повышение воспроизводимости распределенных детекторов терагерцевого излучения на основе метаматериалов, упрощение согласования детекторов с системой считывания, применение стандартных операций фотолитографии и нанесения тонких металлических пленок без применения сложной гибридной технологии формирования полупроводниковых детекторов.
Поставленные цели достигаются тем, что в широкополосном детекторе терагерцевого излучения, состоящем из распределенного абсорбера в виде матрицы антенн в конфигурации метаматериала, микроболометров, подключенных к каждому элементу метаматериала, каждый элемент матрицы метаматериала имеет симметричную форму для обеспечения одинаковой чувствительности к обеим поляризациям, элементы матрицы представляют собой электрические замкнутые контуры, позади метаматериала абсорбера расположена дополнительная плоскость, отделенная от метаматериала слоем диэлектрика, матрица антенн, согласно изобретению, выполнена из сильно взаимодействующих между собой кольцевых электрически малых планарных антенн в конфигурации метаматериала, в разрыв которых включены по четыре болометра структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС), соединенных последовательно по току смещения и сигналу считывания.
Поставленные цели достигаются также тем, что в широкополосном детекторе терагерцевого излучения, состоящем из распределенного абсорбера в виде матрицы антенн в конфигурации метаматериала, микроболометров, подключенных к каждому элементу метаматериала, каждый элемент матрицы метаматериала имеет симметричную форму для обеспечения одинаковой чувствительности к обеим поляризациям, элементы матрицы представляют собой электрические замкнутые контуры, позади метаматериала абсорбера расположена дополнительная плоскость, отделенная от метаматериала слоем диэлектрика, матрица антенн, согласно изобретению, выполнена из взаимодействующих между собой кольцевых электрически малых планарных антенн в конфигурации метаматериала, в разрыв которых включены по два болометра структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС), соединенных параллельно по напряжению смещения и сигналу считывания.
Для расширения и выравнивания спектральной характеристики детектора возможно выполнение дополнительной плоскости, размещенной позади метаматериала, в виде радиочастотного поглотителя.
Сущность изобретения поясняется фигурами. На Фиг. 1 схематически изображен отдельный элемент последовательной матрицы метаматериала с отрезками кольцевой антенны (1), четырьмя болометрами (2) в каждой кольцевой антенне, соединенными последовательно горизонтально отрезками пленок (3), а также фотография реализации такой структуры. На Фиг. 2 схематически изображен отдельный элемент параллельной матрицы метаматериала с отрезками кольцевой антенны (1), двумя болометрами (2), соединенными параллельно отрезками пленок (3), а также фотография реализации такой структуры. Эффективность согласования по спектру для двух поляризаций приведена на Фиг. 3, где (1) вертикальная поляризация, (2) горизонтальная поляризация.
В предлагаемом устройстве матрица антенн выполнена в виде сильно взамодействующих между собой кольцевых электрически малых (много меньше длины волны) антенн, болометры включены непосредственно в разрыв кольцевых антенн, выделение мощности происходит непосредственно в микроабсорбере болометра. В качестве болометров использованы быстродействующие и высокочувствительные болометры структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС), матрицы кольцевых электрически малых антенн за счет взаимодействия с соседними элементами образуют распределенный абсорбер, имеющий большую широкополосность и эффективность поглощения. Сильное взаимодействие отдельных антенн между собой эквивалентно эффекту укорачивающей емкости, что позволяет существенно сократить размеры антенн и расстояние между ними. Вся микросхема изготавливается в два этапа: на первом этапе формируется нижний слой матрицы антенн, соединительных проводов и контактных площадок, на втором этапе методом теневого напыления в разрывах антенн формируются СИНИС болометры. Элементы матрицы могут быть соединены либо последовательно для считывания по напряжению, либо параллельно для считывания по току. Позади подложки с матрицей расположен контррефлектор в виде проводящей плоскости.
Новым по сравнению с прототипом является применение кольцевых антенн с СИНИС болометрами и соединение отдельных кольцевых антенн в двух направлениях, а также отсутствие дополнительных пассивных слоев метаматериала. Использование двух или четырех СИНИС структур с кольцевыми антеннами позволяет обеспечить согласование импедансов антенны и абсорберов болометров. В реализации для центральной частоты 350 ГГц такая комбинация по расчетам должна обеспечивать высокую равномерность спектральной чувствительности в диапазоне 290-450 ГГц для обеих ортогональных поляризаций (расчте для двух поляризаций приведен на Фиг. 3). В конкретной реализации внешний диаметр одной кольцевой антенны составляет 60 мкм, период 70 мкм, размер матрицы 10×10 элементов составляет 621×621 мкм. Размеры туннельных переходов в СИНИС структурах составляют 1 мкм2, полоска абсорбера между ними 2×0.2 мкм. Толщина золотой пленки антенны и разводки составляет 200 нм, толщина алюминиевых электродов СИН переходов составляет 70 нм. Формирование болометров осуществляется методом теневого напыления через маску двуслойного электронного резиста и последующего взрыва резиста (lift-off). Возможны разные варианты технологии, в частности формирование болометров с висящими абсорберами методом химического травления.
Устройство работает следующим образом: плоская волна фокусируется с помощью линзы на матрицу антенн, в антеннах возникают токи, разогревающие болометры, установленные в разрывах антенн. Разогрев болометров регистрируется схемой считывания на основе полевых транзисторов в случае последовательной матрицы. Положительный эффект достигается за счет эффективного взаимодействия излучения с матрицей антенн, перекрывающей пятно Эйри и выступающей в роли распределенного широкополосного абсорбера. Высокая чувствительность обеспечивается применением согласованных по импедансу с антенной СИНИС болометров, которые обладают минимальной эквивалентной шумом мощностью по сравнению с полупроводниковыми детекторами и болометрами.
У авторов изобретения имеется положительный опыт изготовления описанных структур. Были изготовлены последовательные и параллельные матрицы метаматериалов размером 10×10 антенн (фото последовательной матрицы на фиг. 1 и параллельной матрицы на фиг. 2), в которых экспериментально получена высокая эффективность и широкополосность для диапазона 350 ГГц по сравнению с матрицами стандартных антенн диаметром в половину длины волны. Антенны и подводящие проводники выполнены из трехслойной структуры Ti-Au-Pd толщиной 5-2000-100 нм, что обеспечивает малые сопротивления потерь и хороший омический контакт с электродами болометров. Болометры изготовлены теневым напылением под тремя углами в виде структуры Al-AlOx-AlFe-AlOx-Al, в которой толщина алюминиевых электродов составляет 70 нм и роль абсорбера выполняет двуслойная пленка Fe/Al (2 нм/14 нм), которая является нормальным проводником за счет подавления сверхпроводимости в алюминии эффектом близости со с ферромагнитной пленкой железа.
Технический результат предлагаемого решения состоит в достижении поставленных целей: повышении широкополосности вплоть до октавы, увеличение быстродействия до сотен килогерц, упрощении технологии и сокращении числа технологических операций до двух литографий и двух напылений тонких пленок, снижении трудоемкости и времени изготовления.
Предлагаемые матрицы болометров предназначены для использования в качестве приемников для радиоастрономии в условиях сравнительно высокого уровня фонового излучения. Для этого необходимы матрицы болометров, в которых приходящая мощность распределяется между большим числом болометров, в нашем случае 200 или 400. При этом сохраняется высокая чувствительность СИНИС болометра, превышающая 109 В/Вт. Одновременно требуется достаточно широкая полоса приема, что и достигается использованием матриц болометров, эквивалентных распределенному абсорберу. Достигнутые преимущества предложенной конструкции и технологии позволяют упростить изготовление широкополосных детекторов, использовать стандартную технологию электронной или фотолитографии, стандартные термические и магнетронные методы нанесения тонких пленок, расширить область частот вниз до миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов.
Литература
1. S. Mahashabde, A. Sobolev, G. Tsydynzhapov, et al., Planar frequency selective bolometric array at 350 GHz, IEEE Trans, on Terahertz Science and Technology, vol. 5, No 1, 2015, pp. 37-43, DOI 10.1109/TTHZ.2014.2377247.
2. S. Mahashabde, A. Sobolev, A. Bengtsson, et al., A frequency selective surface based focal plane receiver for the OLIMPO balloon-borne telescope, IEEE Trans, on Terahertz Science and Technolgy, vol. 5, No 1, 2015, pp. 145-152, DOI 10.1109/TTHZ.2014.2362010..
3. N. Landy, S. Sajuyigbe, J. Mock, D. Smith, W. Padilla, Perfect metamaterial absorber, Phys. Rev. Lett., 100, 207402 (2008).
4. X. Zang, C. Shi, L. Chen, B. Cai, Y. Zhu, S. Zhuang, Ultra-broadband terahertz absorption by exciting the orthogonal diffraction in dumbbell-shaped gratings, Scientific Reports, 5, 8901 (2015), DOI: 10.1038/srep08901.
5. J. Grant, I. Escorcia-Carranza, C. Li, I. McCrindle, J. Gough, D. Cumming, A monolithic resonant terahertz sensor element comprising a metamaterial absorber and micro-bolometer, Laser Photonics Rev. 7, No 6, 1043-1048 (2013) / DOI 10.1002/lpor.201300087.
6. US Patent 9,513,171 B2 Terahertz radiation detector, focal plane array incorporating terahertz detector, multispectral metamaterial absorber, and combined optical filter and terahertz absorber, assignee The University og Glasgow (GB), date Dec. 6, 2016.
Claims (5)
1. Широкополосный детектор терагерцевого излучения, состоящий из распределенного абсорбера в виде матрицы антенн в конфигурации метаматериала, микроболометров, подключенных к каждому элементу метаматериала, каждый элемент матрицы метаматериала имеет симметричную форму для обеспечения одинаковой чувствительности к обеим поляризациям, элементы матрицы представляют собой электрические замкнутые контуры, позади метаматериала абсорбера расположена дополнительная плоскость, отделенная от метаматериала слоем диэлектрика, отличающийся тем, что матрица антенн выполнена из сильно взаимодействующих между собой кольцевых электрически малых планарных антенн в конфигурации метаматериала, в разрыв которых включены по четыре болометра структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС), соединенных последовательно по току смещения и сигналу считывания.
2. Широкополосный детектор терагерцевого излучения по п. 1, отличающийся тем, что для расширения и выравнивания спектральной характеристики в качестве дополнительной плоскости позади метаматериала размещается радиочастотный поглотитель.
3. Широкополосный детектор терагерцевого излучения по п. 1, отличающийся тем, что для диапазона 350 ГГц диаметр кольцевой антенны составляет 60 мкм, количество колец в квадратной матрице равно 100, расстояние между антеннами 100 мкм.
4. Широкополосный детектор терагерцевого излучения, состоящий из распределенного абсорбера в конфигурации метаматериала, микроболометров, подключенных к каждому элементу метаматериала, каждый элемент матрицы метаматериала имеет симметричную форму для обеспечения одинаковой чувствительности к обеим поляризациям, элементы матрицы представляют собой электрические замкнутые контуры, позади метаматериала абсорбера расположена дополнительная плоскость, отделенная от метаматериала слоем диэлектрика, отличающийся тем, что матрица антенн выполнена из взаимодействующих между собой кольцевых электрически малых планарных антенн в конфигурации метаматериала, в разрыв которых включены по два болометра структуры Сверхпроводник-Изолятор-Нормальный металл-Изолятор-Сверхпроводник (СИНИС), соединенных параллельно по напряжению смещения и сигналу считывания.
5. Широкополосный детектор терагерцевого излучения по п. 4, отличающийся тем, что для расширения и выравнивания спектральной характеристики в качестве дополнительной плоскости позади метаматериала размещается радиочастотный поглотитель.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018124492A RU2684897C1 (ru) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | Широкополосный детектор терагерцевого излучения (варианты) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018124492A RU2684897C1 (ru) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | Широкополосный детектор терагерцевого излучения (варианты) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2684897C1 true RU2684897C1 (ru) | 2019-04-16 |
Family
ID=66168217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018124492A RU2684897C1 (ru) | 2018-07-04 | 2018-07-04 | Широкополосный детектор терагерцевого излучения (варианты) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2684897C1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110165419A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-23 | 南京邮电大学 | 一种基于高温超导体的可调谐型单向吸收吸波器 |
| RU2742569C1 (ru) * | 2020-05-29 | 2021-02-08 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Осциллятор для генератора терагерцового излучения |
| RU2801920C1 (ru) * | 2022-12-28 | 2023-08-18 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Дифференциальный сверхпроводящий детектор |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2482527C2 (ru) * | 2011-08-24 | 2013-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Матричный преобразователь терагерцевого излучения (варианты) |
| US9513171B2 (en) * | 2012-11-27 | 2016-12-06 | The University Court Of The University Of Glasgow | Terahertz radiation detector, focal plane array incorporating terahertz detector, multispectral metamaterial absorber, and combined optical filter and terahertz absorber |
| CN104266969B (zh) * | 2014-09-18 | 2017-02-15 | 电子科技大学 | 一种红外和太赫兹探测装置 |
| WO2017094280A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 国立大学法人東京大学 | ボロメータ型テラヘルツ波検出素子およびボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ |
-
2018
- 2018-07-04 RU RU2018124492A patent/RU2684897C1/ru active IP Right Revival
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2482527C2 (ru) * | 2011-08-24 | 2013-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Матричный преобразователь терагерцевого излучения (варианты) |
| US9513171B2 (en) * | 2012-11-27 | 2016-12-06 | The University Court Of The University Of Glasgow | Terahertz radiation detector, focal plane array incorporating terahertz detector, multispectral metamaterial absorber, and combined optical filter and terahertz absorber |
| CN104266969B (zh) * | 2014-09-18 | 2017-02-15 | 电子科技大学 | 一种红外和太赫兹探测装置 |
| WO2017094280A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 国立大学法人東京大学 | ボロメータ型テラヘルツ波検出素子およびボロメータ型テラヘルツ波検出素子アレイ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110165419A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-23 | 南京邮电大学 | 一种基于高温超导体的可调谐型单向吸收吸波器 |
| RU2742569C1 (ru) * | 2020-05-29 | 2021-02-08 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук | Осциллятор для генератора терагерцового излучения |
| RU2801920C1 (ru) * | 2022-12-28 | 2023-08-18 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Дифференциальный сверхпроводящий детектор |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20110062329A1 (en) | Electromagnetic based thermal sensing and imaging | |
| JP4398972B2 (ja) | 電磁波センサ、撮像素子及び撮像装置 | |
| Arnold et al. | The bolometric focal plane array of the POLARBEAR CMB experiment | |
| Myers et al. | An antenna-coupled bolometer with an integrated microstrip bandpass filter | |
| O'Brient et al. | A dual-polarized broadband planar antenna and channelizing filter bank for millimeter wavelengths | |
| US9383254B1 (en) | Symmetric absorber-coupled far-infrared microwave kinetic inductance detector | |
| RU2684897C1 (ru) | Широкополосный детектор терагерцевого излучения (варианты) | |
| Liu et al. | Integrated 585-GHz hot-electron mixer focal-plane arrays based on annular slot antennas for imaging applications | |
| JP2009141661A (ja) | 電磁波検出素子及び電磁波検出装置 | |
| Rösch | Development of lumped element kinetic inductance detectors for mm-wave astronomy at the IRAM 30 m telescope | |
| Shurakov et al. | Input bandwidth of hot electron bolometer with spiral antenna | |
| Hähnle et al. | An ultrawideband leaky lens antenna for broadband spectroscopic imaging applications | |
| US9360375B2 (en) | Photon radiation detector comprising an array of antennas and a spiral resistive support | |
| Galin et al. | Towards local oscillators based on arrays of niobium Josephson junctions | |
| Shan et al. | Design and development of SIS mixers for ALMA band 10 | |
| O'Brient et al. | A log-periodic channelizer for multichroic antenna-coupled tes-bolometers | |
| Paiella et al. | Design and Electrical Performance of the Kinetic Inductance Detectors of the OLIMPO Experiment | |
| Gol'tsman et al. | Terahertz superconducting hot-electron bolometer mixers and their application in radio astronomy | |
| Myers et al. | Antenna-coupled bolometers for millimeter waves | |
| Kuznetsov et al. | Narrowband Ultra-Thin Metasurface Absorbers for subTHz Band and Their Application in Spectrometric Pyroelectric Detectors | |
| de Lange et al. | A 3× 3 millimeter-wave micromachined imaging array with superconductor–insulator–superconductor mixers | |
| Gunbina et al. | A 90 GHz SINIS detector with 2 GHz readout | |
| Revin et al. | A Study of a Narrow-Band Receiving System of Cold-Electron Bolometers for the 220 and 240 GHz Channels using an Oscillator Based on the High-Temperature YBCO Superconductor | |
| Ali et al. | Planar antenna-coupled transition-edge hot electron microbolometer | |
| Mubarak et al. | Spherical reflector backed structure to enhance dipole antenna coupled IR detector performance |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200705 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20210414 |