JPWO2015121890A1 - 排ガス処理用バーナー及び該バーナーを用いた排ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
かかる技術によれば、着火源として、パイロットバーナーのように失火する虞のない電気ヒーターを用いているので、高い安全性と信頼性とを備えた管状火炎バーナーを提供することが出来る。
すなわち、かかるバーナーを、半導体製造工程より排出される排ガスを除害処理する排ガス処理装置の熱源とした場合、従来の火炎燃焼式排ガス処理装置と何ら変わるところが無く、排ガスの大風量処理が可能であるものの、この排ガスを処理する炉内の温度を800℃程度までしか昇温させることが出来ない。このため、排ガスの熱分解に際し、処理風量を250リットル/分以下に制限した場合であっても1,400〜1,500℃程度の高温が必要なCF4(四フッ化炭素)などの熱分解には不向きであると言った火炎燃焼式固有の問題は依然として解決されていない。
なお、このような火炎燃焼式排ガス処理装置の問題点を解決する技術として、熱源として電熱ヒーターを用いる電熱酸化分解式のものがある。電熱酸化分解式の排ガス処理装置であれば、電熱ヒーターの種類を選択(例えば、電熱ヒーターとして炭化ケイ素を発熱体とするものを選択)するだけで1,500℃程度の高温を簡単且つクリーンに作り出すことが出来る。しかしながら、この電熱酸化分解式の排ガス処理装置においても、エネルギー源として相対的にエネルギー単価が高い電力のみを使用しているため、省エネルギー化に限界があると言った課題や、大容量排ガスの効率的な除害処理が苦手であると言った問題が有った。
すなわち、先端12aが開放された外管12と、上記外管12の内径よりも小さな外径を有し、先端14aが開放された内管14であって、その先端部が上記外管12の後端12bから上記外管12の内部に挿入された内管14と、上記内管14の後端14bから上記内管14の内部に挿入された棒状の電熱ヒーター16とを有する。上記外管12の後端12bから突出した上記内管14の側面には、上記内管14の内部に支燃性ガスSを供給する支燃性ガス供給ノズル18が接続される。また、上記外管12の後端12bから突出した上記内管14の側面には、上記内管14の内部に燃料Fを供給する燃料供給ノズル20も接続される。上記外管12の後端12b側の側面には、上記外管12の内部に処理対象の排ガスEを供給する排ガス供給ノズル22が接続される。
上記内管14の先端14aは、上記外管12の先端12aから離間した上記外管12内の奥に配置される。そして、上記電熱ヒーター16の先端16aは、上記外管12の先端12a近傍まで伸設され、当該電熱ヒーター16の先端16aが、上記外管12の先端12aと上記内管14の先端14aとの間に配置される。
上記内管14内に供給する燃料Fの着火源として失火などの心配がない上記電熱ヒーター16を使用するので、上記内管14の内部では安定した火炎が形成され、その先端14aから噴射される。
また、上記内管14の先端14aを上記外管12の先端12aから離間した上記外管12内の奥に配置すると共に、上記電熱ヒーター16の先端16aを上記外管12の先端12a近傍まで伸設しているため、上記外管12の内部には、図3に示すように、排ガスEの通流方向の上流側から下流側に向けて、予熱領域X,火炎熱分解領域Y及び電熱分解領域Zがこの順で形成される。このうち、電熱分解領域Zでは、燃料Fの燃焼に伴う火炎の熱エネルギーのアシストを受けることで、電熱ヒーター単体で当該領域Zを加熱する場合に比べて、経済的且つ効率的に当該領域Zを排ガスEの熱分解に必要な所定の温度まで昇温させることが出来る。
すなわち、上記内管14及び上記外管12を円筒状に形成すると共に、前記支燃性ガス供給ノズル18及び前記燃料供給ノズル20の噴射方向を上記内管14内周面の接線方向に略一致させる。また、前記排ガス供給ノズル22の噴射方向を上記外管12内周面の接線方向に略一致させる。そして、上記支燃性ガス供給ノズル18,上記燃料供給ノズル20及び上記排ガス供給ノズル22の噴射方向の全てを同方向にする。
この場合、上記内管14の内部にて生成される火炎が旋回流の形で上記内管14の先端14aから上記の火炎熱分解領域Yへと噴射される。そして、上記排ガス供給ノズル22を介して上記外管12に供給される排ガスEの旋回方向もその火炎の旋回方向と同じ方向になっているため、上記の火炎熱分解領域Yに達した排ガスEが旋回流となっている火炎の流れを乱すことなく、両者が効率よく接触して火炎による排ガスEの熱分解が促進される。
この場合、上記排ガスEが前記の電熱分解領域Zに滞留する時間を延ばすことが出来、当該排ガスEの熱分解をより一層確実なものにすることが出来る。
すなわち、上記排ガス処理用バーナーを配設した反応器42と、上記排ガス処理用バーナーに導入する処理対象の排ガスEを液洗する湿式の入口スクラバー40又は上記反応器42で熱分解した処理後の排ガスEを液洗する湿式の出口スクラバー44の少なくとも何れか一方とを備えることを特徴とする。
図1は、本発明の排ガス処理用バーナー10を搭載した排ガス処理装置11の概略を示すものである。この排ガス処理装置11は、図示しない半導体製造装置から排出されたモノシラン(SiH4),塩素系ガス,PFCs(パーフルオロコンパウンド)などを含む排ガスEを除害処理するための装置であり、この図が示すように、排ガス処理装置11は、排ガスEの処理フローに沿って、入口スクラバー40,反応器42及び出口スクラバー44がこの順に設置され、さらに排気ファン46及び水槽48などを加えて構成されている。
この入口スクラバー40の頂部は、入口ダクト50を介して図示しない半導体製造装置と連結されており、半導体の製造工程で排出された各種排ガスEが入口ダクト50を通り、この入口スクラバー40の頂部に導入されるようになっている。
なお、図1中の符号40cは、スプレーノズル40bから撒布された熱分解前洗浄水PWと排ガスEとの気液接触を促進させるための充填材である。
なお、上記の入口スクラバー40をシャワー水回収槽48a上に立設すると共に、入口スクラバー40の内部と水槽48の内部とが互いに直接連通するようにしてもよい。
反応器本体60は、ステンレス(SUS)製で円筒状の外皮ジャケットの内面に、耐火材で形成された内貼部材を貼設して構成されており、内貼部材で囲まれた内部空間60aが排ガス分解処理空間になっている。この反応器本体60の天面には、上記の内部空間60aに向けて排ガス処理用バーナー10が挿設されており、また、この反応器本体60の下部には、ガス排出部62が開設されるとともに、上記の内部空間60aにて熱分解処理された排ガスEを、水槽48へと送給する分解ガス送給配管64が接続されている。
この外管12の先端12aは開放されており、後端12bにはその外径が拡大してフランジ部12cが設けられている。そして、このフランジ部12cには、外管12の後端12bを閉塞するための蓋体26がボルト28で固定されている。
また、外管12の後端12b側の側面には、後述する排ガス供給ノズル22が接続されている。さらに、外管12の先端12a側の内周面には、その内周面の内径を縮径するように突出した邪魔板24が必要に応じて設けられる。
この内管14の先端14aは開放されており、後端14bは後述する電熱ヒーター16を固定するための栓体33で閉塞されている。そして、この内管14は、その外径が外管12の内径よりも小さく形成されており、その先端部が外管12の後端12bから上記外管12の内部へと挿入されている。
また、外管12の後端12bから突出したこの内管14の側面には、後述する支燃性ガス供給ノズル18及び燃料供給ノズル20が接続される。
なお、図2及び図3中の符号32は、例えば、反応器42を図示しないキャビネットに収納する際などに役立つよう設けられたフランジである。
この電熱ヒーター16の後端部には給電端子38が設けられており、この給電端子38にはリード線を介して電源装置が接続される(図示せず)。
なお、この支燃性ガス供給ノズル18には、図示しないが、マスフローコントローラーなどの流量調節手段を介して支燃性ガス供給源が接続される。
そして、この燃料供給ノズル20にも、図示しないが、マスフローコントローラーなどの流量調節手段を介して燃料供給源が接続される。
なお、この排ガス供給ノズル22には、図1に示すように、水洗ガス供給配管52の下流端が接続される。
すなわち、内管14の先端14aは、上記外管12の先端12aから離間した上記外管12内の奥(図示実施形態の場合は、外管12の長手方向中央部より奥側)に配置される。また、上記電熱ヒーター16の先端16aは、上記外管12の先端12a近傍まで伸設される。このため、外管12の内部空間には、図3に示すように、排ガスEの通流方向の上流側から下流側に向けて、排ガス供給ノズル22から内管14の先端14aまでの予熱領域X,内管14の先端14aから内管14より噴射される火炎の先端までの火炎熱分解領域Y,及び火炎の先端から電熱ヒーター16の先端16a近傍まで(図示実施例の場合は邪魔板24まで)の電熱分解領域Zと言った機能的領域が形成されるようになる。なお、その具体的な作用については後述する。
また、上記外管12には、火炎熱分解領域Yの内面の温度と電熱分解領域Zの内面の温度とを計測する温度センサー30が取り付けられており、この温度センサー30で測定した温度に基づいて内管14に供給する燃料F及び支燃性ガスSの供給量や電熱ヒーター16に供給する電力量などが制御される。
なお、本発明の排ガス処理用バーナー10は、上述したように失火の虞はないが、火炎の状態を監視する火炎検出器を取り付け、かかる装置による火炎検出結果を当該バーナー10の制御にフィードバックするようにしてもよい。
この出口スクラバー44は、上述した入口スクラバー40と同様に、図示実施形態では、スプレーノズル44bと水槽48(より具体的には出口スクラバー排水回収槽48b)とが配管68を介して接続されており、この配管68の途中に取り付けられたポンプ70によって、出口スクラバー排水回収槽48b内の洗浄水CWをスプレーノズル44bに揚上するようになっているが、このスプレーノズル44bには、水槽48内の洗浄水CWの他に、必要に応じて新水などの新しい薬液が供給される。
なお、図1中の符号72は、出口スクラバー排水回収槽48bからスプレーノズル44bへと供給される洗浄水CWを冷却する冷却装置である。
また、出口スクラバー排水回収槽48bは、出口スクラバー44のスプレーノズル44bから排出された洗浄水CW及び必要に応じて供給される新水などの新しい薬液を回収するとともに、出口スクラバー44のスプレーノズル44bに供給する水等、つまり洗浄水CWを貯留する水槽である。
続いて、排ガス処理用バーナー10の火炎熱分解領域Yにおける外管12内面の温度が炭化水素系の燃料Fの燃焼温度(例えば、燃料ガスがメタンの場合には、約700℃前後)に達すると、図示しない制御手段が作動して、内管14内に燃料Fと支燃性ガスSとが送給される。すると、内管14内で旋回炎が形成され、これが内管14の先端14aから外管14の火炎熱分解領域Yに向けて噴射される。
ここで、外管12における電熱分解領域Zの内面の温度が1,500℃程度の高温になるまで電熱ヒーター16への給電が継続されるが、内管14で形成した火炎の熱エネルギーのアシストを受けることができるので、電熱ヒーター16単体で当該領域Zを加熱する場合に比べて、より早く且つ少ない電力消費量で当該領域Zを1,500℃程度の高温まで昇温させることが出来る。
また、外管12における電熱分解領域Zの内面の温度が1500℃程度を保持するように電熱ヒーター16に供給される電力量が制御される。
すなわち、排ガス供給ノズル22から外管12内に供給された排ガスEは、予熱領域Xにおいて、内管14の外周を螺旋状に旋回しながら外管12の先端12a側に向けて進む。この際、内管14の管壁からの輻射熱で予熱される。
続いて、火炎熱分解領域Yに達した排ガスEは、内管14から噴射された火炎によって約1,000℃程度に加熱された当該領域Yを通過する際に、SiH4などの比較的低温で熱分解可能な成分が熱分解される。
そして、電熱分解領域Zに達した排ガスEは、火炎のアシストを得た電熱ヒーター16で効率的に約1,500℃程度の高温になった当該領域Zを通過する際に、CF4などの難熱分解性の成分も熱分解される。
すなわち、上述の排ガス処理装置11では、入口スクラバー40と出口スクラバー44の両方を備える場合を示したが、処理する排ガスEの種類によってはこれらの何れか一方を備えるようにしてもよい。
11…排ガス処理装置
12…外管
12a…(外管の)先端
12b…(外管の)後端
14…内管
14a…(内管の)先端
14b…(内管の)後端
16…電熱ヒーター
16a…(電熱ヒーター)の先端
18…支燃性ガス供給ノズル
20…燃料供給ノズル
22…排ガス供給ノズル
24…邪魔板
40…入口スクラバー
42…反応器
44…出口スクラバー
E…排ガス
S…支燃性ガス
F…燃料
Claims (4)
- 先端(12a)が開放された外管(12)と、
上記外管(12)の内径よりも小さな外径を有し、先端(14a)が開放された内管(14)であって、その先端部が上記外管(12)の後端(12b)から上記外管(12)の内部に挿入された内管(14)と、
上記内管(14)の後端(14b)から上記内管(14)の内部に挿入された棒状の電熱ヒーター(16)と、
上記外管(12)の後端(12b)から突出した上記内管(14)の側面に接続され、上記内管(14)の内部に支燃性ガス(S)を供給する支燃性ガス供給ノズル(18)と、
上記外管(12)の後端(12b)から突出した上記内管(14)の側面に接続され、上記内管(14)の内部に燃料(F)を供給する燃料供給ノズル(20)と、
上記外管(12)の後端(12b)側の側面に接続され、上記外管(12)の内部に処理対象の排ガス(E)を供給する排ガス供給ノズル(22)とを具備し、
上記内管(14)の先端(14a)が、上記外管(12)の先端(12a)から離間した上記外管(12)内の奥に配置されると共に、
上記電熱ヒーター(16)の先端(16a)が、上記外管(12)の先端(12a)近傍まで伸設され、上記外管(12)の先端(12a)と上記内管(14)の先端(14a)との間に配置される、
ことを特徴とする排ガス処理用バーナー。 - 請求項1の排ガス処理用バーナーにおいて、
前記内管(14)及び前記外管(12)が円筒状に形成されており、
前記支燃性ガス供給ノズル(18)及び前記燃料供給ノズル(20)の噴射方向を上記内管(14)内周面の接線方向に略一致させ、且つ、前記排ガス供給ノズル(22)の噴射方向を上記外管(12)内周面の接線方向に略一致させると共に、
上記支燃性ガス供給ノズル(18),上記燃料供給ノズル(20)及び上記排ガス供給ノズル(22)の噴射方向の全てを同方向にする、ことを特徴とする排ガス処理用バーナー。 - 請求項1又は2の排ガス処理用バーナーにおいて、
前記外管(12)の先端(12a)側の内周面に、その内周面の内径を縮径するように突出した邪魔板(24)が設けられている、ことを特徴とする排ガス処理用バーナー。 - 請求項1から3の何れかの排ガス処理用バーナーを配設した反応器(42)と、
上記排ガス処理用バーナーに導入する処理対象の排ガス(E)を液洗する湿式の入口スクラバー(40)又は上記反応器(42)で熱分解した処理後の排ガス(E)を液洗する湿式の出口スクラバー(44)の少なくとも何れか一方とを備える、
ことを特徴とする排ガス処理装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/000721 WO2015121890A1 (ja) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | 排ガス処理用バーナー及び該バーナーを用いた排ガス処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5623676B1 JP5623676B1 (ja) | 2014-11-12 |
JPWO2015121890A1 true JPWO2015121890A1 (ja) | 2017-03-30 |
Family
ID=53799665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014520442A Active JP5623676B1 (ja) | 2014-02-12 | 2014-02-12 | 排ガス処理用バーナー及び該バーナーを用いた排ガス処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5623676B1 (ja) |
KR (1) | KR102191652B1 (ja) |
CN (1) | CN105143769B (ja) |
TW (1) | TWI607184B (ja) |
WO (1) | WO2015121890A1 (ja) |
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JP5977419B1 (ja) | 2015-03-12 | 2016-08-24 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
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CN106582229A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-04-26 | 广西红润化工科技有限公司 | 湿法‑加热法联合处理的复合式多级废气处理装置 |
DE102017105094A1 (de) | 2017-03-10 | 2018-09-13 | Eisenmann Se | Temperiervorrichtung für oberflächenbehandelte Gegenstände wie Fahrzeugteile |
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CN102506429B (zh) * | 2011-11-07 | 2013-12-04 | 西安交通大学 | 浸入式燃气陶瓷内加热器套管及其制备方法 |
JP5370465B2 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-12-18 | Jfeスチール株式会社 | 長火炎バーナおよびラジアントチューブ式加熱装置 |
JP5382093B2 (ja) | 2011-11-18 | 2014-01-08 | Jfeスチール株式会社 | 管状火炎バーナおよびラジアントチューブ式加熱装置 |
-
2014
- 2014-02-12 WO PCT/JP2014/000721 patent/WO2015121890A1/ja active Application Filing
- 2014-02-12 CN CN201480000791.6A patent/CN105143769B/zh active Active
- 2014-02-12 KR KR1020147033534A patent/KR102191652B1/ko active IP Right Grant
- 2014-02-12 JP JP2014520442A patent/JP5623676B1/ja active Active
- 2014-07-21 TW TW103124919A patent/TWI607184B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105143769B (zh) | 2018-09-11 |
CN105143769A (zh) | 2015-12-09 |
JP5623676B1 (ja) | 2014-11-12 |
TW201531651A (zh) | 2015-08-16 |
KR102191652B1 (ko) | 2020-12-17 |
WO2015121890A1 (ja) | 2015-08-20 |
KR20160119445A (ko) | 2016-10-14 |
TWI607184B (zh) | 2017-12-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20140812 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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