CN105143769A - 废气处理用喷燃器及使用了该喷燃器的废气处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明为废气处理用喷燃器及使用了该喷燃器的废气处理装置，具备前端(12a)开放的外管(12)、前端(12a)开放并且其前端部被从外管(12)的后端(12b)插入到了外管(12)的内部的内管(14)和从内管(14)的后端(14b)插入到了内管(14)的内部的杆状的电热加热器(16)。从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面与助燃性气体供给管嘴(18)和燃料供给管嘴(20)连接。上述外管(12)的后端(12b)那一侧的侧面与废气供给管嘴(22)连接。上述内管(14)的前端(14a)被配置在从上述外管(12)的前端(12a)离开的上述外管(12)内的深处。而且，上述电热加热器(16)的前端(16a)延伸设置到上述外管(12)的前端(12a)附近，配置在上述外管(12)的前端(12a)与上述内管(14)的前端(14a)之间。

Description

废气处理用喷燃器及使用了该喷燃器的废气处理装置
技术领域
本发明涉及用于废气处理的喷燃器，特别是涉及适合需要1500℃左右的高温的废气除害处理的废气处理用喷燃器和使用了该喷燃器的废气处理装置。
背景技术
作为安装在炉、燃烧器上的喷燃器，已知非预混合型的管状火焰喷燃器(参照专利文献1及2)，该非预混合型的管状火焰喷燃器具有前端开放的管状的燃烧室，在此燃烧室后端的闭塞端部附近向上述燃烧室的内周面的切线方向设置吹入燃料含有气体的管嘴和吹入空气等氧含有气体(助燃性气体)的管嘴，并且，作为着火源使用了电加热器。
根据该技术，作为着火源，使用如点火喷燃器那样没有失火的危险的电加热器，所以，能够提供具备高的安全性和可靠性的管状火焰喷燃器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-37232号公报
专利文献2：日本特开2012-63132号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而，上述现有技术的管状火焰喷燃器存在以下那样的问题。
即，在将该喷燃器作为对从半导体制造工序排出的废气进行除害处理的废气处理装置的热源的场合，与现有技术的火焰燃烧式废气处理装置没有任何变化，尽管可进行废气的大风量处理，但仅能够将处理此废气的炉内的温度升温至800℃左右。因此，当进行废气的热分解时，即使在将处理风量限制在250升/分以下的场合，火焰燃烧式固有的问题也依然没有得到解决，即，不适合需要1400～1500℃左右的高温的CF4(四氟化碳)等的热分解。
另外，作为解决这样的火焰燃烧式废气处理装置的问题点的技术，有作为热源使用电热加热器的电热氧化分解式的废气处理装置。如果是电热氧化分解式的废气处理装置，仅是选择电热加热器的种类(例如，作为电热加热器选择以碳化硅作为发热体的电热加热器)，就能够简单而且清洁地形成1500℃左右的高温。然而，即使在此电热氧化分解式的废气处理装置中，因为作为能源仅使用能量单价相对较高的电力，所以，存在节能化存在极限的课题、大容量废气的高效率的除害处理难以实现的问题。
此外，本发明的主要的课题在于提供一种经济性优越的高效率的废气处理用的喷燃器，该废气处理用的喷燃器具有高的安全性和可靠性，能够简单地形成由现有技术的火焰喷燃器中的、作为助燃性气体使用空气的火焰喷燃器不能实现的1500℃左右的高温环境。另外，本发明的另一课题在于提供一种使用这样的废气处理用喷燃器、可进行大容量废气的高效率的热分解(除害)处理的废气处理装置。
用于解决课题的技术手段
为了达到上述目的，本发明例如如图1～图3所示那样如以下那样构成废气处理用喷燃器。
即，具有外管12、内管14和杆状的电热加热器16。外管12的前端12a开放。内管14具有比上述外管12的内径小的外径，前端14a开放，内管14的前端部从上述外管的后端12b插入到上述外管12的内部。电热加热器16从上述内管14的后端14b插入到上述内管14的内部。从上述外管12的后端12b突出的上述内管14的侧面，与向上述内管14的内部供给助燃性气体S的助燃性气体供给管嘴18连接。另外，从上述外管12的后端12b突出的上述内管14的侧面，还与向上述内管14的内部供给燃料F的燃料供给管嘴20连接。上述外管12的后端12b那一侧的侧面，与向上述外管12的内部供给处理对象的废气E的废气供给管嘴22连接。
上述内管14的前端14a，被配置在从上述外管12的前端12a离开的上述外管12内的深处。而且，上述电热加热器16的前端16a延伸设置至上述外管12的前端12a附近，该电热加热器16的前端16a被配置在上述外管12的前端12a与上述内管14的前端14a之间。
本发明例如起到以下作用。
由于作为向上述内管14内供给的燃料F的着火源使用没有失火等的担心的上述电热加热器16，所以，在上述内管14的内部形成稳定的火焰，从其前端14a喷射。
另外，因为将上述内管14的前端14a配置在从上述外管12的前端12a离开的上述外管12内的深处，并且，将上述电热加热器16的前端16a延伸设置至上述外管12的前端12a附近，所以，在上述外管12的内部，如图3所示，从废气E的流通方向的上游侧向下游侧，预热区域X、火焰热分解区域Y及电热分解区域Z按照此顺序形成。其中，在电热分解区域Z中，通过接受与燃料F的燃烧相伴的火焰的热能的辅助，与由电热加热器单体对该区域Z进行加热的场合相比，能够经济地而且高效率地使该区域Z升温至废气E的热分解所需要的规定的温度。
在本发明中，最好例如如图2所示那样增加以下构成。
即，将上述内管14及上述外管12形成为圆筒状，并且，使上述助燃性气体供给管嘴18及上述燃料供给管嘴20的喷射方向与上述内管14的内周面的切线方向大致一致。另外，使上述废气供给管嘴22的喷射方向与上述外管12内周面的切线方向大致一致。而且，使上述助燃性气体供给管嘴18、上述燃料供给管嘴20及上述废气供给管嘴22的喷射方向全部是相同方向。
在此场合，在上述内管14的内部生成的火焰以回旋流的形式从上述内管14的前端14a向上述的火焰热分解区域Y喷射。而且，因为经上述废气供给管嘴22向上述外管12供给的废气E的回旋方向也成为与该火焰的回旋方向相同的方向，所以，已经到达了上述火焰热分解区域Y的废气E不会扰乱成为回旋流的火焰的流动，两者以良好效率接触，由火焰产生的废气E的热分解被促进。
另外，在本发明中，最好例如如图3所示那样，在上述外管12的前端12a那一侧的内周面设置以其内周面的内径缩径的方式突出的挡板24。
在此场合，能够延长上述废气E滞留在上述电热分解区域Z中的时间，能够使该废气E的热分解成为更加确实的热分解。
另外，第2发明的废气处理装置，是使用上述废气处理用喷燃器的装置，例如如图1所示那样，如以下那样构成废气处理装置。
即，特征在于：具备反应器42，以及湿式的入口洗涤器40与湿式的出口洗涤器44中的至少任意一方；该反应器42配设了上述废气处理用喷燃器；该入口洗涤器40对向上述废气处理用喷燃器导入的处理对象的废气E进行液洗；该出口洗涤器44对由上述反应器42进行了热分解的处理后的废气E进行液洗。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种经济性优越、高效率的废气处理用喷燃器和使用这样的废气处理用喷燃器、可进行大容量废气的高效率的热分解(除害)处理的废气处理装置，该废气处理用喷燃器具有高安全性和可靠性，仅是选择(作为着火源起作用的)电热加热器的种类，就能够简单地形成由现有技术的火焰喷燃器中的作为助燃性气体使用空气的火焰喷燃器不能实现的1500℃左右的高温环境。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施例的废气处理装置的概略的说明图。
图2是表示本发明的废气处理用喷燃器的一例的图，图2A是正视图，图2B是图2A中的α-α线剖视图，图2C是图2A中的β-β线剖视图。
图3是图2A中的局部剖切剖视图。
具体实施方式
下面，根据图1～图3说明本发明的一个实施方式。
图1是表示搭载了本发明的废气处理用喷燃器10的废气处理装置11的概略的图。此废气处理装置11，是用于对从未图示的半导体制造装置排出了的包含硅烷(SiH4)、氯系气体、PFCs(全氟化物)等的废气E进行除害处理的装置。如此图所示那样，在废气处理装置11中，沿废气E的处理流程，入口洗涤器40、反应器42及出口洗涤器44按照此顺序设置，并且，还增加排气风扇46及水槽48等进行构成。
入口洗涤器40，是用洗涤水对包含在从未图示的半导体制造装置排出了的废气E中的粉尘、水溶性气体等进行吸收，将其从废气E中洗涤除去的装置，由直管型的洗涤器主体40a和喷淋管嘴40b构成。喷淋管嘴40b，被配置在该洗涤器主体40a内部，对供给到反应器42之前的废气E喷射热分解前洗涤水PW，对其进行洗涤。在这里，热分解前洗涤水PW，与目的对应地使用水或添加了氨等药液的水溶液等。
此入口洗涤器40的顶部，经入口管道50与未图示的半导体制造装置连结，在半导体的制造工序中排出了的各种废气E通过入口管道50，被导入到此入口洗涤器40的顶部。
另外，图1中的附图标记40c，是用于促进从喷淋管嘴40b撒放的热分解前洗涤水PW与废气E的气液接触的填充材料。
在图示实施例中，此入口洗涤器40和水槽48被分别设置，并且，两者由水洗气体供给配管52及从此水洗气体供给配管52分支的排水管54连接。因此，来自入口洗涤器40的排水被经水洗气体供给配管52及排水管54送入到设置在水槽48内的喷洒水回收槽48a(后述)。另外，排水管54的水槽侧端部54a，通过配设在比喷洒水回收槽48a的水面低的位置，被进行水封。
上述喷淋管嘴40b与喷洒水回收槽48a经配管56连接，在此配管56的途中安装泵58。于是，由此泵58，将储存在喷洒水回收槽48a内的热分解前洗涤水PW向喷淋管嘴40b供给。
另外，也可将上述入口洗涤器40立设在喷洒水回收槽48a上，并且，入口洗涤器40的内部与水槽48的内部相互直接连通。
反应器42是对废气E进行加热分解的装置，具有反应器主体60和被搭载在反应器主体60上的废气处理用喷燃器10。
反应器主体60，通过在由不锈钢(SUS)制的圆筒状的外皮护套的内面贴设由耐火材料形成的内贴构件来构成，由内贴构件包围的内部空间60a成为废气分解处理空间。在此反应器主体60的顶面，向上述内部空间60a插设废气处理用喷燃器10，另外，在此反应器主体60的下部开设气体排出部62，并且，与将在上述内部空间60a中被热分解处理了的废气E送往水槽48的分解气体送给配管64连接。
另外，在此分解气体送给配管64的上游端附近安装喷洒器66。此喷洒器66，是喷射用于对在反应器42内进行了热分解的废气E进行预备洗涤及预备冷却的喷洒水SW的装置。喷洒水SW，使用从上述喷洒水回收槽48a由泵58提升了的水等。
废气处理用喷燃器10是成为用于对废气E进行热分解的热源的装置，如图2入图3所示，大体由外管12、内管14、电热加热器16、助燃性气体供给管嘴18、燃料供给管嘴20及废气供给管嘴22构成。
外管12是圆筒状的管材(参照图2B)，由不锈钢、哈斯特洛依合金(哈氏合金国际公司注册商标)等金属材料、氧化铝等陶瓷或在金属材料的表面(内面)贴设了绝热材料、耐火材料的材料形成。另外，外管12的形状不限于圆筒状，如果是管体，则也可以是任何形状，例如也可以是方筒状。
此外管12的前端12a被开放，在后端12b，其外径扩大，设置凸缘部12c。而且，在此凸缘部12c上，用螺栓28固定用于将外管12的后端12b闭塞的盖体26。
另外，外管12的后端12b那一侧的侧面，与后述的废气供给管嘴22连接。并且，在外管12的前端12a那一侧的内周面，根据需要设置以使其内周面的内径缩径的方式突出的挡板24。
内管14，与上述外管12同样地是圆筒状的管材(参照图2C)，由不锈钢、哈斯特洛依合金(哈氏合金国际公司注册商标)等金属材料、氧化铝等陶瓷或在金属材料的表面(内面)贴设了绝热材料、耐火材料的材料形成。另外，内管14的形状也不限于圆筒状，如果是管体，则也可以是任何形状，例如也可以是方筒状。
此内管14的前端14a被开放，后端14b由用于对后述的电热加热器16进行固定的栓体33闭塞。而且，此内管14，其外径形成得比外管12的内径小，其前端部被从外管12的后端12b插入到上述外管12的内部。
另外，从外管12的后端12b突出的此内管14的侧面，与后述的助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20连接。
另外，图2及图3中的附图标记32，例如是以在将反应器42收纳在未图示的箱中时等起作用的方式设置的凸缘。
电热加热器16，是经燃料供给管嘴20向内管14内供给的燃料F的着火源，并且，其自身也成为对外管12内加热的热源，具体地说，是电热式的加热器，该电热式的加热器在氧化铝等陶瓷或哈斯特洛依合金(哈氏合金国际公司注册商标)、不锈钢等金属制的保护管34的内部装填了SiC等陶瓷或将镍铬合金线、坝塔尔合金(山特维克公司注册商标)线等金属线卷成了螺旋状的长尺寸的发热电阻体36。
在此电热加热器16的后端部设置供电端子38，此供电端子38经导线与电源装置连接(未图示)。
助燃性气体供给管嘴18，是向内管14的内部供给空气、氧含有气体等助燃性气体S的金属制的管嘴，如图2C所示，此助燃性气体供给管嘴18以其喷射方向与内管14内周面的切线方向大致一致的方式安装。
另外，此助燃性气体供给管嘴18，虽然未图示，但经质量流控制器等流量调节单元与助燃性气体供给源连接。
燃料供给管嘴20，是向内管14的内部供给甲烷、丙烷这些烃类的气体燃料或形成为雾状的重油、轻油这些烃类的液体燃料等燃料F的金属制的管嘴。此燃料供给管嘴20，与助燃性气体供给管嘴18相比被配设在内管14的前端14a那一侧。另外，如图2B及图C所示，此燃料供给管嘴20也以其喷射方向与内管14内周面的切线方向大致一致的方式安装。
而且，此燃料供给管嘴20，虽然未图示，但也经质量流控制器等流量调节单元与燃料供给源连接。
废气供给管嘴22，与外管12的后端12b那一侧的侧面连接，是向外管12的内部供给成为加热对象(即处理对象)的废气E的金属制的管嘴，如图2B所示，此废气供给管嘴22以其喷射方向与外管12内周面的切线方向大致一致的方式安装。另外，以此废气供给管嘴22的喷射方向与上述助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相同的方式构成。
另外，此废气供给管嘴22，如图1所示，与水洗气体供给配管52的下游端连接。
在这里，具有这样的各构件的废气处理用喷燃器10如以下那样构成。
即，内管14的前端14a被配置在从上述外管12的前端12a离开的上述外管12内的深处(在图示实施方式的场合，与外管12的长度方向中央相比处于里侧)。另外，上述电热加热器16的前端16a延伸设置到上述外管12的前端12a附近。因此，在外管12的内部空间中，如图3所示，从废气E的流通方向的上游侧向下游侧，形成从废气供给管嘴22到内管14的前端14a的预热区域X、从内管14的前端14a到从内管14喷射的火焰的前端的火焰热分解区域Y及从火焰的前端到电热加热器16的前端16a附近(在图示实施例的场合，到挡板24)的电热分解区域Z这些功能的区域。另外，其具体的作用在后面说明。
另外，在上述外管12上，安装对火焰热分解区域Y的内面的温度和电热分解区域Z的内面的温度进行测量的温度传感器30，基于由此温度传感器30测定了的温度，对向内管14供给的燃料F及助燃性气体S的供给量、向16供给的电力量等进行控制。
另外，本发明的废气处理用喷燃器10，虽然如上述那样没有失火的危险，但也可安装对火焰的状态进行监视的火焰检测器，将由该装置获得的火焰检测结果反馈到该喷燃器10的控制中去。
出口洗涤器44，用于对由从喷洒器66喷射的喷洒水SW对粉尘、水溶性气体等进行了预备洗涤并且进行了预备冷却的废气E进一步进行洗涤及冷却，由直管状的洗涤器主体44a、朝下的喷淋管嘴44b和填充材料44c构成。洗涤器主体44a，立设在构成水槽48的出口洗涤器排水回收槽48b(后述)的上面。喷淋管嘴44b，以与废气E的流通方向相向的方式从上方喷射洗涤水CW。填充材料44c，用于促进从喷淋管嘴44b撒放了的洗涤水CW与废气E的气液接触。
此出口洗涤器44，与上述入口洗涤器40同样地，在图示实施方式中，喷淋管嘴44b与水槽48(更具体地说，出口洗涤器排水回收槽48b)经配管68连接，由安装在此配管68的途中的泵70，将出口洗涤器排水回收槽48b内的洗涤水CW提升到喷淋管嘴44b，但除了水槽48内的洗涤水CW外，还根据需要向此喷淋管嘴44b供给新水等新的药液。
另外，图1中的附图标记72，是对从出口洗涤器排水回收槽48b向喷淋管嘴44b供给的洗涤水CW进行冷却的冷却装置。
排气风扇46，与出口洗涤器44的顶部出口连接，通过此排气风扇46开动，废气处理装置11的内部被经常保持为比大气压低的压力(＝负压)。因此，热分解处理前的废气E、处理完的高温的废气E等不会误从废气处理装置11向外部漏出。
水槽48，是储存热分解前洗涤水PW、喷洒水SW及洗涤水CW的槽，其内部由分隔构件74分割成喷洒水回收槽48a和出口洗涤器排水回收槽48b。另外，分隔构件74，是从水槽48的底面立设的板材，在其上端与水槽48内的顶面之间设置开口76，如后述那样，在废气处理装置11的开动中，废气E通过此开口76。
如上述那样，喷洒水回收槽48a，是对在入口洗涤器40中喷射了的热分解前洗涤水PW及从喷洒器66喷射了喷洒水SW进行回收，并且储存经泵58向入口洗涤器40及喷洒器66供给的热分解前洗涤水PW及喷洒水SW的水槽。
另外，出口洗涤器排水回收槽48b，是回收从出口洗涤器44的喷淋管嘴44b排出了的洗涤水CW及根据需要供给的新水等新的药液，并且储存向出口洗涤器44的喷淋管嘴44b供给的水等即洗涤水CW的水槽。
在这里，由于根据需要供给到了出口洗涤器44的新水等新的药液流入到出口洗涤器排水回收槽48b中，所以，多余的水等越过分隔构件74溢流到喷洒水回收槽48a中，以便不积存规定量以上的水等。另外，喷洒水回收槽48a，由于如上述那样水等从出口洗涤器排水回收槽48b溢流过来，所以，配设排水管78，以便不积存规定量以上的水等。此排水管78是用于将存储在了喷洒水回收槽48a中的水等送往未图示的排水处理装置的配管，其一方端与排水处理装置连接，并且，另一方端被配置在从喷洒水回收槽48a的底面离开的规定的高度。因此，喷洒水回收槽48a的水面位置，不比排水管78的另一方端的位置高。
另外，在本实施例的废气处理装置11中的除了反应器42以外的其它部分，为了防止被包含在废气E中的或通过分解废气E产生的氢氟酸等腐蚀性成分导致的腐蚀，形成利用氯乙烯树脂、聚乙烯树脂、不饱和聚酯树脂及氟树脂等的耐腐蚀性的内衬、涂层。
接下来，当使用如以上那样构成的废气处理装置11进行废气E的除害处理时，首先，接通废气处理装置11的运转开关(未图示)，使废气处理用喷燃器10的电热加热器16工作，开始内管14内的加热。
接着，如果废气处理用喷燃器10的处在火焰热分解区域Y中的外管12内面的温度达到烃类的燃料F的燃烧温度(例如在燃料气体是甲烷的场合，约700℃左右)，则未图示的控制单元工作，向内管14内送给燃料F和助燃性气体S。于是，在内管14内形成回旋焰，该回旋焰从内管14的前端14a向外管12的火焰热分解区域Y喷射。
在这里，虽然向电热加热器16的供电继续到外管12的处在电热分解区域Z的内面的温度达到1500℃左右的高温，但由于能够接受在内管14形成了的火焰的热能的辅助，所以，与由电热加热器16单体对该区域Z进行加热的场合相比，能够更快而且以少的电力消耗量使该区域Z升温至1500℃左右的高温。
而且，如果外管12中的电热分解区域Z的内面的温度达到1500℃左右的高温，则排气风扇46工作，使废气E向废气处理装置11的导入开始。于是，废气E依次通过入口洗涤器40、反应器42及出口洗涤器44，废气E中的除害对象成分被除害。
另外，以外管12中的电热分解区域Z的内面的温度保持1500℃左右的方式对向电热加热器16供给的电力量进行控制。
根据本实施方式的废气处理装置11，由于如上述那样构成废气处理用喷燃器10，所以，当废气E的热分解时，起到以下的作用。
即，从废气供给管嘴22供给到了外管12内的废气E，在预热区域X中一面沿内管14的外周以螺旋状回旋，一面向外管12的前端12a那一侧前进。此时，由来自内管14的管壁的辐射热预热。
接着，到达了火焰热分解区域Y的废气E当通过由从内管14喷射了的火焰加热成了约1000℃左右的该区域Y时，SiH4等在比较低的温度下可热分解的成分被热分解。
而且，到达了电热分解区域Z的废气E当通过获得了火焰的辅助的、由电热加热器16高效率地升温到了约1500℃左右的高温的该区域时，CF4等难热分解性的成分也被热分解。
另外，上述实施方式可如以下那样变更。
即，在上述废气处理装置11中，虽然表示了具备入口洗涤器40和出口洗涤器44双方的场合，但根据处理的废气E的种类，也可具备它们的任意一方。
另外，在图示实施方式中，在废气处理用喷燃器10中虽然以废气供给管嘴22的喷射方向成为与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相同的方向的方式构成，但也可以废气供给管嘴22的喷射方向与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相反的方式构成。这是因为，在作为着火源使用点火喷燃器等现有技术的喷燃器中，在使废气供给管嘴22的喷射方向与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相反的场合，虽然当两者接触时存在产生紊流、火焰失火的危险，但因为在本发明的废气处理用喷燃器10中将电热加热器16作为着火源，所以，没有该失火的危险。而且，因为也可这样使废气供给管嘴22的喷射方向与助燃性气体供给管嘴18及燃料供给管嘴20的喷射方向相反，所以，存在装置布局的选择的范围扩大的优点。
并且，在上述实施方式中，虽然表示了分别构成助燃性气体供给管嘴18和燃料供给管嘴20的场合，但也可一体地构成它们，预混合助燃性气体S和燃料F后向内管14内供给。
附图标记说明：
10…废气处理用喷燃器
11…废气处理装置
12…外管
12a…(外管的)前端
12b…(外管的)后端
14…内管
14a…(内管的)前端
14b…(内管的)后端
16…电热加热器
16a…(电热加热器)的前端
18…助燃性气体供给管嘴
20…燃料供给管嘴
22…废气供给管嘴
24…挡板
40…入口洗涤器
42…反应器
44…出口洗涤器
E…废气
S…助燃性气体
F…燃料

Claims (4)

1.一种废气处理用喷燃器，其特征在于：具有外管(12)、内管(14)、杆状的电热加热器(16)、助燃性气体供给管嘴(18)、燃料供给管嘴(20)和废气供给管嘴(22)；
该外管(12)的前端(12a)开放；
该内管(14)具有比上述外管(12)的内径小的外径，前端(14a)开放，该内管(14)的前端部从上述外管(12)的后端(12b)插入到上述外管(12)的内部；
该电热加热器(16)从上述内管(14)的后端(14b)插入到上述内管(14)的内部；
该助燃性气体供给管嘴(18)与从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面连接，向上述内管(14)的内部供给助燃性气体(S)；
该燃料供给管嘴(20)与从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面连接，向上述内管(14)的内部供给燃料(F)；
该废气供给管嘴(22)与上述外管(12)的后端(12b)那一侧的侧面连接，向上述外管(12)的内部供给处理对象的废气(E)；
上述内管(14)的前端(14a)被配置在从上述外管(12)的前端(12a)离开的上述外管(12)内的深处，并且，
上述电热加热器(16)的前端(16a)延伸设置至上述外管(12)的前端(12a)附近，被配置在上述外管(12)的前端(12a)与上述内管(14)的前端(14a)之间。
2.根据权利要求1所述的废气处理用喷燃器，其特征在于：
上述内管(14)及上述外管(12)形成为圆筒状；
使上述助燃性气体供给管嘴(18)及上述燃料供给管嘴(20)的喷射方向与上述内管(14)内周面的切线方向大致一致，而且，使上述废气供给管嘴(22)的喷射方向与上述外管(12)内周面的切线方向大致一致；并且，
使上述助燃性气体供给管嘴(18)、上述燃料供给管嘴(20)及上述废气供给管嘴(22)的喷射方向全部为相同方向。
3.根据权利要求1或2所述的废气处理用喷燃器，其特征在于：
在上述外管(12)的前端(12a)那一侧的内周面设有以使该内周面的内径缩径的方式突出的挡板(24)。
4.一种废气处理装置，其特征在于：
具备配设了权利要求1至3中任一项所述的废气处理用喷燃器的反应器(42)，和
对向上述废气处理用喷燃器导入的处理对象的废气(E)进行液洗的湿式的入口洗涤器(40)与对在上述反应器(42)中进行了热分解的处理后的废气(E)进行液洗的湿式的出口洗涤器(44)中的至少任意一方。
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