JPWO2015075988A1 - 半導体レーザ素子を用いた近接場光出射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に図面を参照して本発明の実施形態を説明する。説明の便宜上、以下の図面において前述の図14、図15に示す従来例と同様の部分には同一の符号を付している。図1、図2は第1実施形態の近接場光出射装置である熱アシスト磁気記録ヘッドの概略正面図及び要部斜視図を示している。
次に、第2実施形態の熱アシスト磁気記録ヘッド1は半導体レーザ素子40の基板41が第1実施形態と異なっている。その他の部分は第1実施形態と同様である。
次に、図13は第3実施形態の熱アシスト磁気記録ヘッド1の半導体レーザ素子40の正面図を示している。説明の便宜上、前述の図1〜図12に示す第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付している。本実施形態は基板41とn型半導体層42nとの間に絶縁層43が設けられる。その他の部分は第1実施形態と同様である。
第1実施形態の半導体レーザ素子40の半導体積層膜42は基板41側から順に積層したn型半導体層42n、活性層42e及びp型半導体層42pにより形成される。これに対して、本実施形態の半導体レーザ素子40は基板41側から順にp型半導体層42p、活性層42e及びn型半導体層42nを積層して半導体積層膜42が形成される。これにより、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
第1実施形態の熱アシスト磁気記録ヘッド1の半導体レーザ素子40はストライプ状のリッジ部49を有するリッジ型に形成される。これに対して、本実施形態の半導体レーザ素子40はインナーストライプ型またはBH(Buried Heterostructure:埋め込みへテロ構造)型に形成される。この構造によっても第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
7、8 リード線
10 スライダ
13 磁気記録部
14 磁気再生部
15 光導波路
17、18 端子
19 固定部材
21 サブマウント
21a 前面
21b 垂直面
29 ロウ材
40 半導体レーザ素子
40a 出射面
41 基板
42 半導体積層膜
42e 活性層
42n n型半導体層
42p p型半導体層
43 絶縁層
46 光導波路
46a 出射部
47 第1電極
48 第2電極
49 リッジ部
50 埋め込み層
51 掘下げ部
52 発光部
55 端面保護膜
56 導電膜
60 窓部
D 磁気ディスク
Claims (10)
- 半導体から成る基板と、前記基板上に積層されるとともに活性層を含む半導体積層膜と、前記基板に対して前記半導体積層膜が形成された側の前記活性層に平行な面に設けられる第1電極及び第2電極と、前記活性層に垂直な対向する両端面に設けられる端面保護膜とを備えた半導体レーザ素子において、前記端面保護膜を形成した一方の前記端面を前記半導体レーザ素子の固定面として使用することを特徴とする半導体レーザ素子。
- 前記固定面上に導電膜を設けたことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記導電膜がベース層、バリア層及び反応層を順に積層して形成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザ素子。
- 発振波長が650nm〜1100nmであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
- 前記基板の厚みが前記両端面間の長さの1/2以上または150μm以上であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
- 前記半導体積層膜が第1導電型半導体層、前記活性層、第2導電型半導体層を順に積層して形成され、前記基板上に絶縁膜及び前記導電膜を積層したことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体レーザ素子。
- 前記基板が半絶縁性基板であることを特徴とする請求項6に記載の半導体レーザ素子。
- 前記基板と第1導電型半導体層との間に絶縁層を設けたことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体レーザ素子。
- 前記絶縁膜が前記端面保護膜により形成されることを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
- 請求項1〜請求項9のいずれかに記載の半導体レーザ素子と、近接場光を発生する近接場光発生素子を有した光学部材とを備え、前記固定面を前記光学部材上に固着することを特徴とする近接場光出射装置。
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