JPWO2015060173A1 - 銀ペースト及びそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 292
- 239000004332 silver Substances 0.000 title claims abstract description 292
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 266
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 55
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 150
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052713 technetium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 48
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 description 28
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 25
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 239000003223 protective agent Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 7
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 5
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 carboxylic acid compound Chemical class 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBICKXHEKHSIBG-UHFFFAOYSA-N 1-monostearoylglycerol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCC(O)CO VBICKXHEKHSIBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 241000132023 Bellis perennis Species 0.000 description 1
- 235000005633 Chrysanthemum balsamita Nutrition 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCXXMTOCNZCJGO-UHFFFAOYSA-N Glycerol trioctadecanoate Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCC(OC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC)COC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC DCXXMTOCNZCJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 150000002772 monosaccharides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000011856 silicon-based particle Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000005486 sulfidation Methods 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
緻密度[%]=銀焼結体の密度[g/cm3]×100/銀の理論密度[10.49g/cm3]
サンプルグリッド上にカーボン製の両面テープを貼り、カーボンテープ上に銀粉末を載せ、観察試料とした。卓上走査電子顕微鏡(日本電子株式会社、NeoScope JCM−5000)により、電子加速電圧10kVで観察し、SEM写真を撮影した。
AFM(エスアイアイ・ナノテクノロジー、SPI4000)を用い、ダイナミック・フォース・モード(DFM)で銀粒子の表面粗さを測定した。具体的には、約10mgの銀粒子をアセトン10mLに加え、分散液を作製した。直径2cmの円形サンプルグリッド上に、分散液を約100μL滴下し、25℃で約24時間乾燥し、測定サンプルを得た。サンプルグリッドをAFM(エスアイアイ・ナノテクノロジー、SPI4000)にセットし、DFMで測定を行った。複数の銀粒子を含む視野範囲を走査対象とし、銀粒子の表面形状像を得た。この操作を繰り返し行い、10〜20個の銀粒子の表面形状像を得た。得られた各銀粒子の表面形状像について、最大粒子径の約90%の長さに対して、表面粗さ解析を行った。得られた表面粗さの平均値を算出し、その平均値を銀粒子の中心線平均表面粗さとした。
銀ペーストをホットプレート(井内盛栄堂、SHAMAL HOTPLATE HHP−401)により110℃で10分間予熱し、更に200℃で1時間加熱することで銀焼結体(約10mm×10mm×1mm)を得た。作製した銀焼結体を紙やすり(800番)で研磨し、研磨後の銀焼結体の体積及び質量を測定した。これらの値から銀焼結体の密度を算出し、更に下記の式に従い緻密度を算出した。
緻密度[%]=銀焼結体の密度[g/cm3]×100/銀の理論密度[10.49g/cm3]
銀ペーストをAgめっきCuリードフレーム(ランド部:10×5mm)上に0.1mg塗布し、この上に1mm×1mmのAgめっきSiチップ(Agめっき厚:0.1μm、チップ厚:400μm)又はAuめっきSiチップ(Auめっき厚:0.1μm、チップ厚:400μm)を接着した。これをホットプレート(井内盛栄堂、SHAMAL HOTPLATE HHP−401)で、200℃で1時間加熱した。得られた銀焼結体の接着強度を、ダイシェア強度[MPa]により評価した。万能型ボンドテスタ(デイジ社製 4000シリーズ)を用い、測定スピード500μm/s、測定高さ100μmでSiチップを水平方向に押し、銀焼結体のダイシェア強度[MPa]を測定した。なお、評価結果は、以下の基準に従ってA,B,Cを用いて記載する。
(被着体:AgめっきSiチップの場合)
A:20MPa以上
B:10MPa以上20MPa未満
C:0MPa以上10MPa未満
(被着体:AuめっきSiチップの場合)
A:10MPa以上
B:5MPa以上10MPa未満
C:0MPa以上5MPa未満
銀ペーストをホットプレート(井内盛栄堂、SHAMAL HOTPLATE HHP−401)により110℃で10分間予熱し、更に200℃で1時間加熱することで銀焼結体(約10mm×10mm×1mm)を得た。この銀焼結体の熱拡散率をレーザーフラッシュ法(ネッチ、LFA 447、測定温度25℃)で測定し、更にこの熱拡散率と、示差走査熱量測定装置(パーキンエルマー、Pyris1)で得られた比熱容量と焼結密度の積より、25℃における銀焼結体の熱伝導率[W/m・K]を算出した。なお、評価結果は、以下の基準に従ってA,B,Cを用いて記載する。
A:100W/m・K以上
B:80W/m・K以上100W/m・K未満
C:0W/m・K以上80W/m・K未満
銀ペーストをガラス板上に塗布し、ホットプレート(井内盛栄堂、SHAMAL HOTPLATE HHP−401)により110℃で10分間予熱し、更に200℃で1時間加熱することで、ガラス板上に1×50×0.03mmの銀焼結体を得た。この銀焼結体を4端子法(アドバンテスト株式会社、R687E DIGTAL MULTIMETER)にて体積抵抗率[μΩ・cm]を測定した。なお、評価結果は、以下の基準に従ってA,B,Cを用いて記載する。
A:0μΩ・cm以上5.5μΩ・cm未満
B:5.5μΩ・cm以上6.5μΩ・cm未満
C:6.5μΩ・cm以上
銀ペーストをAgめっきCuリードフレーム(ランド部:10×5mm、Agめっき厚:約4μm)上に0.1mgを塗布し、この上に1mm×1mmのAuめっきSiチップ(Auめっき厚:0.1μm、チップ厚:400μm)を接着した。これをホットプレート(井内盛栄堂、SHAMAL HOTPLATE HHP−401)を用い200℃で1時間加熱した。接続したサンプルをエポキシ樹脂中に埋め込み、AuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームの断面が確認できるまで研磨した。研磨後のサンプルにイオンスパッター装置(日立ハイテクノロジーズ株式会社、E1045)で白金を蒸着し、これを卓上走査電子顕微鏡(日本電子株式会社、NeoScope JCM−5000)により、電子加速電圧10kV、倍率5000倍で観察し、SEM写真を撮影した。
銀粒子としてLM1(トクセン工業株式会社)75質量部及びAgC239(福田金属箔株式会社)25質量部、溶剤としてテルピネオール(和光純薬株式会社、異性体混合物)13.6質量部、添加剤としてステアリン酸(新日本理化株式会社)1質量部を使用した。銀粒子、溶剤、及び添加剤をらいかい機にて15分間混練し銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図5に示す。
銀粒子としてLM1とAgC239とを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図6に示す。
銀粒子としてLM1とAgC239とを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図7に示す。
Al粒子(Alfa Aeser)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Si粒子(株式会社高純度化学研究所)1質量部を使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Ti粒子(和光純薬株式会社)1質量部以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
V粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Mn粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Fe粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Co粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Ni粒子(METAL FOIL & POWDERS MFG CO.、Ni−HWQ)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Zn粒子(Alfa Aeser)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Pd粒子(Alfa Aeser)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
In粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Sn粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
Sb粒子(和光純薬株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
AgめっきCu粒子(福田金属箔株式会社)1質量部を更に添加した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
銀粒子としてLM1とAgC212Dとを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
銀粒子としてLM1とAgC212Dとを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
銀粒子としてLM1とAgC212Dとを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
銀粒子としてLM1とAgC239とAgS050とを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
銀粒子としてLM1とAgC239とC−34とを表2に示す割合で混合して使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。
銀粒子としてAgC239のみを100質量部使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図8に示す。
銀粒子としてAgC212D(福田金属箔株式会社)のみを100質量部使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図9に示す。
銀粒子としてTC−20E−L(株式会社徳力化学研究所)のみを100質量部使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図10に示す。
銀粒子としてLM1のみを100質量部使用した以外は、実施例1と同様の手順で銀ペーストを作製した。この銀ペーストの特性を表3に示す。また、上記(7)に従って作製したAuめっきSiチップ/銀焼結体/AgめっきCuリードフレームにおけるAuめっきSiチップと銀焼結体との接続部の断面を撮影したSEM写真を図11に示す。
Claims (9)
- 中心線平均表面粗さRaが1nm以下である板状の銀粒子と、
中心線平均表面粗さRaが2nm〜20nmであり、かつ粒子径が1μm〜20μmである銀粒子と、
溶剤と、
を含有する、銀ペースト。 - 前記板状の銀粒子の中心線平均表面粗さRaが0.5nm以下である、請求項1に記載の銀ペースト。
- 前記板状の銀粒子が単結晶である、請求項1又は2に記載の銀ペースト。
- 前記板状の銀粒子における厚み方向の最大長さaと面方向の最大長さbとの比が、2≦b/aを満たす、請求項1〜3のいずれか一項に記載の銀ペースト。
- 前記板状の銀粒子における厚み方向の最大長さa及び面方向の最大長さbが、それぞれa≦500nm及び100nm≦b≦10000nmを満たす、請求項1〜4のいずれか一項に記載の銀ペースト。
- 前記粒子径が1μm〜20μmである銀粒子の含有量が、銀粒子全量基準で80質量%以下である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の銀ペースト。
- 粒子径が0.01μm以上1μm未満である球状の銀粒子を更に含有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の銀ペースト。
- Mg、Al、Si、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Cd、In、Sn、Sb、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、及びBiからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む金属又は半金属粒子を、銀ペースト全量基準で0.01〜5.0質量%含有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の銀ペースト。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の銀ペーストを焼結してなる焼結体を介して、半導体素子と半導体素子搭載用支持部材とが互いに接着した構造を有する、半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013219285 | 2013-10-22 | ||
JP2013219285 | 2013-10-22 | ||
PCT/JP2014/077441 WO2015060173A1 (ja) | 2013-10-22 | 2014-10-15 | 銀ペースト及びそれを用いた半導体装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019038420A Division JP2019137920A (ja) | 2013-10-22 | 2019-03-04 | 銀ペースト及びそれを用いた半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015060173A1 true JPWO2015060173A1 (ja) | 2017-03-09 |
JP6900148B2 JP6900148B2 (ja) | 2021-07-07 |
Family
ID=52992773
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015543808A Active JP6900148B2 (ja) | 2013-10-22 | 2014-10-15 | 銀ペースト及びそれを用いた半導体装置 |
JP2019038420A Pending JP2019137920A (ja) | 2013-10-22 | 2019-03-04 | 銀ペースト及びそれを用いた半導体装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019038420A Pending JP2019137920A (ja) | 2013-10-22 | 2019-03-04 | 銀ペースト及びそれを用いた半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6900148B2 (ja) |
TW (1) | TWI669722B (ja) |
WO (1) | WO2015060173A1 (ja) |
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-
2014
- 2014-10-15 JP JP2015543808A patent/JP6900148B2/ja active Active
- 2014-10-15 WO PCT/JP2014/077441 patent/WO2015060173A1/ja active Application Filing
- 2014-10-21 TW TW103136333A patent/TWI669722B/zh active
-
2019
- 2019-03-04 JP JP2019038420A patent/JP2019137920A/ja active Pending
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015060173A1 (ja) | 2015-04-30 |
TW201526029A (zh) | 2015-07-01 |
JP6900148B2 (ja) | 2021-07-07 |
TWI669722B (zh) | 2019-08-21 |
JP2019137920A (ja) | 2019-08-22 |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C13 | Notice of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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C23 | Notice of termination of proceedings |
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C03 | Trial/appeal decision taken |
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