JPWO2015045582A1 - パージ装置及びパージ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
パージ装置の内部スペースを、作業エリアと非作業エリアとに分割するように、作業者が作業するための作業エリアを設定する設定部と、
前記作業エリアでの物品へのパージを停止し、非作業エリアでの物品へのパージを続行するように、パージガスの供給を制御するパージガス制御機構と、
作業エリア内の酸素濃度を測定する酸素濃度測定手段、とを備え、
かつ前記パージガス制御機構は、作業エリア内の酸素濃度が所定値以下に低下すると、非作業エリアでの物品へのパージを停止するように構成されていることを特徴とする。
パージ装置の内部スペースを、作業エリアと非作業エリアとに分割するように、作業者が作業するための作業エリアを設定する設定ステップと、
前記作業エリアでの物品へのパージを停止し、非作業エリアでの物品へのパージを続行するように、パージガスの供給を、パージ装置により、制御するステップと、
作業エリア内の酸素濃度を測定するステップと、
作業エリア内の酸素濃度が所定値以下に低下すると、パージ装置により、非作業エリアでの物品へのパージを停止するステップ、とを実行することを特徴とする。
1) 作業エリアのみでのパージを停止するので、パージを停止する範囲が狭い。
2) 作業エリアではパージを停止しているので、酸素濃度は低下しにくい。また仮に作業エリアの酸素濃度が低下すると、非作業エリアでのパージを停止して、酸素濃度を回復させる。
3) 酸素濃度センサと制御弁側の通信部とが、コントローラ等を介さず直接通信するので、酸素濃度の低下時に確実にパージを停止できる。
4) 作業者が酸素濃度センサあるいはサンプリングチューブを携帯すると、作業者の位置での酸素濃度を測定できる。
5) 作業エリアと非作業エリアとの境界にあるパーティションに酸素濃度センサを取り付けると、酸素濃度の低下を速やかに検出でき、かつ作業者が作業エリアに酸素濃度センサを携帯する必要がない。
8 間口 10 物品 12 作業エリア 14 非作業エリア
16 スタッカークレーン 17 レール 18 昇降台
19 マスト 20 ドア 22 ストッカコントローラ
24 パージコントローラ 26 パージガス制御盤
28 パージガスパイプ 30 パーティション 31 脚
32 手動弁 34 レギュレータ 36 制御弁
38 マスフローコントローラ 40 ノズル 42 通信部
44 論理ユニット 46 タッチパネル 48 キーボード
50 作業エリア設定部 52 入出力 54 酸素濃度センサ
55 センサ部 56 表示部 58 通信部 60 ノズル
62 サンプリングチューブ 64 エアポンプ
Claims (9)
- パージ装置の内部スペースへ外部から供給される複数の物品を、パージガスによりパージするパージ装置であって、
パージ装置の内部スペースを、作業エリアと非作業エリアとに分割するように、作業者が作業するための作業エリアを設定する設定部と、
前記作業エリアでの物品へのパージを停止し、非作業エリアでの物品へのパージを続行するように、パージガスの供給を制御するパージガス制御機構と、
作業エリア内の酸素濃度を測定する酸素濃度測定手段、とを備え、
かつ前記パージガス制御機構は、作業エリア内の酸素濃度が所定値以下に低下すると、非作業エリアでの物品へのパージを停止するように構成されていることを特徴とする、パージ装置。 - 前記酸素濃度測定手段は、作業者が携帯自在な酸素濃度センサ、もしくは酸素濃度センサと酸素濃度センサに接続されかつ作業者が携帯自在なサンプリングチューブとから成ることを特徴とする、請求項1のパージ装置。
- 作業エリアと非作業エリアとを仕切り、かつ対象装置の内部スペース内に設置と取り外しとが自在なパーティションをさらに備えたことを特徴とする、請求項1のパージ装置。
- 前記パーティションに、作業エリア側の酸素濃度を測定するように、前記酸素濃度測定手段が取り付けられていることを特徴とする、請求項3のパージ装置。
- パージ装置はパージストッカで、内部スペースへ作業者が出入りするためのドアを備え、
前記内部スペースには、水平方向と鉛直方向とに沿って複数の間口が配列されている棚と、物品を搬送する搬送装置とが設けられ、
棚の間口は、パージガスとして窒素ガスを物品の内部へ供給するノズルを備え、
前記内部スペースは天井部からクリーンエアが供給されるように構成されて、内部スペースの酸素濃度は、物品から排気された窒素ガスの流れと、天井部からのクリーンエアの流れとで定まり、
前記設定部は、鉛直方向の間口の列単位で、かつ前記ドアから作業者が作業を行う範囲までを連続してカバーするように、作業エリアを設定自在に構成されていることを特徴とする、請求項1のパージ装置。 - 前記パージガス制御機構は、前記酸素センサと直接に通信する通信部を備えている、ことを特徴とする、請求項5のパージ装置。
- 前記酸素センサを複数備え、
前記通信部は複数の酸素センサと直接に通信するように構成され、
前記パージガス制御機構は、前記通信部からの、複数の酸素センサの信号を組み合わせて、作業エリア内の酸素濃度が低下したことを検出する論理ユニットを備えている、ことを特徴とする、請求項6のパージ装置。 - パージ装置の内部スペースへ外部から供給される複数の物品を、パージ装置を用い、パージガスによりパージするパージ方法であって、
パージ装置の内部スペースを、作業エリアと非作業エリアとに分割するように、作業者が作業するための作業エリアを設定する設定ステップと、
前記作業エリアでの物品へのパージを停止し、非作業エリアでの物品へのパージを続行するように、パージガスの供給を、パージ装置により、制御するステップと、
作業エリア内の酸素濃度を測定するステップと、
かつ前記パージガス制御機構は、作業エリア内の酸素濃度が所定値以下に低下すると、パージ装置により、非作業エリアでの物品へのパージを停止するステップ、とを実行することを特徴とする、パージ方法。 - パージ装置はパージストッカで、内部スペースへ作業者が出入りするためのドアを備え、
前記内部スペースには、水平方向と鉛直方向とに沿って複数の間口が配列されている棚と、物品を搬送する搬送装置とが設けられ、
棚の間口は、パージガスとして窒素ガスを物品の内部へ供給するノズルを備え、
前記内部スペースは天井部からクリーンエアが供給されるように構成されて、内部スペースの酸素濃度は、物品から排気された窒素ガスの流れと、天井部からのクリーンエアの流れとで定まり、
前記設定ステップでは、鉛直方向の間口の列単位で、かつ前記ドアから作業者が作業を行う範囲までを連続してカバーするように作業エリアを設定する、ことを特徴とする、請求項8のパージ方法。
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