JPH1030798A - 半導体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体製造用の有害ガスを供給する設備にお
いてガス供給配管からの有害ガスの漏洩を監視するにあ
たり、漏洩検出後の点検、修理時や地震等によって退避
した後の点検、復旧時などにおいても、危険のない安全
な状態であることを確実に確認し得るようにして安全性
を高める。 【解決手段】 ガス配管内のガス濃度、もしくはガス濃
度と圧力とを検出するための配管内ガス検出手段と、ガ
ス配管からの漏洩ガスをガス配管外部で検出するための
漏洩ガス検出手段と、前記配管内ガス検出手段からの検
出信号および前記漏洩ガス検出手段からの検出信号を受
入れてこれらの検出信号に基いてガス供給状態を判別し
かつその判別結果に基いて表示もしくは警報を発生させ
る判別手段とを有してなり、特に安全な状態、注意すべ
き状態、危険な状態、さらにはセンサ等の故障による異
常な状態のうち、いずれの状態にあるかを常時判別、監
視し得るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は半導体製造工場な
どの半導体製造現場で半導体製造のために使用されるガ
スを供給するための供給設備において、各種有毒ガスや
引火、爆発しやすいガスの漏洩を監視するための装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造設備においては、フォスフィ
ンやアルシン等の毒性の強いガスあるいはシラン等の発
火性を有するガスなど、危険な有害ガスを使用すること
が多い。しかもこれらの有害ガスは、密閉されたクリー
ンルーム内で使用されるため、これらの有害ガスの漏洩
事故防止が重要な課題とされており、そこで従来から半
導体製造設備においては、このような有害ガスの漏洩を
監視することが行なわれている。

【０００３】従来の通常の半導体製造設備における有害
ガス漏洩監視方法としては、ガス供給配管等のガス供給
系の外部への有害ガスの漏洩を漏洩検知器が監視し、ガ
ス漏洩が検知されれば、作業者が作業している作業領域
や集中監視室などに警報を出力し、作業領域からの退避
やガス供給系の点検など、予め定められている対策を作
業者に実施させる方法が一般的である。

【０００４】一方、ガス漏洩検知器の警報出力信号に連
動して、半導体製造用の有害ガスの供給を自動的に遮断
し、窒素ガス等の不活性ガスで配管系を自動的にパージ
させる方法は、例えば刊行物「半導体製造における安全
対策・管理ハンドブック」（原田宙幸編：平成５年、リ
アライズ社発行）にも示されているが、この方法を実際
に適用するにあたっては、ガス漏洩検知器の誤作動によ
る誤報が問題となる。すなわちガス漏洩検知器は誤作動
が生じやすく、そのためガス漏洩検知器が誤作動して誤
報を発生するたびごとにガス供給の停止、不活性ガスに
よるパージを行なった場合、半導体製造ラインの停止に
よって生産効率の大幅な低下を招いてしまう。そこで実
際の半導体製造ラインにおいては、ガス漏洩検知器の作
動によって警報が出た場合には、先ず作業者が配管系を
点検し、誤報でないことが確認された後にはじめて手動
でガス供給を停止するなどの対策を実行するのが通常で
あった。しかしながらこのような方法では、実際にガス
漏洩が発生していてガス漏洩検知器の作動が誤報ではな
い場合、点検のために作業者に危険を強いることにな
り、危険を犯して点検することに対しての安全上の問題
が従来から指摘されている。また現実にガス漏洩検知器
の作動に伴なう点検作業中に、漏洩したガスの爆発によ
る死亡事故が半導体製造クリーンルームで発生してい
る。

【０００５】さらに、地震等の災害発生時にクリーンル
ームから緊急に退避後、再度復旧させる際に必要な安全
確認作業においても、同様な危険性が指摘されており、
このような点検作業の安全確保が従来から強く求められ
ている。

【０００６】それに加えて従来のガス漏洩検知器を用い
たガス漏洩監視方法では、警報信号が出力されていない
場合でも、ガス漏洩検知器が故障して警報信号を出力で
きないのか、あるいはガス漏洩がないために警報信号が
出力されないのかの判別ができないため、１００％の安
全性保障が不可能であり、有害ガスの漏洩に対する不安
が常につきまとっているのが実情である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】一般的に産業上の安全
対策としては、「クリーンテクノロジー」１９９５年１
２月号，ｐ５１「半導体製造の地震対策」（原田宙幸
編）にも記載されているように、常に安全を確認して安
全の確認ができなくなったときに人を遠ざける等により
安全を確保しようとする安全確認型安全対策と、危険を
検知した場合に警報等により危険を報知させる危険検知
型安全対策とがあることが知られている。そして最近で
は、安全対策の本来の目的からすれば、危険検知型安全
対策では不充分であって、常時安全を確認して、安全が
確認できなくなったときに人を遠ざける等の安全確保を
行なうことができる安全確認型安全対策の適用が望まし
いことが急速に理解されるようになっている。

【０００８】しかしながら従来は、半導体製造設備にお
いて有害ガスを供給するにあたって、安全確認型安全対
策を実施し得るような有効なガス漏洩監視システムは確
立していなかったのが実情である。すなわち従来は、既
に述べたようにガス漏洩検知器を用いた危険検知型安全
対策が適用されていたに過ぎなかったのであり、その場
合安全を確認する手段がなく、危険を検知したときには
じめて対策を講じざるを得ず、そのため常に安全である
か否かの不安がつきまとい、ガス漏洩検知器が作動して
ガス漏洩発生が知らされているにもかかわらず死亡事故
が発生する危険性が常に存在していたのである。

【０００９】この発明は以上の事情を背景としてなされ
たもので、半導体製造用ガス供給設備において、安全確
認型安全対策を実現可能とし、また従来のガス漏洩検知
器を用いたガス漏洩監視方法で生じていたような誤報の
発生を防止し、これによって常に確実に作業者の安全を
確保することができるとともに、ガス漏洩に対する不安
を解消することができるようにしたガス漏洩監視装置を
提供することを基本的な目的とするものである。

【００１０】またこの発明は、地震等の災害発生時にお
いてクリーンルームから緊急に退避した場合に、ガス供
給設備が安全であることをクリーンルーム外部などの遠
隔地点から確認できるようにし、これによって復旧時の
点検作業を安全に遂行できるようにすることをも目的と
している。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、基本的に
は、半導体製造用ガス供給設備におけるガス配管外部で
漏洩ガスを検出するばかりでなく、ガス配管内のガス濃
度をも常時検出し、ガス配管外部での漏洩ガス監視と配
管内ガス濃度監視との両者を組合せることによって、ガ
ス供給状態の安全を確認できるようにした。

【００１２】具体的には、請求項１の発明は、半導体製
造用ガスを供給するためのガス供給配管を備えた半導体
製造用ガス供給設備において、前記ガス供給配管内のガ
ス濃度、もしくはガス濃度と圧力とを検出するための配
管内ガス検出手段と、ガス供給配管からの漏洩ガスをガ
ス供給配管外部で検出するための漏洩ガス検出手段と、
前記配管内ガス検出手段からの検出信号および前記漏洩
ガス検出手段からの検出信号を受入れてこれらの検出信
号に基いてガス供給状態を判別しかつその判別結果に基
いて表示もしくは警報を発生させる判別制御手段とを有
してなることを特徴とするものである。

【００１３】また請求項２の発明は、請求項１に記載の
半導体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置に
おいて、その監視装置から離隔された位置に、前記判別
制御手段により制御される表示装置もしくは警報装置が
設置されていることを特徴とするものである。

【００１４】さらに請求項３の発明は、請求項１もしく
は請求項２に記載の半導体製造用ガス供給設備における
ガス漏洩監視装置において、前記漏洩ガス検出手段が漏
洩ガスを検知せずかつ前記配管内ガス検出手段により検
出された配管内ガス濃度が実質的に零の状態を示す第１
の状態信号と、前記漏洩ガス検出手段が漏洩ガスを検知
せずかつ前記配管内ガス検出信号により検出された配管
内ガス濃度が実質的に零を越えるレベルの状態を示す第
２の状態信号と、前記漏洩ガス検出手段が漏洩ガスを検
知しかつ前記配管内ガス検出手段により検出された配管
内ガス濃度が実質的に零の状態を示す第３の状態信号
と、前記漏洩ガス検出手段が漏洩ガスを検知しかつ前記
配管内ガス検出手段により検出された配管内ガス濃度が
実質的に零を越えるレベルの状態を示す第４の状態信号
とを各々出力する出力端子を前記判別制御手段が備えて
いることを特徴とするものである。

【００１５】また請求項４の発明は、請求項３に記載の
半導体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置に
おいて、前記判別制御手段からの第４の状態信号を受け
た状態で前記ガス供給配管へのガス供給を遮断してガス
供給配管内を不活性ガスによりパージするためのガス供
給制御手段を備えていることを特徴とするものである。

【００１６】そしてまた請求項５の発明は、請求項１〜
請求項４のいずれかに記載の半導体製造用ガス供給設備
におけるガス漏洩監視装置において、前記制御手段が、
音声合成装置を備えていることを特徴とするものであ
る。

【００１７】ここで、この発明の半導体製造用ガス供給
設備におけるガス漏洩監視装置の基本的な作用について
説明する。

【００１８】この発明のガス漏洩監視装置では、請求項
１において規定したように配管内ガス検出手段によって
ガス供給配管内の供給ガスの濃度（あるいは濃度および
圧力）を常時監視すると同時に、漏洩ガス検出手段によ
ってガス供給配管の外部へ漏洩したガス（漏洩ガス）を
常時監視することができる。このように配管内ガスと漏
洩ガスとの両者を常時かつ同時に監視することによっ
て、有害ガスのガス供給状態が、次の４種類の状態のう
ちいずれであるかを常時知得することができる。

【００１９】 第１の状態：ガス漏洩がなく、かつ配管内ガス濃度が実
質的に零である状態 第２の状態：ガス漏洩がなく、かつ配管内ガス濃度が実
質的に零を越えるレベルにある状態 第３の状態：ガス漏洩があり、かつ配管内ガス濃度が実
質的に零である状態 第４の状態：ガス漏洩があり、かつ配管内ガス濃度が実
質的に零を越えるレベルにある状態

【００２０】そして特に請求項３の発明の場合は、これ
らの４状態のいずれの状態であるかを示す出力信号が判
別制御手段から出力されるから、その時点での状態を直
ちに知ることができる。

【００２１】ここで、前述の第１の状態は、ガス供給配
管内への有害ガスの供給が停止されて、ガス供給配管内
が窒素ガス等の不活性ガスによってパージされている状
態であって、ガス供給設備に設けられている立ち入り禁
止領域にも作業員が立ち入ることができる安全な状態に
相当する。特に請求項２の発明の監視装置においては、
地震等でクリーンルームから退避した場合などに、その
後の点検作業等のための安全確認について、クリーンル
ームの外から第１の状態となっていることを遠隔確認す
ることにより達成できる。

【００２２】第２の状態は、ガスが供給されて実際に使
用されている状態、あるいはガスが供給されてガスの使
用が可能となっている状態であり、この状態では、通常
はガス供給設備に設けられている立ち入り禁止領域へは
立ち入ることが禁止される。

【００２３】第３の状態は、通常ではあり得ない状態で
あり、漏洩ガス検出手段または配管内ガス検出手段のい
ずれかの故障等が考えられる。

【００２４】第４の状態は、ガス供給配管外部へのガス
漏洩が発生した状態であり、直ちに安全な場所に一時退
避する等の措置が必要となる。

【００２５】そして第４の状態となった場合には、請求
項４の発明の監視装置では制御手段からの信号出力に連
動してガス供給を自動遮断し、さらに窒素ガス等の不活
性ガスでガス供給配管内を自動的にパージすることがで
きる。このようにしてガス供給配管内の有害ガスが窒素
ガス等の不活性ガスに置換されて有害ガスの漏洩が停止
し、残留していた漏洩ガスが排気設備により排気されれ
ば、第１の状態、すなわち安全な状態となる。そして第
１の状態であることが確認されれば、安全を確認できた
ことになり、点検や修理、復旧等の作業に安心して移行
することができる。

【００２６】以上のようにして、この発明の監視装置に
よれば、半導体製造のための有害ガスの供給状態につい
て、安全確認型安全対策を実現することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】図１にこの発明のガス漏洩監視装
置をガスボンベ保管庫に適用した実施例を示す。

【００２８】図１において、ガスボンベ保管庫本体１内
には半導体製造用ガスを充填したガスボンベ２が配置さ
れており、また保管庫本体１の側面には開閉扉３が設け
られ、この開閉扉３は遠隔操作可能な電子錠４によって
施錠、解錠されるようになっている。またガスボンベ保
管庫本体１の上部には排気ダクト１Ａが設けられてい
る。

【００２９】前記ガスボンべ２は、空気圧により作動さ
れるガスボンベ遮断弁５を介してガス供給配管６に接続
されている。このガス供給配管６はガスボンベ２内のガ
スを保管庫本体１の外部の使用箇所へ導くためのもので
あり、このガス供給配管６における保管庫本体１の内部
の部分には、ガスボンベ遮断弁５の側から、減圧弁７、
配管内ガス検出手段としてのガス濃度センサ８、および
空気圧により作動される開閉弁９がその順に設けられて
いる。

【００３０】さらに前記ガス供給配管６におけるガスボ
ンベ遮断弁５の近傍の位置には、窒素ガス等のパージ用
の不活性ガスを供給するためのパージ用ガス供給配管１
０が接続されており、このパージ用ガス供給配管１０の
中途には、逆止弁１１と、空気圧により作動される開閉
弁１２とが設けられている。また前記ガス供給配管６に
おけるガス濃度センサ８と開閉弁９との間の位置には、
パージ用の不活性ガスを排出するためのパージ用ガス排
出配管１４が接続されており、このパージ用ガス排出配
管１４の中途には空気圧で作動される開閉弁１５が設け
られ、さらにパージ用ガス排出配管１４は保管庫本体１
の外部において廃ガス処理装置１６に導かれている。そ
して廃ガス処理装置１６からの廃ガス配管１７の先端は
前述の排気ダクト１Ａ内に開口している。

【００３１】前記保管庫本体１内の例えば上部には、ガ
ス供給配管６等からのガスの漏洩を検出するための漏洩
ガス検出手段として、漏洩ガス検知センサ２０が設置さ
れている。そして漏洩ガス検知センサ２０の出力信号線
２０Ａは、判別制御手段としてのガス漏洩監視装置本体
２１の入力側に接続され、また前述の配管内ガス検出手
段としてのガス濃度センサ８の出力信号線８Ａも同じく
ガス漏洩監視装置本体２１の入力側に接続されている。

【００３２】前記ガス漏洩監視装置本体２１の表示出力
信号線２１Ａは表示装置２２に接続され、またそのガス
漏洩監視装置本体２１の制御出力信号線２１Ｂは、ガス
供給制御手段としての弁制御装置２３の入力側に接続さ
れている。この弁制御装置２３の弁制御信号出力線２３
Ａは弁駆動用エアー分配装置２４に導かれている。この
弁駆動用エアー分配装置２４は、エアー供給配管２５か
ら供給されたエアーをガスボンベ遮断弁５、開閉弁９，
１２，１５に駆動用エアーとして分配、供給するための
もので、弁駆動用エアー配管２４Ａ〜２４Ｄがそれぞれ
前述のガスボンベ遮断弁５、開閉弁９，１２，１５の駆
動用エアー入口に接続されている。また前記弁制御装置
２３の電子錠制御信号出力線２３Ｂは開閉扉３の電子錠
４に導かれて、その電子錠４のロック、ロック解除を制
御するようになっている。

【００３３】以上のような図１に示される実施例におい
て、ガスボンベ遮断弁５を開放すれば、ガスボンベ２内
のガスはガス供給配管６に導入され、減圧弁７によって
減圧され、さらに配管内ガス検出手段としてのガス濃度
センサ８を通って開閉弁９から保管庫外部のガス使用箇
所へ導かれる。そしてその過程でガス濃度センサ８によ
ってガス供給配管６内のガス濃度が検出される。また保
管庫本体１内への漏洩ガスが漏洩ガス検知センサ２０に
よって検出される。したがって既に述べたように、ガス
濃度センサ８の検知信号と漏洩ガス検知センサ２０の検
知信号とによって、第１の状態〜第４の状態のいずれの
状態にあるかを判別することができる。

【００３４】ここで、ガスボンベ遮断弁５および開閉弁
９を閉じてガス供給を停止させるとともに、開閉弁１
２，１５を開放してパージ用ガス供給配管１０から窒素
ガス等の不活性ガス（パージ用ガス）を導入すれば、ガ
ス供給配管６におけるガスボンベ遮断弁５から開閉弁９
までの部分がパージ用ガスで置換される。このようにガ
スボンベ２からのガスの供給を停止させかつ配管内のガ
スをパージ用ガスで置換した状態が、前述の第１の状態
に相当する。この状態では、ガス漏洩監視装置本体２１
からは、「安全」を示す信号が制御出力信号線２１Ｂを
通じて弁制御装置２３に与えられ、この弁制御装置２３
から電子錠制御信号出力線２３Ｂを通じて電子錠４にロ
ック解除信号が与えられ、電子錠４を手動で解錠して保
管庫本体１の開閉扉３を開放させ得る状態となる。また
ガス漏洩監視装置本体２１から表示出力信号線２１Ａを
通じて表示装置２２に与えられる信号によって、その表
示装置２２は「安全」な状態であることを示すメッセー
ジを表示する。

【００３５】次いでパージ用ガス供給配管１０の開閉弁
１２を閉じ、ガスボンベ遮断弁５を開放すれば、ガスボ
ンベ２からのガスがガス供給配管６内に導入されて、そ
の導入ガスによってパージ用ガスが配管内から追い出さ
れる。その後開閉弁１５を閉じて開閉弁９を開放すれ
ば、ガス供給配管６を通ってガスボンベ２からのガスが
使用箇所へ供給されることになる。この状態では、配管
内ガス検出手段としてのガス濃度センサ８がガスを検出
している。またこの状態で配管等からのガス漏洩がない
場合には、漏洩ガス検知センサ２０は漏洩ガスを検出せ
ず、したがってこの状態が前述の第２の状態に相当す
る。このような第２の状態においては、ガス漏洩監視装
置本体２１から「注意」を示す信号が制御出力信号線２
１Ｂを通じて弁制御装置２３に与えられ、この弁制御装
置２３から電子錠制御信号出力線２３Ｂを通じて電子錠
４にロック信号が与えられ、電子錠を手動で解錠できな
いロック状態、すなわち保管庫本体１の開閉扉３を開放
させ得ない状態となる。またガス漏洩監視装置本体２１
から表示出力信号線２１Ａを通じて表示装置２２に与え
られる信号によって、その表示装置２２が「注意」すべ
き状態であることを示すメッセージを表示する。

【００３６】一方、上述のような第２の状態から、漏洩
ガス検出手段としての漏洩ガス検知センサ２０が漏洩ガ
スを検出すれば、前述の第４の状態となる。この第４の
状態では、ガス漏洩監視装置本体２１から「危険」を表
わす信号が制御出力信号線２１Ｂを通じて弁制御装置２
３に与えられる。これによって弁制御装置２３は、弁駆
動用エアー分配装置２４を制御して、ガスボンベ遮断弁
５および開閉弁９を閉じ、ガス供給配管６から使用箇所
へガスが導かれないようにするとともに、開閉弁１２，
１５を開放して、パージ用ガス供給配管１０からのパー
ジ用ガスを配管内に導入させ、ガス供給配管６における
ガスボンベ遮断弁５から開閉弁９までの部分のガスをパ
ージ用ガスによって置換させ、さらに保管庫本体１内に
残留していた漏洩ガスが排気ダクト１Ａから排出されれ
ば、前述の第１の状態となる。そして既に述べたように
「安全」な状態となったことが表示装置２２に表示され
るとともに、電子錠４のロックが解除され、保管庫本体
１の開閉扉３を開放して漏洩箇所の点検や修理等を行な
うことが可能な状態となる。

【００３７】さらに、配管内ガス検出手段としてのガス
濃度センサ８がガスボンベ２からのガスを検出しない一
方、漏洩ガス検知センサ２０が漏洩ガスを検出している
状態は、前述の第３の状態に相当する。このような状態
は通常はあり得ないが、ガス濃度センサ８と漏洩ガス検
知センサ２０とのうちいずれか一方または双方について
故障等により動作異常が生じた場合には上記の第３の状
態となる。この状態では「異常」を表わすメッセージが
表示装置２２に表示される。またこの第３の状態では、
一旦は前述の第４の状態、すなわち「危険」な状態での
動作と同様に、ガスボンベ２からのガス供給の遮断およ
び配管内のガスのパージ、保管庫本体１内からの排気を
行なうようにしても良く、このようにすれば「異常」な
状態の点検、修理等を安全に行なうことができる。

【００３８】なお以上の実施例では、配管内ガス検出手
段としてガス濃度センサ８を設けて、配管内のガスの濃
度のみを検出する構成としているが、ガス濃度センサの
ほかガス圧力センサを設けて、配管内のガス圧力をも併
せて検出する構成としても良いことは勿論である。

【００３９】また前述の実施例では、「安全」、「注
意」、「危険」、「異常」を表わすメッセージを表示装
置２２によって視覚的に表示する構成としているが、表
示装置と併せて、あるいは表示装置の代りに、図示しな
い警報装置を設けて、聴覚的に警報を発生させるように
しても良い。またこの場合、図示しない音声合成装置を
設けておいて、前述のようなメッセージを合成音声によ
り発生させるようにしても良い。

【００４０】さらに、上述のような表示装置や警報装置
を、保管庫本体１から離隔した１ケ所もしくは２ケ所以
上に設けておけば、地震等の災害によって退避した場合
でも、保管庫本体１内でのガス供給状態を遠隔地点から
確認することができる。

【００４１】また前述の実施例では漏洩ガス検知センサ
２０を保管庫本体１内の上部に設置した構成としている
が、検出すべきガスの比重によっては保管庫本体１の下
部に設置しても良く、さらには保管庫本体１の上下の２
ケ所以上の箇所に設置しても良い。

【００４２】なおまた、前述の実施例ではガスボンベ保
管庫に適用した例を示しているが、ガスボンベ保管庫に
限らず、半導体製造用のガスを供給する設備には全て適
用可能であり、また半導体製造装置などのガス使用箇所
を含む設備にも適用できることはもちろんである。

【００４３】

【発明の効果】この発明の半導体製造用ガス供給設備に
おけるガス漏洩監視装置によれば、半導体製造に用いら
れる有害なガスについて、ガス供給配管内のガスの濃度
等を常時検出すると同時に配管外部への漏洩ガスを常時
検出することから、両者の検出結果に基いて安全な状
態、注意すべき状態、危険な状態、さらにはセンサ等の
故障による異常な状態のいずれの状態にあるかを常時知
ることができ、したがって安全確認型安全対策を実現で
きるから、点検や修理、復旧作業等のために作業者が危
険な状態にさらされるおそれが少なく、従来よりも格段
に安全性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明をガスボンベ保管庫に適用した一実施
例のガス漏洩監視装置を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ ガスボンベ保管庫本体 ２ ガスボンベ ６ ガス供給配管 ８ 配管内ガス検出手段としてのガス濃度センサ ２０ 漏洩ガス検出手段としての漏洩ガス検知センサ ２１ 判別制御手段としてのガス漏洩監視装置本体 ２２ 表示装置 ２３ ガス供給制御手段としての弁制御装置

フロントページの続き (72)発明者 原田 宙幸 東京都千代田区丸の内２丁目６番３号 三 菱商事株式会社内 (72)発明者 秋山 重之 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 藤原 雅彦 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 清水 直仁 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 清水 哲夫 京都府京都市南区久世築山町378−３ 株 式会社エステック久世工場内 (72)発明者 遠藤 芳朗 東京都板橋区船渡１−12−11 株式会社鈴 木商館内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造用ガスを供給するためのガス
   供給配管を備えた半導体製造用ガス供給設備において、 前記ガス供給配管内のガス濃度、もしくはガス濃度と圧
   力とを検出するための配管内ガス検出手段と、ガス供給
   配管からの漏洩ガスをガス供給配管外部で検出するため
   の漏洩ガス検出手段と、前記配管内ガス検出手段からの
   検出信号および前記漏洩ガス検出手段からの検出信号を
   受入れてこれらの検出信号に基いてガス供給状態を判別
   しかつその判別結果に基いて表示もしくは警報を発生さ
   せる判別制御手段とを有してなることを特徴とする、半
   導体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の半導体製造用ガス供給
   設備におけるガス漏洩監視装置において、 その監視装置から離隔された位置に、前記判別制御手段
   により制御される表示装置もしくは警報装置が設置され
   ていることを特徴とする、半導体製造用ガス供給設備に
   おけるガス漏洩監視装置。
3. 【請求項３】 請求項１もしくは請求項２に記載の半導
   体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置におい
   て、 前記漏洩ガス検出手段が漏洩ガスを検知せずかつ前記配
   管内ガス検出手段により検出された配管内ガス濃度が実
   質的に零の状態を示す第１の状態信号と、前記漏洩ガス
   検出手段が漏洩ガスを検知せずかつ前記配管内ガス検出
   信号により検出された配管内ガス濃度が実質的に零を越
   えるレベルの状態を示す第２の状態信号と、前記漏洩ガ
   ス検出手段が漏洩ガスを検知しかつ前記配管内ガス検出
   手段により検出された配管内ガス濃度が実質的に零の状
   態を示す第３の状態信号と、前記漏洩ガス検出手段が漏
   洩ガスを検知しかつ前記配管内ガス検出手段により検出
   された配管内ガス濃度が実質的に零を越えるレベルの状
   態を示す第４の状態信号とを各々出力する出力端子を前
   記判別制御手段が備えていることを特徴とする、半導体
   製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の半導体製造用ガス供給
   設備におけるガス漏洩監視装置において、 前記判別制御手段からの第４の状態信号を受けた状態で
   前記ガス供給配管へのガス供給を遮断してガス供給配管
   内を不活性ガスによりパージするためのガス供給制御手
   段を備えていることを特徴とする、半導体製造用ガス供
   給設備におけるガス漏洩監視装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
   半導体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置に
   おいて、 前記判別制御手段が、音声合成装置を備えていることを
   特徴とする、半導体製造用ガス供給設備におけるガス漏
   洩監視装置。