CN207514590U - 一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统，涉及半导体气体防护技术领域，该气体泄漏安全系统包括尾气处理设备、备用管和气体泄漏安全装置，该气体泄漏安全装置包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。相较于现有技术，本实用新型提供的一种气体泄漏安全装置，能够及时发现泄漏情况并能够阻止泄漏气体向外扩散，提高了生产安全性。

Description

一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统

技术领域

本实用新型涉及半导体气体防护技术领域，具体而言，涉及一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统。

背景技术

半导体行业用的特殊气体及剧毒化学品特别多，经常会有一些渗漏，腐蚀、管道击穿和泄漏现象常有发生，轻者造成能源浪费、污染环境，尤其不能马上控制处理泄漏，重者直接导致更多的人员伤亡，或公司直接破产关门。

在现有技术中，对于管道的泄漏往往是采取对管道的壁厚、焊接点等作重点监控，但是这种处理方式并不保险，当发生泄漏时无法阻止管道内的气体的扩散，有巨大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体泄漏安全装置，当管道内气体发生泄漏时，能够及时发现并能够防止泄漏气体的扩散，提高了生产的安全性。

本实用新型的另一目的在于提供一种气体泄漏安全系统，能够及时发现并阻止泄漏气体的扩散，同时能够对已经泄漏的气体安全地进行尾气处理，十分安全可靠。

本实用新型是采用以下的技术方案来实现的。

一种气体泄漏安全装置，包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。

进一步地，监测管道内为负压。

进一步地，内管与外管均通过焊接制成。

进一步地，外管的焊接点处设置有连接护套。

进一步地，压力监控设备包括压力表和监控阀门，压力表连接于外管，用于采集气体压强，监控阀门设置在外管和压力表之间。

进一步地，压力监控设备还包括报警器，报警器连接于压力表，用于依据气体压强发出报警信号。

进一步地，气体泄漏安全装置还包括远程控制设备和储气设备，输气保护管路连接于储气设备，远程控制设备分别与压力监控设备和储气设备通信连接，用于接收气体压强并依据气体压强关闭储气设备的出气口。

一种气体泄漏安全系统，包括尾气处理设备、备用管和气体泄漏安全装置，该气体泄漏安全装置包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。备用管的一端连接于输气保护管路并与监测管道连通，另一端连接于尾气处理设备。

进一步地，备用管靠近输气保护管路的一端设置有通气阀门，备用管靠近尾气处理设备的一端设置有第一尾气处理阀门。

进一步地，气体泄漏安全系统还包括用气设备，用气设备与输气保护管路连接，尾气处理设备与用气设备连接，且尾气处理设备和用气设备之间设置有第二尾气处理阀门。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的一种气体泄漏安全装置，内管的内部形成输气管道，用于输送气体，将外管套设在内管上，并使得外管与内管之间形成监测管道，且监测管道与输气管道之间相互隔绝。在进行监测前通过对监测管道抽气，使得监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，同时在外观上还连接有压力监控设备，实时采集监控管道内的气体压强。在监测过程中，当内管发生泄漏时，内管中的气体会溢出到外管并使得监测管道内的气体压强迅速增高，通过压力监控设备的监控作用，可及时获知内管发生泄漏的信息并采取相应的措施，防止内管继续泄漏。同时内管中泄漏出的气体会暂时留存在监测管道内，不会从外管泄漏到外界空间，从而保证了外部环境的安全性。相较于现有技术，本实用新型提供的一种气体泄漏安全装置，能够及时发现泄漏情况并能够阻止泄漏气体向外扩散，提高了生产安全性。

本实用新型另外提供的一种气体泄漏安全系统，在输气保护管路上连接有备用管，且备用管与监测管道连通，同时尾气处理设备与备用管的另一端连接，当内管发生泄漏时，内管中的气体会溢出到外管并使得监测管道内的气体压强迅速增高，通过压力监控设备的监控作用，可及时获知内管发生泄漏的信息并采取相应的措施，防止内管继续泄漏。同时监测管道中的残留气体会通过备用管流至尾气处理设备进行处理，从而彻底杜绝了气体泄漏到外部环境中的隐患。相较于现有技术，本实用新型提供的一种气体泄漏安全系统，能够及时发现并阻止泄漏气体的扩散，同时能够对已经泄漏的气体安全地进行尾气处理，十分安全可靠。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型具体实施例提供的气体泄漏安全系统的整体结构示意图；

图2为图1中Ⅱ的局部剖视图；

图3为图1中压力监控设备连接结构示意图；

图4为图1中压力监控设备的连接框图。

图标：10-气体泄漏安全系统；100-气体泄漏安全装置；110-输气保护管路；111-内管；113-外管；115-连接护套；117-弹簧；130-压力监控设备；131-压力表；133-监控阀门；135-报警器；150-远程控制设备；170-储气设备；200-尾气处理设备；300-备用管；310-通气阀门；330-第一尾气处理阀门；400-用气设备；410-第二尾气处理阀门。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。

第一实施例

结合参见图1和图2，本实施例提供了一种气体泄漏安全系统10，包括气体泄漏安全装置100、尾气处理设备200、备用管300以及用气设备400，备用管300的一端与气体泄漏安全装置100连接，另一端与尾气处理设备200连接。气体泄漏安全装置100与用气设备400连接，用气设备400与尾气处理设备200连接。

气体泄漏安全装置100包括输气保护管路110、压力监控设备130、远程控制设备150以及储气设备170，输气保护管路110呈双套管形式，且输气保护管路110的一端连接于储气设备170，另一端连接于用气设备400，用于将储气设备170中的气体运输至用气设备400处供用气设备400使用。压力监控设备130连接于输气保护管路110，远程控制设备150单独设置并与压力监控设备130通信连接。

在本实施例中，储气设备170中盛装的是剧毒性气体，具体地，盛装的是硅烷气体。当然，此处储气设备170也可以盛装其他种类的毒性气体，例如三氯化硼气体或者四氯化碳气体等，在此不作具体限定。

需要说明的是，此处储气设备170并不仅仅限于盛装毒性气体，也可以盛装腐蚀性气体或者易燃性气体等其他类型的特殊气体，对于储气设备170内盛装的气体类型，在此不作具体限定。

输气保护管路110包括内管111和外管113，内管111的内部具有输气管道，外管113套设在内管111外，且内管111的外周面和外管113的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备130连接于外管113，用于采集监测管道内的气体压强。

在本实施例中，监测管道内为负压。具体地，在外管113的两端设置有收尾环，在安装时外管113两端收尾并利用外接的真空泵将外管113与内管111之间的监测管道抽成负压状态，压力监控设备130采集到的是负压信息。

在本实施例中，内管111与外管113均通过焊接制成。具体地，内管111和外管113均由多根不锈钢管焊接形成，特别地，在焊接点处设置有连接护套115，连接护套115的两端也焊接在外管113上，以保证外管113焊接点的气密性。同时，在内管111和外管113之间还设置有弹簧117，用于在焊接过程中支撑外管113，避免在焊接的时候外管113粘连损坏内管111。当然，此处内管111或外管113也可以直接一体成型，加工好后直接安装在储气设备170上。

在本实施例中，内管111采用316EP不锈钢管制成，规格为3/8英寸，外管113采用304AP不锈钢管支撑，其规格为5/8英寸。当然，此处内管111和外管113的管径并不仅仅限于此，但凡是外管113管径大于内管111管径的组合情况均在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，内管111和外管113焊接完成后均需要做好检漏测试，保证焊点的气密性。

值得注意的是，此处内管111和外管113也可以是采用高分子材料或者塑料制成并一体成型，其具体设置方式在此不做赘述。

备用管300的一端连接于外管113，另一端连接于尾气处理设备200，用气设备400与尾气处理设备200也通过管道连接。在正常工作状态中，气体通过用气设备400使用后，残余气体或者尾气等通过管道进入尾气处理设备200进行处理，避免散入到外界环境。当内管111发生泄漏时，储气设备170关闭，外管113收集到的泄漏气体通过备用管300道进入到尾气处理设备200进行处理，避免在外管113中残留气体。

在本实施例中，备用管300靠近输气保护管路110的一端设置有通气阀门310，备用管300靠近尾气处理设备200的一端设置有第一尾气处理阀门330。通气阀门310用于在对外管113抽放气时开启，第一尾气处理阀门330用于在气体泄漏打开将残余气体送入到尾气处理设备200。

在本实施例中，用气设备400与尾气处理设备200之间设置有第二尾气处理阀门410，用于在正常工作状态下开启并将用气设备400产生的尾气送入到尾气处理设备200。

在进行监测之前，打开通气阀门310，通过通气阀门310对外管113进行抽气，使得监测管道内形成负压环境，关闭通气阀门310。在气体发生泄漏时，内管111中的气体泄漏到外管113中，使得监测管道内的气压升高，并通过压力监测设备向远程控制设备150发出报警信号，远程控制设备150及时关闭储气设备170，避免进一步扩散。在关闭储气设备170后需进行残余泄漏气体的处理，此时打开第一尾气处理阀门330和通气阀门310，关闭第二尾气处理阀门410，使得监测管道内的残余泄漏气体通过备用管300进入到尾气处理设备200进行处理，彻底杜绝泄漏气体进入到外界环境。

在本实施例中，用气设备400的使用环境中还设置有气体侦测器(图未示)，用于对用气设备400周围进行监测。具体地，该气体侦测器与远程控制设备150通信连接，对用气设备400发生的泄漏情况及时发现并向远程控制设备150发送监控信息，从而能够及时关闭储气设备170或通知值班人员。

在本实用新型其他较佳的实施例中，气体侦测器单独设置，当气体泄漏安全装置100监测到发生泄漏时，可手持该气体侦测器对用气设备400周围的使用环境进行监测并实时显示泄漏气体量，从而能够及时关闭储气设备170和用气设备400。

结合参见图3和图4，压力监控设备130包括压力表131、监控阀门133以及报警器135，压力表131连接于外管113，用于采集气体压强，监控阀门133设置在外管113和压力表131之间，用于在测试和抽真空阶段隔离压力表131和外管113。报警器135连接于压力表131，用于依据气体压强发出报警信号。

需要注意的是，此处报警器135也可集成到压力表131上，即压力表131本身具备报警功能。

在本实施例中，报警器135与远程控制设备150通信连接，将报警信号直接发送至远程控制设备150，且远程控制设备150与储气设备170通信连接，当报警器135发出报警信号后，远程控制设备150能够及时关闭储气设备170的出气口，避免储气设备170持续输出气体。

在本实施例中，远程控制设备150为控制室，控制室内设置有中控机，该中控机与报警器135通信连接，用于接收报警信号。

在本实用新型其他较佳的实施例中，远程控制设备150与储气设备170之间没有连接关系，远程控制设备150仅起到报警通知功能，当报警器135发出报警信号后，控制室内的值班人员会回到储气设备170现场直接关闭储气设备170。

综上所述，本实施例提供了一种气体泄漏安全系统10，在输气保护管路110的内管111外套设有外管113，两边加装收尾环，内管111内具有输气管道，内管111与外管113之间形成监测管道，且外管113两端密封起来，监测管道和输气管道相互隔绝，并对监测管道抽真空成负压状态。在密闭测试完成后，打开监控阀门133，利用压力表131对监测管道的压力进行监控。当正常工作时，监测管道内的气体压强不会升高，压力监控设备130不会报警，当内管111中的气体发生泄漏时，气体泄漏到监控管道中并迅速升高监控管道内的气体压强，压力表131采集到的气体压强迅速增高并通过报警器135向控制室发出报警信号，控制室中的中控机迅速将储气设备170关闭，避免进一步泄漏。同时打开第一尾气处理阀门330，使得监控管道中的残留气体通过备用管300进入到尾气处理设备200进行尾气处理，彻底避免了气体泄漏到外界环境中，保障了生产环境的安全性，同时不会对财产造成任何损失。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种气体泄漏安全装置，其特征在于，包括输气保护管路和压力监控设备，所述输气保护管路包括内管和外管，所述内管的内部具有输气管道，所述外管套设在所述内管外，且所述内管的外周面和所述外管的内周面形成监测管道，所述输气管道用于输送气体，所述监测管道与所述输气管道相互隔绝，所述监测管道内的气体压强小于所述输气管道内的气体压强，所述压力监控设备连接于所述外管，用于采集所述监测管道内的气体压强。

2.根据权利要求1所述的气体泄漏安全装置，其特征在于，所述监测管道内为负压。

3.根据权利要求1所述的气体泄漏安全装置，其特征在于，所述内管与所述外管均通过焊接制成。

4.根据权利要求3所述的气体泄漏安全装置，其特征在于，所述外管的焊接点处设置有连接护套。

5.根据权利要求1所述的气体泄漏安全装置，其特征在于，所述压力监控设备包括压力表和监控阀门，所述压力表连接于所述外管，用于采集所述气体压强，所述监控阀门设置在所述外管和所述压力表之间。

6.根据权利要求5所述的气体泄漏安全装置，其特征在于，所述压力监控设备还包括报警器，所述报警器连接于所述压力表，用于依据所述气体压强发出报警信号。

7.根据权利要求1所述的气体泄漏安全装置，其特征在于，所述气体泄漏安全装置还包括远程控制设备和储气设备，所述输气保护管路连接于所述储气设备，所述远程控制设备分别与所述压力监控设备和所述储气设备通信连接，用于接收所述气体压强并依据所述气体压强关闭所述储气设备的出气口。

8.一种气体泄漏安全系统，其特征在于，包括尾气处理设备、备用管和如权利要求1-7任一项所述的气体泄漏安全装置，所述备用管的一端连接于所述输气保护管路并与所述监测管道连通，另一端连接于所述尾气处理设备。

9.根据权利要求8所述的气体泄漏安全系统，其特征在于，所述备用管靠近所述输气保护管路的一端设置有通气阀门，所述备用管靠近所述尾气处理设备的一端设置有第一尾气处理阀门。

10.根据权利要求8所述的气体泄漏安全系统，其特征在于，所述气体泄漏安全系统还包括用气设备，所述用气设备与所述输气保护管路连接，所述尾气处理设备与所述用气设备连接，且所述尾气处理设备和所述用气设备之间设置有第二尾气处理阀门。