CN201796258U

CN201796258U - 特殊气体泄漏保护装置

Info

Publication number: CN201796258U
Application number: CN2010202010768U
Authority: CN
Inventors: 付晓明; 高辉; 余鹤鹏; 李凯; 姚念
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2010-05-21
Filing date: 2010-05-21
Publication date: 2011-04-13
Anticipated expiration: 2020-05-21

Abstract

本实用新型涉及一种特殊气体泄漏保护装置。公开了一种特殊气体泄漏保护装置，包括密封腔体和用于抽排所述密封腔体内气体的排放管路，所述特殊气体容置于钢瓶内，所述钢瓶的输出口与输出管的输入口连接，所述钢瓶和输出管的连接处设置于所述密封腔体内部，所述密封腔体设有排放口，所述排放管路的输入口与所述密封腔体的排放口密封固定连接。通过在钢瓶和输出管的连接处设置密封腔体及排放管路，可以将泄漏的气体通过排放管路排到指定的装置，从而可以防止这些有毒或易燃的特殊气体扩散到周围环境中，从而保护工作人员的生命安全，防止环境污染。另外，通过设置气体探测器，可以及时发现泄漏情况并通知管理人员，以减少损失和防止扩散。

Description

特殊气体泄漏保护装置

技术领域

本实用新型涉及一种特殊气体泄露保护装置。

背景技术

现有，在半导体生产工艺中，大宗特殊气体系统(简称BSGS，全称BulkSpecialty Gas System)通过Y钢瓶(卧式的)向设备供应大流量的特殊气体，比如三氟化氮NF3、氨气NH3等等。由于这些特殊气体中，有的具有毒性，如三氟化氮NF3。如果泄露，人体吸到这些有毒气体后，会有损健康甚至于中毒死亡，而且泄露的NF3也会污染环境。有的特殊气体具有易燃性，如氨气NH3。泄露的NH3会腐蚀设备，同时还会污染环境。总之，大宗特殊气体的泄露，容易导致严重的安全事故，致使人员伤亡和环境污染。因此，我们必须防止泄露的气体造成危害。

目前，特殊气体的泄露主要集中在钢瓶的输出口和输出管(俗称猪尾管)的连接处。因此，如何防止泄露的特殊气体扩散到周围环境中是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种特殊气体泄露保护装置，可以防止泄露的气体扩散到周围环境中，从而，即保护工作人员的生命安全，又防止环境污染。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种特殊气体泄露保护装置，包括密封腔体和用于抽排所述密封腔体内气体的排放管路，所述特殊气体容置于钢瓶内，所述钢瓶的输出口与输出管的输入口连接，所述钢瓶和输出管的连接处设置于所述密封腔体内部，所述密封腔体设有排放口，所述排放管路的输入口与所述密封腔体的排放口密封固定连接。

所述排放管路与真空抽吸器连接。

所述排放管路与处于负压状态的总排放管路连接。

所述特殊气体泄露保护装置还包括气体处理装置，所述气体处理装置的输入口与所述排放管路的输出口密封固定连接。

所述排放管路内设置有气体探测器。

所述气体探测器直接与报警器连接。

所述排放管路内设有气体探测器，所述气体探测器与监视器连接，所述监视器与自动语音广播单元连接。

所述气体探测器采用电化学传感器。

所述密封腔体设有第一接口孔和第二接口孔，所述钢瓶的瓶颈密封穿套于所述第一接口孔内，所述输出管密封穿套于所述第二接口孔内。

所述密封腔体分成左腔体和右腔体，所述左腔体和右腔体相互铰接，所述左腔体和右腔体相互接触的表面上设有密封垫圈，所述左腔体和右腔体的相互接触处除铰接部位外其他部位通过卡扣连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型特殊气体泄露保护装置通过在钢瓶和输出管的连接位置(容易发生泄露的位置)设置密封腔体及其排放管路，可以将泄露的气体通过排放管路排到指定的装置，从而可以防止有毒或易燃或易腐蚀的特殊气体扩散到周围环境中，从而保护工作人员的生命安全，防止环境污染。另外，通过设置气体探测器，可以及时发现泄露情况并通知管理人员，以便管理人员及时采取措施防止泄露扩大，造成浪费以及更为严重的安全事故。综上所述，本实用新型可以有效保护环境和人身安全，并可将泄露气体回收利用。

附图说明

本实用新型的特殊气体泄露保护装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的密封腔体的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的密封腔体增设调节合页后的结构示意图；

图中，1-密封腔体、11-左腔体、12-右腔体、13-第一接口孔、14-排放口、15-第二接口孔、16-不锈钢合页、17-卡扣、18-调节合页、2-钢瓶、3-输出管、4-排放管路、5-真空抽吸器、6-气体处理装置、7-气体探测器、8-监视器、9-自动语音广播单元。

具体实施方式

以下将对本实用新型的特殊气体泄露保护装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图1和图2，这种特殊气体泄露保护装置，包括密封腔体1和用于抽排所述密封腔体1内气体的排放管路4。所述特殊气体容置于钢瓶2内。所述钢瓶2的输出口与输出管3的输入口连接。所述钢瓶2和输出管3的连接处设置于所述密封腔体1内部。所述密封腔体1设有排放口14，所述排放管路4的输入口与所述密封腔体1的排放口14密封固定连接。

请参阅图2，所述密封腔体1分成左腔体11和右腔体12。所述左腔体11和右腔体12铰接在一起，即通过不锈钢合页16相互铰接，使得左腔体11和右腔体12具有打开和合拢两种状态。所述左腔体11和右腔体12相互接触的表面上设有密封垫圈。所述密封垫圈是橡胶密封垫圈。所述左腔体11和右腔体12的相互接触处除铰接部位外其他部位通过卡扣17连接。

请结合参阅图1和图2，所述密封腔体1设有第一接口孔13和第二接口孔15。所述钢瓶2的瓶颈密封穿套于所述第一接口孔13内。所述输出管3密封穿套于所述第二接口孔15内。为了制作和安装方便，将所述第一接口孔13和第二接口孔15均设置成圆孔，并以半圆孔的形式分设在所述左腔体11和右腔体12的对应位置上。另外，所述排放口14也设置成圆孔，所述排放口14通过法兰与输出管3密封固定连接。

请参阅图3，所述密封腔体1由若干连接板合围而成，相邻接的连接板通过调节合页18铰接。通过调节合页18铰接在一起的两块连接板的连接角度可以自由调节，从而，方便所述密封腔体1与所述钢瓶2及输出管4密封固定安装，从而使得此三者不需要非常高的位置、尺寸精度。该调节合页18和用于连接左腔体11和右腔体12的不锈钢合页16结构相同。

请参阅图1，所述排放管路4与真空抽吸器5连接，真空抽气器使得排放管路处于负压状态，以便排放密封腔体内的气体。当然，所述排放管路4也可以与生产车间内的总排放管路相连，所述总排放管路有专门的真空抽气器保证该总排放管路处于负压状态。所述排放管路4通过所述总排放管路，将泄露的气体排放到指定的气体处理装置中。

请继续参阅图1，所述排放管路4内设置有气体探测器7，所述气体探测器7与监视器8连接，所述监视器8与自动语音广播单元9连接。如此，一旦气体探测器7感应到泄露气体，会马上把该信息传输到监视器8，然后监视器8通过自动语音广播单元9发出警报。因此，可以及时将泄露情况告知操作人员，以便操作人员及时采取措施，防止泄露扩大甚至引发安全事故。监视器8是生产线上的已有设备，还用于监测其他工况。监视器8可以对气体探测器7传送的信息，进行分析、处理和储存，以便操作人员进行决策。当然，所述气体探测器7也可以直接与报警器连接，具有安装方便、投入小的优点。

所述气体探测器7采用电化学传感器，电化学传感器具有寿命长、灵敏度高、性能稳定可靠的优点。

本实用新型是这样工作的，请参阅图1和图2，

一旦，密封腔体1内的钢瓶2和输出管3的连接处发生泄露现象，特殊气体流入密封腔体1内部。由于排放管路4与密封腔体1密闭连通且排放管路4处于负压状态，所以，密封腔体1内的特殊气体被抽吸到排放管路4。此时，设置在排放管路4中的气体探测器7马上感应到该特殊气体，并立即将信号传递给所述监视器8。监视器8具有发出所有设备的警报的功能，管理人员收到警报后可以及时采取相应措施，比如控制对应气体的供应设备以及泄露气体的输送方向。当泄露的气体危害性比较严重的时候，自动语音广播单元9与监视器8连动，自动语音广播单元9进行全厂或部分区域的广播，使该区域的人知道气体泄漏的情况并及时疏散，同时通知相应的人员在第一时间内做出正确的应急措施，避免泄露扩大，进而引发更为严重的安全生产事故。然后，排放管路4将抽吸到的特殊气体排放到相应的气体处理装置6，以防止这些特殊气体外流到环境中，从而造成人员中毒伤亡和环境污染事故。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种特殊气体泄露保护装置，其特征在于，包括密封腔体和用于抽排所述密封腔体内气体的排放管路，所述特殊气体容置于钢瓶内，所述钢瓶的输出口与输出管的输入口连接，所述钢瓶和输出管的连接处设置于所述密封腔体内部，所述密封腔体设有排放口，所述排放管路的输入口与所述密封腔体的排放口密封固定连接。

2.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路与真空抽吸器连接。

3.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路与处于负压状态的总排放管路连接。

4.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述特殊气体泄露保护装置还包括气体处理装置，所述气体处理装置的输入口与所述排放管路的输出口密封固定连接。

5.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路内设置有气体探测器，所述气体探测器直接与报警器连接。

6.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路内设有气体探测器，所述气体探测器与监视器连接。

7.如权利要求6所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述监视器与自动语音广播单元连接。

8.如权利要求5或6所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述气体探测器采用电化学传感器。

9.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述密封腔体设有第一接口孔和第二接口孔，所述钢瓶的瓶颈密封穿套于所述第一接口孔内，所述输出管密封穿套于所述第二接口孔内。

10.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述密封腔体分成左腔体和右腔体，所述左腔体和右腔体相互铰接，所述左腔体和右腔体相互接触的表面上设有密封垫圈，所述左腔体和右腔体的相互接触处除铰接部位外其他部位通过卡扣连接。