JPWO2014196010A1 - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
32 間接照明部
33 支持部材
43 画像処理部
51 反射部
53 開口部
55 中段光源(光源)
57 キャップ(閉塞部)
57c 係合凸部(係合部)
57d 第1反射面部
60 検査用機器
61 傾斜撮像部
62 投影部
63 レーザポインタ
64 特定波長照明部
65 第2反射面部
66 シール部材
66a 第3反射面部
72 暗領域(照明ムラ部分)
100 外観検査装置
110 基板(撮像対象物)
P 撮像位置
撮像部の他に、他の検査用機器(サイドカメラおよび斜方照明)を複数設けている外観検査装置で間接照明を行う場合には、反射部がサイドカメラおよび斜方照明の光軸を遮ることとなる。そのため、この場合には、たとえば反射部の内部に検査用機器(サイドカメラおよび斜方照明)を配置するといった構成を採用する必要があると考えられる。しかしながら、そのような構成では、反射部の内部に光を遮る障害物(検査用機器)が配置される結果、反射部の反射面積が大きく減少してしまうとともに、影ができて一様で均一な照明を行うことが困難になるという不都合が生じる。そのため、サイドカメラおよび斜方照明などの主撮像部以外の検査用機器を追加的に設ける場合に間接照明を行う場合には、間接照明の均一性(撮像対象物に陰や輝点などが映り込まず、輝度ムラが少ないこと)が低下するという問題点がある。
[0007]
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、主撮像部以外の検査用機器を設置可能に構成する場合でも、間接照明の均一性が低下するのを抑制することが可能な外観検査装置を提供することである。
課題を解決するための手段
[0008]
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における外観検査装置は、撮像位置に配置された撮像対象物を略垂直上方から撮像する主撮像部と、光源と、撮像位置を覆うように設けられ、光源の照明光を反射させて撮像対象物に照射する反射部とを含む間接照明部とを備え、反射部は、主撮像部の配置位置とは異なる位置に、反射部の外部から撮像対象物に対して撮像または光の照射を行うための開口部を有し、反射部の開口部を閉塞する閉塞部をさらに備え、閉塞部は、開口部を閉塞した状態で開口部を塞ぐ部分に、光を反射する第1反射面部を有する。
[0009]
この発明の一の局面による外観検査装置では、上記のように、反射部の主撮像部の配置位置とは異なる位置に、反射部の外部から撮像対象物に対して撮像または光の照射を行うための開口部を設けることによって、主撮像部以外の他の検査用機器(撮像部や照明部など)を反射部の外部に配置することができる。この結果、反射部の内部に検査用機器を配置する構成のように反射部の内部に光を遮る障害物(検査用機器)が配置されることにより反射部
の反射面積が大きく減少することがなく、間接照明の均一性の低下を、反射部に設けた撮像または光の照射を行うための開口部の部分だけに抑えることができる。また、撮像または光の照射を行うための開口部の面積を検査用機器(撮像部や照明部など)に必要な分に抑えることができるので、これによっても、間接照明の均一性の低下を抑制することができる。これらの結果、本発明によれば、主撮像部以外の検査用機器を設置可能に構成する場合でも、間接照明の均一性が低下するのを抑制することができる。また、閉塞部により開口部を閉塞することができるので、実際に使用する開口部のみを開口させた状態にすることができる。その結果、間接照明の均一性の低下を抑制することができる。また、開口部を閉塞する閉塞部を設けることによって、反射部の内部(撮像位置)への異物やほこり、その他の検査の信頼性を低下させる物質の侵入を抑制することができる。また、閉塞部により開口部を閉塞する場合に、閉塞部の第1反射面部を反射部の反射面の一部として機能させることができる。これにより、反射部に開口部を設ける場合でも、閉塞部により開口部を閉塞する場合(検査用機器を使用しない場合)には、間接照明の均一性が低下するのを効果的に抑制することができる。
[0010]
[0011]
[0012]
上記閉塞部を備える構成において、好ましくは、閉塞部は、反射部の開口部の縁部と係合する係合部を有し、開口部に着脱可能なように構成されてい
Claims (12)
- 撮像位置に配置された撮像対象物を略垂直上方から撮像する主撮像部(31)と、
光源(55)と、前記撮像位置を覆うように設けられ、前記光源の照明光を反射させて撮像対象物に照射する反射部(51)と、を含む間接照明部(32)とを備え、
前記反射部は、前記主撮像部の配置位置とは異なる位置に、前記反射部の外部から前記撮像対象物に対して撮像または光の照射を行うための開口部(53)を有する、外観検査装置。 - 前記反射部の前記開口部を閉塞する閉塞部(57)をさらに備える、請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記閉塞部は、前記開口部を閉塞した状態で前記開口部を塞ぐ部分に、光を反射する第1反射面部(57d)を有する、請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記閉塞部は、前記反射部の前記開口部の縁部と係合する係合部(57c)を有し、前記開口部に着脱可能なように構成されている、請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記開口部は、前記反射部において、前記撮像位置を中心とする放射状で、かつ、前記主撮像部の撮像軸から斜めに傾斜した複数の位置に形成されている、請求項1に記載の外観検査装置。
- 複数の前記開口部は、前記反射部において、平面視で前記撮像位置回りに互いに間隔を隔てて周状に配列されている、請求項5に記載の外観検査装置。
- 前記反射部の外部から前記開口部を介して前記撮像対象物に対して撮像または光の照射を行うことが可能な状態で、種類の異なる検査用機器(60)を取り付け可能な共通の支持部材(33)をさらに備える、請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記検査用機器は、前記撮像対象物を斜め方向から撮像する傾斜撮像部(61)、三次元計測用のパターン光を投影可能な投影部(62)、レーザポインタ(63)、および、特定波長の照明光を照射する特定波長照明部(64)の少なくともいずれかを含む、請求項7に記載の外観検査装置。
- 前記検査用機器は、前記投影部であり、
前記投影部は、前記間接照明部による照明光を用いて前記撮像対象物の撮像を行う場合に、前記開口部を介して前記撮像対象物に一様な照明光を照射するように構成されている、請求項8に記載の外観検査装置。 - 前記検査用機器は、前記開口部側の端面部に、光を反射する第2反射面部(65)を有する、請求項8に記載の外観検査装置。
- 前記検査用機器の前記開口部側の端面部と、前記開口部の縁部との隙間を塞ぐように設けられた環状のシール部材(66)をさらに備え、
前記シール部材は、前記開口部側に露出する部分に、光を反射する第3反射面部(66a)を有する、請求項7に記載の外観検査装置。 - 前記開口部は閉塞可能に構成されており、
前記主撮像部の撮像画像を画像処理する画像処理部(43)をさらに備え、
前記画像処理部は、開状態の前記開口部の位置情報に基づいて、前記間接照明部の照明光を用いて前記主撮像部により撮像された撮像画像中から前記開状態の開口部に対応する照明ムラ部分(72)を検出し、検出した前記撮像画像中の照明ムラを補正する処理を行うように構成されている、請求項1に記載の外観検査装置。
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