KR101034995B1 - 스풀 플랜지 표면 비전검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스풀 플랜지 표면 비전검사장치에 관한 것으로 특히, 공지된 스풀의 표면 비전검사장치에 있어서, 상기 스풀 회전장치의 상면에 고정된 상태에서 검사시 회전되는 스풀로부터 일정거리 떨어진 위치에 서로 정해진 거리를 두고 절첩식 미러와 플랜지 검사용 카메라를 각각 설치하여, 상기 절첩식 미러의 두 미러에 의해 반사되어 오는 스풀의 상,하부 플랜지 피사체를 하나의 플랜지 검사용 카메라를 통해 동시에 촬영할 수 있도록 하고, 상기 플랜지 조명장치는 평면이 반달 형상을 갖는 본체의 외측 주연부에 빛을 스풀의 하,상부 플랜지를 향해 각각 경사지게 조사시켜 주는 경사 빛 조사 면을 일체로 구비한 형태를 갖고 상기 스풀의 일측 상,하부에서 일정거리 떨어진 위치에 각각 고정 설치된 것을 특징으로 한다.

따라서, 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 스풀의 플랜지 표면상에 부착된 각종 이물과 흑점 및 오물 등을 광학으로 검사하는데 있어 플랜지에 조사되는 조명이 균일하여 플랜지에 대한 영상 자체를 균일하게 획득할 수 있으므로 검출력 및 검사의 효율성을 대폭 향상시킬 수 있고, 또 플랜지의 상태 검사용 카메라를 하나만 사용함으로써 자재비를 절감시킬 수 있으며, 또한 검사부 내부에서의 설치 복잡도를 단순화하는 과정에서 최적화된 광학 구성과 장치를 제공할 수 있고, 특히 스풀의 플랜지 상태 검사에 따른 신뢰도를 대폭 확보할 수 있는 것이다.

스풀, 플랜지, 표면, 비전검사, 절첩식 미러, 반달형 돔, 플랜지 조명장치

Description

스풀 플랜지 표면 비전검사장치{Vision inspection apparatus for spool flange sueface}

본 발명은 스풀 플랜지 표면 비전검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어(Gold Wire) 스풀의 플랜지 표면상에 부착되는 각종 이물과 흑점 및 오물 등을 광학으로 검사하는데 있어 검출력 및 검사의 효율성을 향상시킬 수 있고, 자재비를 절감시킬 수 있으며, 또한 검사부 내부에서의 설치 복잡도를 단순화하는 과정에서 최적화된 광학 구성과 장치를 제공할 수 있도록 발명한 것이다.

일반적으로 스풀은 반도체의 제조공정에서 사용되는 두께 20㎛의 골드 와이어(Gold Wire)가 감기는 재료이며, 사용시 각종 이물과 흑점이 스풀 표면에 달라붙을 수 있어 반도체 제조 단계에서 콜드 와이어에 달라붙은 이물로 인하여 반도체의 성능이 저하되어 불량으로 이어질 수 있다.

이와 같은 스풀을 재사용하기 위해서는 세척과 크린 작업 공정 중에 스풀 표면 비전 검사를 필요로 하게 되는데, 종래에는 골드 와이어가 감기는 스풀 표면에 목표를 맞추고 있으며, 비전 검사로 검토되고 있는 방식은 라인 스캔(Line Scan) 카메라를 이용하고, 라인 스캔 카메라가 보고 있는 부분(한 개 라인)에 라인 바(Line Bar) 조명을 장착하여 검사하는 방식으로 스풀을 360도 회전하여 그 표면을 영상으로 획득하여 검사하고 있다.

상기에서 스풀을 회전시킬 때 일정한 간격으로 신호를 보내주는 엔코더가 있으며, 카메라는 이 엔코더의 신호를 연속적으로 받아 에리어(Area) 영상으로 만들어 획득한다.

또, 상기 라인 스캔 카메라는 영상획득과 검사 시간이 빠르며 해상도가 좋아서 균일한 표면 상태에서는 균일한 영상 품질을 보장한다는 장점이 있지만, 스풀의 표면 색상이 다양하고 반사율이 높아 같은 모델에서도 색상 차이가 미묘하게 발생하여 라인 스캔 카메라를 이용한 스풀 표면 비전검사장치는 검사에 대한 신뢰도가 떨어지는 문제점이 있고, 더욱이 스풀 양쪽 면 플랜지 표면은 카메라가 보지 못하므로 검사가 불가능하다.

따라서, 스풀 표면의 다양한 색상을 난반사 없이 촬상하기 위해서는 조명의 밝기를 실시간으로 제어할 수 있어야 하며, 이를 위해서는 실시간으로 영상을 획득하여 밝기를 검사하고 조명 밝기를 제어할 수 있어야 하므로 라인 스캔 카메라보다는 에리어 카메라를 사용하여 검사하는 추세이다.

그런데, 상기 에리어 카메라를 사용하여도 스풀의 플랜지 부분은 여러 가지 제약이 많아 검사가 않 되거나 검사의 신뢰도가 떨어지는 문제점이 있다.

즉, 반도체의 제조공정에서 사용되는 골드 와이어가 감기는 스풀의 표면은 알류미늄 재질로 표면 색상이 다양하게 착색이 되어 있으며, 표면의 반사율 또한 색상마다 다양하여 카메라의 영상 획득시 난 반사되어 이물질 이외 다양한 디팩트(Defect)에 대해 검사가 용이하지 못하다.

특히 스풀의 플랜지(외각 측면) 부분에 있어서는 조명 설치 공간이 협소하고 작은 조명을 설치하여도 난반사로 인하여 이물 등을 검사할 수 있는 균일한 영상을 획득하기 어렵고, 또한 플랜지 양쪽 면을 볼 수 있는 개별 카메라 설치가 공간상 제한적이다.

다시 말해서 스풀 표면의 비전 검사시 플랜지 부분의 검사 제약 사항은 여러 가지가 있을 수 있는데, 그 첫 번째는 같은 모델이라도 스풀 표면의 반사율이 서로 달라 조명을 조사했을 때 일부는 너무 밝아서(난반사) 문제이고, 다른 부분은 너무 어두워서 문제가 되어 검사의 신뢰도가 저하되며, 두 번째는 조명과 카메라가 설치될 수 있는 공간이 용이하지 못한 점으로 물류 흐름 장치(Load부, Unloading부)와 비전부가 한 스테지(Stage)에서 이루어지므로 설치 공간이 부족하고, 세 번째는 스풀 표면 검사 장치 구성시 카메라의 수를 적게 사용하는 것이 재료비 절감을 가져오는데도 불구하고 종래에는 플랜지의 양면을 각각 별도의 카메라를 사용하여 검사하므로 카메라의 수가 많아 재료비가 많이 들게 되며, 또한 하드웨어적으로 검사하고자하는 스풀 부위에 대해 조명의 균일성이 향상되었어도 표면 반사율이 높아서 동일 모델에 대해서 색상의 미묘한 차이가 있어 모델에 설정된 조명 밝기값을 그대로 적용하여 검사할 수 없는 문제점이 있었다.

본 발명은 이와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 스풀을 사이에 두고 서로 반사각도 조절 및 거리 조절이 가능한 절첩식 미러와 절첩식 미러에서 반사되는 스풀의 상,하 플랜지 피사체를 동시에 촬영하는 하나의 플랜지 검사용 카메라를 설치하되, 스풀의 일측 상,하부에는 플랜지 검사용 반달형 돔 플랜지 조명장치를 설치하여 빛이 검사하고자 하는 스풀의 상,하 플랜지 저면 및 상면에 상호 간섭없이 정확하고도 균일하게 조사시켜 줄 수 있도록 하고, 스풀의 타측부에는 표면 검사용 조명장치 및 카메라를 설치하여 줌으로써, 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 스풀의 플랜지 표면상에 부착되는 각종 이물과 흑점 및 오물 등을 광학으로 검사하는데 있어 플랜지에 조사되는 조명이 균일하여 플랜지에 대한 영상 자체를 균일하게 획득할 수 있으므로 검출력 및 검사의 효율성을 향상시킬 수 있고, 플랜지의 상태 검사용 카메라를 하나만 사용함으로써 자재비를 절감시킬 수 있으며, 또한 검사부 내부에서의 설치 복잡도를 단순화하는 과정에서 최적화된 광학 구성과 장치를 제공할 수 있으며, 조명의 밝기를 미세하게 제어하여 검사 부위 영상이 밝기 차이를 최소화할 수 있는 스풀 플랜지 표면 비전검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 장치는, 스풀 회전장치와 본체 표면 및 플랜지 조명장치, 수개의 카메라를 밀폐된 함체의 내부에 설치하고, 상기 함체의 외부에는 제어부 및 키 조작부가 설치된 구성을 갖고 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 권취용 스풀의 본체 표면 및 플랜지에 빛을 조사시킴과 동시에 스풀을 회전시키며 각각의 표면에서 반사되는 피사체를 카메라들을 통해 촬영하여 스풀의 본체 표면 및 플랜지 표면상에 부착된 각종 이물과 흑점 및 오물을 광학적으로 검사하는 스풀의 표면 비전검사장치에 있어서, 상기 스풀 회전장치의 상면에 고정된 상태에서 검사시 회전되는 스풀로부터 일정거리 떨어진 위치에 서로 정해진 거리를 두고 절첩식 미러와 플랜지 검사용 카메라를 각각 설치하여, 상기 절첩식 미러의 두 미러에 의해 반사되어 오는 스풀의 상,하부 플랜지 피사체를 하나의 플랜지 검사용 카메라를 통해 동시에 촬영할 수 있도록 한 것을 기본적인 특징으로 한다.

또한, 상기 플랜지 조명장치는 평면이 반달 형상을 갖는 본체의 외측 주연부에 빛을 스풀의 하,상부 플랜지를 향해 각각 경사지게 조사시켜 주는 경사 빛 조사 면을 일체로 구비한 형태를 갖고 상기 스풀의 일측 상,하부에서 일정거리 떨어진 위치에 각각 고정 설치된 것을 특징으로 한다.

또, 상기 절첩식 미러는 반달형 돔 형상을 갖는 상기 플랜지 조명장치에서 간접 조명되는 빛이 상,하부 플랜지를 통해 반사되어 오는 각도에 부응하여 힌지를 중심으로 반사각도 조절이 가능한 기능과, 스풀과의 거리 조절이 가능한 기능을 구비한 것을 특징으로 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 장치에 의하면, 검사시 회전되는 스풀로부터 일정거리 떨어진 위치에 서로 정해진 거리를 두고 절첩식 미러와 플랜지 검사용 카메라를 각각 설치하여, 상기 절첩식 미러의 두 미러에 의해 반사되어 오는 스풀의 상,하부 플랜지 피사체를 하나의 플랜지 검사용 카메라를 통해 동시에 촬영할 수 있도록 하되, 스풀의 일측 상,하부에는 플랜지 조명장치로 반달형 돔 조명장치를 설치하여 빛이 검사하고자 하는 스풀의 상,하 플랜지 저면 및 상면에 상호 간섭없이 정확하고도 균일하게 조사될 수 있도록 함으로써, 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 스풀의 플랜지 표면상에 부착된 각종 이물과 흑점 및 오물 등을 광학으로 검사하는데 있어 플랜지에 조사되는 조명이 균일하여 플랜지에 대한 영상 자체를 균일하게 획득할 수 있으므로 검출력 및 검사의 효율성을 대폭 향상시킬 수 있고, 또 플랜지의 상태 검사용 카메라를 하나만 사용함으로써 자재비를 절감시킬 수 있으며, 또한 검사부 내부에서의 설치 복잡도를 단순화하는 과정에서 최적화된 광학 구성과 장치를 제공할 수 있고, 특히 스풀의 플랜지 상태 검사에 따른 신뢰도를 대폭 확보할 수 있으며, 또한 조명의 밝기를 미세하게 제어하여 검사 부위 영상이 밝기 차이를 최소화할 수 있는 등 매우 유용한 발명인 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명 장치의 외부 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 본 발명 장치의 요부 분해 사시도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명 장치의 작동상태를 설명하기 위한 요부 정면도를 나타낸 것이다.

이에 따르면 본 발명 장치는, 스풀 회전장치(1)와 본체 표면 및 플랜지 조명장치(2)(3), 수개의 카메라(4)(5)를 밀폐된 함체(10)의 내부에 설치하고, 상기 함체(10)의 외부에는 제어부(6) 및 키 조작부(7)가 설치된 구성을 갖고 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 권취용 스풀(9)의 본체(91) 표면 및 플랜지(92)(93)에 빛을 조사시킴과 동시에 스풀(9)을 회전시키며 각각의 표면에서 반사되는 피사체를 카메라(4)(5)들을 통해 촬영하여 스풀(9)의 본체 표면 및 플랜지 표면상에 부착된 각종 이물과 흑점 및 오물을 광학적으로 검사하는 스풀의 표면 비전검사장치에 있어서,

상기 스풀 회전장치(1)의 상면에 고정된 상태에서 검사시 회전되는 스풀(9)로부터 일정거리 떨어진 위치에 서로 정해진 거리를 두고 절첩식 미러(8)와 플랜지 검사용 카메라(5)를 각각 설치하여, 상기 절첩식 미러(8)의 두 미러(81)(82)에 의해 반사되어 오는 스풀(9)의 상,하부 플랜지 피사체를 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)를 통해 동시에 촬영할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 플랜지 조명장치(3)는 평면이 반달 형상을 갖는 본체(31)의 외측 주연부에 빛을 스풀의 하,상부 플랜지를 향해 각각 경사지게 조사시켜 주는 경사 빛 조사 면(32)을 일체로 구비한 형태를 갖고 상기 스풀(9)의 일측 상,하부에서 일정거리 떨어진 위치에 각각 고정 설치되어 하,상부 플랜지에 빛을 균일하게 조사하 도록 한 것을 특징으로 한다.

또, 상기 절첩식 미러(8)는 반달형 돔 형상을 갖는 상기 플랜지 조명장치(3)에서 간접 조명되는 빛이 상,하부 플랜지(92)(93)를 통해 반사되어 오는 각도에 부응하여 힌지(83)를 중심으로 반사각도의 조절이 가능한 기능과, 스풀(9)과의 거리(D) 조절이 가능한 기능을 구비한 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성된 본 발명 스풀 플랜지 표면 비전검사장치에 대한 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명 장치는 크게 공지된 스풀의 표면 비전검사장치에 있어서, 스풀(9)의 일측으로부터 일정거리 떨어진 위치에, 도 2 및 도 3과 같이 서로 정해진 거리를 두고 절첩식 미러(8)와 플랜지 검사용 카메라(5)를 각각 설치하여, 상기 절첩식 미러(8)의 두 미러(81)(82)에 의해 반사되어 오는 스풀(9)의 상,하부 플랜지 피사체를 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)를 통해 동시에 촬영할 수 있도록 한 것을 주요기술 구성요소로 한다.

이때, 공지된 스풀의 표면 비전검사장치는 스풀 회전장치(1)와 본체 표면 및 플랜지 조명장치(2)(3), 수개의 카메라(4)(5)는 밀폐된 함체(10)의 내부에 설치하고, 상기 함체(10)의 외부에는 제어부(6) 및 키 조작부(7)를 설치한 구성을 갖는다.

뿐만 아니라, 상기 스풀 회전장치(1)의 전,후방부에는 각각 도시는 생략하였으나 검사하고자 하는 스풀(9)을 자동으로 스풀 회전장치(1)로 로딩시켜 주기 위한 로딩부와, 검사가 완료된 스풀을 스풀 회전장치(1)로부터 언로딩시켜 주기 위한 언로딩부 등이 더 설치된 구성을 갖는다.

상기에 있어서 스풀 회전장치(1)는 도시 생략된 모터와 회전판, 스풀 구정구 등을 구비하고, 스풀 고정구를 통해 회전판 상면에 검사하고자 하는 스풀을 로딩시킨 상태에서 제어부(6)의 제어를 받으며 정해진 속도로 360도 회전하며 스풀(9)이 본체의 표면은 물론 상,하부 플랜지(92)(93)에 빛이 고르게 조사될 수 있도록 함과 동시에 스풀의 표면 및 상,하부 플랜지(92)(93) 전체에 대한 상태정보(즉, 각종 이물과 흑점 및 오물 등이 부착되었는지 여부)를 표면 검사용 카메라(4)와 플랜지 검사용 카메라(5)가 모두 촬영할 수 있도록 하게 된다.

또, 상기 본체 표면 조명장치(2)는 사각 판체 형상을 갖고 후술하는 플랜지 조명장치(3)와는 대략 90도의 위상 각을 갖는 위치에서 스풀(9)과 일정거리를 두고 원통 형상을 갖는 스풀(9)의 본체(91)와 수직방향으로 설치되어 상기한 스풀 회전장치(1)에 의해 스풀(9)이 정해진 속도로 360도 회전될 때 원통 형상을 갖는 스풀(9)의 본체(91) 표면에 빛을 고르게 조사시켜 주게 된다.

이때, 상기 스풀(9)의 본체 표면에 대한 영상을 촬영하는 표면 검사용 카메라(4)는 상기 본체 표면 조명장치(2)의 일측부에서 플랜지 검사용 카메라(5)와 함께 스풀(9)을 향해 설치되어 상기 스풀(9)의 본체 표면에 반사되는 빛과 영상을 촬영하여 제어부(6)로 전송하여 줌으로써 상기 제어부(6)에서 골드 와이어 권취용 스풀(9)의 본체 표면에 어떠한 이물질이나 흑점 및 오물 등이 묻어있는지를 광학적으로 검사할 수 있게 된다.

또한, 상기 플랜지 조명장치(3)는 스풀 회전장치(1)에 의해 스풀(9)이 정해진 속도로 360도 회전될 때 스풀(9)의 상,하부 플랜지(92)(93) 저면 및 상면의 표면에 빛을 고르게 조사시켜 주게 것으로, 본 발명에서는 종래와 같이 일반 조명등을 사용하지 않고 상기 플랜지 조명장치(3) 자체를 평면이 반달 형상을 갖는 본체(31)의 외측 주연부에 빛을 스풀(9)의 하,상부 플랜지(92)(93)를 향해 각각 경사지게 조사시켜 주는 경사 빛 조사 면(32)을 일체로 구비한 반달형 돔 조명장치로 형성하였다.

이와 같이 상기 플랜지 조명장치(3)를 반달 형의 돔 형태로 형성시켜 검사 대상 물품인 상기 스풀(9)의 일측 상,하부에서 일정거리 떨어진 위치(즉, 스풀(9)을 포함한 스풀 회전장치(1)의 회전에 영향을 주지 않도록 하는 거리만큼 떨어진 위치)에 각각 고정 설치하게 되면, 상기 플랜지 조명장치(3)의 평판형 본체(31)와 경사 빛 조사 면(32)에서 조사되는 빛이 도 3과 같이 스풀(9)의 상,하부 플랜지(92)(93) 저면과 상면은 물론 스풀의 원통형 본체(91)와 플랜지(92)(93) 사이의 모서리부분까지 균일하게 조사되므로 후술하는 플랜지 검사용 카메라(5)에서 균일한 플랜지 영상을 촬영할 수 있는 것이다.

한편, 본 발명에서는 상술한 바와 같이 상기 스풀(9)의 상,하부 플랜지(92)(93)에 대한 상태를 광학적으로 확인(즉, 스풀(9)의 상,하부 플랜지(92)(93) 표면상에 각종 이물과 흑점 및 오물 등이 부착되어 있는지의 여부를 광학적으로 확인)하기 위한 플랜지 검사용 카메라(5)를 종래와 같이 2대를 사용하지 않고 하나만을 이용하였다.

또한, 상기와 같이 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)를 이용하여 스풀의 상,하부 플랜지(92)(93)에 대한 상태 정보를 동시에 촬영하기 위해서는 스풀(9)의 상,하부에 형성된 두 개의 플랜지(92)(93)에 대한 상태 정보를 상기 플랜지 검사용 카메라(5)로 동시에 반사시켜 주기 위한 구성품을 필요로 하게 된다.

따라서, 본 발명에서는 이와 같은 요구에 부응하여 스풀(9)로부터 일정거리 떨어진 위치에서 서로 반대방향에서 스풀 회전장치(1)의 회전에 영향을 미치지 않도록 정해진 거리를 두고 상기 플랜지 검사용 카메라(5)와 반대 방향에 별도로 절첩식 미러(8)를 부가 설치하였다.

이때, 상기 절첩식 미러(8)는 힌지(83)를 중심으로 상,하부에 위치된 두 미러(81)(82)가 예각 범위 내에서 빛을 반사시키고자 하는 각도에 부응(즉, 스풀의 상,하부 플랜지와의 거리와 스풀 자체의 높이 등에 부응)하여 사용자가 임으로 반사각도를 조절할 수 있는 구성으로 되어 있음은 물론 도시 생략된 거리 조절구를 통해 반달형 돔 형상을 갖는 상기 플랜지 조명장치(3)에서 간접 조명되는 빛이 상,하부 플랜지(92)(93)를 통해 반사되어 오는 각도에 부응하여 스풀(9)과의 거리(D)를 임으로 조절할 수 있는 기능을 구비하고 있다.

따라서, 사각 판체 형상을 갖는 본체 표면 조명장치(2)와 반달형 돔 형상을 갖는 플랜지 조명장치(3)가 점등되고 스풀 회전장치(1)가 검사하고자 하는 스풀(9)을 회전시켜 주면서 스풀에 대한 원통형 본체(91)의 표면 및 플랜지(92)(93) 표면 비전검사가 시작되면 스풀의 하방부에 설치된 플랜지 조명장치(3)에 의해 조사된 빛이 스풀(9)의 상부 플랜지(92)에 의해 직,간접적으로 반사되어 피사체로 형성된 후 도 3과 같이 상기 절첩식 미러(8) 중 하부 미러(82)에 의해 다시 반사되어 플랜지 검사용 카메라(5)의 렌즈 측으로 전달되고, 스풀의 상방부에 설치된 플랜지 조명장치(3)에 의해 조사된 빛은 스풀(9)의 하부 플랜지(93)에 의해 반사되어 피사체로 형성된 후 상기 절첩식 미러(8) 중 상부 미러(81)에 의해 다시 반사되어 플랜지 검사용 카메라(5)의 렌즈 측으로 전달되므로, 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)에서 스풀의 상,하부 플랜지(92)(93)에 대한 촬영을 동시에 실시할 수 있는 것이다.

물론, 상기 표면 검사용 카메라(4)는 본체 표면 조명장치(2)에서 조사된 빛이 상기 스풀(9)의 본체 표면에 반사되는 피사체를 촬영하여 제어부(6)로 전송하여 주게 된다.

이와 같이 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 권취용 스풀(9)에 대한 본체 및 플랜지 표면상에 부착된 각종 이물과 흑점 및 오물 등을 광학으로 검사하는데 있어 본체(91) 및 플랜지(92)(93)에 사각 판체 형상을 갖는 본체 표면 조명장치(2)와 반달형 돔 형상을 갖는 플랜지 조명장치(3)를 통해 조명을 균일하여 조사시키면서 각각에 대한 영상을 표면 검사용 카메라(4)와 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)를 통해 균일하게 획득할 수 있으므로, 비전 검출력 및 검사의 효율성이 대폭 향상되고, 또한 상,하부 플랜지(92)(93)의 상태 검사용 카메라를 하나만 사용함으로써 자재비가 대폭 절감되며, 또한 검사부 내부에서의 설치 복잡도를 단순화할 수 있고, 특히 반달형 돔 형상을 갖는 플랜지 조명장치(3)를 통해 조명을 균일하게 조사시켜 주는 가운데 상,하부 플랜지(92)(93)에 대한 피사체를 절첩식 미러(8)를 통해 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)로 촬영할 수 있도록 함으로써 스풀의 플랜지 상태 검사에 따른 신뢰도가 향상되는 효과를 기대할 수 있다.

한편, 상기에 있어서 키 조작부(7)는 사용자가 비전검사장치를 이용하여 특정 스풀에 대한 검사를 실시하는데 필요한 데이터 및 키 신호를 입력시킬 수 있도록 하는 기능을 수행하고, 상기 제어부(6)는 표면 검사용 카메라(4)와 하나의 플랜지 검사용 카메라(5)를 통해 촬영되는 스풀의 본체 표면 및 플랜지들의 표면 피사체 정보를 입력받아 도시 생략된 모니터에 표시해 줌은 물론 기억장치 등에 저장하고, 또 필요에 따라서는 자체 내에 기 입력된 영상 데이터 비교 프로그램 등을 통해 상호 비교하여 그 결과를 모니터로 표시하거나 출력장치를 통해 출력시켜 주는 등 비전검사장치에 대한 전반적인 제어기능을 수행하게 된다.

상술한 실시 예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만, 상기 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.

도 1은 본 발명 장치의 외부 사시도.

도 2는 본 발명 장치의 요부 분해 사시도.

도 3은 본 발명 장치의 작동상태를 설명하기 위한 요부 정면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 스풀 회전장치 2 : 본체 표면 조명장치

3 : 플랜지 조명장치

31 : 본체 32 : 경사 빛 조사 면

4 : 표면 검사용 카메라 5 : 플랜지 검사용 카메라

6 : 제어부 7 : 키 조작부

8 : 절첩식 미러

81, 82 : 미러 83 : 힌지

9 : 스풀

91 : 본체 92, 93 : 상,하부 플랜지

10 : 함체

Claims (3)

1. 스풀 회전장치와 본체 표면 및 플랜지 조명장치, 수개의 카메라를 밀폐된 함체의 내부에 설치하고, 상기 함체의 외부에는 제어부 및 키 조작부가 설치된 구성을 갖고 반도체 제조공정에 사용되는 골드 와이어 권취용 스풀의 본체 표면 및 플랜지에 빛을 조사시킴과 동시에 스풀을 회전시키며 각각의 표면에서 반사되는 피사체를 카메라들을 통해 촬영하여 스풀의 본체 표면 및 플랜지 표면상에 부착된 각종 이물과 흑점 및 오물을 광학적으로 검사하는 스풀의 표면 비전검사장치에 있어서,

   상기 스풀 회전장치의 상면에 고정된 상태에서 검사시 회전되는 스풀로부터 일정거리 떨어진 위치에 서로 정해진 거리를 두고 절첩식 미러와 플랜지 검사용 카메라를 각각 설치하여, 상기 절첩식 미러의 두 미러에 의해 반사되어 오는 스풀의 상,하부 플랜지 피사체를 하나의 플랜지 검사용 카메라를 통해 동시에 촬영할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 스풀 플랜지 표면 비전검사장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 플랜지 조명장치는 평면이 반달 형상을 갖는 본체의 외측 주연부에 빛을 스풀의 하,상부 플랜지를 향해 각각 경사지게 조사시켜 주는 경사 빛 조사 면을 일체로 구비한 형태를 갖고 상기 스풀의 일측 상,하부에서 일정거리 떨어진 위치에 각각 고정 설치된 것을 특징으로 하는 스풀 플랜지 표면 비전검사장치.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

   상기 절첩식 미러는 반달형 돔 형상을 갖는 상기 플랜지 조명장치에서 간접 조명되는 빛이 상,하부 플랜지를 통해 반사되어 오는 각도에 부응하여 힌지를 중심으로 반사각도 조절이 가능한 기능과, 스풀과의 거리 조절이 가능한 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 스풀 플랜지 표면 비전검사장치.

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