JP5181174B2 - 光軸確認可能な光源装置 - Google Patents
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Description
coupled device)やCMOS(complementary metal oxide
semiconductor)等の固体撮像素子(イメージセンサ)は、ウエハ完成後や製品出荷前にその光電特性が正常か否かの検査が行われる。例えば、図11は、ウエハに形成した撮像素子の光電特性を検査する装置の概略図を示しており、検査装置は、撮像素子Pを照明する光源装置100と、ウエハWをステージ122上に載置しつつ搬送するとともにプローブカード121を介して撮像素子Pからの電気出力信号を取り出すプローバ装置120と、プローバ装置120が取り出した信号を取得して素子特性検査するテスタ装置140と、を備えている。光源装置100は、ハロゲンランプ等の光源12と、光源からの光を照度分布の均一な光を生成する多数のレンズやフィルタを有した照明光学系18と、照明光学系18を通過した照明光を撮像素子Pに対して投影するように鏡筒19内に配置される複数のレンズを有した投影光学系20と、を含む光学系14と、を有しており、撮像素子Pの受光面に均一な照明光を照射するようになっている。光源装置は、検査対象の撮像素子Pの受光面に対して照度分布が均一な光を照射する必要があるが、照明光の光軸と撮像素子の受光面との間にずれや傾きが生じると、正常な撮像素子であっても撮像素子が均一な光を受けることができず、テスタ装置への電気出力が不均一となる結果、不良品と判断してしまい正確な特性検査が行えない。
12 光源
14 光学系
16 光軸確認手段
18 照明光学系
20 投影光学系
24 フライアイレンズ
30 光路装置
32 受光装置
34 反射装置
36 通過孔
38 受光面
40 プレート
42 反射ユニット
44 マーキング
46 光束設定用プレート
60 カメラ
Claims (4)
- 周囲を閉鎖し内部を暗部とした筐体と、
筐体内に組み付けられる光源と、
筐体内部に収容され光源からの光を照度分布が均一な平行光として外部へ投射するように平行光を生成するためのレンズを含む光学系と、
光学系の出射側に配置され、光を逆方向に反射させて光源に向けて戻す反射装置であり、理想的な光軸に対して直交した反射面を有する反射装置と、
筐体内において平行光生成のための光学系と反射装置との中間に挿脱可能に配置され反射光を受光する受光装置であって、光学系からの平行光を通過させる通過孔を有するプレートを含む受光装置と、
反射装置からの反射光が当たる受光装置のプレートの裏面側にプレートの通過孔を囲む所要のマーキング表示を有し光軸が適正か否かを確認する光軸確認手段と、を含むことを特徴とする光源装置。 - 光学系は複数の単レンズが縦横マトリクス状に配置されたフライアイレンズを含み、
プレートは、フライアイレンズの後方側に配置されると共に、同フライアイレンズの光源側には光源からの通過光を所要の光束に拘束設定する光束設定装置が設けられていることを特徴とする請求項1記載の光源装置。 - 反射装置は、筐体の光学系の出射外部側に着脱可能に取り付けられる反射ユニットからなることを特徴とする請求項1又は2記載の光源装置。
- 受光装置による反射光の受光状態を外部から確認する監視判定装置が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の光源装置。
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