JP2001012930A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低光沢部材の表面欠陥検査装置として小型、
軽量化したものを提供する。 【解決手段】 外部に設けられた光源と、光源からの光
を導く光ファイバー１０５と、一つのケーシング１０１
内に収められ、光ファイバー１０５によって導かれた光
を照射するライトガイド１０７と、照射された光をスト
ライプ光にするスリット部材１０９と、ストライプ光を
所定の方向へ導く第１の反射鏡１１１と、ストライプ光
を疑似的に無限遠から投影された光とするためのルーペ
１１３と、ストタイプ光を被検査面１とストライプ光の
光軸とのなす角が１〜１５度の角度で被検査面１に投影
されるように、ストライプ光を導く第２の反射鏡１１５
と、被検査面１から反射したストライプ光を所定の方向
へ導く第３の反射鏡１１７と、第３の反射鏡によって導
かれた光を受光して、被検査面１を撮像するＣＣＤカメ
ラと、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置１０
０。
軽量化したものを提供する。 【解決手段】 外部に設けられた光源と、光源からの光
を導く光ファイバー１０５と、一つのケーシング１０１
内に収められ、光ファイバー１０５によって導かれた光
を照射するライトガイド１０７と、照射された光をスト
ライプ光にするスリット部材１０９と、ストライプ光を
所定の方向へ導く第１の反射鏡１１１と、ストライプ光
を疑似的に無限遠から投影された光とするためのルーペ
１１３と、ストタイプ光を被検査面１とストライプ光の
光軸とのなす角が１〜１５度の角度で被検査面１に投影
されるように、ストライプ光を導く第２の反射鏡１１５
と、被検査面１から反射したストライプ光を所定の方向
へ導く第３の反射鏡１１７と、第３の反射鏡によって導
かれた光を受光して、被検査面１を撮像するＣＣＤカメ
ラと、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置１０
０。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車のバ
ンパーなどの樹脂成形品の表面欠陥を検査するための装
置に関し、特に、表面光沢の低い部材の表面欠陥を検査
するための装置に関する。
ンパーなどの樹脂成形品の表面欠陥を検査するための装
置に関し、特に、表面光沢の低い部材の表面欠陥を検査
するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】自動車のバンパーなどの樹脂成形品は、
製造時の条件によって、部品の表面に、いわゆる波打ち
状態と呼ばれる欠陥（以下、ここでは「波打ち欠陥」と
いう）が生じることがある。このような波打ち欠陥は、
製品の見映えを悪くするため、通常、塗装前の検査工程
において、そのチェックを行うようにしている。
製造時の条件によって、部品の表面に、いわゆる波打ち
状態と呼ばれる欠陥（以下、ここでは「波打ち欠陥」と
いう）が生じることがある。このような波打ち欠陥は、
製品の見映えを悪くするため、通常、塗装前の検査工程
において、そのチェックを行うようにしている。
【０００３】従来、このような塗装前の樹脂形成品の表
面欠陥を検査するための検査装置としては、例えば特開
平１０−３００４４６号公報には、ストライプパターン
を、投影角度を変えることのできる照明手段によりバン
パー面に投影し、投影されたストライプパターンをＣＣ
Ｄカメラで撮像して、最も明るく写る角度のときに撮像
されたストライプ画像から、ストライプの歪みを検出
し、波打ち欠陥を捕える技術が開示されている。
面欠陥を検査するための検査装置としては、例えば特開
平１０−３００４４６号公報には、ストライプパターン
を、投影角度を変えることのできる照明手段によりバン
パー面に投影し、投影されたストライプパターンをＣＣ
Ｄカメラで撮像して、最も明るく写る角度のときに撮像
されたストライプ画像から、ストライプの歪みを検出
し、波打ち欠陥を捕える技術が開示されている。
【０００４】この公報記載の技術は、塗装前の樹脂形成
品の場合、その表面光沢が低いことから、ストライプ光
の被検査面における反射が低いため、これを最もよく捕
らえるができるように、ストライプパターンの投影角度
を可変としたものである。
品の場合、その表面光沢が低いことから、ストライプ光
の被検査面における反射が低いため、これを最もよく捕
らえるができるように、ストライプパターンの投影角度
を可変としたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報において用いられている装置では、ストライプパター
ンを照明手段により直接被検査面に投影していることか
ら、投影角度を低くすることを考慮した場合、照明手段
やＣＣＤカメラがバンパー面と干渉しないように、これ
らを投影ポイントから遠い位置に配設しなければならな
ず、どうしても装置が大型化してしまい使いづらいとい
った問題があった。
報において用いられている装置では、ストライプパター
ンを照明手段により直接被検査面に投影していることか
ら、投影角度を低くすることを考慮した場合、照明手段
やＣＣＤカメラがバンパー面と干渉しないように、これ
らを投影ポイントから遠い位置に配設しなければならな
ず、どうしても装置が大型化してしまい使いづらいとい
った問題があった。
【０００６】本発明の目的は、低光沢部材の表面欠陥を
検査するための装置として、小型、軽量化した表面欠陥
検査装置を提供することである。
検査するための装置として、小型、軽量化した表面欠陥
検査装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、下記す
る手段により達成される。
る手段により達成される。
【０００８】（１）被検査面にストライプパターンを投
影し、該投影されたストライプパターンを撮像手段によ
り撮像して、被検査面の表面欠陥を検査する表面欠陥検
査装置において、前記ストライプパターンの光軸と前記
被検査面とのなす角が１〜１５゜となるように前記スト
ライプパターンを前記被検査面に投影する反射鏡と、前
記被検査面からの正反射光を前記撮像手段へ導く反射鏡
と、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
影し、該投影されたストライプパターンを撮像手段によ
り撮像して、被検査面の表面欠陥を検査する表面欠陥検
査装置において、前記ストライプパターンの光軸と前記
被検査面とのなす角が１〜１５゜となるように前記スト
ライプパターンを前記被検査面に投影する反射鏡と、前
記被検査面からの正反射光を前記撮像手段へ導く反射鏡
と、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
【０００９】（２）前記ストライプパターンは、前記表
面欠陥検査装置の外部に設けられた光源から光を導いて
形成されたものであることを特徴とする。
面欠陥検査装置の外部に設けられた光源から光を導いて
形成されたものであることを特徴とする。
【００１０】（３）前記反射鏡は表面鏡であることを特
徴とする。
徴とする。
【００１１】（４）外部に設けられた光源と、該光源か
らの光を導く光ファイバーと、一つのケーシング内に収
められ、前記光ファイバーによって導かれた光を所定の
方向に照射するライトガイドと、該ライトガイドから照
射された光を所定のストライプ光にするスリット部材
と、該スリット部材により形成されたストライプ光を所
定の方向へ導く第１の反射鏡と、該第１の反射鏡からの
ストライプ光を、疑似的に無限遠から投影された光とす
るためのルーペと、該ルーペを通過したストライプ光
を、該ストライプ光の光軸と被検査面とのなす角が１〜
１５゜で被検査面に投影されるように、該ストライプ光
を導く第２の反射鏡と、前記被検査面に投影されストラ
イプ光を、前記被検査面の正反射方向から所定の方向へ
導く第３の反射鏡と、該第３の反射鏡によって導かれた
光を受光して、前記被検査面を撮像する撮像手段と、を
有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
らの光を導く光ファイバーと、一つのケーシング内に収
められ、前記光ファイバーによって導かれた光を所定の
方向に照射するライトガイドと、該ライトガイドから照
射された光を所定のストライプ光にするスリット部材
と、該スリット部材により形成されたストライプ光を所
定の方向へ導く第１の反射鏡と、該第１の反射鏡からの
ストライプ光を、疑似的に無限遠から投影された光とす
るためのルーペと、該ルーペを通過したストライプ光
を、該ストライプ光の光軸と被検査面とのなす角が１〜
１５゜で被検査面に投影されるように、該ストライプ光
を導く第２の反射鏡と、前記被検査面に投影されストラ
イプ光を、前記被検査面の正反射方向から所定の方向へ
導く第３の反射鏡と、該第３の反射鏡によって導かれた
光を受光して、前記被検査面を撮像する撮像手段と、を
有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
【００１２】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項ご
とに以下のような効果を奏する。
とに以下のような効果を奏する。
【００１３】請求項１記載の本発明によれば、反射鏡を
用いてストライプパターンを被検査面へ投影することと
したので、ストライプパターンの光軸と被検査面とのな
す角が１〜１５゜と低い角度であっても、ストライプパ
ターンを直接被検査面へ投影する場合と比較して、装置
を小型化することができる。
用いてストライプパターンを被検査面へ投影することと
したので、ストライプパターンの光軸と被検査面とのな
す角が１〜１５゜と低い角度であっても、ストライプパ
ターンを直接被検査面へ投影する場合と比較して、装置
を小型化することができる。
【００１４】請求項２記載の本発明によれば、光源を外
部に設けたことで、装置の軽量化を図ることができる。
部に設けたことで、装置の軽量化を図ることができる。
【００１５】請求項３記載の本発明によれば、反射鏡と
して表面鏡を用いたことで、ガラス製の通常の鏡のよう
に表面と裏面との２重反射がなく、鮮明な画像を得るこ
とができる。
して表面鏡を用いたことで、ガラス製の通常の鏡のよう
に表面と裏面との２重反射がなく、鮮明な画像を得るこ
とができる。
【００１６】請求項４記載の本発明によれば、光源を外
部に設けて光ファイバーにより導くことで、装置の軽量
化を図ることができ、また、複数の反射鏡によりストラ
イプ光を被検査面へ投影しているので、ストライプ光の
光軸と被検査面とのなす角が１〜１５゜と低い角度であ
っても、装置を小型化することができる。
部に設けて光ファイバーにより導くことで、装置の軽量
化を図ることができ、また、複数の反射鏡によりストラ
イプ光を被検査面へ投影しているので、ストライプ光の
光軸と被検査面とのなす角が１〜１５゜と低い角度であ
っても、装置を小型化することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して、
本発明の一実施の形態を説明する。
本発明の一実施の形態を説明する。
【００１８】図１は、本発明を適用した表面欠陥検査装
置のシステム構成図である。
置のシステム構成図である。
【００１９】この装置は、大別して、センサヘッド１０
０と、電源ボックス２００と、パソコン３００とから構
成されている。
０と、電源ボックス２００と、パソコン３００とから構
成されている。
【００２０】センサヘッド１００は、検査員による持運
びが可能な小型軽量の可搬型センサヘッドであって、バ
ンパー面１（被検査面）上に所定のストライプパターン
を投影し、そのストライプパターンを正反射方向から撮
像する機能を有している。
びが可能な小型軽量の可搬型センサヘッドであって、バ
ンパー面１（被検査面）上に所定のストライプパターン
を投影し、そのストライプパターンを正反射方向から撮
像する機能を有している。
【００２１】図２は、このセンサヘッド１００の構成図
である。
である。
【００２２】センサヘッド１００は、ケーシング１０１
内に、光軸１０３を基準として配列した光学系として、
順に、外部に配置された光源（電源ボックス内部）から
光ファイバー１０５を介して伝搬された光を照射するラ
イトガイド１０７と、ライトガイド１０７から照射され
た光を面状のストライプパターンの光（ストライプ光）
に変換するスリット部材１０９と、スリット部材１０９
からのストライプ光を次のルーペの方向に反射させる第
１の反射鏡１１１と、ストライプパターンが疑似的に無
限遠から投影されているようにするためのルーペ１１３
と、ルーペ１１３を通過したストライプ光をバンパー面
１の方向に反射させる第２の反射鏡１１５と、バンパー
面１からの反射光を次のＣＣＤカメラの方向に反射させ
る第３の反射鏡１１７と、第３の反射鏡１１７を介して
バンパー面１上に投影されたストライプパターンを撮像
するＣＣＤカメラ１１９とを有している。
内に、光軸１０３を基準として配列した光学系として、
順に、外部に配置された光源（電源ボックス内部）から
光ファイバー１０５を介して伝搬された光を照射するラ
イトガイド１０７と、ライトガイド１０７から照射され
た光を面状のストライプパターンの光（ストライプ光）
に変換するスリット部材１０９と、スリット部材１０９
からのストライプ光を次のルーペの方向に反射させる第
１の反射鏡１１１と、ストライプパターンが疑似的に無
限遠から投影されているようにするためのルーペ１１３
と、ルーペ１１３を通過したストライプ光をバンパー面
１の方向に反射させる第２の反射鏡１１５と、バンパー
面１からの反射光を次のＣＣＤカメラの方向に反射させ
る第３の反射鏡１１７と、第３の反射鏡１１７を介して
バンパー面１上に投影されたストライプパターンを撮像
するＣＣＤカメラ１１９とを有している。
【００２３】センサヘッド１００の上記光学系は、セン
サヘッド１００がバンパー面１にセットされた状態にお
いて、バンパー面１と光軸１０３とのなす角が、１０°
となるように構成されている。これは、後述するよう
に、被検査面に投影されたストライプパターンをＣＣＤ
カメラによって最も明るく、かつ、確実に撮像できる最
も好ましい角度となるようにしたものである。
サヘッド１００がバンパー面１にセットされた状態にお
いて、バンパー面１と光軸１０３とのなす角が、１０°
となるように構成されている。これは、後述するよう
に、被検査面に投影されたストライプパターンをＣＣＤ
カメラによって最も明るく、かつ、確実に撮像できる最
も好ましい角度となるようにしたものである。
【００２４】このために、本実施形態では、反射鏡１１
１，１１５によってスリット部材１０９からのストライ
プ光を被検査面へ投影している。また、バンパー面１に
投影されたストライプパターンは、その正反射方向から
撮像するため、すなわち、バンパー面１と反射光の光軸
とのなす角が１０゜となるように、ＣＣＤカメラ１１９
方向へ導く第３の反射鏡１１７によってＣＣＤカメラ１
１９方向へ導いている。
１，１１５によってスリット部材１０９からのストライ
プ光を被検査面へ投影している。また、バンパー面１に
投影されたストライプパターンは、その正反射方向から
撮像するため、すなわち、バンパー面１と反射光の光軸
とのなす角が１０゜となるように、ＣＣＤカメラ１１９
方向へ導く第３の反射鏡１１７によってＣＣＤカメラ１
１９方向へ導いている。
【００２５】反射鏡１１１，１１５，１１７は、いずれ
もアルミニウム製部材の表面を鏡面研磨加工して表面鏡
としたものである。これにより、複数の反射鏡を用いた
場合でも装置を軽量化することができると共に、反射鏡
として通常のガラス鏡を用いた場合と比較して、反射画
像を鮮明にすることができる。なお、アルミニウム製部
材に代えて、その他の金属部材やガラスの表面にアルミ
ニウムを蒸着して鏡面としたものでもよい。
もアルミニウム製部材の表面を鏡面研磨加工して表面鏡
としたものである。これにより、複数の反射鏡を用いた
場合でも装置を軽量化することができると共に、反射鏡
として通常のガラス鏡を用いた場合と比較して、反射画
像を鮮明にすることができる。なお、アルミニウム製部
材に代えて、その他の金属部材やガラスの表面にアルミ
ニウムを蒸着して鏡面としたものでもよい。
【００２６】スリット部材１０９は、例えば、縦方向の
黒色のストライプを横方向に等間隔で施して白色と黒色
の各ストライプに同じ幅を持たせたストライプパターン
の光を形成する。
黒色のストライプを横方向に等間隔で施して白色と黒色
の各ストライプに同じ幅を持たせたストライプパターン
の光を形成する。
【００２７】ルーペ１１３は、主に凸レンズによって構
成されたレンズ系であり、ストライプパターンを疑似的
に無限遠から投影されているようにすることで、スリッ
ト部材とバンパー面１との実際の距離を長くすることな
く、バンパー面１に投影されたストライプパターン像の
拡大率（被検査面に拡大されるストライプ像の大きさの
割合）を大きくし、これを撮像したときの感度を向上さ
せるものである。
成されたレンズ系であり、ストライプパターンを疑似的
に無限遠から投影されているようにすることで、スリッ
ト部材とバンパー面１との実際の距離を長くすることな
く、バンパー面１に投影されたストライプパターン像の
拡大率（被検査面に拡大されるストライプ像の大きさの
割合）を大きくし、これを撮像したときの感度を向上さ
せるものである。
【００２８】ＣＣＤカメラ１１９は、センサヘッド１０
０の小型軽量化を図るため、ＣＣＤエリアイメージセン
サ素子（以下、ＣＣＤ素子と称する）と、このＣＣＤ素
子の全面に配置された撮像のためのレンズと、ＣＣＤ素
子からの電気信号をビデオ信号として外部へ出力するた
めの増幅回路と、から構成されており、ＣＣＤ素子を駆
動するために駆動信号を供給する駆動装置は、電源ボッ
クス２００内に配置されている。また、ＣＣＤカメラ１
１９は、光学的に遠くにあるストライプパターンを撮像
できるよう、遠方にピントが合わされている。
０の小型軽量化を図るため、ＣＣＤエリアイメージセン
サ素子（以下、ＣＣＤ素子と称する）と、このＣＣＤ素
子の全面に配置された撮像のためのレンズと、ＣＣＤ素
子からの電気信号をビデオ信号として外部へ出力するた
めの増幅回路と、から構成されており、ＣＣＤ素子を駆
動するために駆動信号を供給する駆動装置は、電源ボッ
クス２００内に配置されている。また、ＣＣＤカメラ１
１９は、光学的に遠くにあるストライプパターンを撮像
できるよう、遠方にピントが合わされている。
【００２９】センサヘッド１００の底面には、このセン
サヘッド１００をバンパー面１に対して所定の位置（と
姿勢）にセットするための複数の脚部１２１が設けられ
ている。すなわち、検査員がセンサヘッド１００を手に
持って脚部１２１をバンパー面１に当接させることで、
センサヘッド１００はバンパー面１に対して所定の位置
（と姿勢）にセットされる。
サヘッド１００をバンパー面１に対して所定の位置（と
姿勢）にセットするための複数の脚部１２１が設けられ
ている。すなわち、検査員がセンサヘッド１００を手に
持って脚部１２１をバンパー面１に当接させることで、
センサヘッド１００はバンパー面１に対して所定の位置
（と姿勢）にセットされる。
【００３０】電源ボックス２００には、図示しないが、
電源のほか、光源やＣＣＤカメラ１１９の駆動装置など
が収納されている。したがって、電源ボックス２００内
の光源からの光は、光ファイバー１０５によりライトガ
イド１０７に伝搬されており、また、電源ボックス２０
０とＣＣＤカメラ１１９とは、駆動信号をＣＣＤ素子へ
供給するための信号線とＣＣＤ素子から出力されたビデ
オ信号を伝送するビデオケーブルが一体化した専用線１
２３により接続されている。
電源のほか、光源やＣＣＤカメラ１１９の駆動装置など
が収納されている。したがって、電源ボックス２００内
の光源からの光は、光ファイバー１０５によりライトガ
イド１０７に伝搬されており、また、電源ボックス２０
０とＣＣＤカメラ１１９とは、駆動信号をＣＣＤ素子へ
供給するための信号線とＣＣＤ素子から出力されたビデ
オ信号を伝送するビデオケーブルが一体化した専用線１
２３により接続されている。
【００３１】パソコン３００は、電源ボックス２００の
動作を制御するほか、撮像されたバンパー面１上のスト
ライプパターンの画像データを取り込み、取り込んだ画
像を中間処理（例えば、二値処理やフィルタ処理）し、
ストライプ画像（ストライプパターンの画像）の解析を
行うことで、バンパー面１の波打ちランクを判定し、そ
の結果を表示する。また、取り込んだ画像を保存する機
能も有している。
動作を制御するほか、撮像されたバンパー面１上のスト
ライプパターンの画像データを取り込み、取り込んだ画
像を中間処理（例えば、二値処理やフィルタ処理）し、
ストライプ画像（ストライプパターンの画像）の解析を
行うことで、バンパー面１の波打ちランクを判定し、そ
の結果を表示する。また、取り込んだ画像を保存する機
能も有している。
【００３２】以下、被検査面であるバンパー面１に対す
るストライプ光の投影角度について説明する。
るストライプ光の投影角度について説明する。
【００３３】図３は、ストライプ光の投影角度（ストラ
イプ光の光軸と被検査面とのなす角）を変えて、バンパ
ー面１に対しストライプ光を投影し、バンパー面１から
の正反射方向から撮像したときのストライプ画像を示す
図面である。この図において、図３Ａは投影角度２０
゜、図３Ｂは投影角度１５゜、図３Ｃは投影角度１０゜
である。
イプ光の光軸と被検査面とのなす角）を変えて、バンパ
ー面１に対しストライプ光を投影し、バンパー面１から
の正反射方向から撮像したときのストライプ画像を示す
図面である。この図において、図３Ａは投影角度２０
゜、図３Ｂは投影角度１５゜、図３Ｃは投影角度１０゜
である。
【００３４】図３Ａに示すように、投影角度が２０゜の
ときには、バンパー面１の光沢が低いために、全くスト
ライプ画像が得られていない。これに対し、図３Ｂに示
す投影角度１５゜のときには、ストライプ画像を撮像す
ることができている。しかし、画像処理、特に２値化処
理の影響で、コントラストが余り高くなく、またストラ
イプ像も余りはっきりと出ていない。そして、図３Ｃに
示すように、投影角度１０゜のときには、充分コントラ
ストの高いストライプ画像を得ることができている。
ときには、バンパー面１の光沢が低いために、全くスト
ライプ画像が得られていない。これに対し、図３Ｂに示
す投影角度１５゜のときには、ストライプ画像を撮像す
ることができている。しかし、画像処理、特に２値化処
理の影響で、コントラストが余り高くなく、またストラ
イプ像も余りはっきりと出ていない。そして、図３Ｃに
示すように、投影角度１０゜のときには、充分コントラ
ストの高いストライプ画像を得ることができている。
【００３５】これらの結果から、ストライプ光の投影角
度は、１５゜以下、好ましくは１０゜以下であることが
分かる。
度は、１５゜以下、好ましくは１０゜以下であることが
分かる。
【００３６】本実施形態では、先に説明したように反射
鏡１１３および１１５によって、ストライプ光を折り返
させて、被検査面に投影し、かつ被検査面での正反射を
反射鏡１１７によりＣＣＤカメラへ導いている。これに
より、照明手段やカメラなどが被検査面と干渉すること
なく、センサヘッドの小型化に成功したものである。
鏡１１３および１１５によって、ストライプ光を折り返
させて、被検査面に投影し、かつ被検査面での正反射を
反射鏡１１７によりＣＣＤカメラへ導いている。これに
より、照明手段やカメラなどが被検査面と干渉すること
なく、センサヘッドの小型化に成功したものである。
【００３７】なお、投影角度の下限については、被検査
面に対してストライプ光を投影できる角度であればいか
ようなものでもよく、例えば１゜でも、反射鏡を用いる
ことで、装置を大きくすることなく可能である。
面に対してストライプ光を投影できる角度であればいか
ようなものでもよく、例えば１゜でも、反射鏡を用いる
ことで、装置を大きくすることなく可能である。
【００３８】以上本発明を適用した実施形態について、
パンパー面を例に説明したが、本発明は、バンパー面の
検査に限定されるものではなく、光沢の低い樹脂成形品
一般についても適用可能である。
パンパー面を例に説明したが、本発明は、バンパー面の
検査に限定されるものではなく、光沢の低い樹脂成形品
一般についても適用可能である。
【図１】 本発明の一実施の形態に係る表面欠陥検査装
置のシステム構成図である。
置のシステム構成図である。
【図２】 図１に示すセンサヘッドの構成図である。
【図３】 ストライプ光の投影角度と、得られた画像を
示す図面である。
示す図面である。
１…パンパー面（被検査面）、 １００…センサヘッド、 １０７…ライトガイド、 １０９…スリット部材、 １１１，１１５，１１７…反射鏡、 １１３…ルーペ、 １１９…ＣＣＤカメラ（撮像手段）、 ２００…電源ボックス、 ３００…パソコン。
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査面にストライプパターンを投影
し、該投影されたストライプパターンを撮像手段により
撮像して、被検査面の表面欠陥を検査する表面欠陥検査
装置において、 前記ストライプパターンの光軸と前記被検査面とのなす
角が１〜１５゜となるように前記ストライプパターンを
前記被検査面に投影する反射鏡と、 前記被検査面からの正反射光を前記撮像手段へ導く反射
鏡と、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項２】 前記ストライプパターンは、前記表面欠
陥検査装置の外部に設けられた光源から光を導いて形成
されたものであることを特徴とする請求項１記載の表面
欠陥検査装置。 - 【請求項３】 前記反射鏡は表面鏡であることを特徴と
する請求項１記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項４】 外部に設けられた光源と、 該光源からの光を導く光ファイバーと、 一つのケーシング内に収められ、 前記光ファイバーによって導かれた光を所定の方向に照
射するライトガイドと、 該ライトガイドから照射された光を所定のストライプ光
にするスリット部材と、 該スリット部材により形成されたストライプ光を所定の
方向へ導く第１の反射鏡と、 該第１の反射鏡からのストライプ光を、疑似的に無限遠
から投影された光とするためのルーペと、 該ルーペを通過したストライプ光を、該ストライプ光の
光軸と被検査面とのなす角が１〜１５゜で被検査面に投
影されるように、該ストライプ光を導く第２の反射鏡
と、 前記被検査面に投影されストライプ光を、前記被検査面
の正反射方向から所定の方向へ導く第３の反射鏡と、 該第３の反射鏡によって導かれた光を受光して、前記被
検査面を撮像する撮像手段と、を有することを特徴とす
る表面欠陥検査装置。
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