JPWO2013118693A1 - 透明導電性フィルム - Google Patents
透明導電性フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013118693A1 JPWO2013118693A1 JP2013507480A JP2013507480A JPWO2013118693A1 JP WO2013118693 A1 JPWO2013118693 A1 JP WO2013118693A1 JP 2013507480 A JP2013507480 A JP 2013507480A JP 2013507480 A JP2013507480 A JP 2013507480A JP WO2013118693 A1 JPWO2013118693 A1 JP WO2013118693A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent conductive
- conductive film
- film
- transparent
- specific resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 13
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 254
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 27
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 14
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 7
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 2
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000006166 lysate Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5806—Thermal treatment
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0443—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
Abstract
【課題】透明導電膜の比抵抗が低く、かつ透明導電膜の膜厚が薄い透明導電性フィルムを提供すること。【解決手段】透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、かつ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜が、基板温度が−60〜50℃においてスパッタリング法にて成膜され、その後、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理されてなり、透明導電膜の比抵抗が0.8?10−4〜3.0?10−4Ω・cmである透明導電性フィルム。【選択図】 なし
Description
本発明は、透明フィルム基材に酸化インジウムを主とした透明導電膜を積層した透明導電性フィルムに関し、特に本発明の透明導電性フィルムを静電容量式タッチパネルに用いた際に、透明導電性フィルムの比抵抗が低いため、タッチパネルの大型化やタッチ感度の向上に効果的である。
透明プラスチック基材に、透明でかつ抵抗が小さい薄膜を積層した透明導電性フィルムは、その導電性を利用した用途、例えば、液晶ディスプレイやエレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ等のようなフラットパネルディスプレイや、タッチパネルの透明電極等として、電気・電子分野の用途に広く使用されている。
近年、携帯電話、音楽携帯端末などのモバイル機器やカーナビゲーションへの静電容量式タッチパネルの搭載が一般化してきている。静電容量式タッチパネルに用いられている透明導電性基板は、主に、酸化スズ添加酸化インジウム(ITO)をガラスに積層した透明
導電性ガラスである。透明導電性ガラスは透明導電性フィルムよりも比抵抗が低いなどの優位性により、静電容量式タッチパネルに多く採用されている。しかし、透明導電性ガラスは、透明導電性フィルムと比較して、重く、厚く、また、割れるという問題点がある。
導電性ガラスである。透明導電性ガラスは透明導電性フィルムよりも比抵抗が低いなどの優位性により、静電容量式タッチパネルに多く採用されている。しかし、透明導電性ガラスは、透明導電性フィルムと比較して、重く、厚く、また、割れるという問題点がある。
上記の問題点を解決するために、比抵抗の低い透明導電性フィルムが検討されてきている。透明導電性ガラスを代替するためには、透明導電性フィルムの比抵抗は3.0×10−4Ω・cm以下であることが望ましい。特許文献1〜3によれば、3.0×10−4Ω・cm以下の比抵抗の低い透明導電性フィルムを作製可能である。しかし、実施例では透明導電膜の膜厚が100nmより厚いため、透明導電膜の応力により、透明導電性フィルムがカールするなどの取り扱い上に問題があるほか、透明導電膜の膜厚を100nmより厚く成膜するためにはコストがかかり産業上適しないという問題がある。そこで、特許文献1〜3の製造方法で、透明導電膜の膜厚を10〜100nmと薄くして透明導電性フィルムを作製したところ、3.0×10−4Ω・cmより比抵抗が大きく、透明導電性ガラスを代替しうる透明導電性フィルムでとしては望ましくないことが分かった。
本発明の目的は、上記の従来の問題点に鑑み、透明導電膜の比抵抗が低く、かつ透明導電膜の膜厚が薄い透明導電性フィルムを提供することにある。
本発明は、上記のような状況に鑑みなされたものであって、上記の課題を解決することができた透明導電性フィルムは、以下の構成よりなる。
1.透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、かつ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜が、基板温度が−60〜
50℃においてスパッタリング法にて成膜され、その後、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理されてな
り、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmであることを特徴とする透明導電性フィルム。
2.透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmであり、かつ下記(1)式で定義された透明導電膜の安定度指数が1.00〜1.30であることを特徴とする透明導電性フィルム。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B ・・・(1)
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
1.透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、かつ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜が、基板温度が−60〜
50℃においてスパッタリング法にて成膜され、その後、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理されてな
り、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmであることを特徴とする透明導電性フィルム。
2.透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmであり、かつ下記(1)式で定義された透明導電膜の安定度指数が1.00〜1.30であることを特徴とする透明導電性フィルム。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B ・・・(1)
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
本発明によれば、透明導電膜の比抵抗が低く、かつ透明導電膜の膜厚が薄い透明導電性フィルムが提供される。本発明の透明導電性フィルムは、静電容量式タッチパネル等の用途に極めて有用である。
本発明の透明導電性フィルムの透明導電膜には、酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれることが望ましい。酸化スズが8質量%未満だと、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜中のキャリア濃度が低くなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。また、酸化スズが15質量%より多いと、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化が困難となり、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。ここで透明導電膜の結晶化の定義を示す。透過型電子顕微鏡下で透明導電膜層を観察したときに、多角形状の領域を持つものが結晶であり、それ以外は非晶である。結晶質部に対する非晶質部の比が0.00〜0.16の透明導電膜が結晶化していると呼ぶことにする。また、結晶質部に対する非晶質部の比を見積もる方法は、透過型電子顕微鏡下で観察したときの結晶質部と非晶質部の面積比から算出することができる。より望ましくは、透明導電性フィルムの透明導電膜には、酸化インジウムの他、酸化スズが9〜14質量%含まれることがより望ましい。
本発明の透明導電性フィルムの透明導電膜の膜厚は、10〜100nmであることが望ましい。透明導電膜の膜厚が10nm未満だと、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化が困難となり、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。透明導電膜の膜厚が100nmより厚いと、透明導電膜の応力により、透明導電性フィルムがカールするなどの取り扱い上好ましくないほか、透明導電膜の膜厚を100nmより厚く成膜するためにはコストがかかり好ましくないほか、全光線透過率も低下するので、望ましくない。より望ましくは、透明導電性フィルムの透明導電膜の膜厚は、15〜80nmである。
本発明の透明導電性フィルムの透明導電膜を成膜する時の基板温度は−60〜50℃であることが望ましい。本発明において基板とは概ね透明フィルム基材を指しているが、透明導電膜を積層する以前に透明フィルム基材上に硬化型樹脂層の塗布、光学調整膜の塗布あるいは成膜などが施されている場合もあり、それら透明フィルム基材単体及び透明フィルム基材を含んだ事前の積層体も含めて基板と呼んでいる。但し、ここで基板温度は、基板温度を制御しているチラーの温媒の温度で代用する。透明フィルム基材は、ガラスや金属などの無機基材と異なり、有機成分や水を多く含有している。そのため、基板温度を50℃より高くすると、透明導電膜を成膜するときに、透明フィルム基材から、有機ガスや水が大量に放出されるために、これらのガスと透明導電膜が反応し、不均質な透明導電膜ができるために、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化が困難となり、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。基板温度が50℃以下であれば、透明フィルム基材から、有機ガスや水が放出されにくくなるために、均質な透明導電膜が成膜でき、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化が容易になるために、透明導電性フィルムを熱処理した際の透明導電膜の結晶化に伴うキャリアが多く発生し、比抵抗が低くなるので望ましい。基板温度を−60℃より低くするためには、一般的なチラーでは対応できづらく、経済的にあまり好ましくない。より好ましくは、基板温度は−20〜0℃である。理由は以下の通りである。水の融点である0℃以下だとガス放出が非常に少なくなり望ましい。また、汎用チラーは最低温度が−20℃以上のものが多いため、経済的な面から−20℃以上が望ましい。
本発明の透明導電性フィルムは透明導電膜がスパッタリング法にて成膜されることが望ましい。スパッタリング法は均質で緻密な膜ができやすいため、比抵抗が低い透明導電膜を作製しやすい。また、スパッタリング法は膜厚分布が優れるために、工業的に非常に適しているため望ましい。
本発明の透明導電性フィルムは、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス
中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理することが望ましい。ここで、本発明における、透明フィルム基材が形状保持可能な温度の定義を記す。透明フィルム基材が形状保持可能な温度とは、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%以上となる温度であって、かつ透明フィルム基材が形状保持可能な温度が190℃以上の温度とする。190℃未満の熱処理では、透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。よって、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%の温度が190℃未満のときは、本発明に適した透明フィルム基材ではない。透明フィルム基材が形状保持可能な温度よりも高い温度、すなわち、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%未満となる温度で、透明フィルムを熱処理すると、透明フィルムが変形してしまい、透明導電膜が割れてしまい、比抵抗が増加するほかに、透明フィルムの平面性がなくなるので、望ましくない。さらに望ましくは、透明フィルム基材が形状保持可能な温度が、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が12%以上となる温度であって、かつ透明フィルム基材が形状保持可能な温度が200℃以上である。熱処理時間は5〜120分が望ましい。5分未満の熱処理をすると、透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。120分より長い熱処理をするのは、コストがかかるため、好ましくない。
中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理することが望ましい。ここで、本発明における、透明フィルム基材が形状保持可能な温度の定義を記す。透明フィルム基材が形状保持可能な温度とは、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%以上となる温度であって、かつ透明フィルム基材が形状保持可能な温度が190℃以上の温度とする。190℃未満の熱処理では、透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。よって、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%の温度が190℃未満のときは、本発明に適した透明フィルム基材ではない。透明フィルム基材が形状保持可能な温度よりも高い温度、すなわち、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%未満となる温度で、透明フィルムを熱処理すると、透明フィルムが変形してしまい、透明導電膜が割れてしまい、比抵抗が増加するほかに、透明フィルムの平面性がなくなるので、望ましくない。さらに望ましくは、透明フィルム基材が形状保持可能な温度が、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が12%以上となる温度であって、かつ透明フィルム基材が形状保持可能な温度が200℃以上である。熱処理時間は5〜120分が望ましい。5分未満の熱処理をすると、透明導電膜の結晶化に伴うキャリアの発生が少なくなり、比抵抗が高くなるので望ましくない。120分より長い熱処理をするのは、コストがかかるため、好ましくない。
前記の方法により成膜された透明導電性フィルムを、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理することは
、一般的に実施される大気中での熱処理と大きな相違がある。大気中での熱処理では、本発明のような酸化スズ添加酸化インジウムの透明導電膜の比抵抗を低下させる要因と増加させる要因がある。比抵抗を低下させる要因は、熱処理により、酸化スズ添加酸化インジウムが結晶化し、そのとき酸化インジウムのインジウムサイトにスズが入り、結果として、キャリアが発生するため、比抵抗が下がる。比抵抗を増加させる要因は、熱処理により、大気中に含まれる酸素が、酸化スズ添加酸化インジウムにある酸素欠損を埋めるため、結果として、キャリアが消失するため比抵抗が上がる。
、一般的に実施される大気中での熱処理と大きな相違がある。大気中での熱処理では、本発明のような酸化スズ添加酸化インジウムの透明導電膜の比抵抗を低下させる要因と増加させる要因がある。比抵抗を低下させる要因は、熱処理により、酸化スズ添加酸化インジウムが結晶化し、そのとき酸化インジウムのインジウムサイトにスズが入り、結果として、キャリアが発生するため、比抵抗が下がる。比抵抗を増加させる要因は、熱処理により、大気中に含まれる酸素が、酸化スズ添加酸化インジウムにある酸素欠損を埋めるため、結果として、キャリアが消失するため比抵抗が上がる。
真空中、または、不活性ガス中での熱処理では、大気中での熱処理と同様に、熱処理により、酸化スズ添加酸化インジウムが結晶化し、そのとき酸化インジウムのインジウムサイトにスズが入り、結果として、キャリアが発生するため、比抵抗が下がる。また、真空中、または、不活性ガス中には酸素などの酸化ガスが含まれないため、熱処理により、酸化スズ添加酸化インジウムにある酸素欠損が埋まらないため、結果として、キャリアが消失せず比抵抗は上がらない。よって、真空中、または、不活性ガス中での熱処理は、酸化ガスである大気中での熱処理よりも比抵抗が下がるので望ましい。本発明で用いる真空は100Pa以下が望ましい。100Paより大きい値で熱処理すると残留酸素が多いため、酸化スズ添加酸化インジウムにある酸素欠損を埋めるため、結果として、キャリアが消失するため比抵抗が上がるので、望ましくない。さらに望ましくは1Pa以下である。また、不活性ガスとしては、アルゴン、窒素、ネオン、ヘリウムなどが望ましいが、これらになんら限定されるものではない。
還元ガス中での熱処理では、大気中での熱処理と同様に、熱処理により、酸化スズ添加酸化インジウムが結晶化し、そのとき酸化インジウムのインジウムサイトにスズが入り、結果として、キャリアが発生するため、比抵抗が下がる。また、還元ガス中には酸素などの酸化ガスが含まれないため、熱処理により、酸化スズ添加酸化インジウムにある酸素欠損が埋まらないため、結果として、キャリアが消失せず比抵抗は上がらない。さらに、還元ガス中での熱処理では、比抵抗を上昇させる要因となっている酸化スズ添加酸化インジウムの結晶粒界に多く存在する余剰酸素が、透明導電膜から抜けやすくなるため、比抵抗が下がる。よって、還元ガス中での熱処理は、酸化ガスである大気中での熱処理よりも比抵抗が下がるので望ましい。還元ガスとしては、水素、一酸化炭素、二酸化硫黄、硫化水素、ホルムアルデヒドなどが望ましいが、これらになんら限定されるものではない。また、本発明の透明導電性フィルムを、還元ガスと不活性ガスを混合して熱処理することも、還元ガスでの熱処理と同様な効果が得られるので望ましい。
本発明の透明導電性フィルムは、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×1
0−4Ω・cmであることが望ましい。透明導電膜の比抵抗は低ければ低いほうが望まし
いが、透明フィルム基材上の透明導電膜において、0.8×10−4Ω・cmより低い比
抵抗にすることは技術的に困難である。透明導電膜の比抵抗が3.0×10−4Ω・cm
より大きいと、透明導電性ガラスの代替には好ましくない。さらに望ましくは、透明導電膜の比抵抗が1.1×10−4〜2.8×10−4Ω・cmである。
0−4Ω・cmであることが望ましい。透明導電膜の比抵抗は低ければ低いほうが望まし
いが、透明フィルム基材上の透明導電膜において、0.8×10−4Ω・cmより低い比
抵抗にすることは技術的に困難である。透明導電膜の比抵抗が3.0×10−4Ω・cm
より大きいと、透明導電性ガラスの代替には好ましくない。さらに望ましくは、透明導電膜の比抵抗が1.1×10−4〜2.8×10−4Ω・cmである。
透明導電膜の比抵抗が低く、かつ透明導電膜の膜厚が薄い透明導電性フィルムを作製するためには、透明導電膜が化学的に非常に安定であることが望ましい。化学的に不安定は透明導電膜には主に2種類ある。1種類目は非晶が多い透明導電膜である。非晶が多い透明導電膜は、結晶が少ないためキャリア量が少ないために比抵抗が高い。2種類目は化学的に不安定な結晶が多い透明導電膜である。化学的に不安定な結晶が多い透明導電膜は、酸化されやすいために、キャリア量が少なくなり比抵抗が高い。つまり、透明導電膜の比抵抗が低く、かつ透明導電膜の膜厚が薄い透明導電性フィルムの透明導電膜は、化学的に非常に安定な結晶が多いことによると言える。
化学的に非常に安定な透明導電膜を作製するためには、透明導電膜が、基板温度が−60〜50℃においてスパッタリング法にて成膜され、その後、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理されることが好ましい。
化学的に非常に安定な透明導電膜であることを評価するために、透明導電膜の安定度を数値化することにした。透明導電膜の安定度指数の定義は次の通りである。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B ・・・(1)
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
化学的に不安定な透明導電膜は6mol/リットルの塩酸に浸漬すると、すぐに溶解してしまい透明導電膜の表面抵抗が大きくなるが、化学的に安定な透明導電膜は6mol/リットルの塩酸に浸漬しても、なかなか溶解しないために透明導電膜の表面抵抗は、6mol/リットルの塩酸に投入する前の表面抵抗に近い値になる。本発明の透明導電性フィルムは、透明導電膜の安定度指数が1.00〜1.30であり、さらに好ましくは1.00〜1.20である。透明導電膜の安定度指数が1.00未満は、透明導電膜を塩酸に浸漬すると表面抵抗が減少することになり、透明導電膜の膜厚が増加することになりありえない。透明導電膜の安定度指数が1.30より大きいと、化学的に不安定な透明導電膜であり、透明導電膜の比抵抗が3.0×10−4Ω・cmより大きくなるので望ましくない。
化学的に非常に安定な透明導電膜を作製するためには、透明導電膜が、基板温度が−60〜50℃においてスパッタリング法にて成膜され、その後、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理されることが好ましい。
化学的に非常に安定な透明導電膜であることを評価するために、透明導電膜の安定度を数値化することにした。透明導電膜の安定度指数の定義は次の通りである。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B ・・・(1)
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
化学的に不安定な透明導電膜は6mol/リットルの塩酸に浸漬すると、すぐに溶解してしまい透明導電膜の表面抵抗が大きくなるが、化学的に安定な透明導電膜は6mol/リットルの塩酸に浸漬しても、なかなか溶解しないために透明導電膜の表面抵抗は、6mol/リットルの塩酸に投入する前の表面抵抗に近い値になる。本発明の透明導電性フィルムは、透明導電膜の安定度指数が1.00〜1.30であり、さらに好ましくは1.00〜1.20である。透明導電膜の安定度指数が1.00未満は、透明導電膜を塩酸に浸漬すると表面抵抗が減少することになり、透明導電膜の膜厚が増加することになりありえない。透明導電膜の安定度指数が1.30より大きいと、化学的に不安定な透明導電膜であり、透明導電膜の比抵抗が3.0×10−4Ω・cmより大きくなるので望ましくない。
従来、0.1mol/リットルの塩酸による処理前後の表面抵抗の比で、耐薬品性を評価することが知られている(例えば、特開平8−174747号公報、及び、特開平9−57892号公報参照)。しかしながら、この希塩酸による処理では、結晶が多い透明導電膜と、非晶が多い透明導電膜を区別できるに過ぎず、化学的に不安定な結晶が多い透明導電膜と、化学的に非常に安定な結晶が多い透明導電膜とを区別できない。6mol/リットル程度の濃塩酸を使用することで、本発明における透明導電膜の評価の適切な評価が可能となる。
<透明フィルム基材>
本発明で用いる透明フィルム基材には、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%以上となる温度が190℃以上の透明フィルム基材であることが望ましい。透明フィルム基材に用いられる主成分としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、ポリアリレート等が挙げられるが、これらになんら限定されるものではない。
本発明で用いる透明フィルム基材には、フィルムの動的粘弾性測定において、30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%以上となる温度が190℃以上の透明フィルム基材であることが望ましい。透明フィルム基材に用いられる主成分としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、ポリアリレート等が挙げられるが、これらになんら限定されるものではない。
本発明で用いる透明フィルム基材の厚みは、7〜300μmの範囲であることが好ましく、15〜260μmの範囲が特に好ましい。透明フィルムの厚みが7μm未満では、取り扱い時に、透明フィルムが変形しやすいため、透明導電膜が割れる可能性が高くなり、望ましくない。一方、透明フィルムの厚みが300μmを越えると、ガラスの厚みに近いため、透明導電性ガラスの代替には好ましくない。
本発明で用いる透明フィルム基材は、本発明の目的を損なわない範囲で、前記フィルムをコロナ放電処理、グロー放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、電子線照射処理、オゾン処理等の表面活性化処理、硬化型樹脂層の塗布、光学調整膜の塗布あるいは成膜などを施してもよい。また、前記の処理を複数組み合わせてもよい。
以下に実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。なお、実施例における各種測定評価は下記の方法により行った。
(1)全光線透過率
JIS−K7136に準拠し、日本電色工業(株)製NDH−2000を用いて、熱処理後の透明導電性フィルムの全光線透過率を測定した。なお、静電容量式タッチパネル用途の透明導電性フィルムの実用的な全光線透過率の水準は85〜95%が好ましい。
JIS−K7136に準拠し、日本電色工業(株)製NDH−2000を用いて、熱処理後の透明導電性フィルムの全光線透過率を測定した。なお、静電容量式タッチパネル用途の透明導電性フィルムの実用的な全光線透過率の水準は85〜95%が好ましい。
(2)比抵抗
表面抵抗をJIS−K7194に準拠し、4端子法にて熱処理後の透明導電性フィルムで測定した。測定機は、三菱油化(株)製 LorestaMP MCP−T350を用
いた。比抵抗は表面抵抗と(3)で得られた膜厚の積で得られる。
表面抵抗をJIS−K7194に準拠し、4端子法にて熱処理後の透明導電性フィルムで測定した。測定機は、三菱油化(株)製 LorestaMP MCP−T350を用
いた。比抵抗は表面抵抗と(3)で得られた膜厚の積で得られる。
(3)透明導電膜の厚み(膜厚)
透明導電性薄膜層を積層したフィルム試料片を1mm×10mmの大きさに切り出し、電子顕微鏡用エポキシ樹脂に包埋した。これをウルトラミクロトームの試料ホルダに固定し、包埋した試料片の短辺に平行な断面薄切片を作製した。次いで、この切片の薄膜の著しい損傷がない部位において、透過型電子顕微鏡(JEOL社製、JEM−2010)を用い、加速電圧200kV、明視野で観察倍率1万倍にて写真撮影を行って得られた写真から膜厚を求めた。
透明導電性薄膜層を積層したフィルム試料片を1mm×10mmの大きさに切り出し、電子顕微鏡用エポキシ樹脂に包埋した。これをウルトラミクロトームの試料ホルダに固定し、包埋した試料片の短辺に平行な断面薄切片を作製した。次いで、この切片の薄膜の著しい損傷がない部位において、透過型電子顕微鏡(JEOL社製、JEM−2010)を用い、加速電圧200kV、明視野で観察倍率1万倍にて写真撮影を行って得られた写真から膜厚を求めた。
(4)透明フィルム基材の形状保持可能な温度の測定
透明フィルム基材を、フィルム幅方向と平行に長さ40mm×幅5mmに2箇所切り出した。これらを、測定長25mm、変位上限設定25%、周波数10Hzとし、5℃/分の昇温速度で、30℃から動的粘弾性測定を行った。貯蔵弾性率は2つのサンプルから得られた貯蔵弾性率の平均値を用いた。30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%となったときの温度を、透明フィルム基材の形状保持可能な温度の上限とした。動的粘弾性測定は、アイティー計測(株)製 動的粘弾性測定装置で行った。
透明フィルム基材を、フィルム幅方向と平行に長さ40mm×幅5mmに2箇所切り出した。これらを、測定長25mm、変位上限設定25%、周波数10Hzとし、5℃/分の昇温速度で、30℃から動的粘弾性測定を行った。貯蔵弾性率は2つのサンプルから得られた貯蔵弾性率の平均値を用いた。30℃での貯蔵弾性率に対し、貯蔵弾性率が10%となったときの温度を、透明フィルム基材の形状保持可能な温度の上限とした。動的粘弾性測定は、アイティー計測(株)製 動的粘弾性測定装置で行った。
(5)透明導電膜に含まれる酸化スズの添加量の測定
試料を切りとって(約15 cm2)石英製三角フラスコにいれ、6mol/リットル塩酸20 ミリリットルを加え、酸の揮発がないようにフィルムシールをした。室温で時々揺り動かしながら9日間放置し、ITO層を溶解させた。残フィルムを取り出し、ITO層が溶解した塩酸を測定液とした。溶解液中のSn、Inは、ICP発光分析装置(メーカー名;リガク、装置型式;CIROS-120 EOP)を用いて、検量線法により求めた。各元素の測定波長は、干渉のない、感度の高い波長を選択した。また、標準溶液は、市販のSn、In標準溶液を希釈して用いた。
試料を切りとって(約15 cm2)石英製三角フラスコにいれ、6mol/リットル塩酸20 ミリリットルを加え、酸の揮発がないようにフィルムシールをした。室温で時々揺り動かしながら9日間放置し、ITO層を溶解させた。残フィルムを取り出し、ITO層が溶解した塩酸を測定液とした。溶解液中のSn、Inは、ICP発光分析装置(メーカー名;リガク、装置型式;CIROS-120 EOP)を用いて、検量線法により求めた。各元素の測定波長は、干渉のない、感度の高い波長を選択した。また、標準溶液は、市販のSn、In標準溶液を希釈して用いた。
(6)透明導電膜の結晶化状態の判定
熱処理後の透明導電性薄膜層を積層したフィルム試料片を1mm×10mmの大きさに切り出し、導電性薄膜面を外向きにして適当な樹脂ブロックの上面に貼り付けた。これをトリミングしたのち、一般的なウルトラミクロトームの技法によってフィルム表面にほぼ平行な超薄切片を作製した。
この切片を透過型電子顕微鏡(JEOL社製、JEM−2010)で観察して著しい損傷がない導電性薄膜表面部分を選び、加速電圧200kV、直接倍率40000倍で写真撮影を行った。
透過型電子顕微鏡下で透明導電膜層を観察したときに、多角形状の領域を持つものが結晶であり、それ以外は非晶である。透過型電子顕微鏡下で観察したときの結晶質部と非晶質部の面積比を算出し、結晶質部に対する非晶質部の比が0.00〜0.16であれば、透明導電膜が結晶化していると判断した。
熱処理後の透明導電性薄膜層を積層したフィルム試料片を1mm×10mmの大きさに切り出し、導電性薄膜面を外向きにして適当な樹脂ブロックの上面に貼り付けた。これをトリミングしたのち、一般的なウルトラミクロトームの技法によってフィルム表面にほぼ平行な超薄切片を作製した。
この切片を透過型電子顕微鏡(JEOL社製、JEM−2010)で観察して著しい損傷がない導電性薄膜表面部分を選び、加速電圧200kV、直接倍率40000倍で写真撮影を行った。
透過型電子顕微鏡下で透明導電膜層を観察したときに、多角形状の領域を持つものが結晶であり、それ以外は非晶である。透過型電子顕微鏡下で観察したときの結晶質部と非晶質部の面積比を算出し、結晶質部に対する非晶質部の比が0.00〜0.16であれば、透明導電膜が結晶化していると判断した。
(7)透明導電膜の安定度指数の判定
透明導電膜の安定度指数は以下の式で表される。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
透明導電膜の安定度指数は以下の式で表される。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
(実施例1〜12)
実施例における透明導電膜作製条件は表1に記載した。また、各実施例において共通の作製条件は以下の通りである。
真空槽に表1に記載の透明フィルムを投入し、2.0×10−4Paまで真空引きをした。次に表1の酸素分圧の値になるように酸素を導入し、その後不活性ガスとしてアルゴンを導入し全圧を0.5Paにした。
実施例1〜10では、酸化スズを含む酸化インジウム焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度で電力を投入し、DCマグネトロンスパッタリング法により、透明フィルムに透明導電膜を成膜した。透明導電膜の膜厚についてはフィルムがターゲット上を通過するときの速度を変えて制御した。
透明導電膜を成膜したフィルムは、表1に記載の条件で熱処理を60分実施した後、各評価項目の測定を実施した。測定結果を表1に示した。
実施例における透明導電膜作製条件は表1に記載した。また、各実施例において共通の作製条件は以下の通りである。
真空槽に表1に記載の透明フィルムを投入し、2.0×10−4Paまで真空引きをした。次に表1の酸素分圧の値になるように酸素を導入し、その後不活性ガスとしてアルゴンを導入し全圧を0.5Paにした。
実施例1〜10では、酸化スズを含む酸化インジウム焼結ターゲットに1W/cm2の電力密度で電力を投入し、DCマグネトロンスパッタリング法により、透明フィルムに透明導電膜を成膜した。透明導電膜の膜厚についてはフィルムがターゲット上を通過するときの速度を変えて制御した。
透明導電膜を成膜したフィルムは、表1に記載の条件で熱処理を60分実施した後、各評価項目の測定を実施した。測定結果を表1に示した。
(比較例1〜8)
これらの比較例の透明導電膜作製条件については、表1に記載した。上記実施例説明における固定条件は、比較例についても同一条件を採用している。透明導電膜を成膜したフィルムは、表1に記載の条件で熱処理した後、各評価項目の測定を実施した。測定結果を表1に示した。
これらの比較例の透明導電膜作製条件については、表1に記載した。上記実施例説明における固定条件は、比較例についても同一条件を採用している。透明導電膜を成膜したフィルムは、表1に記載の条件で熱処理した後、各評価項目の測定を実施した。測定結果を表1に示した。
(参考例1)
参考例の透明導電膜作製条件については、表1に記載した。上記実施例説明における固定条件は、比較例についても同一条件を採用している。透明導電膜を成膜したフィルムは、表1に記載の条件で熱処理した後、各評価項目の測定を実施した。
参考例の透明導電膜作製条件については、表1に記載した。上記実施例説明における固定条件は、比較例についても同一条件を採用している。透明導電膜を成膜したフィルムは、表1に記載の条件で熱処理した後、各評価項目の測定を実施した。
表1に記載のとおり、実施例1〜12記載の透明導電性フィルムは、いずれも、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmで、透明導電膜の膜厚が10〜100nmとなっており、透明導電膜の安定度指数が1.00〜1.30であり、全光線透過率も実用的な水準であるため使用に適している。表1の結果にある比較例1〜8については、比抵抗の性能および透明導電膜の安定度指数が不満足になり、好ましいものではなかった。参考例1については膜厚、全光線透過率の性能が不満足であり、好ましいものではなかった。
上記の通り、本発明によれば、透明導電膜の比抵抗が低く、かつ透明導電膜の膜厚が薄い透明導電性フィルムを提供でき、これは静電容量式タッチパネルの大型化やタッチ感度の向上に極めて有効である。
Claims (2)
- 透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、かつ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜が、基板温度が−60〜50℃においてスパッタリング法にて成膜され、その後、真空中、または、不活性ガスおよび/または還元ガス中で、透明フィルム基材が形状保持可能な温度にて熱処理されてなり
、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmであることを特徴とする透明導電性フィルム。 - 透明フィルム基材の少なくとも一方の面に透明導電膜が積層された透明導電性フィルムであって、透明導電膜には酸化インジウムの他、酸化スズが8〜15質量%含まれ、透明導電膜の膜厚が10〜100nmであって、透明導電膜の比抵抗が0.8×10−4〜3.0×10−4Ω・cmであり、かつ下記(1)式で定義された透明導電膜の安定度指数が1.00〜1.30であることを特徴とする透明導電性フィルム。
(透明導電膜の安定度指数)=A÷B ・・・(1)
A:6mol/リットルの塩酸を25℃にし、その中に透明導電性フィルムを投入し、30秒間浸漬し、その後、純水に10秒浸漬し、常温で1時間風乾した後の表面抵抗。
B:25℃の6mol/リットルの塩酸に投入する前の、透明導電性フィルムの表面抵抗。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013507480A JPWO2013118693A1 (ja) | 2012-02-10 | 2013-02-05 | 透明導電性フィルム |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026851 | 2012-02-10 | ||
JP2012026851 | 2012-02-10 | ||
JP2012076606 | 2012-03-29 | ||
JP2012076606 | 2012-03-29 | ||
JP2013507480A JPWO2013118693A1 (ja) | 2012-02-10 | 2013-02-05 | 透明導電性フィルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013118693A1 true JPWO2013118693A1 (ja) | 2015-05-11 |
Family
ID=48947456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013507480A Pending JPWO2013118693A1 (ja) | 2012-02-10 | 2013-02-05 | 透明導電性フィルム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2013118693A1 (ja) |
TW (1) | TW201342400A (ja) |
WO (1) | WO2013118693A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9903015B2 (en) | 2012-12-19 | 2018-02-27 | Kaneka Corporation | Substrate with transparent electrode and method for manufacturing same |
CN104516577B (zh) * | 2013-09-29 | 2016-06-01 | 宸鸿科技(厦门)有限公司 | 触控面板 |
JP6202392B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2017-09-27 | 株式会社アルバック | 透明導電膜の製造方法、及び透明導電膜の製造装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06243740A (ja) * | 1993-02-15 | 1994-09-02 | Tonen Chem Corp | 透明導電膜の製造方法 |
JPH1161398A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-05 | Tdk Corp | 電極の製造方法および電極 |
JP2000144379A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Teijin Ltd | 透明導電積層体の製造方法 |
WO2000051139A1 (fr) * | 1999-02-24 | 2000-08-31 | Teijin Limited | Stratifie conducteur transparent, son procede de fabrication, et dispositif d'affichage comprenant ce stratifie conducteur transparent |
WO2011048996A1 (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム |
WO2011138922A1 (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-10 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-02-05 WO PCT/JP2013/052535 patent/WO2013118693A1/ja active Application Filing
- 2013-02-05 JP JP2013507480A patent/JPWO2013118693A1/ja active Pending
- 2013-02-06 TW TW102104564A patent/TW201342400A/zh unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06243740A (ja) * | 1993-02-15 | 1994-09-02 | Tonen Chem Corp | 透明導電膜の製造方法 |
JPH1161398A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-05 | Tdk Corp | 電極の製造方法および電極 |
JP2000144379A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Teijin Ltd | 透明導電積層体の製造方法 |
WO2000051139A1 (fr) * | 1999-02-24 | 2000-08-31 | Teijin Limited | Stratifie conducteur transparent, son procede de fabrication, et dispositif d'affichage comprenant ce stratifie conducteur transparent |
WO2011048996A1 (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム |
WO2011138922A1 (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-10 | 東洋紡績株式会社 | 透明導電性フィルム及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013118693A1 (ja) | 2013-08-15 |
TW201342400A (zh) | 2013-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zhu et al. | Enhanced field emission from hydrogenated TiO2 nanotube arrays | |
CN105830173B (zh) | 带有透明电极的基板及其制造方法 | |
JP4997448B2 (ja) | 窒化物半導体の製造方法および窒化物半導体デバイス | |
JP6270738B2 (ja) | 透明電極付き基板およびその製造方法 | |
CN1914695A (zh) | 透明电极的制造方法 | |
JP6016083B2 (ja) | 電子部品用積層配線膜および被覆層形成用スパッタリングターゲット材 | |
JP2010157497A (ja) | 透明導電膜付き基板とその製造方法 | |
JP2009151963A (ja) | 透明電極およびその製造方法 | |
JP2013089731A (ja) | エッチング液組成物およびエッチング方法 | |
JP6267641B2 (ja) | 透明電極付き基板の製造方法、および透明電極付き基板 | |
JPWO2013118693A1 (ja) | 透明導電性フィルム | |
CN103400632B (zh) | 一种石墨烯掺杂材料及其应用 | |
JP4022891B2 (ja) | 配線膜用Al合金膜および配線膜形成用スパッタリングターゲット材 | |
JP3749531B2 (ja) | 透明導電積層体の製造方法 | |
JP5580972B2 (ja) | スパッタリング複合ターゲット | |
JP2006202756A (ja) | 透明導電積層体 | |
Yi et al. | Improvement of electrical and mechanical properties of Ag nanoparticulate films by controlling the oxygen pressure | |
JP6292471B2 (ja) | 電子部品用金属薄膜および金属薄膜形成用Mo合金スパッタリングターゲット材 | |
TW201128661A (en) | Transparent conductive film and apparatus having the same | |
KR102189938B1 (ko) | 신축성 전극, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 플렉시블 전자 소자 | |
JP6361957B2 (ja) | 電子部品用積層配線膜および被覆層形成用スパッタリングターゲット材 | |
JP6292466B2 (ja) | 金属薄膜および金属薄膜形成用Mo合金スパッタリングターゲット材 | |
JP2009168937A (ja) | 密着性に優れた銅薄膜並びにこの銅薄膜からなる液晶表示装置用配線および電極 | |
JP2001143534A (ja) | 透明導電性膜およびその製造方法 | |
JP2014227594A (ja) | グラフェン製造用銅箔及びグラフェンの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171114 |