JPWO2013115275A1 - 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 - Google Patents
光電変換素子の製造方法および光電変換素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013115275A1 JPWO2013115275A1 JP2013556474A JP2013556474A JPWO2013115275A1 JP WO2013115275 A1 JPWO2013115275 A1 JP WO2013115275A1 JP 2013556474 A JP2013556474 A JP 2013556474A JP 2013556474 A JP2013556474 A JP 2013556474A JP WO2013115275 A1 JPWO2013115275 A1 JP WO2013115275A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- film
- photoelectric conversion
- substrate
- conversion element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 93
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 260
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 134
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 81
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 81
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 79
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 37
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 34
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 20
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 8
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017090 AlO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001530 Raman microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明の実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、基板2を準備する準備工程、第1保護膜3を成膜する第1成膜工程、および第2保護膜4を成膜する第2成膜工程を有している。各工程について、図を参照しつつ詳細に以下説明する。
光電変換層2aを有する基板2を準備する工程について説明する。本実施形態において基板2は、p型半導体基板を用いている。このp型半導体基板内にn型の逆導電型層22が形成されることによって、pn接合の光電変換層2aが形成されている。基板2は、単結晶シリコン基板の場合であれば、例えば引き上げ法などによって形成される。また基板2は、多結晶シリコン基板の場合であれば、例えば鋳造法などによって形成される。なお、以下の説明においては、基板2としてp型の多結晶シリコン基板を用いた例について説明する。基板2として、n型の多結晶シリコン基板を用いてもよい。
次に、図1に示すように、基板2の第2面2Bに、第1保護膜3を成膜する。第1保護膜3は、第1面2Aまたは第2面2Bのどちらか一方に成膜してもよいし、第1面2Aおよび第2面2Bの両面に成膜してもよい。さらに、第1保護膜3は、基板2の第1面2Aおよび第2面2Bとは異なる面(側面など)にさらに成膜してもよい。
第1成膜工程の後、図2に示すように、第1保護膜3上に第2保護膜4を成膜する。第1保護膜3上にスパッタリング法または塗布法を用いて酸化アルミニウムを堆積することにより、第2保護膜4を成膜できる。
第2成膜工程を、水素を含む雰囲気中で行なってもよい。雰囲気中の水素は、第1成膜工程と同様に設定すればよい。第2保護膜4を成膜する際に、水素を含む雰囲気中で行なうことによって、第2保護膜4内に水素が含まれることとなる。そのため、後述する電極形成工程の加熱を行なった際に、第2保護膜4内に含まる水素の一部を第1保護膜3に拡散させることができる。
光電変換素子の製造方法は、塗布工程および電極形成工程をさらに有していてもよい。
次に、第2成膜工程の後、図3に示すように、第2保護膜4上に導電ペースト5を所定のパターンに塗布する。導電ペースト5としては、例えば、アルミニウム、スズ、マグネシウムまたは銀などを用いることができる。導電ペースト5の材料は、接続される半導体の導電型によって決めることができる。なお、導電ペースト5の厚みは、第2保護膜4および第1保護膜3の厚みによって適宜設定すればよいが、例えば5μm以上30μm以下となるように設定することができる。
塗布工程の後、第1保護膜3、第2保護膜4および導電ペースト5を加熱する。加熱温度および加熱時間は、第1保護膜3、第2保護膜4および導電ペースト5の材料および厚みによって適宜設定することができる。加熱温度は例えば500℃以上900℃以下となるように設定することができる。加熱時間は例えば1分以上30分以下となるように設定することができる。
第1成膜工程および第2成膜工程の間に、第1保護膜3を加熱する第1加熱工程をさらに有していてもよい。第1加熱工程は、第1保護膜3の密度を、加熱前と比較して高くすればよく、適宜、加熱温度および加熱時間を調整することができる。第1保護膜3を加熱する温度は、例えば酸化アルミニウムの融点(2054℃)よりも低い温度に設定することができ、例えば500℃以下となるように設定することができる。加熱時間は、例えば1分以上60分以下となるように設定することができる。第1保護膜3の密度は、例えば第2保護膜4の密度よりも高くなるように設定することができる。
第2成膜工程および電極形成工程の間に、第2保護膜4を加熱する第2加熱工程をさらに有していてもよい。第2加熱工程は、第2保護膜4の密度が、加熱前と比較して高くなればよく、適宜、加熱温度および加熱時間を調整することができる。第2保護膜4を加熱する温度は、例えば酸化アルミニウムの融点(2054℃)よりも低い温度であればよく、例えば500℃以下となるように設定することができる。加熱時間は、例えば1分以上60分以下となるように設定できる。
第2成膜工程において、第2保護膜4を第1保護膜3よりも厚く成膜してもよい。すなわち、第2保護膜4を厚く成膜することによって、第1保護膜3の薄くすることができる。ここで、第1保護膜3は、基板2の第2面2Bの表面に対する損傷を考慮して、成膜方法および成膜条件などを決める必要があり、第1成膜工程において、ALD法またはCVD法が好適に用いられることから生産性が低下することがあった。そのため、第1保護膜3を薄くすることによって、第1成膜工程にかかる時間を短縮することができ、光電変換素子1の生産性を向上させることができる。
次に、本発明の一実施形態に係る光電変換素子の製造方法によって製造された光電変換素子について説明する。
第1保護膜3’に含まれる水素の濃度は、図7に示す通り、厚み方向における最大値が基板2’寄りに存在していてもよい。このように、第1保護膜3’に含まれる水素の濃度の最大値が基板2’寄りに存在していることによって、基板2’との界面付近に水素が多く存在することとなり、基板2’の表面をさらに終端化させやすくすることができる。その結果、基板2’の表面再結合をさらに減らすことができる。
まず、基板2として、1辺が156mmで厚さが約200μmのp型の導電型を呈するシリコン基板を準備した。具体的に、基板2は、第1面2Aおよび第2面2Bが現出するように、シリコンのインゴットを薄切りにして形成されたものである。そして、基板2の表面に対して、10倍に希釈されたフッ酸の水溶液によるごく微量のエッチングを施すことで、基板2の切断面における機械的なダメージを有する層および汚染された層を除去した。次に、基板2の第1面2A側からリンを拡散させて、逆導電型層22を形成した。
実施例1と同様に作製した光電変換素子1’について、SIMS分析を行なった。SIMSは、ダイナミックSIMSを用いた。結果を図7に示す。図7は、光電変換素子1’の基板2’、第1保護膜3’および第2保護膜4’を第2保護膜4’の表面から厚み方向にSIMS分析を行なったものである。図7において、7は加熱前の光電変換素子1を分析したものであり、8は700℃で加熱した後の光電変換素子1’を分析したものである。また、図7において、9は比較例であり、第1保護膜3のみをALD法で成膜したものである。
Claims (12)
- 光電変換層を持つ、シリコンからなる基板を準備する準備工程と、
前記基板上に、水素を含む雰囲気中で、原子堆積法または化学気相成長法によって酸化アルミニウムを堆積して第1保護膜を成膜する第1成膜工程と、
該第1成膜工程の後、前記第1保護膜上に、スパッタリング法または塗布法によって酸化アルミニウムを堆積して第2保護膜を成膜する第2成膜工程とを有する光電変換素子の製造方法。 - 前記第2成膜工程を、水素を含む雰囲気中で行なう請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第1成膜工程および前記第2成膜工程の間に、前記第1保護膜を酸化アルミニウムの融点よりも低い温度で加熱する第1加熱工程をさらに有する請求項1または2に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第1加熱工程を、水素を含む雰囲気中で行なう請求項3に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2成膜工程の後、前記第2保護膜上に、アルミニウムを主成分として含む導電ペーストを所定のパターンに塗布する塗布工程と、
該塗布工程の後、前記第1保護膜、前記第2保護膜および前記導電ペーストを加熱して、該導電ペースト中のアルミニウムの一部を前記第2保護膜内および前記第1保護膜内に侵入させることによって導電経路を形成して、前記第2保護膜上に前記導電ペーストからなる電極を形成するとともに該電極を前記基板に電気的に接続する電極形成工程とをさらに有する請求項1〜4のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記第2成膜工程および前記電極形成工程の間に、前記第2保護膜を酸化アルミニウムの融点よりも低い温度で加熱する第2加熱工程をさらに有する請求項5のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2成膜工程において、前記第2保護膜を前記第1保護膜よりも厚く形成する請求項1〜6のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2成膜工程において、前記第2保護膜を、膜厚が前記第1保護膜の膜厚に対して2倍以上6倍以下となるように形成する請求項1〜7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。
- 光電変換層を持つ、シリコンからなる基板と、
該基板上に堆積された、酸化アルミニウムからなる第1保護膜と、
該第1保護膜上に堆積された、酸化アルミニウムからなる第2保護膜とを有し、
前記第1保護膜に含まれる水素の濃度が、前記第2保護膜に含まれる水素の濃度よりも高い光電変換素子。 - 前記第1保護膜に含まれる水素の濃度は、厚み方向における最大値が、前記基板寄りに存在している請求項9に記載の光電変換素子。
- 前記第1保護膜に含まれる水素の濃度を、前記第2保護膜との境界の点において濃度C1とし、前記第1保護膜の膜厚が半分となる点においてC2とし、前記最大値を示す点において濃度C3としたときに、(C3−C2)>(C2−C1)の関係が成り立つ請求項10に記載の光電変換素子。
- 前記第1保護膜に含まれる水素の濃度の最小値は、前記第2保護膜に含まれる水素の濃度の最小値の2倍以上である請求項9〜11のいずれかに記載の光電変換素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013556474A JP5762575B2 (ja) | 2012-01-30 | 2013-01-30 | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012017018 | 2012-01-30 | ||
JP2012017018 | 2012-01-30 | ||
JP2012145039 | 2012-06-28 | ||
JP2012145039 | 2012-06-28 | ||
JP2013556474A JP5762575B2 (ja) | 2012-01-30 | 2013-01-30 | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 |
PCT/JP2013/052098 WO2013115275A1 (ja) | 2012-01-30 | 2013-01-30 | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013115275A1 true JPWO2013115275A1 (ja) | 2015-05-11 |
JP5762575B2 JP5762575B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=48905307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013556474A Active JP5762575B2 (ja) | 2012-01-30 | 2013-01-30 | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9171972B2 (ja) |
JP (1) | JP5762575B2 (ja) |
WO (1) | WO2013115275A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022111806A (ja) * | 2021-01-20 | 2022-08-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および機器 |
CN220543924U (zh) * | 2023-06-25 | 2024-02-27 | 天合光能股份有限公司 | 太阳能电池、光伏组件和光伏系统 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3376051B2 (ja) | 1993-12-03 | 2003-02-10 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2006332510A (ja) | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の製造方法 |
EP2479804B1 (en) * | 2009-09-18 | 2020-09-23 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing a solar cell |
EP2566823B1 (en) * | 2010-05-04 | 2016-10-05 | E. I. du Pont de Nemours and Company | Thick-film pastes containing lead-tellurium-boron-oxides, and their use in the manufacture of semiconductor devices |
US20130061926A1 (en) * | 2010-05-20 | 2013-03-14 | Kyocera Corporation | Solar cell element and method for producing the same, and solar cell module |
ES2974490T3 (es) | 2010-05-21 | 2024-06-27 | Asm Int Nv | Celda solar y método de fabricación de la misma |
JP5782768B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光電変換装置およびその製造方法 |
US20120255612A1 (en) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Dieter Pierreux | Ald of metal oxide film using precursor pairs with different oxidants |
US9209322B2 (en) * | 2011-08-10 | 2015-12-08 | Ascent Solar Technologies, Inc. | Multilayer thin-film back contact system for flexible photovoltaic devices on polymer substrates |
WO2013123225A1 (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | Applied Materials, Inc. | Passivation film stack for silicon-based solar cells |
CN103377753B (zh) * | 2012-04-17 | 2017-07-14 | 赫劳斯贵金属北美康舍霍肯有限责任公司 | 用于导电糊组合物的无机反应体系 |
JP5674707B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2015-02-25 | 株式会社東芝 | 表示装置 |
-
2013
- 2013-01-30 WO PCT/JP2013/052098 patent/WO2013115275A1/ja active Application Filing
- 2013-01-30 JP JP2013556474A patent/JP5762575B2/ja active Active
- 2013-01-30 US US14/375,537 patent/US9171972B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9171972B2 (en) | 2015-10-27 |
US20150001657A1 (en) | 2015-01-01 |
WO2013115275A1 (ja) | 2013-08-08 |
JP5762575B2 (ja) | 2015-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6411604B2 (ja) | 太陽電池 | |
JP5414298B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
WO2006117980A1 (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池並びに半導体装置の製造方法 | |
JP6482692B2 (ja) | 太陽電池素子 | |
WO2015182503A1 (ja) | 太陽電池素子およびその製造方法並びに太陽電池モジュール | |
TWI673883B (zh) | 太陽電池元件及太陽電池元件之製造方法 | |
WO2013095924A1 (en) | Laser contact processes, laser system, and solar cell structures for fabricating solar cells with silicon nanoparticles | |
JP2013161847A (ja) | 太陽電池 | |
Singh et al. | Fabrication of c-Si solar cells using boric acid as a spin-on dopant for back surface field | |
JP2015050277A (ja) | 太陽電池およびその製造方法 | |
JP2011166021A (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 | |
JP6144778B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP5762575B2 (ja) | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 | |
US20160072001A1 (en) | Method for fabricating crystalline photovoltaic cells | |
CN111092128A (zh) | 太阳能电池用基板的制造方法及太阳能电池用基板 | |
JP6139466B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
CN115101622B (zh) | 一种太阳能电池及其制作方法、光伏组件 | |
JP2005056875A (ja) | 太陽電池およびその製造方法 | |
JP2014154619A (ja) | 光電変換素子の製造方法 | |
KR20150038021A (ko) | 패시베이션 막, 도포형 재료, 태양 전지 소자 및 패시베이션 막이 형성된 실리콘 기판 | |
JP5516611B2 (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 | |
CN111129217B (zh) | 用于制造太阳能电池的方法和太阳能电池 | |
JP4977587B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP5780934B2 (ja) | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 | |
JP2006041108A (ja) | 太陽電池の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5762575 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |