JP2006332510A - 太陽電池素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1の受光面に、シラン及びアンモニアを用いたプラズマ処理により第一窒化シリコン膜3を形成する第一プラズマ工程と、第一窒化シリコン膜3の表面にシラン及びアンモニアを用いたプラズマ処理により第二窒化シリコン膜4を形成する第二プラズマ工程と、を有して成る太陽電池素子の製造方法において、シランの流量をA、アンモニアの流量をBとし、それらの流量比をC=B/Aで表した場合、第一プラズマ工程における流量比C1は第二プラズマ工程における流量比C2よりも大きいことを特徴とする太陽電池素子の製造方法。
【選択図】図1
Description
2 :拡散層
3 :第一窒化シリコン膜
4 :第二窒化シリコン膜
5 :表面電極
6 :集電電極
7 :出力取出電極
8 :BSF層
11:半導体基板
12:拡散層
13:窒化シリコン膜
15:表面電極
16:集電電極
17:出力取出電極
18:BSF層
Claims (2)
- 半導体基板の受光面に、シラン及びアンモニアを用いたプラズマ処理により第一窒化シリコン膜を形成する第一プラズマ工程と、
前記第一窒化シリコン膜の表面にシラン及びアンモニアを用いたプラズマ処理により第二窒化シリコン膜を形成する第二プラズマ工程と、を有して成る太陽電池素子の製造方法において、
前記シランの流量をA、前記アンモニアの流量をBとし、それらの流量比をC=B/Aで表した場合、第一プラズマ工程における流量比C1は第二プラズマ工程における流量比C2よりも大きいことを特徴とする太陽電池素子の製造方法。 - 前記第一窒化シリコン膜及び前記第二窒化シリコン膜の屈折率は1.8〜2.6であり、且つ、第一窒化シリコン膜及び第二窒化シリコン膜の合計層厚みが500〜1200Åであることを特徴とする請求項1記載の太陽電池素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005157080A JP2006332510A (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | 太陽電池素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP (1) | JP2006332510A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008105411A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法 |
US20110240114A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a negatively charged passivation layer over a diffused p-type region |
WO2011131000A1 (zh) * | 2010-04-20 | 2011-10-27 | 常州天合光能有限公司 | 实现太阳能电池背表面缓变叠层钝化薄膜的方法 |
CN102800737A (zh) * | 2011-05-23 | 2012-11-28 | 上海神舟新能源发展有限公司 | 一种晶体硅太阳电池钝化膜的制备方法 |
WO2013115275A1 (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-08 | 京セラ株式会社 | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 |
CN103456838A (zh) * | 2013-08-29 | 2013-12-18 | 东莞南玻光伏科技有限公司 | 太阳能电池钝化膜的制作方法及太阳能电池的制作方法 |
WO2014032457A1 (zh) * | 2012-09-03 | 2014-03-06 | 东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司 | 一种制备具有抗pid效应的减反射膜的方法 |
-
2005
- 2005-05-30 JP JP2005157080A patent/JP2006332510A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008105411A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法 |
US20110240114A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a negatively charged passivation layer over a diffused p-type region |
CN102834930A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-12-19 | 应用材料公司 | 在扩散p型区域上方形成负电荷钝化层的方法 |
WO2011131000A1 (zh) * | 2010-04-20 | 2011-10-27 | 常州天合光能有限公司 | 实现太阳能电池背表面缓变叠层钝化薄膜的方法 |
CN102800737A (zh) * | 2011-05-23 | 2012-11-28 | 上海神舟新能源发展有限公司 | 一种晶体硅太阳电池钝化膜的制备方法 |
WO2013115275A1 (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-08 | 京セラ株式会社 | 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 |
US9171972B2 (en) | 2012-01-30 | 2015-10-27 | Kyocera Corporation | Method for producing photoelectric converter and phtotelectric converter |
WO2014032457A1 (zh) * | 2012-09-03 | 2014-03-06 | 东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司 | 一种制备具有抗pid效应的减反射膜的方法 |
JP2015529852A (ja) * | 2012-09-03 | 2015-10-08 | 東方電気グループ(宜興)Magi太陽エネルギー科技有限公司 | アンチpid効果を有する反射防止コーティングの製作方法 |
US9548404B2 (en) | 2012-09-03 | 2017-01-17 | Dongfang Electric (Yixing) Magi Solar Power Technology Co., Ltd | Method for fabricating anti-reflection film with anti-PID effect |
CN103456838A (zh) * | 2013-08-29 | 2013-12-18 | 东莞南玻光伏科技有限公司 | 太阳能电池钝化膜的制作方法及太阳能电池的制作方法 |
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