JPWO2013073216A1 - 炭化珪素基板、半導体装置およびこれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
炭化珪素基板(10)は、炭化珪素からなるベース層(11)と、単結晶炭化珪素からなり、平面的に見てベース層(11)上に並べて配置された炭化珪素層(12)と、隣り合う炭化珪素層(12)の間に形成された隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部(13)とを備えている。また、充填部(13)の表面粗さは、RMS値で50μm以下である。
Description
本発明は、炭化珪素基板、半導体装置およびこれらの製造方法に関するものであり、より特定的には、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板および当該炭化珪素基板を備える半導体装置ならびにこれらの製造方法に関するものである。
近年、半導体装置の高耐圧化、低損失化などを可能とするため、半導体装置を構成する材料としての炭化珪素の採用が進められている。炭化珪素は、従来より半導体装置を構成する材料として広く用いられている珪素に比べてバンドギャップが大きいワイドバンドギャップ半導体である。そのため、半導体装置を構成する材料として炭化珪素を採用することにより、半導体装置の高耐圧化、オン抵抗の低減などを達成することができる。また、炭化珪素を材料として採用した半導体装置は、珪素を材料として採用した半導体装置に比べて、高温環境下で使用された場合の特性の低下が小さいという利点も有している。
半導体装置を効率よく製造するためには、大口径の基板を用いることが有効である。そのため、単結晶炭化珪素からなる直径3インチまたは4インチの炭化珪素基板やその製造方法に関して種々の検討がなされ、たとえば昇華法を用いた炭化珪素基板の製造方法が提案されている。
ここで、昇華法によって大口径の炭化珪素基板を作製するためには、温度が均一な領域を広くする必要がある。しかし、昇華法における炭化珪素の成長温度は2000℃以上と高く温度制御が困難であるため、温度が均一な領域を広くすることは容易ではない。さらに、昇華法による炭化珪素基板の作製においては、炭化珪素の結晶成長の過程を確認することが難しく、外形上同条件で炭化珪素を結晶成長させた場合でも、得られた基板(結晶)の品質が異なるという問題も生じ得る。このように、比較的大口径化が容易である昇華法を用いた場合でも、結晶性に優れた大口径の炭化珪素基板を作製することは困難である。
これに対して、たとえば結晶性に優れた小口径のSiC基板を平面的に複数並べて配置した上で、これらを支持する大口径のベース基板を形成することにより、これらのSiC基板を結晶性に優れた大口径の炭化珪素基板として取り扱うことなどが提案されている(たとえば、国際公開第2011/052321号パンフレット(特許文献1)参照)。
特許文献1において提案されている炭化珪素基板の製造方法においては、結晶性に優れた小口径のSiC基板と大口径のベース基板とを近接昇華法等によって接合することにより、大口径の基板として取り扱うことが可能な炭化珪素基板を得ることができる。しかし、この方法においては、SiC基板とベース基板との十分な密着性が得られる一方で、隣り合うSiC基板の間の隙間を充填すると、上記隙間における充填率の低下や充填部における表面粗さの悪化などの充填不良が発生する場合がある。このような炭化珪素基板上にエピタキシャル成長層を形成すると、上述のような充填不良に起因して、たとえば針状突起などの異常成長した結晶が形成される。そして、このような針状突起は、その後の半導体装置の製造工程において容易に破損してパーティクル源となり、結果として半導体装置の電気特性や耐久性などの品質の劣化を招くという問題点がある。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板および当該炭化珪素基板を備える半導体装置ならびにこれらの製造方法を提供することである。
本発明に従った炭化珪素基板は、炭化珪素からなるベース層と、単結晶炭化珪素からなり、平面的に見てベース層上に並べて配置された炭化珪素層と、隣り合う炭化珪素層の間に形成された隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部とを備えている。また、充填部の表面粗さは、RMS値で50μm以下である。
本発明に従った炭化珪素基板において、隣り合う炭化珪素層の間に形成された隙間を充填する充填部の表面粗さは、RMS値で50μm以下にまで低減されている。そのため、本発明に従った炭化珪素基板の表面上へのエピタキシャル成長層の形成においては、異常成長した結晶の形成が抑制され、その結果このような結晶の破損により生成するパーティクルの発生を抑制することができる。したがって、本発明に従った炭化珪素基板によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板を提供することができる。
上記炭化珪素基板において、充填部の表面粗さは、RMS値で0.1μm以上であってもよい。
充填部の表面粗さがRMS値で0.1μm以下である場合には、上記炭化珪素基板を用いた半導体装置の歩留まりに対して、充填部の表面粗さの低減による顕著な効果は得られない。そのため、充填部の表面粗さをRMS値で0.1μm以上とすることにより、高品質なエピタキシャル成長層の形成を可能としつつ、上記炭化珪素基板の製造におけるコスト削減や生産性の改善を図ることができる。
上記炭化珪素基板において、炭化珪素層の表面粗さは、RMS値で0.5nm以下であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板上において高品質なエピタキシャル成長層をより容易に形成することができる。
上記炭化珪素基板において、炭化珪素層の転位密度は、1×103cm−2以上2×104cm−2以下であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板を用いた半導体装置の歩留まりを向上させることができる。
上記炭化珪素基板において、炭化珪素層のキャリア濃度は、2×1018cm−3以上2×1019cm−3であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板を用いた半導体装置において良好なオン抵抗を達成することができる。
上記炭化珪素基板の直径は、110mm以上であってもよい。このような大口径の炭化珪素基板を用いることにより、半導体装置の製造におけるコスト削減や効率化を図ることができる。
上記炭化珪素基板において、複数の炭化珪素層の各々は、六方晶炭化珪素からなっていてもよい。また、複数の炭化珪素層の各々のベース層とは反対側の主表面を構成する面の{0001}面に対するオフ角は、0.1°以上10°以下であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板上において容易にエピタキシャル成長層を形成することができる。
上記炭化珪素基板において、複数の炭化珪素層の各々は、六方晶炭化珪素からなっていてもよい。また、複数の炭化珪素層の各々のベース層とは反対側の主表面を構成する面の{03−38}面に対するオフ角は、4°以下であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板を用いた半導体装置において、良好なチャネル移動度を達成することができる。
上記炭化珪素基板において、炭化珪素層が配置される側の主表面上に存在する1cm2当たりの金属原子数は、1×1015以下であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板上において高品質なエピタキシャル成長層をさらに容易に形成することができる。
上記炭化珪素基板において、炭化珪素層が配置される側の主表面上に存在する1cm2当たりのNa原子数は、1×1014以下であってもよい。これにより、上記炭化珪素基板上において高品質なエピタキシャル成長層を一層容易に形成することができる。
本発明に従った半導体装置は、基板と、基板上に形成された電極とを備えている。また、基板は、上記本発明に従った炭化珪素基板である。
本発明に従った半導体装置は、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な上記本発明に従った炭化珪素基板を備えている。したがって、本発明に従った半導体装置によれば、高品質な半導体装置を提供することができる。
上記半導体装置は、基板上に形成されたエピタキシャル成長層をさらに備えていてもよい。また、電極は、エピタキシャル成長層上に形成されていてもよい。
これにより、高品質なエピタキシャル成長層上に電極が形成された半導体装置を容易に製造することができる。
本発明の一の局面に従った炭化珪素基板の製造方法は、平面的に見て並べて配置された単結晶炭化珪素からなる複数の炭化珪素層が炭化珪素からなるベース層に保持された複合基板を準備する工程と、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表層部を除去する工程と、ベース層の表層部を除去する工程の後に、隣り合う炭化珪素層同士の隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部を形成する工程とを備えている。
また、本発明の他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法は、平面的に見て並べて配置された単結晶炭化珪素からなる複数の炭化珪素層が炭化珪素からなるベース層に保持された複合基板を準備する工程と、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面を覆う被覆層を形成する工程と、ベース層の表面を覆う被覆層を形成する工程の後に、隣り合う炭化珪素層同士の隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部を形成する工程とを備えている。
本発明者は、隣り合う炭化珪素層同士の隙間の充填率の低下や充填部における表面粗さの悪化の原因について詳細な検討を行なった。その結果、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面粗さが大きいことが原因となっていることが明らかとなった。
本発明の一の局面に従った炭化珪素基板の製造方法では、充填部が形成される前に、隣り合う炭化珪素の間から露出するベース層の表層部が除去されることにより、上記ベース層の表面粗さが低減される。また、本発明の他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法では、充填部が形成される前に、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面を覆う被覆層が形成されることにより、上記ベース層の表面粗さが低減される。このように、本発明に従った炭化珪素基板の製造方法においては、充填部が形成される前に、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面粗さが低減されるため、炭化珪素層同士の隙間における充填率の低下や充填部における表面粗さの悪化が抑制された炭化珪素基板を製造することができる。そのため、炭化珪素基板上へのエピタキシャル成長層の形成においては、炭化珪素層同士の隙間における充填率や充填部における表面粗さの悪化に起因して発生する結晶の異常成長などが抑制され、結果として半導体装置の電気特性や耐久性などの品質の劣化の原因となるパーティクルの発生が抑制される。したがって、本発明に従った炭化珪素基板の製造方法によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板を製造することができる。
上記一の局面に従った炭化珪素基板の製造方法において、ベース層の表層部を除去する工程では、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面粗さが、RMS値で0.5μm以下となるようにベース層の表層部が除去されてもよい。
これにより、隣り合う炭化珪素層同士の隙間における充填率や充填部における表面粗さの悪化をより効果的に抑制することができる。
上記他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法において、被覆層を形成する工程では、炭化珪素からなる被覆層が形成されてもよい。
このように、炭化珪素からなる被覆層を形成することにより、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板をより容易に製造することができる。
上記他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法において、被覆層を形成する工程では、非晶質または多結晶炭化珪素からなる被覆層が形成されてもよい。
これにより、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面を覆う炭化珪素からなる被覆層をより容易に形成することができる。
上記他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法において、被覆層を形成する工程は、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面を覆い、SiおよびCからなる有機材料を含む前駆体層を形成する工程と、前駆体層を焼成することにより、炭化珪素からなる被覆層を形成する工程とを含んでいてもよい。
これにより、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面を覆う炭化珪素からなる被覆層をさらに容易に形成することができる。
上記他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法において、被覆層を形成する工程では、CVD法により被覆層が形成されてもよい。
これにより、隣り合う炭化珪素層の間から露出するベース層の表面を覆う炭化珪素からなる被覆層を一層容易に形成することができる。
上記他の局面に従った炭化珪素基板の製造方法において、被覆層を形成する工程では、被覆層の表面粗さがRMS値で0.3μm以下となるように被覆層が形成されてもよい。
これにより、炭化珪素層同士の隙間における充填率の低下や充填部における表面粗さの悪化をさらに効果的に抑制することができる。
本発明の一の局面に従った半導体装置の製造方法は、基板を準備する工程と、基板上に電極を配置する工程とを備えている。そして、基板を準備する工程では、上記本発明に従った炭化珪素基板の製造方法により製造された炭化珪素基板が準備される。
また、本発明の他の局面に従った半導体装置の製造方法は、基板を準備する工程と、基板上に電極を配置する工程とを備えている。そして、基板を準備する工程では、上記本発明に従った炭化珪素基板が準備される。
本発明の一の局面に従った半導体装置の製造方法においては、上記本発明に従った炭化珪素基板の製造方法により製造された、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板が準備される。また、本発明の他の局面に従った半導体装置の製造方法においては、さらに高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な上記本発明に従った炭化珪素基板が準備される。したがって、本発明に従った半導体装置の製造方法によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成することにより、高品質な半導体装置を製造することができる。
上記半導体装置の製造方法は、基板上にエピタキシャル成長層を形成する工程をさらに備えていてもよい。また、電極を形成する工程では、エピタキシャル成長層上に電極が形成されてもよい。
これにより、高品質なエピタキシャル成長層上に電極が形成された半導体装置を容易に製造することができる。
以上の説明から明らかなように、本発明に従った炭化珪素基板、半導体装置およびこれらの製造方法によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板および当該炭化珪素基板を備える半導体装置ならびにこれらの製造方法を提供することができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。また、本明細書中においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示す。また、負の指数については、結晶学上、”−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、本明細書中では、数字の前に負の符号を付けている。
(実施の形態1)
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態1に係る炭化珪素基板および半導体装置、ならびにこれらの製造方法について説明する。はじめに、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の構造について、図1および図2を参照して説明する。図1を参照して、本実施の形態に係る半導体装置としてのMOSFET1は、炭化珪素基板10と、エピタキシャル成長層である半導体層20と、酸化膜30と、ゲート電極40と、ソース電極50と、ドレイン電極60とを備えている。半導体層20には、ドリフト領域21と、ボディ領域22と、ソース領域23と、コンタクト領域24とが形成されている。また、炭化珪素基板10は、本実施の形態に係る炭化珪素基板である。
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態1に係る炭化珪素基板および半導体装置、ならびにこれらの製造方法について説明する。はじめに、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の構造について、図1および図2を参照して説明する。図1を参照して、本実施の形態に係る半導体装置としてのMOSFET1は、炭化珪素基板10と、エピタキシャル成長層である半導体層20と、酸化膜30と、ゲート電極40と、ソース電極50と、ドレイン電極60とを備えている。半導体層20には、ドリフト領域21と、ボディ領域22と、ソース領域23と、コンタクト領域24とが形成されている。また、炭化珪素基板10は、本実施の形態に係る炭化珪素基板である。
図2を参照して、炭化珪素基板10は、炭化珪素からなるベース層11と、単結晶炭化珪素からなる複数の炭化珪素層12と、炭化珪素からなる充填部13とを備えている。炭化珪素層12は、平面的に見て互いに間隔が形成されるようにベース層11の主表面11A上に複数並べて配置されている。充填部13は、隣り合う炭化珪素層12の隙間を充填するように形成されている。また、充填部13の主表面13Aの表面粗さは、RMS値で50μm以下となっている。
図1を参照して、ドリフト領域21は、炭化珪素基板10の一方の主表面上に形成されている。ドリフト領域21は、たとえばN(窒素)などのn型不純物を含むことにより、導電型がn型となっている。
ボディ領域22は、半導体層20の主表面20Aを含み、ドリフト領域21から見て炭化珪素基板10とは反対側に形成されている。ボディ領域22は、たとえばAl(アルミニウム)やB(硼素)などのp型不純物を含むことにより、導電型がp型となっている。
ソース領域23は、主表面20Aを含み、ボディ領域22に接触するように形成されている。ソース領域23は、たとえばP(リン)などのn型不純物を含むことにより、ドリフト領域21と同様に導電型がn型となっており、その濃度は、ドリフト領域21よりも高くなっている。
コンタクト領域24は、主表面20Aを含み、ボディ領域22およびソース領域23に接触するように形成されている。コンタクト領域24は、ボディ領域22と同様に、たとえばAl(アルミニウム)やB(硼素)などのp型不純物を含むことにより導電型がp型となっており、その濃度は、ボディ領域22よりも高くなっている。
酸化膜30は、たとえばSiO2(二酸化珪素)からなっており、主表面20Aを部分的に覆うように形成されている。
ゲート電極40は、たとえば不純物が添加されたポリシリコン、Alなどの導電体からなっており、酸化膜30上に接触して形成されている。より具体的には、ゲート電極40は、ゲート電極40下において互いに対向する一方のソース領域23から他方のソース領域23にまで延在するように形成されている。
ソース電極50は、主表面20A上において、ソース領域23およびコンタクト領域24に接触するように形成されている。ソース電極50は、ソース領域23に対してオーミック接触することができる材料、たとえばNixSiy(ニッケルシリサイド)、TixSiy(チタンシリサイド)、AlxSiy(アルミシリサイド)およびTixAlySiz(チタンアルミシリサイド)などからなっており、ソース領域23に対して電気的に接続されている。
ドレイン電極60は、炭化珪素基板10から見てドリフト領域21とは反対側の主表面に接触して形成されている。ドレイン電極60は、たとえばソース電極50と同様の材料からなっており、炭化珪素基板10に対して電気的に接続されている。
次に、本実施の形態に係る半導体装置としてのMOSFET1の動作について説明する。図1を参照して、ゲート電極40に印加された電圧が閾値電圧未満の状態、すなわちオフ状態では、ソース電極50とドレイン電極60との間に電圧が印加されても、ボディ領域22とドリフト領域21との間に形成されるpn接合が逆バイアスとなり、非導通状態となる。一方、ゲート電極40に閾値電圧以上の電圧が印加されると、ボディ領域22のチャネル領域(ゲート電極40下のボディ領域22)に反転層が形成される。その結果、ソース領域23とドリフト領域21とが電気的に接続され、ソース電極50とドレイン電極60との間に電流が流れる。以上のようにして、MOSFET1は動作する。
以上のように、本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、隣り合う炭化珪素層12の間に形成された隙間を充填する充填部13の主表面13Aの表面粗さは、RMS値で50μm以下にまで低減されている。そのため、本実施の形態に係る炭化珪素基板10の主表面10A上へのエピタキシャル成長層の形成においては、異常成長した結晶の形成が抑制され、その結果このような結晶の破損により生成するパーティクルの発生を抑制することができる。したがって、本実施の形態に係る炭化珪素基板10は、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板となっている。そのため、炭化珪素基板10の主表面10A上に形成された半導体層20は高品質となっている。したがって、本実施の形態に係る炭化珪素基板10を備えた本実施の形態に係る半導体装置としてのMOSFET1は、高品質な半導体装置となっている。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、充填部13の主表面13Aの表面粗さは、RMS値で0.1μm以上であってもよい。これにより、高品質なエピタキシャル成長層の形成を可能としつつ、炭化珪素基板の製造におけるコスト削減や生産性の改善を図ることができる。
また、炭化珪素層12同士の隙間の充填率の向上や充填部13の表面粗さの低減という観点からすると、充填部13の主表面13Aの表面粗さは、RMS値で30μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがより好ましく、10μm以下であることが一層好ましい。また、炭化珪素基板の製造におけるコスト削減や生産性の改善という観点からすると、充填部13の主表面13Aの表面粗さは、RMS値で0.5μm以上であることが好ましく、1μm以上であることがより好ましい。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、炭化珪素層12の主表面12Aの表面粗さは、RMS値で0.5nm以下であってもよい。これにより、炭化珪素基板10の主表面10A上において高品質なエピタキシャル成長層をより容易に形成することができる。また、炭化珪素層12の主表面12Aの表面粗さは、RMS値で0.3nm以下であることがより好ましい。なお、炭化珪素層12の主表面12Aの表面粗さは、たとえば触針式粗さ計、レーザー変位計、レーザー顕微鏡、光干渉式粗さ計、あるいは原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)などを用いて測定することができる。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、炭化珪素層12の転位密度は、1×103cm−2以上2×104cm−2以下であってもよい。これにより、炭化珪素基板10を用いた半導体装置の歩留まりを向上させることができる。なお、炭化珪素層12の転位密度は、3×103cm−2以上1×104cm−2であることがより好ましい。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、炭化珪素層12のキャリア濃度は、2×1018cm−3以上2×1019cm−3以下であってもよい。これにより、炭化珪素基板10を用いた半導体装置において良好なオン抵抗を達成することができる。なお、炭化珪素層12のキャリア濃度は、5×1018cm−3以上1×1019cm−3以下であることがより好ましい。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10の直径は、110mm以上であってもよく、また150mm以上であることがより好ましい。このような大口径の炭化珪素基板を用いることにより、半導体装置の製造におけるコスト削減や効率化を図ることができる。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、複数の炭化珪素層12の各々は、六方晶炭化珪素からなっていてもよい。また、複数の炭化珪素層12の各々の、ベース層11とは反対側の主表面12Aを構成する面の{0001}面に対するオフ角は、0.1°以上10°以下であってもよい。これにより、炭化珪素基板10上において容易にエピタキシャル成長層を形成することができる。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、複数の炭化珪素層12の各々の主表面12Aを構成する面の{03−38}面に対するオフ角は、4°以下であってもよい。これにより、炭化珪素基板10を用いたMOSFET1において、良好なチャネル移動度を達成することができる。また、複数の炭化珪素層12の各々の、主表面12Aを構成する面の{01−11}面または{01−12}面に対するオフ角が4°以下であってもよい。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、炭化珪素層12が配置される側の主表面10A上に存在する1cm2当たりの金属原子数は、1×1015以下であってもよい。炭化珪素基板10の主表面10Aに金属不純物が存在する場合、主表面10A上におけるエピタキシャル成長が阻害され、異常成長した結晶の形成がより促進され易くなる。これに対して、炭化珪素基板10の主表面10Aに存在する金属原子数を上記範囲とすることにより、エピタキシャル成長における異常成長した結晶の成長を抑制することができる。これにより、炭化珪素基板10の主表面10A上に形成される半導体層20はより高品質なものとなり、結果として炭化珪素基板10を用いた半導体装置の歩留まりをより向上させることができる。
炭化珪素基板10の主表面10A上に存在する金属原子数は、当該金属を薬液により抽出し、ICP−MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)により測定することができる。このとき、主表面10Aの平坦部に存在する金属だけでなく、たとえば凹み部やボイド部に存在する金属も抽出し測定することができる。薬液としては、主表面10A上に存在する金属を効果的に抽出することができるものであればよく、たとえば塩酸、硝酸、フッ酸、フッ硝酸、王水あるいは塩酸過水などを採用することができる。
また、炭化珪素基板10の主表面10A上のエピタキシャル成長における異常成長を抑制する観点からは、主表面10A上に存在する1cm2当たりの金属原子数は1×1014以下であることが好ましく、1×1013以下であることがより好ましく、1×1012以下であることがさらに好ましく、1×1011以下であることが一層好ましい。また、主表面10A上に存在する当該金属原子数が5×109以下である場合には、エピタキシャル成長における異常成長の抑制に対して顕著な効果は得られない。そのため、当該金属原子数を5×109以上とすることにより、エピタキシャル成長における異常成長を抑制しつつ、基板洗浄におけるコスト削減や生産性の改善を図ることができる。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10において、炭化珪素層12が配置される側の主表面10A上に存在する1cm2当たりのNa原子数は、1×1014以下であってもよい。炭化珪素基板10の主表面10AにNaが存在する場合、エピタキシャル成長において異常成長した結晶の形成がより促進され易くなるとともに、主表面10A上における酸化がより進行し易くなる。これに対して、炭化珪素基板10の主表面10A上に存在するNa原子数を上記範囲とすることにより、エピタキシャル成長における異常成長した結晶の成長を抑制するとともに、主表面10Aにおける酸化の進行を抑制することができる。これにより、炭化珪素基板10の主表面10A上に形成される半導体層20はさらに高品質なものとなり、結果として炭化珪素基板10を用いた半導体装置の歩留まりをさらに向上させることができる。
また、炭化珪素基板10の主表面10A上に存在する1cm2当たりの金属原子数は、1×1013以下であることが好ましく、1×1012以下であることがより好ましく、1×1011以下であることがさらに好ましく、1×1010以下であることが一層好ましい。また、主表面10Aにおける当該Na原子数が5×109以下である場合には、エピタキシャル成長における異常成長、および主表面10Aにおける酸化の進行の抑制に対して顕著な効果は得られない。そのため、当該Na原子数を5×109以上とすることにより、エピタキシャル成長における異常成長、および主表面10Aにおける酸化の進行を抑制しつつ、基板洗浄におけるコスト削減や生産性の改善を図ることができる。
次に、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法について、図3〜図12を参照して説明する。本実施の形態に係る半導体装置の製造方法により、上記本実施の形態に係る半導体装置としてのMOSFET1を製造することができる。
図3を参照して、まず、工程(S10)として、炭化珪素基板準備工程が実施される。この工程(S10)では、以下に説明する工程(S11)〜(S13)を備える本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法が実施されることにより、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10が準備される。
まず、工程(S11)として、複合基板準備工程が実施される。この工程(S11)では、図4を参照して、まず、単結晶炭化珪素からなる複数のSiC基板12と、炭化珪素からなるベース基板11とが準備される。SiC基板12には、あらかじめ面取り加工などが施されていてもよい。そして、複数のSiC基板12が、ベース基板11の主表面11A上において、隣り合うSiC基板12同士の間に隙間が形成されるように並べて配置される。その後、たとえば炭化珪素の昇華温度以上の温度にまで加熱されることにより、複数のSiC基板12とベース基板11とが接合される。このようにして、平面的に見て互いに間隔が形成されるように並べて配置された複数のSiC基板12がベース基板11に保持された複合基板14が準備される。
また、この工程(S11)では、以下に説明するように複合基板14が準備されてもよい。すなわち、図5を参照して、まず、複数のSiC基板12と、ベース基板11とが準備される。次に、複数のSiC基板12が、ベース基板11の主表面11A上において、隣り合うSiC基板12同士の端面12Bが互いに接触するように並べて配置される。そして、図6を参照して、たとえばダイシングなどにより、隣り合うSiC基板12同士が接触する領域付近においてSiC基板12が部分的に除去され、隣り合うSiC基板12の間に隙間が形成される。このようにして、複合基板14が準備されてもよい。
また、この工程(S11)では、上述のように近接昇華法によりSiC基板12とベース基板11とが接合されてもよいが、これに限られるものではない。たとえばカーボン接着剤や、加熱処理によりSiCを形成するSiC接着剤などを用いて、SiC基板12とベース基板11とが接合されてもよい。
次に、工程(S12)として、表層部除去工程が実施される。この工程(S12)では、図7を参照して、たとえばダイシング、研磨およびエッチングなどを行なうことにより、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表層部が除去される。また、この工程(S12)では、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の主表面11Aの表面粗さが、RMS値で0.5μm以下となるようにベース基板11の表層部が除去される。これにより、後の工程(S13)において隣り合うSiC基板12同士の隙間を充填する充填部13を形成する際に、上記隙間における充填率や充填部13における表面粗さの悪化をより効果的に抑制することができる。
次に、工程(S13)として、充填部形成工程が実施される。この工程(S13)では、図8および図9を参照して、上記工程(S12)において、ベース基板11の表層部が除去された後に、隣り合うSiC基板12同士の隙間を充填するように、炭化珪素からなる充填部13が形成される。より具体的には、図8を参照して、まず、複合基板14および炭化珪素からなる原料基板15が、互いに対向するように配置された第1支持部材70および第2支持部材71にそれぞれ配置される。次に、原料基板15と対向するSiC基板12の主表面上に、たとえばカーボンからなるマスク層16が形成される。次に、ヒータ72を所定の温度にまで加熱することにより、原料基板15の表面から炭化珪素が昇華する。そして、昇華した炭化珪素は、隣り合うSiC基板12同士の隙間を充填するように堆積し、図9に示すように炭化珪素からなる充填部13が形成される。
また、この工程(S13)において、充填部13を形成する方法は、上述のような昇華法に限られるものではない。たとえば、隣り合うSiC基板12同士の隙間に有機材料を充填し、加熱処理を施すことにより炭化珪素からなる充填部13が形成されてもよい。より具体的には、たとえばポリカルボシランなどのSiおよびCからなる有機材料を上記隙間に充填し、900℃から2100℃の温度で加熱処理を施すことにより、非晶質または多結晶の炭化珪素からなる充填部13が形成されてもよい。
また、この工程(S13)では、充填部13の形成が完了した後、超音波洗浄がさらに実施されてもよい。充填部13の表面はその凹凸により表面積が大きいため、たとえば金属などの不純物が蓄積し易くなっている。そのため、上述のように超音波洗浄を実施することにより、蓄積した当該不純物を取り除くことができる。超音波洗浄に用いる薬液としては、たとえばコリンやTMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)などの有機アルカリ、塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、フッ硝酸、王水あるいは塩酸過水などを採用することができる。また、上記薬液を複数組み合わせて多段階で超音波洗浄を実施してもよい。また、超音波洗浄時に薬液の温度を上昇させることにより、蓄積した不純物をより効果的に取り除くことができる。上記工程(S11)〜(S13)が実施されることにより、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10が製造され、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法が完了する。
次に、工程(S20)として、表面研磨工程が実施される。この工程(S20)では、図9を参照して、炭化珪素基板10の主表面10Aが研磨されることにより平坦化される。これにより、炭化珪素基板10の主表面10A上により高品質なエピタキシャル成長層を形成することが可能になる。
次に、工程(S30)として、エピタキシャル成長工程が実施される。この工程(S30)では、図10を参照して、エピタキシャル成長により、たとえば導電型がn型の炭化珪素からなる半導体層20が、炭化珪素基板10の主表面10A上に形成される。
次に、工程(S40)として、イオン注入工程が実施される。この工程(S40)では、図11を参照して、まず、たとえばAlイオンが半導体層20の主表面20Aを含む領域に注入されることにより、ボディ領域22が形成される。次に、たとえばPイオンが主表面20Aを含む領域において、上記Alイオンの注入深さよりも浅い深さで注入されることにより、ソース領域23が形成される。そして、たとえばAlイオンが、ソース領域23に隣接し主表面20Aを含む領域に注入されることにより、ソース領域23と同等の深さを有するコンタクト領域24が形成される。また、半導体層20において、ボディ領域22、ソース領域23およびコンタクト領域24が形成されない領域は、ドリフト領域21となる。
次に、工程(S50)として、活性化アニール工程が実施される。この工程(S50)では、ドリフト領域21と、ボディ領域22と、ソース領域23と、コンタクト領域24とを含む半導体層20が形成された炭化珪素基板10を加熱することにより、上記工程(S40)において導入された不純物が活性化される。これにより、不純物が導入された領域において所望のキャリアが生成する。
次に、工程(S60)として、酸化膜形成工程が実施される。この工程(S60)では、図12を参照して、たとえば酸素を含む雰囲気中において、半導体層20が形成された炭化珪素基板10が加熱されることにより、半導体層20の主表面20Aを覆うようにSiO2(二酸化珪素)からなる酸化膜30が形成される。
次に、工程(S70)として、ゲート電極形成工程が実施される。この工程(S60)では、図1を参照して、たとえばLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)法により、酸化膜30上に接触するようにポリシリコンからなるゲート電極40が形成される。
次に、工程(S80)として、オーミック電極形成工程が実施される。この工程(S80)では、まず、ソース電極50を形成すべき領域において、酸化膜30が除去され、ソース領域23およびコンタクト領域24が露出した領域が形成される。そして、当該領域において、たとえばNiからなる膜が形成される。一方、ベース基板11において、ドリフト領域21が形成される側とは反対側の主表面上に、たとえばNiからなる膜が形成される。その後、合金化熱処理が施され、上記Niからなる膜の少なくとも一部がシリサイド化されることにより、ソース電極50およびドレイン電極60が形成される。
また、この工程(S80)では、ドレイン電極60が形成される前に、基板10の厚みが調整されてもよい。具体的には、基板10の主表面10Bを研削または研磨することにより、ベース基板11が除去されてもよく、さらに炭化珪素層12が減厚されてもよい。このようにすることにより、MOSFET1のオン抵抗をより低減することができる。なお、このようにベース基板11が除去される場合には、ベース基板11を構成する材料として、MOSFET1のデバイス特性への影響を考慮することなく種々の材料を採用することができる。上記工程(S10)〜(S80)が実施されることにより、本実施の形態に係る半導体装置としてのMOSFET1が製造され、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法が完了する。
以上のように、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法では、充填部13が形成される前に、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表層部が除去されることによりベース基板11の表面粗さが低減されるため、SiC基板12同士の隙間における充填率の低下や充填部13における表面粗さの悪化、あるいはSiC基板12とベース基板11との間における空隙の形成が抑制された炭化珪素基板10を製造することができる。そのため、炭化珪素基板10上へのエピタキシャル成長層の形成においては、結晶の異常成長などが抑制され、結果として半導体装置の電気特性や耐久性などの品質の劣化の原因となるパーティクルの発生が抑制される。したがって、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板10を製造することができる。また、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法においては、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法により製造された炭化珪素基板10が準備される。したがって、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、高品質な半導体装置を製造することができる。
(実施の形態2)
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態2に係る炭化珪素基板および半導体装置、ならびにその製造方法について説明する。本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置は、基本的には実施の形態1に係る炭化珪素基板および半導体装置と同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。また、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法は、基本的には、実施の形態1に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法と同様に実施され、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法は、隣り合うSiC基板の間から露出するベース基板の表層部を除去する工程に代えて、ベース基板の表面を覆う被覆層を形成する工程が実施されるという点において実施の形態1とは異なっている。
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態2に係る炭化珪素基板および半導体装置、ならびにその製造方法について説明する。本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置は、基本的には実施の形態1に係る炭化珪素基板および半導体装置と同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。また、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法は、基本的には、実施の形態1に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法と同様に実施され、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法は、隣り合うSiC基板の間から露出するベース基板の表層部を除去する工程に代えて、ベース基板の表面を覆う被覆層を形成する工程が実施されるという点において実施の形態1とは異なっている。
以下、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法について説明する。図13を参照して、まず、工程(S10)として、複合基板準備工程が実施される。この工程(S10)では、図4を参照して、実施の形態1と同様に、平面的に見て互いに間隔が形成されるように並べて配置された単結晶炭化珪素からなる複数のSiC基板12が炭化珪素からなるベース基板11に保持された複合基板14が準備される。
次に、工程(S20)として、被覆層形成工程が実施される。この工程(S20)では、以下に説明する工程(S21)および(S22)が実施され、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表面を覆う被覆層17Bが形成される。
まず、工程(S21)として、前駆体層形成工程が実施される。この工程(S21)では、図14を参照して、たとえばポリカルボシランなどのSiおよびCからなる有機材料が塗布されることにより、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の主表面11Aを覆う前駆体層17Aが形成される。次に、工程(S22)として、焼成工程が実施される。この工程(S22)では、図15を参照して、複合基板14を加熱することにより、前駆体層17Aが焼成され、炭化珪素からなる被覆層17Bが形成される。より具体的には、低温状態から900℃以上2100℃以下の温度にまで昇温することにより、ポリカルボシランからなる前駆体層17Aが焼成され、非晶質または多結晶の炭化珪素からなる被覆層17Bが形成される。なお、この工程(S22)では、昇温速度を制御しつつ上記温度範囲にまで昇温することにより、ポリカルボシランの体積収縮などによるクラックの発生を抑制することができる。
次に、工程(S30)として、充填部形成工程が実施される。この工程(S30)では、図9を参照して、実施の形態1と同様に、隣り合うSiC基板12の隙間を充填する充填部13が形成される。上記工程(S10)〜(S30)が実施されることにより上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10が製造され、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法が完了する。
以上のように、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法においては、充填部13が形成される前に、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表面を覆う被覆層17Bが形成されることにより、ベース層11の表面粗さが低減されるため、SiC基板12同士の隙間における充填率の低下や充填部13における表面粗さの悪化が抑制された炭化珪素基板10を製造することができる。そのため、炭化珪素基板10上へのエピタキシャル成長層の形成においては、SiC基板12同士の隙間における充填率や充填部13における表面粗さの悪化に起因して発生する結晶の異常成長などが抑制され、結果として半導体装置の電気特性や耐久性などの品質の劣化の原因となるパーティクルの発生が抑制される。したがって、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板10を製造することができる。
また、上記本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法において、工程(S20)では、被覆層17Bは、その表面粗さがRMS値で0.3μm以下となるように形成されてもよい。これにより、SiC基板12同士の隙間における充填率の低下や充填部13における表面粗さの悪化をさらに効果的に抑制することができる。
(実施の形態3)
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態3に係る炭化珪素基板および半導体装置、ならびにその製造方法について説明する。本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置は、基本的には実施の形態1および実施の形態2に係る炭化珪素基板および半導体装置と同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。また、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法は、基本的には、実施の形態2に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法と同様に実施され、同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法は、被覆層を形成する方法において実施の形態2とは異なっている。
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態3に係る炭化珪素基板および半導体装置、ならびにその製造方法について説明する。本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置は、基本的には実施の形態1および実施の形態2に係る炭化珪素基板および半導体装置と同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。また、本実施の形態に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法は、基本的には、実施の形態2に係る炭化珪素基板および半導体装置の製造方法と同様に実施され、同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法は、被覆層を形成する方法において実施の形態2とは異なっている。
以下、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法について説明する。図16を参照して、まず、工程(S10)として、複合基板準備工程が実施される。この工程(S10)では、図4を参照して、実施の形態1および2と同様に、平面的に見て互いに間隔が形成されるように並べて配置された単結晶炭化珪素からなる複数のSiC基板12が炭化珪素からなるベース基板11に保持された複合基板14が準備される。
次に、工程(S20)として、CVD(Chemical Vapor Deposition)工程が実施される。この工程(S20)では、図15を参照して、複合基板14にCVD処理を施すことにより、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の主表面11Aを覆うような被覆層17Bが形成される。このように、CVD法を用いることにより、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表面を覆う炭化珪素からなる被覆層17Bを一層容易に形成することができる。
次に、工程(S30)として、充填部形成工程が実施される。この工程(S30)では、図9を参照して、実施の形態1および2と同様に、隣り合うSiC基板12の隙間を充填する充填部13が形成される。上記工程(S10)〜(S30)が実施されることにより上記本実施の形態に係る炭化珪素基板10が製造され、本実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法が完了する。
以上のように、本発明の実施の形態1に係る炭化珪素基板の製造方法では、充填部13が形成される前に、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表層部が除去される。また、本発明の実施の形態2および3に係る炭化珪素基板の製造方法では、充填部13が形成される前に、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の表面を覆う被覆層17Bが形成される。このように、本発明の実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法においては、充填部13が形成される前に、隣り合うSiC基板12の間から露出するベース基板11の主表面11Aの表面粗さが低減されるため、隣り合うSiC基板12同士の隙間における充填率や、充填部13の表面粗さの悪化が抑制された炭化珪素基板10を製造することができる。そのため、炭化珪素基板10上へのエピタキシャル成長層の形成においては、SiC基板12同士の隙間における充填率や充填部13の表面粗さの悪化に起因して発生する結晶の異常成長などが抑制され、結果として半導体装置の電気特性や耐久性などの品質の劣化の原因となるパーティクルの発生が抑制される。このように、本発明の実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法によれば、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板10を製造することができる。また、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法においては、上記本発明の実施の形態に係る炭化珪素基板の製造方法により製造された、高品質なエピタキシャル成長層を形成可能な炭化珪素基板10が準備される。したがって、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、高品質なMOSFET1を製造することができる。
まず、炭化珪素基板における充填部(継ぎ目部)の表面粗さと、炭化珪素基板上にエピタキシャル成長層を形成した際の結晶の異常成長の発生頻度、および当該炭化珪素基板を用いて半導体装置を製造した際の歩留まりとの関係を調査する実験を行なった。まず、図2を参照して説明した本発明の実施の形態1に係る炭化珪素基板10と同様の構造を有する炭化珪素基板を準備した。具体的には、まず、平面的に見て間隔が形成されるように並べて配置された複数のSiC基板がベース基板に保持された複合基板を準備した。そして、昇華法によりSiC基板同士の隙間を充填することにより、またはポリカルボシランを上記隙間に充填して1500℃で加熱処理を施すことにより、上記隙間を充填する継ぎ目部を形成した。ここで、継ぎ目部は、表面粗さがRMS値で0.05μm、0.1μm、1μm、5μm、20μm、50μmおよび70μmとなるように形成した。そして、それぞれの炭化珪素基板上にエピタキシャル成長層を形成し、結晶の異常成長の発生頻度を確認した。また、それぞれの炭化珪素基板を用いて半導体装置を製造し、その際の歩留まりを確認した。表1には、結晶の異常成長の発生頻度および半導体装置の歩留まりに対する炭化珪素基板の継ぎ目部分の表面粗さの影響を示す。
上記実験結果について以下に説明する。表1から明らかなように、炭化珪素基板における継ぎ目部分の表面粗さが70μmの場合には、針状に異常成長した結晶が多数確認されたのに対して、継ぎ目部分の表面粗さが50μm以下の場合には、結晶の異常成長の発生頻度は低下した。そして、結晶の異常成長の発生頻度が低下するに従い、半導体装置の歩留まりは向上した。また、継ぎ目部分の表面粗さが0.05μmの場合には、0.1μmの場合に比べて歩留まりの向上は確認されなかった。なお、この実験結果は、昇華法により継ぎ目部を形成した場合、およびポリカルボシランをSiC基板同士の隙間に充填し1500℃で加熱処理を施すことにより継ぎ目部を形成した場合のいずれにおいても同様であった。
このことから、本発明の炭化珪素基板において、継ぎ目部の表面粗さを50μm以下とすることにより、結晶の異常成長の発生が少ない、高品質なエピタキシャル成長層が形成されることが確認された。また、本発明の炭化珪素基板において、継ぎ目部の表面粗さが0.1μm以下の場合には、上記炭化珪素基板を用いた半導体装置の歩留まりに対して継ぎ目部の表面粗さの低減による顕著な効果は得られないことが確認された。
次に、炭化珪素基板において主表面上に存在する金属量と、炭化珪素基板上にエピタキシャル成長層を形成した際の結晶の異常成長の発生頻度、および当該炭化珪素基板を用いて半導体装置を製造した際の歩留まりとの関係を調査する実験を行った。まず、上記実施例1と同様にして、炭化珪素基板を準備した。次に、準備した炭化珪素基板に超音波洗浄を施し、主表面上に所定量の金属が存在する炭化珪素基板を作成した。上記超音波洗浄は、超純水と薬液とを用いてクリーン環境にて実施した。そして、それぞれの炭化珪素基板上にエピタキシャル成長層を形成し、結晶の異常成長の発生頻度を確認した。また、それぞれの炭化珪素基板を用いて半導体装置を製造し、その際の歩留まりを確認した。表2には、結晶の異常成長の発生頻度および半導体装置の歩留まりに対する炭化珪素基板の主表面上に存在する金属量の影響を示す。
上記実験結果について以下に説明する。表2から明らかなように、炭化珪素基板の主表面上に存在する1cm2当たりの金属原子数が1×1015より大きく、またNa原子数が1×1014より大きい場合に比べて、当該金属原子数が1×1015以下、また当該Na原子数が1×1014以下である場合には結晶の異常成長の発生頻度が低下した。そして、結晶の異常成長の発生頻度が低下するに従い、半導体装置のデバイス歩留まりが向上した。このことから、本発明の炭化珪素基板においては、継ぎ目部分の表面粗さを50μm以下とした上で、さらに主表面上に存在する1cm2当たりの金属原子数を1×1015以下、またNa原子数を1×1014以下とすることにより、結晶の異常成長の発生が少ない、高品質なエピタキシャル成長層がより形成され易くなることが確認された。また、このように高品質なエピタキシャル成長層がより形成され易くなることにより、当該炭化珪素基板を用いた半導体装置のデバイス歩留まりが向上することが確認された。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明の炭化珪素基板および半導体装置、ならびにその製造方法は、高品質な半導体装置を製造することが要求される炭化珪素基板および半導体装置、ならびにその製造方法において特に有利に適用され得る。
1 MOSFET、10 炭化珪素基板、11 ベース層(ベース基板)、12 炭化珪素層(SiC基板)、13 充填部、14 複合基板、15 原料基板、16 マスク層、17A 前駆体層、17B 被覆層、20 半導体層、21 ドリフト領域、22 ボディ領域、23 ソース領域、24 コンタクト領域、30 酸化膜、40 ゲート電極、50 ソース電極、60 ドレイン電極、70 第1支持部材、71 第2支持部材、72 ヒータ、10A,11A,12A,13A,20A 主表面、12B 端面。
Claims (23)
- 炭化珪素からなるベース層(11)と、
単結晶炭化珪素からなり、平面的に見て前記ベース層(11)上に並べて配置された炭化珪素層(12)と、
隣り合う前記炭化珪素層(12)の間に形成された隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部(13)とを備え、
前記充填部(13)の表面粗さは、RMS値で50μm以下である、炭化珪素基板(10)。 - 前記充填部(13)の表面粗さは、RMS値で0.1μm以上である、請求項1に記載の炭化珪素基板(10)。
- 前記炭化珪素層(12)の表面粗さは、RMS値で0.5nm以下である、請求項1または2に記載の炭化珪素基板(10)。
- 前記炭化珪素層(12)の転位密度は、1×103cm−2以上2×104cm−2以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)。
- 前記炭化珪素層(12)のキャリア濃度は、2×1018cm−3以上2×1019cm−3以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)。
- 直径が110mm以上である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)。
- 複数の前記炭化珪素層(12)の各々は、六方晶炭化珪素からなり、
複数の前記炭化珪素層(12)の各々の、前記ベース層(11)とは反対側の主表面(12A)を構成する面の{0001}面に対するオフ角は、0.1°以上10°以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)。 - 複数の前記炭化珪素層(12)の各々は、六方晶炭化珪素からなり、
複数の前記炭化珪素層(12)の各々の、前記ベース層(11)とは反対側の主表面(12A)を構成する面の{03−38}面に対するオフ角は、4°以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)。 - 前記炭化珪素層(12)が配置される側の主表面上に存在する1cm2当たりの金属原子数は、1×1015以下である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)。
- 前記炭化珪素層(12)が配置される側の前記主表面上に存在する1cm2当たりのNa原子数は、1×1014以下である、請求項9に記載の炭化珪素基板(10)。
- 基板と、
前記基板上に形成された電極(40,50)とを備え、
前記基板は、請求項1〜10のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)である、半導体装置(1)。 - 前記基板上に形成されたエピタキシャル成長層(20)をさらに備え、
前記電極(40,50)は、前記エピタキシャル成長層(20)上に形成されている、請求項11に記載の半導体装置(1)。 - 平面的に見て並べて配置された単結晶炭化珪素からなる複数の炭化珪素層(12)が炭化珪素からなるベース層(11)に保持された複合基板(14)を準備する工程と、
隣り合う前記炭化珪素層(12)の間から露出する前記ベース層(11)の表層部を除去する工程と、
前記ベース層(11)の表層部を除去する工程の後に、隣り合う前記炭化珪素層(12)同士の隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部(13)を形成する工程とを備える、炭化珪素基板の製造方法。 - 前記ベース層(11)の表層部を除去する工程では、隣り合う前記炭化珪素層(12)の間から露出する前記ベース層(11)の表面粗さが、RMS値で0.5μm以下となるように前記ベース層(11)の表層部が除去される、請求項13に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 平面的に見て並べて配置された単結晶炭化珪素からなる複数の炭化珪素層(12)が炭化珪素からなるベース層(11)に保持された複合基板(14)を準備する工程と、
隣り合う前記炭化珪素層(12)の間から露出する前記ベース層(11)の表面を覆う被覆層(17B)を形成する工程と、
前記ベース層(11)の表面を覆う前記被覆層(17B)を形成する工程の後に、隣り合う前記炭化珪素層(12)同士の隙間を充填し、炭化珪素からなる充填部(13)を形成する工程とを備える、炭化珪素基板の製造方法。 - 前記被覆層(17B)を形成する工程では、炭化珪素からなる前記被覆層(17B)が形成される、請求項15に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記被覆層(17B)を形成する工程では、非晶質または多結晶炭化珪素からなる前記被覆層(17B)が形成される、請求項16に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記被覆層(17B)を形成する工程は、
隣り合う前記炭化珪素層(12)の間から露出する前記ベース層(11)の表面を覆い、SiおよびCからなる有機材料を含む前駆体層(17A)を形成する工程と、
前記前駆体層(17A)を焼成することにより、炭化珪素からなる前記被覆層(17B)を形成する工程とを含む、請求項16または17に記載の炭化珪素基板の製造方法。 - 前記被覆層(17B)を形成する工程では、CVD法により前記被覆層(17B)が形成される、請求項16または17に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記被覆層(17B)を形成する工程では、前記被覆層(17B)の表面粗さがRMS値で0.3μm以下となるように前記被覆層(17B)が形成される、請求項15〜19のいずれか1項に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 基板を準備する工程と、
前記基板上に電極(40,50)を形成する工程とを備え、
前記基板を準備する工程では、請求項13〜20のいずれか1項に記載の炭化珪素基板の製造方法により製造された炭化珪素基板(10)が準備される、半導体装置の製造方法。 - 基板を準備する工程と、
前記基板上に電極(40,50)を形成する工程とを備え、
前記基板を準備する工程では、請求項1〜10のいずれか1項に記載の炭化珪素基板(10)が準備される、半導体装置の製造方法。 - 前記基板上にエピタキシャル成長層(20)を形成する工程をさらに備え、
前記電極(40,50)を形成する工程では、前記エピタキシャル成長層(20)上に前記電極(40,50)が形成される、請求項21または22に記載の半導体装置の製造方法。
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