JPWO2013061785A1 - 物理量センサ装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態における物理量センサ装置1は、外部の圧力によってダイヤフラムが撓み、この撓みによりダイヤフラムに備わるピエゾ抵抗素子の電気抵抗が変化することで、外部の圧力を検知する圧力センサ装置である。
図7は第2の実施形態の物理量センサ装置201の断面略図である。図7に示すように、本実施形態では、孔4は有底中空の穴を有して形成されている。また、突起5は突起状に形成されている。そして、突起状に形成される突起5の外径は有底中空の穴に形成される孔4の内径より大きく形成されている。
図8は第3の実施形態の物理量センサ装置301の断面略図である。図8に示すように、本実施形態では、ハウジング3に突起5が突起状に形成され、蓋体2に孔4が導通孔に形成されている。また、突起5の外径が孔4の内径より大きく形成されている。
2 蓋体
3 ハウジング
4 孔
5 突起
6 圧力センサ
7 ダイヤフラム
8 制御回路チップ
9 開口部
10 圧力導入孔
11 キャビティ
12 ポッティング樹脂
13 ボンディングワイヤ
20 ハウジング基板
21 リード端子
Claims (5)
- 物理量を検知する物理量センサと、
前記物理量センサを収納するハウジングと、
前記ハウジングに固定される蓋体と、
を有し、
前記ハウジングが孔を有してなると共に前記蓋体が突起を有しなり、または、前記ハウジングが突起を有してなると共に前記蓋体が孔を有してなり、前記孔に前記突起が圧入されて前記ハウジングと前記蓋体とが固定されていることを特徴とする物理量センサ装置。 - 前記孔が貫通してなり、前記突起が前記孔に圧入され前記孔から突出してなり、前記突起の前記孔から突出した部分と前記孔内に収容される部分との間に段部が形成されてなり、前記段部が前記収容される部分の外径より前記突出した部分の外径が大きい段差を有することを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ装置。
- 物理量を検知する物理量センサと、
前記物理量センサを収納するハウジングと、
前記ハウジングに固定される蓋体と、
を有する物理量センサ装置の製造方法において、
前記ハウジングに孔または突起を形成する工程と、
前記蓋体に突起または孔を形成する工程と、
前記孔に前記突起を圧入することで前記ハウジングと前記蓋体とを固定する工程と、
前記孔と前記突起とを加熱して変形させる工程と、
を含むことを特徴とする物理量センサ装置の製造方法。 - 前記孔を貫通孔に形成し、前記突起を前記孔の貫通方向の長さより長く形成し、所定の長さが突出するまで前記孔に前記突起を圧入し、前記孔と前記突起とを加熱して前記突起に該貫通孔の内周面の形状を転写するように変形させ、冷却過程において前記突起の該貫通孔から突出した部分と該貫通孔内に収容される部分との間に段部を形成させることを特徴とする請求項3に記載の物理量センサ装置の製造方法。
- 前記突起が、ポリフェニレンスルファイド、ポリエチレン、ポリスチレン、ABS樹脂、塩化ビニール樹脂、メタクリル酸メチル樹脂、ナイロン、フッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル樹脂からなることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の物理量センサ装置の製造方法。
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