JPWO2012133839A1 - 機能素子内蔵基板、これを備えた電子機器及び機能素子内蔵基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
機能素子内蔵基板(100)は、機能素子(5)と、機能素子(5)を包囲するように、基板(100)の略全面にわたって配置された第1絶縁層(4)と、機能素子(5)と電気的に接続された1又は複数層の配線層(12、2、22、21)と、配線層(12、2、22、21)に接するように配置された1又は複数層の第2絶縁層(7、15、16)と、を備える。第1絶縁層(4)は、機能素子(5)の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成されている。第2絶縁層(7、15、16)は、第1絶縁層(4)の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成されている。
Description
本発明は機能素子内蔵基板、これを備えた電子機器及び機能素子内蔵基板の製造方法に関する。
近年、電子機器の急激な小型化、薄型化、高密度化の要求と、半導体素子の高速化、高機能化に伴う端子数の増加とにより、半導体素子において、特に薄型化と高密度化が必要となってきている。特に薄型化、小型化に対しては、従来は配線基板表面に実装されてきた部品を、配線基板の内部に埋設することが注目され、検討が進められている。
特許文献1に開示された半導体装置では、半導体素子が実装された複数の基板が、熱硬化性樹脂を少なくとも含む熱硬化性樹脂組成物で接着されている。基板間は、熱硬化性樹脂組成物の内部に設けたインナービアを介して電気的に接続されている。半導体素子の基板との実装面を除く周囲部分は、熱硬化性樹脂組成物よりも低い弾性率を有する低弾性率材料で封止されている。半導体素子は、半導体装置内の複数の基板で挟まれた領域に内蔵されている。
特許文献2には、半導体チップが内蔵された配線基板において、反りの抑制及び薄型化の目的で、半導体チップが埋設される絶縁層にこの絶縁層を補強する補強構造体を埋設することが開示されている。
特許文献1の技術は、半導体素子の周囲を低弾性材料で覆うことによる応力緩和を期待するものである。しかしながら、半導体素子の接続面には高弾性な材料が用いられているため、基板の全面における応力緩和構造とはなっていない。また、低弾性材料の周囲を高弾性材料で覆っているため、応力緩和に必要となる変形が確保できない。更に、低弾性材料部分の剛性は低く、曲げや衝撃による破断応力が配線層に集中するため、配線が破断する可能性が高まり半導体装置の信頼性が損なわれる。とはいえ、高弾性材料を設けずに、基板の全面にわたる応力緩和層を設けただけでは、基板全体の剛性が失われてしまうため、やはり適当ではない。
特許文献2の技術では、補強材を用いることによる配線基板の反り抑制の効果はあるが、応力は寧ろ増大する。従って、熱ストレスによる配線基板の破断の可能性が高まるため、長期信頼性が低くなってしまう。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、基板全体で剛性が確保されるとともに、応力の増大及び局部的な応力集中を抑制することが可能な、機能素子内蔵基板、これを備えた電子機器及び機能素子内蔵基板の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る機能素子内蔵基板は、
機能素子と、
前記機能素子を包囲するように、前記基板の略全面にわたって配置された第1絶縁層と、
前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層と、
前記配線層に接するように配置された1又は複数層の第2絶縁層と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする。
機能素子と、
前記機能素子を包囲するように、前記基板の略全面にわたって配置された第1絶縁層と、
前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層と、
前記配線層に接するように配置された1又は複数層の第2絶縁層と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする。
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る電子機器は、
第1の観点に係る機能素子内蔵基板を備えることを特徴とする。
第1の観点に係る機能素子内蔵基板を備えることを特徴とする。
上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係る機能素子内蔵基板の製造方法は、
支持体上に、機能素子を包囲する第1絶縁層と、1又は複数層の第2絶縁層と、を含む積層体を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成される、
ことを特徴とする。
支持体上に、機能素子を包囲する第1絶縁層と、1又は複数層の第2絶縁層と、を含む積層体を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成される、
ことを特徴とする。
本発明によれば、基板全体で剛性が確保されるとともに、応力の増大及び局部的な応力集中を抑制することが可能な、機能素子内蔵基板、これを備えた電子機器及び機能素子内蔵基板の製造方法が得られる。
本発明の実施形態について、必要に応じて図面を参照して説明する。なお、実施形態の説明において引用する図面及び図面の符号は一例として示すものであり、それにより本発明による実施形態のバリエーションを制限するものではない。また、以下の説明において、「上面」「下面」は便宜上、各図面における上下関係に対応して記載するものとする。なお、以下の各実施形態において、「上面」とは内蔵された機能素子に回路が設けられている面を示し、「下面」とはその反対側を示す。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態に係る機能素子内蔵基板100は、図1に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、15、16と、第3絶縁層14、13と、配線層12、2、22、21と、内蔵層貫通ビア10と、層間ビア20、19と、電極端子11と、を備えている。以下、第1絶縁層4及び第3絶縁層14、13は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、15、16は、高弾性率樹脂層ともいう。
本発明の第1実施形態に係る機能素子内蔵基板100は、図1に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、15、16と、第3絶縁層14、13と、配線層12、2、22、21と、内蔵層貫通ビア10と、層間ビア20、19と、電極端子11と、を備えている。以下、第1絶縁層4及び第3絶縁層14、13は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、15、16は、高弾性率樹脂層ともいう。
低弾性率樹脂層4は、機能素子5の上面、下面及び側面を包囲するように形成されている。高弾性率樹脂層7は、低弾性率樹脂層4の上面を覆うように形成されている。配線層12は、高弾性率樹脂層7の上面上に形成されている。配線層2は、低弾性率樹脂層4の下面上に形成されている。低弾性率樹脂層14は、配線層12を覆うように高弾性率樹脂層7の上面上に形成されている。高弾性率樹脂層15は、配線層2を覆うように低弾性率樹脂層4の下面上に形成されている。高弾性率樹脂層16は、低弾性率樹脂層14を上面から覆うように形成されている。低弾性率樹脂層13は、高弾性率樹脂層15を下面から覆うように形成されている。配線層22は、高弾性率樹脂層16の上面上に形成されている。配線層21は、低弾性率樹脂層13の下面に埋め込まれるように形成されている。
内蔵層貫通ビア10は、低弾性率樹脂層4及び高弾性率樹脂層7を貫通し、配線層12と配線層2とを電気的に接続(以下、単に接続という)している。層間ビア20は、低弾性率樹脂層14及び高弾性率樹脂層16を貫通し、配線層12と配線層22とを接続している。層間ビア19は、高弾性率樹脂層15及び低弾性率樹脂層13を貫通し、配線層2と配線層21とを接続している。電極端子11は、低弾性率樹脂層4の機能素子5の上面の側の層及び高弾性率樹脂層7を貫通し、機能素子5の回路面と配線層12とを接続している。
機能素子5としては、例えば、シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素(GaAs)、ガリウム砒素リン、窒化ガリウム(GaN)、炭化珪素(SiC)、酸化亜鉛(ZnO)、又は他の半導体特性を示すII−VI族化合物、III−V族化合物や、ダイアモンドなどにより形成された素子を使用することができる。また、ペンタセン等の低分子系有機半導体、ポリ(3−ヘキシルーチオフェン)(P3HT)等の高分子系有機半導体等、有機化合物半導体により形成された素子を使用することもできる。しかしながら、機能素子5は、上記の素子には限定されない。また、機能素子5は半導体素子以外の素子であってもよく、例えば抵抗、インダクタ等のチップ部品であってもよい。本実施形態では、機能素子5としてシリコンのLSI(Large Scale Integrated Circuit:大規模集積回路)を用いた。また、機能素子5の厚さは、狙いの機能素子内蔵基板100の厚さに応じて調整することができる。例えば、機能素子5の厚さを50μmとし、チップサイズは10mm角としてもよい。また、機能素子内蔵基板100に内蔵される機能素子5の数は1個でもよく、複数でもよい。例えば、低弾性率樹脂層4に1個又は複数の追加の機能素子が埋設されていてもよい。また、機能素子内蔵基板100は、1個又は複数の機能素子が埋設された1又は複数の追加の低弾性率樹脂層を備えていてもよい。
低弾性率樹脂層14、4、13は、例えば有機材料から形成されている。好適な有機材料は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB(Benzocyclobutene)、PBO(Polybenzoxazole)及びポリノルボルネン樹脂等である。このような有機材料を用いることで、機能素子内蔵基板100に別部品を搭載する際や機能素子内蔵基板100を別基板へ接続する際に、電極端子11から機能素子5にかかる応力を緩和することができる。
低弾性率樹脂層14、4、13の有機材料は、感光性、非感光性のいずれを用いてもよい。感光性の有機材料を用いた場合、フォトリソグラフィー法などにより、内蔵層貫通ビア10や層間ビア20、19に用いられるビア開口部を形成することとしてもよい。また、非感光性の有機材料や感光性でパターン解像度が低い有機材料を用いる場合、ビア開口部はレーザ、ドライエッチング法、ブラストなどにより形成してもよい。
また、低弾性率樹脂層14、4、13に用いられる有機材料は、異なる材料を用いてもよく、同じ材料を用いてもよい。異なる材料を用いる場合は、材料特性を組み合わせて反りが小さい構造を実現しやすくなるメリットがある。また、同じ材料を用いる場合は、材料の入手コスト低減を図ることが可能となる。本実施形態では、低弾性率樹脂層14、4、13にはいずれも同じ材料のエポキシ系樹脂を使用することとする。
高弾性率樹脂層16、7、15は、例えば有機材料で形成されている。好適な有機材料は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等である。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。有機材料には、感光性、非感光性のいずれを用いてもよい。感光性の有機材料を用いた場合、フォトリソグラフィー法などにより、内蔵層貫通ビア10や層間ビア20、19に用いられるビア開口部を形成することとしてもよい。この際、高弾性率樹脂層16、7、15及びこれに隣接する低弾性率樹脂層14、4、13を貫通する一体のビア10、20、19を形成する場合には、高弾性率樹脂層16、7、15のビア開口部は、隣接する低弾性率樹脂層14、4、13のビア開口部と同じ位置に設ける必要がある。また、非感光性の有機材料や感光性でパターン解像度が低い有機材料を用いた場合、ビア開口部はレーザ、ドライエッチング法、ブラストなどにより形成してもよい。
また、機能素子5と、高弾性率樹脂層16、7、15の有機材料と、の実効上の熱膨張係数差を低減させ、機能素子内蔵基板100全体の反りを低減するために、高弾性率樹脂層16、7、15に補強材を含有する材料を用いてもよい。また、補強材として補強繊維を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を使用することができる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。ただし、高弾性率樹脂層16、7、15に補強材を用いる場合は、形成できる層間ビア20、19、内蔵層貫通ビア10のビア径が大きくなる。そのため、内蔵する機能素子5の端子数や端子ピッチを考慮して、補強材の有無並びに補強材の材料を選択する。
また、高弾性率樹脂層16、7、15に用いられる有機材料は、異なる材料を用いてもよく、同じ材料を用いてもよい。異なる材料を用いる場合は、材料特性を組み合わせて反りが小さい構造を実現しやすくなるメリットがある。また、同じ材料を用いる場合は、材料の入手コスト低減を図ることが可能となる。本実施形態では、高弾性率樹脂層16、7、15にはいずれも同じ材料のポリイミド系樹脂を使用することとする。
本実施形態では、低弾性率樹脂層14、4、13の室温における弾性率は、機能素子5の弾性率の100分の1以下である。更に、高弾性率樹脂層16、7、15の室温における弾性率は、低弾性率樹脂層14、4、13の弾性率の100倍以上である。
配線層22、12、2、21、層間ビア20、19、内蔵層貫通ビア10及び電極端子11は、例えば銅(Cu)、ニッケル(Ni)、スズ(Sn)、金(Au)などの金属から形成されている。配線層22、12、2は、それぞれ、隣接する高弾性率樹脂層16、7、15に対する密着力を向上するために、密着層を有していてもよい。密着層には、高弾性率樹脂層16、7、15の材料に対して密着力を有する材料、例としてチタン(Ti)、タングステン(W)、ニッケル、タンタル(Ta)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、銅、アルミニウム(Al)やこれらの合金等を使用することができる。中でもチタン、タングステン、タンタル、クロム、モリブデンやこれらの合金が好適であり、さらにはチタン、タングステンやこれらの合金が最も好適である。また、高弾性率樹脂層16、7、15の表面が細かな凹凸を有する粗化面であってもよい。この場合は、密着層として銅やアルミニウムを使用しても、配線層22、12、2とこれに隣接する高弾性率樹脂層16、7、15との良好な密着力が得られやすくなる。
配線層22、12、2、21の厚さは、例えば3乃至25μmであり、中でも5乃至20μmが適している。配線層の厚さが3μm未満の場合、配線抵抗が高くなり半導体装置の電源回路における電気特性が悪化してしまうという欠点がある。また、配線層の厚さが25μmを超える場合、配線層を覆う絶縁層の表面に配線層の凹凸を反映した大きなうねりが発生し積層数に制限が発生すること、半導体装置の厚さが増加し半導体装置全体の反りが大きくなること、及びプロセス上の制約からそのような配線層を形成することが困難である、という欠点がある。
上記構成により、低弾性率樹脂層14、4、13が高弾性率樹脂層16、7、15よりも低弾性率となることで、一般に周囲の絶縁樹脂よりも低熱膨張率である半導体素子などの機能素子5の周りに生じる熱応力を吸収できる。更に、低弾性率樹脂層14、4、13が機能素子内蔵基板100の略全面にわたって配置されていることで、応力緩和に必要となる変形の確保が可能となる。また、充分に寸法安定性のある高弾性率樹脂層16、7、15を配線層22、12、2、21に隣接して又はその近くに配置することで、破断応力の配線層22、12、2、21への集中を避けることができる。加えて、織布等の補強層の代替として高弾性率樹脂層16、7、15が機能素子内蔵基板100全体の剛性を確保する。このため、補強材に伴う応力の増大を回避でき、更に、機能素子内蔵基板100全体の剛性を確保することができる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態に係る機能素子内蔵基板200は、図2に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、15、16と、第3絶縁層14、13と、配線層12、2、22、21と、内蔵層貫通ビア10と、層間ビア20、19と、電極端子11と、織布6と、を備えている。以下、第1絶縁層4及び第3絶縁層14、13は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、15、16は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
本発明の第2実施形態に係る機能素子内蔵基板200は、図2に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、15、16と、第3絶縁層14、13と、配線層12、2、22、21と、内蔵層貫通ビア10と、層間ビア20、19と、電極端子11と、織布6と、を備えている。以下、第1絶縁層4及び第3絶縁層14、13は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、15、16は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
織布6は、機能素子5と同じ層に、すなわち低弾性率樹脂層4に、積層方向において機能素子5と略同じ高さにあるように設けられている。織布6には、機能素子5が配置される開口部23が設けられている。織布6の開口部23と機能素子5との間には、機能素子5の厚さの0.5倍〜1.5倍の間隙が設けられている。また、織布6は、低弾性率樹脂層4の材料によって上面、下面及び開口部23の内面を覆われている。
内蔵層貫通ビア10は、高弾性率樹脂層7、低弾性率樹脂層4及び織布6を貫通しており、配線層12と配線層2とを接続している。
本実施形態では、低弾性率樹脂層14、4、13の室温における弾性率は、機能素子5の弾性率の100分の1以下である。一方、高弾性率樹脂層16、7、15の室温における弾性率は、低弾性率樹脂層14、4、13の弾性率の100倍以上である。
低弾性率樹脂層4は、第1実施形態で前述した有機材料で形成されており、また、補強材として織布6を含んでいる。織布6は薄型でも剛性が確保されていることが好ましい。織布6の材料としては、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を使用することができる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などの繊維が剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。
上記構成により、低弾性率樹脂層14、4、13が高弾性率樹脂層16、7、15よりも低弾性となることで、一般に周囲の絶縁材よりも低熱膨張率である半導体素子などの機能素子5の周りに生じる熱応力を吸収できる。更に、低弾性率樹脂層14、4、13が機能素子内蔵基板200の略全面にわたって配置されていることで、応力緩和に必要となる変形の確保が可能となる。また、充分に寸法安定性のある高弾性率樹脂層16、7、15を配線層22、12、2、21に隣接して又はその近くに配置することで、破断応力の配線層22、12、2、21への集中を避けることができる。また、織布6と機能素子5の間に低弾性率樹脂層4の低弾性率材料が入り込む間隙を設けることで、補強材である織布6に伴う応力の増大を避けることができる。更に、機能素子内蔵基板200の略全面にわたって高弾性率樹脂層16、7、15が配置され、かつ比較的厚い低弾性率樹脂層4にも織布6による補強構造が入ることで、機能素子内蔵基板200全体の剛性を確保することができる。
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態に係る機能素子内蔵基板300は、図3に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、15、16、3と、第3絶縁層14、13と、配線層12、2、22、21と、内蔵層貫通ビア10と、層間ビア20、19と、電極端子11と、織布6と、を備えている。以下、第1絶縁層4及び第3絶縁層14、13は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、15、16、3は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1及び第2実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
本発明の第3実施形態に係る機能素子内蔵基板300は、図3に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、15、16、3と、第3絶縁層14、13と、配線層12、2、22、21と、内蔵層貫通ビア10と、層間ビア20、19と、電極端子11と、織布6と、を備えている。以下、第1絶縁層4及び第3絶縁層14、13は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、15、16、3は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1及び第2実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
高弾性率樹脂層3は、低弾性率樹脂層4の下面を覆うように形成されている。即ち、本実施形態では、高弾性率樹脂層3が低弾性率樹脂層4と配線層2との間に設けられている。高弾性率樹脂層3には、高弾性率樹脂層7、15、16と同様の有機材料を使用することができる。
第1及び第2実施形態とは異なり、本実施形態では、低弾性率樹脂層13が配線層2の下面を覆うように高弾性率樹脂層3の下面上に形成されている。高弾性率樹脂層15は、低弾性率樹脂層13の下面を覆うように形成されている。そして、配線層21は、高弾性率樹脂層15の下面上に形成されている。なお、配線層21を図1の如く隣接する絶縁層に埋め込まれるように形成することとしてもよい。同様に、図1の配線層21を図3の如く隣接する絶縁層の平面上に形成することとしてもよい。
内蔵層貫通ビア10は、高弾性率樹脂層7、低弾性率樹脂層4、織布6及び高弾性率樹脂層3を貫通しており、配線層12と配線層2とを接続している。層間ビア19は、低弾性率樹脂層13及び高弾性率樹脂層15を貫通しており、配線層2と配線層21とを接続している。
本実施形態では、低弾性率樹脂層14、4、13の室温における弾性率は、機能素子5の弾性率の100分の1以下である。一方、高弾性率樹脂層16、7、15、3の室温における弾性率は、低弾性率樹脂層14、4、13の弾性率の100倍以上である。
上記構成により、低弾性率樹脂層14、4、13が高弾性率樹脂層16、7、3、15よりも低弾性となることで、一般に周囲の絶縁材よりも低熱膨張率である半導体素子などの機能素子5の周りに生じる熱応力を吸収できる。更に、低弾性率樹脂層14、4、13が機能素子内蔵基板300の略全面にわたって配置されていることで、応力緩和に必要となる変形の確保が可能となる。また、充分に寸法安定性のある高弾性率樹脂層16、7、3、15を配線層22、12、2、21に隣接して又はその近くに配置することで、破断応力の配線層22、12、2、21への集中を避けることができる。また、織布6と機能素子5の間に低弾性率樹脂層4の低弾性率材料が入り込む間隙を設けることで、補強材である織布6に伴う応力の増大を避けることができる。また、機能素子内蔵基板300の略全面にわたって高弾性率樹脂層16、7、3、15が配置され、かつ比較的厚い低弾性率樹脂層4にも織布6による補強構造が入ることで、機能素子内蔵基板300全体の剛性を確保することができる。更に、上下方向の積層構造が対称となっていることで、機能素子5と樹脂材料との熱応力の差による反りだけでなく、機能素子5の上面側の樹脂層4、7、14、16と下面側の樹脂層4、3、13、15との熱応力の差による反りも抑制できる。
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態に係る機能素子内蔵基板400は、図4に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、3と、配線層12、2と、内蔵層貫通ビア10と、電極端子11と、織布6と、を備えている。以下、第1絶縁層4は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、3は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1乃至第3実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
本発明の第4実施形態に係る機能素子内蔵基板400は、図4に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、3と、配線層12、2と、内蔵層貫通ビア10と、電極端子11と、織布6と、を備えている。以下、第1絶縁層4は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、3は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1乃至第3実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
内蔵層貫通ビア10は、高弾性率樹脂層7、低弾性率樹脂層4、織布6及び高弾性率樹脂層3を貫通しており、配線層12と配線層2とを接続している。
本実施形態において、低弾性率樹脂層4は、室温における弾性率が、機能素子5に対し、100分の1以下である。一方、高弾性率樹脂層7、3は、室温における弾性率が、低弾性率樹脂層4に対し、100倍以上である。
上記構成により、低弾性率樹脂層4が高弾性率樹脂層7、3よりも低弾性となることで、一般に周囲の絶縁材よりも低熱膨張率である半導体素子などの機能素子5の周りに生じる熱応力を吸収できる。更に、低弾性率樹脂層4が機能素子内蔵基板400の略全面にわたって配置されていることで、応力緩和に必要となる変形の確保が可能となる。また、充分に寸法安定性のある高弾性率樹脂層7、3を配線層12、2に隣接して又はその近くに配置することで、破断応力の配線層12、2への集中を避けることができる。また、織布6と機能素子5の間に低弾性率樹脂層4の低弾性率材料が入り込む間隙を設けることで、補強材である織布6に伴う応力の増大を避けることができる。また、機能素子内蔵基板400の略全面にわたって高弾性率樹脂層7、3が配置され、かつ比較的厚い低弾性率樹脂層4にも織布6による補強構造が入ることで、機能素子内蔵基板400全体の剛性を確保することができる。また、上下方向の積層構造が対称となっていることで、機能素子5と樹脂材料との熱応力の差による反りだけでなく、機能素子5の上面側の樹脂層4、7と下面側の樹脂層4、2との熱応力の差による反りも抑制できる。更に、上下に1つずつしか配線層12、2がないことで、機能素子内蔵基板400を更に薄化することが可能となる。
(第5実施形態)
本発明の第5実施形態に係る機能素子内蔵基板500は、図5に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、3と、配線層12、2と、内蔵層貫通ビア10と、電極端子11と、を備えている。以下、第1絶縁層4は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、3は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1乃至第3実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
本発明の第5実施形態に係る機能素子内蔵基板500は、図5に示すように、機能素子5と、第1絶縁層4と、第2絶縁層7、3と、配線層12、2と、内蔵層貫通ビア10と、電極端子11と、を備えている。以下、第1絶縁層4は、低弾性率樹脂層ともいう。また、第2絶縁層7、3は、高弾性率樹脂層ともいう。なお、本実施形態では、以下で説明するものを除いて第1乃至第3実施形態と共通の部分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
内蔵層貫通ビア10は、高弾性率樹脂層7、低弾性率樹脂層4及び高弾性率樹脂層3を貫通しており、配線層12と配線層2とを接続している。
本実施形態において、低弾性率樹脂層4の室温における弾性率は、機能素子5の弾性率の100分の1以下である。一方、高弾性率樹脂層7、3の室温における弾性率は、低弾性率樹脂層の弾性率の100倍以上である。
上記構成により、低弾性率樹脂層4が高弾性率樹脂層7、3よりも低弾性となることで、一般に周囲の絶縁材よりも低熱膨張率である半導体素子などの機能素子5の周りに生じる熱応力を吸収できる。更に、低弾性率樹脂層4が機能素子内蔵基板500の略全面にわたって配置されていることで、応力緩和に必要となる変形の確保が可能となる。また、充分に寸法安定性のある高弾性率樹脂層7、3を配線層12、2に隣接して又はその近くに配置することで、破断応力の配線層12、2への集中を避けることができる。加えて、織布等の補強材の代替として高弾性率樹脂層7、3が機能素子内蔵基板500全体の剛性を確保する。このため、補強材に伴う応力の増大を回避でき、更に、機能素子内蔵基板500全体の剛性を確保することができる。また、上下方向の積層構造が対称となっていることで、機能素子5と樹脂材料との熱応力の差による反りだけでなく、機能素子5の上面側の樹脂層4、7と、機能素子の下面側の樹脂層4、2との熱応力の差による反りも抑制できる。また、上下に1つずつしか配線層12、2がないことで、機能素子内蔵基板500を更に薄化することが可能となる。更に、織布を用いないため、材料コストの低減を図ることができる。
(第6実施形態)
以下、本発明の第6実施形態に係る機能素子内蔵基板の製造方法について、図6(a)〜図11(c)を参照して具体的に説明する。本実施形態では、前述の第2実施形態に係る機能素子内蔵基板200についての製造方法として説明する。なお、以下に説明する各工程においては適宜洗浄や熱処理を行ってもよい。
以下、本発明の第6実施形態に係る機能素子内蔵基板の製造方法について、図6(a)〜図11(c)を参照して具体的に説明する。本実施形態では、前述の第2実施形態に係る機能素子内蔵基板200についての製造方法として説明する。なお、以下に説明する各工程においては適宜洗浄や熱処理を行ってもよい。
まず、図6(a)に示したとおり支持体1を用意する。必要であれば、支持体1の表面にウェット洗浄、ドライ洗浄、平坦化、粗化などの処理を施す。支持体1は適度な剛性を有していることが望ましいため、たとえば、シリコン、GaAs等の半導体ウエハ材料、金属、石英、ガラス、セラミック、プリント板を材料として用いることができるが、これらに限定されない。本実施形態では、支持体1の支持基板として例えば0.5mm厚さの銅板を用いる。そして、銅板の機能素子内蔵基板200が形成される側の表面にエッチングバリアとしてNiめっきによる例えば3μm厚のNi層を形成する。
次に、図6(b)に示したとおり、支持体1上に配線層21を形成する。配線層21は、例えばサブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。サブトラクティブ法は、例えば特開平10−51105号公報に開示されているように、基板又は樹脂上に設けられた銅箔を、銅箔上に所望のパターンで形成したレジストをエッチングマスクとしてエッチングし、その後にレジストを除去することで、所望の配線パターンを得る方法である。セミアディティブ法は、例えば特開平9−64493号公報に開示されているように、無電解めっき、スパッタ法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等で給電層を形成した後、給電層上に所望のパターンに対応する開口部を有するレジストを形成し、レジスト開口部内に電解めっきを析出させ、レジストを除去後に給電層をエッチングすることで、所望の配線パターンを得る方法である。フルアディティブ法は、例えば特開平6−334334号公報に開示されているように、基板又は樹脂の表面に無電解めっき触媒を吸着させた後に、所望のパターンに対応する開口部を有するレジストを形成し、このレジストを絶縁層として残したまま触媒を活性化して無電解めっき法により絶縁層の開口部に金属を析出させることで、所望の配線パターンを得る方法である。さらに、より密着力を高める手段として、配線層21をスパッタ法にて形成することとしてもよい。本実施形態では、セミアディティブ法により銅を用いた電解めっきで配線層21を形成する。その際、銅のスパッタ膜を給電層として形成してもよい。しかし、本実施形態のように、支持体1が導電性の材料により構成されている場合、またはその表面に予め導電性の膜が形成されている場合には、給電層を形成することは必ずしも必要ではない。従って、銅のスパッタ膜による給電層の上に、または支持体1が導電体の材料で構成されている場合または支持体1の表面に導電性の膜が形成されている場合には、直接支持体1の上に、フォトレジストをパターンレジストとして用い、配線層21を形成することができる。本実施形態では、銅の支持体1の上に直接、フォトレジストをパターンレジストとして用いて、膜厚10μmの配線層21を形成する。
次に、図6(c)に示したとおり、配線層21上に低弾性率樹脂層13を形成する。低弾性率樹脂層13は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。低弾性率樹脂層13の材料が液状の有機材料であれば、低弾性率樹脂層13は、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、フィルム状の有機材料の場合は、低弾性率樹脂層13は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。もし次に積層する高弾性率樹脂層15が硬化済みシートである場合には、未硬化状態で真空ラミネート法等により低弾性率樹脂層13を積層し、これを接着層として用いて、その上にラミネート法、プレス法等により高弾性率樹脂層15を積層することもできる。本実施形態では、低弾性率樹脂層13として、例えば、10μm厚さで硬化後弾性率が15MPaの未硬化シート状エポキシ樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層を行う。なお、低弾性率樹脂層13を次の工程で高弾性率樹脂層15との接着層として用いる場合、この段階では低弾性率樹脂層13に対してキュア工程による熱処理は行わなくてもよい。即ち、この段階では低弾性率樹脂層13を硬化させなくてもよい。
次に、図6(d)に示したとおり、低弾性率樹脂層13上に高弾性率樹脂層15を形成する。高弾性率樹脂層15は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料を用いて形成することができる。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。有機材料は、感光性、非感光性のいずれを用いてもよい。本実施形態では、高弾性率樹脂層15として、例えば、厚さが10μmで弾性率が8GPaの硬化済みシート状ポリイミド樹脂を用いて、低弾性率樹脂層13を接着層として用い、真空ラミネータにより積層を行う。その後、低弾性率樹脂層13に対してキュア工程の熱処理を実施する。
次に、図7(a)に示したとおり、低弾性率樹脂層13及び高弾性率樹脂層15を貫通する層間ビアホール17を形成する。低弾性率樹脂層13及び高弾性率樹脂層15に感光性の有機材料を用いた場合、フォトリソグラフィー法などにより層間ビアホール17を形成することができる。低弾性率樹脂層13及び高弾性率樹脂層15に非感光性の有機材料、又は感光性でパターン解像度が低い有機材料を用いた場合は、レーザ、ドライエッチング法、ブラストなどにより層間ビアホール17を形成することができる。このとき、低弾性率樹脂層13と高弾性率樹脂層15とで層間ビアホール17の加工方法が異なっていてもよい。本実施形態では、低弾性率樹脂層13及び高弾性率樹脂層15に対し、一括してレーザにて層間ビアホール17を形成する。
次に、図7(b)に示したとおり、層間ビアホール17内の層間ビア19、及び高弾性率樹脂層15上の配線層2を形成する。この工程では、層間ビア19を配線層2と同じ工程で形成するか、層間ビア19を、層間ビアホール17の内部を電解めっき法、無電解めっき法、印刷法等により導電材料で埋めることで形成してから配線層2を形成してもよい。あるいは、配線層21上に層間ビア19となる金属ポストをめっき法や印刷法等により予め形成しておき、金属ポストを埋設するように低弾性率樹脂層13及び高弾性率樹脂層15を形成し、高弾性率樹脂層15の表面をバフ研磨、ドライエッチング法、CMP法、研削法、ラップ法などにより除去して金属ポストを露出させることで、層間ビア19を形成してもよい。また、図7(b)は、層間ビア19の開口部を垂直な壁で示しているが、テーパ角を付けてもよい。本実施形態では、層間ビア19は、レーザにより開口を形成し、支持体1の銅板から給電を行うことで開口内部を銅メッキで充填することで形成する。配線層2は、銅から形成し、その厚さは例えば10μmとする。配線層2は、前述の通り、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。微細な配線を形成する場合は、セミアディティブ法を選択し、給電層をスパッタ法、無電解めっき法、CVD法、エアロゾル法等により形成する。本実施形態では、セミアディティブ法により、銅のスパッタ膜を給電層として形成し、フォトレジストをパターンレジストとして用い、電解めっきにより銅を10μm厚さで形成することで、配線層2を形成する。
次に、図7(c)に示したとおり、配線層2上に低弾性率樹脂層4aを形成する。低弾性率樹脂層4aは、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成する。低弾性率樹脂層4aには補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いることができる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。有機材料は、感光性、非感光性のいずれを用いてもよい。低弾性率樹脂層4aが熱硬化性樹脂である場合は、所望の絶縁性、機械特性を得るために加熱硬化させるが、低弾性率樹脂層4aを次の工程で機能素子5との接着層として用いる場合にはこの段階では硬化させない。本実施形態では、例えば10μm厚さで硬化後弾性率が15MPaであり、織布を含まないエポキシ樹脂を真空ラミネータ法で積層することで、低弾性率樹脂層4aを形成する。
次に、図7(d)に示したとおり、機能素子5を低弾性率樹脂層4a上に設置する。硬化前の低弾性率樹脂層4aを接着層として用いる場合など、機能素子5及び/又は低弾性率樹脂層4aに所望の接着機能が備わっている場合には、その接着機能を利用して機能素子5と低弾性率樹脂層4aとを接着すればよい。そのような接着機能が備わっていない場合や、接着力が不安定である場合には、液状やシート状の接着剤を用いて機能素子5と低弾性率樹脂層4aとを接着してもよい。接着剤には、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂などを使用することができる。また、機能素子5には電極端子が設けられていてもよい。この場合、電極端子の接続にはハンダ材料や樹脂成分、つまり、ペースト材料や異方性導電材料を使用してもよい。また、機能素子5は、機能素子内蔵基板200の薄型化のために薄く仕上がっていることが望ましい。例えば、300μm以下の厚さ、好ましくは150μm以下の厚さ、より好ましくは100μm以下の厚さである。本実施形態では、例えば50μm厚さで弾性率が190GPaの機能素子5を、キュア処理前の低弾性率樹脂層4a上に設置する。
次に、図8(a)及び図8(b)に示したとおり、織布6を含む低弾性率樹脂層6bを積層し、さらにその上に低弾性率樹脂層4bを積層して機能素子内蔵層(低弾性率樹脂層)4を形成する。低弾性率樹脂層6bは、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。また、低弾性率樹脂層6bは、補強材として機能素子5が配置される開口部23を設けた織布6を含んでいる。織布6により、機能素子内蔵基板200は薄型でも剛性を確保することができる。織布6の材料としては、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。低弾性率樹脂層6bは、織布6を含む材料となるため、機能素子5が配置される開口部23はレーザ、ドライエッチング法、ブラスト、プレス裁断などにより形成する。低弾性率樹脂層6bには、硬化済みの材料を用いても構わなく、未硬化の材料を用いてもよい。また、低弾性率樹脂層4bは、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。低弾性率樹脂層4bにもガラス繊維、有機材料繊維等の補強繊維を保有する材料を用いてもよい。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。
硬化前の低弾性率樹脂層6b及び/又は4bを接着層として用いる場合など、低弾性率樹脂層6b及び/又は4bに所望の接着機能が備わっている場合には、その接着機能を利用して低弾性率樹脂層6b及び4bを接着すればよい。そのような接着機能が備わっていない場合や、接着力が不安定である場合には、液状やシート状の接着剤を用いて低弾性率樹脂層6b及び4bを接着してもよい。また、低弾性率樹脂層6b及び/又は4bの材料自体に接着性がある場合は、低弾性率樹脂層6b及び4bをそのまま接着してもよい。低弾性率樹脂層4bは、図7(c)で記載した低弾性率樹脂層4aと同様の方法により積層することができる。本実施形態では、低弾性率樹脂層6bとしてガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸した例えば50μm厚さのプリプレグ材を用い、真空ラミネータにより積層を行う。エポキシ樹脂自体の弾性率は例えば15MPaである。また、低弾性率樹脂層4bとしては、例えば10μm厚さで弾性率が15MPaであり、織布を含まないシート状エポキシ樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層する。その際、低弾性率樹脂層6b及び4bを続くプロセスにて高弾性率樹脂層7との接着層として用いるため、この段階では低弾性率樹脂層6b及び4bに対してキュア工程の熱処理を実施しなくてもよい。
次に、図8(c)に示したように、低弾性率樹脂層4上に高弾性率樹脂層7を形成する。高弾性率樹脂層7は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。また、高弾性率樹脂層7に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。高弾性率樹脂層7は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、高弾性率樹脂層7は、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、高弾性率樹脂層7として、例えば10μm厚さで弾性率が8GPaの硬化済みシート状ポリイミド樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層を行う。その後、低弾性率樹脂層6b及び4bに対し、キュア工程の熱処理を実施する。
次に、図9(a)に示したとおり、高弾性率樹脂層7と低弾性率樹脂層4の機能素子5の上面の側の層とを貫通する電極端子ビアホール9、及び高弾性率樹脂層7と低弾性率樹脂層4と織布6とを貫通する内蔵層貫通ビアホール8を形成する。形成方法としては、レーザ、ドライエッチング法、ブラストなどが好適に用いられる。図9(a)では、電極端子ビアホール9及び内蔵層貫通ビアホール8を垂直な壁で示しているが、テーパ角を付けてもよい。本実施形態では、レーザにより電極端子ビアホール9及び内蔵層貫通ビアホール8を形成する。
次に、図9(b)に示したとおり、電極端子ビアホール9内の電極端子11、内蔵層貫通ビアホール8内の内蔵層貫通ビア10、及び高弾性率樹脂層7上の配線層12を形成する。電極端子11、内蔵層貫通ビア10は、配線層12と同じ工程で形成するか、電極端子ビアホール9、内蔵層貫通ビアホール8の内部を電解めっき法、無電解めっき法、印刷法等により導電材料で埋めることで電極端子11、内蔵層貫通ビア10を形成してから配線層12を形成してもよい。あるいは、機能素子5及び配線層2上に電極端子11及び内蔵層貫通ビア10となる金属ポストをめっき法や印刷法等により予め形成しておき、金属ポストを埋設するように織布6を含む低弾性率樹脂層4及び高弾性率樹脂層7を形成し、高弾性率樹脂層7の表面をバフ研磨、ドライエッチング法、CMP法、研削法、ラップ法などにより除去して金属ポストを露出させることで、電極端子11及び内蔵層貫通ビア10を形成してもよい。この場合、織布6には、内蔵層貫通ビア10が貫通する位置に、予め開口部を設ける必要がある。配線層12は、例えば銅を用いて形成する。配線層12は、例えば前述の通り、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。微細な配線を形成する場合は、セミアディティブ法を選択し、給電層をスパッタ法、無電解めっき法、CVD法、エアロゾル法等により形成する。配線層12を電極端子11及び内蔵層貫通ビア10と同時に形成する場合、給電層は電極端子ビアホール9、内蔵層貫通ビアホール8にも形成する必要がある。本実施形態では、スパッタによる銅を給電層として、電極端子ビアホール9の内側、内蔵層貫通ビアホール8の内側及び高弾性率樹脂層7の表面に形成する。その後、フォトレジストをパターンレジストとして用いて電解銅めっきにより電極端子11、内蔵層貫通ビア10及び配線層12を形成する。配線層12の厚さは例えば10μmとする。
次に、図10(a)に示したとおり、配線層12を覆うように低弾性率樹脂層14を形成する。低弾性率樹脂層14は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。また、低弾性率樹脂層14に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。低弾性率樹脂層14は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、低弾性率樹脂層14は、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、低弾性率樹脂層14として、例えば、10μm厚さで弾性率が15MPaの織布を含まないシート状エポキシ樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層を行う。なお、続くプロセスにおける高弾性率樹脂層16との接着層として用いるため、低弾性率樹脂層14には熱処理によるキュア工程をこの段階では実施しなくてもよい。
次に、図10(b)に示したとおり、低弾性率樹脂層14上に高弾性樹脂層16を形成する。高弾性樹脂層16は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。また、高弾性樹脂層16に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。高弾性樹脂層16は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、フィルム状の有機材料の場合は、高弾性樹脂層16は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、高弾性樹脂層16として、例えば、10μm厚さで弾性率が8GPaのシート状エポキシ樹脂を用いて、低弾性樹脂層14を接着層として用い、真空ラミネータにより積層を行う。その後、熱処理によるキュア工程を低弾性率樹脂層14に対し実施する。
次に、図11(a)に示したとおり、高弾性率樹脂層16及び低弾性率樹脂層14を貫通する層間ビアホール18を形成する。形成方法としては、レーザ、ドライエッチング法、ブラストなどが好適に用いられる。本実施形態では、レーザにより層間ビアホール18を形成する。なお、図11(a)では層間ビアホール18を垂直な壁で示しているが、テーパ角を付けてもよい。
次に、図11(b)に示したとおり、層間ビアホール18内の層間ビア20、及び高弾性率樹脂層16上の配線層22を形成する。層間ビア20は、配線層22と同じ工程で形成するか、層間ビアホール18の内部を電解めっき法、無電解めっき法、印刷法等により導電材料で埋めることで層間ビア20を形成してから配線層22を形成してもよい。あるいは、配線層12上に層間ビア20となる金属ポストをめっき法や印刷法等により予め形成しておき、金属ポストを埋設するように低弾性率樹脂層14、高弾性率樹脂層16を形成し、高弾性率樹脂層16の表面をバフ研磨、ドライエッチング法、CMP法、研削法、ラップ法などにより除去して金属ポストを露出させることで、層間ビア20を形成してもよい。配線層22は、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。微細な配線を形成する場合は、セミアディティブ法を選択し、給電層をスパッタ法、無電解めっき法、CVD法、エアロゾル法等により形成する。配線層22を層間ビア20と同時に形成する場合、給電層は層間ビアホール18にも形成する必要がある。本実施形態では、レーザにより層間ビアホール18を形成したのち、スパッタによる銅膜を給電層として、層間ビアホール18の内側及び高弾性率樹脂層16の表面に形成し、その後フォトレジストをパターンレジストとして用いて電解銅めっきにより層間ビア20及び配線層22を形成する。配線層22の厚さは例えば10μmとする。
次に、図11(c)のように、支持体1を除去する。支持体1の除去方法は、ウェットエッチング法、ドライエッチング法、及び研磨法などのいずれかもしくはこれらの組み合わせにより行う。また、支持体1内に低密着力の剥離が容易な部分を設けていれば、剥離により行ってもよい。また、剥離後にウェットエッチング法、ドライエッチング法、及び研磨法などのいずれか又はこれらの組み合わせによる処理を行ってもよい。本実施形態では、まず、ウェットエッチングにより支持体1の銅板を除去する。その際、支持体1のNi層を銅板エッチング時のエッチングバリアとして使用する。その後、最終的に支持体1のNi層をウェットエッチングにて除去する。
なお、本発明の第1実施形態に係る機能素子内蔵基板100についての製造方法は、織布6に関わる工程を除く全ての工程において、以上で説明した本実施形態と同一である。従って、低弾性率樹脂層6bについて織布6を含まないとして読み替えればよい。
(第7実施形態)
以下、本発明の第7実施形態に係る機能素子内蔵基板の製造方法について、図12(a)〜図16(b)を参照して具体的に説明する。本実施形態では、前述の第3実施形態に係る機能素子内蔵基板300についての製造方法として説明する。なお、以下に説明する各工程においては適宜洗浄や熱処理を行ってもよい。
以下、本発明の第7実施形態に係る機能素子内蔵基板の製造方法について、図12(a)〜図16(b)を参照して具体的に説明する。本実施形態では、前述の第3実施形態に係る機能素子内蔵基板300についての製造方法として説明する。なお、以下に説明する各工程においては適宜洗浄や熱処理を行ってもよい。
まず、図12(a)に示したとおり、支持体1を用意する。必要であれば、支持体1の表面にウェット洗浄、ドライ洗浄、平坦化、粗化などの処理を施す。支持体1は、導電性の材料、又は、表面に導電性の膜が形成された材料から形成されている。支持体1は適度な剛性を有していることが望ましいため、シリコン、GaAs等の半導体ウエハ材料、金属、石英、ガラス、セラミック、プリント板を材料として用いることができる。導電性の材料は、金属、半導体材料、及び所望の電気伝導度を有する有機材料のいずれか又は複数により形成することができる。本実施形態では、支持体1の支持基板として例えば0.5mm厚さの銅板を用いる。そして、銅板の機能素子内蔵基板300が形成される側の表面にエッチングバリアとしてNiめっきによる例えば3μm厚のNi層を形成する。
次に、図12(b)に示したとおり、支持体1上に配線層21を形成する。配線層21は、例えばサブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。本実施形態では、セミアディティブ法により銅を用いた電解めっきで配線層21を形成する。その際、銅のスパッタ膜を給電層として形成し、フォトレジストをパターンレジストとして用いる。配線層21の膜厚は、例えば10μmとする。
次に、図12(c)に示したとおり、配線層21上に高弾性率樹脂層3を形成する。高弾性率樹脂層3は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。また、高弾性率樹脂層3に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を使用することができる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。高弾性率樹脂層3は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、高弾性率樹脂層3は、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、液状のポリイミド樹脂の前駆体を、スピンコート法により配線層21の表面に塗付したのち、熱処理によるキュア工程を実施し、硬化させることで、高弾性率樹脂層3を形成する。硬化後の高弾性率樹脂層3は、例えば、厚さが10μmで弾性率が8GPaである。
次に、図12(d)のように、高弾性率樹脂層3上に低弾性率樹脂層4aを形成する。低弾性率樹脂層4aは、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。また、低弾性率樹脂層4aには補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。低弾性率樹脂層4aは、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、低弾性率樹脂層4aは、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、低弾性率樹脂層4aとして、例えば、10μm厚さで硬化後弾性率が15MPaのシート状エポキシ樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層を行う。なお、続くプロセスにおいて低弾性率樹脂層4aを接着層として用いるため、低弾性率樹脂層4aに対して熱処理によるキュア工程はこの段階では実施しなくてもよい。
次に、図13(a)のように、機能素子5を低弾性率樹脂層4a上に設置する。硬化前の低弾性率樹脂層4aを接着層として用いる場合など、機能素子5及び/又は低弾性率樹脂層4aに所望の接着機能が備わっている場合には、その接着機能を利用して機能素子5と低弾性率樹脂層4aとを接着すればよい。そのような接着機能が備わっていない場合や、接着力が不安定である場合には、液状やシート状の接着剤を用いて機能素子5と低弾性率樹脂層4aとを接着してもよい。接着剤は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂などから形成することができる。また、機能素子5には電極端子が設けられていてもよい。この場合、電極端子の接続にはハンダ材料や樹脂成分、つまり、ペースト材料や異方性導電材料は使用しない。これにより、安定して剛性のある接続部分が設けられる。また、機能素子5は、機能素子内蔵基板300の薄型化のために薄く仕上がっていることが望ましい。例えば、300μm以下の厚さ、好ましくは150μm以下の厚さ、より好ましくは100μm以下の厚さである。本実施形態では、例えば、50μm厚さで弾性率が190GPaの機能素子5を、キュア処理前の低弾性率樹脂層4a上に設置し、低弾性率樹脂層4aの接着性により接着を行う。
次に、図13(b)及び図13(c)に示したとおり、低弾性率樹脂層4a上に織布6を含む低弾性率樹脂層6bを積層し、さらにその上に低弾性率樹脂層4bを積層して機能素子内蔵層(低弾性率樹脂層)4を形成する。低弾性率樹脂層6bは、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。補強材である織布6は、低弾性率樹脂層6bに用いられる有機材料と機能素子5との熱膨張係数差を小さくすることに加え、薄型でも剛性を確保することができる。織布6の材料としては、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を使用することができる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。低弾性率樹脂層6bは、織布6を含む材料となるため、機能素子5が配置される開口部23はレーザ、ドライエッチング法、ブラスト、プレス裁断などにより形成する。低弾性率樹脂層6bには、硬化済みの材料を用いてもよく、未硬化の材料を用いてもよい。硬化前の低弾性率樹脂層6b及び/又は4bを接着層として用いる場合など、低弾性率樹脂層6b及び/又は4bに所望の接着機能が備わっている場合には、その接着機能を利用して低弾性率樹脂層6b及び4bを接着すればよい。そのような接着機能が備わっていない場合や、接着力が不安定である場合には、液状やシート状の接着剤を用いて低弾性率樹脂層6b及び4bを接着してもよい。また、低弾性率樹脂層6b及び/又は4bの材料自体に接着性がある場合は、低弾性率樹脂層6b及び4bをそのまま接着してもよい。低弾性率樹脂層4bは、図12(d)で記載した低弾性率樹脂層4aと同様の方法により積層することができる。本実施形態では、例えば、低弾性率樹脂層6bとしてガラスクロスに硬化後弾性率15MPaのエポキシ樹脂を含浸した50μm厚さのプリプレグ材を用い、真空ラミネータにより積層を行う。また、低弾性率樹脂層6b上の低弾性率樹脂層4bは、例えば10μm厚さで硬化後弾性率が15MPaのシート状エポキシ樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層する。以後、これらの樹脂層4a、6b、4bは一体とみなせるので、低弾性率樹脂層4とし、特に区別しない。但し、織布6については、低弾性率樹脂層4の一部でなく、低弾性率樹脂層4とは区別された別の構成要素として説明する。
次に、図14(a)に示したとおり、低弾性率樹脂層4上に高弾性率樹脂層7を形成する。高弾性率樹脂層7は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。また、高弾性率樹脂層7に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えばガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。高弾性率樹脂層7は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成することができる。また、高弾性率樹脂層7は、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、高弾性率樹脂層7として、例えば、10μm厚さで弾性率が8GPaのシート状硬化済みポリイミド樹脂を用いて、真空ラミネータにより、低弾性率樹脂層4の表面の接着性を活かして積層を行う。高弾性率樹脂層7の積層後、低弾性率樹脂層4のキュア工程の熱処理を実施する。
次に、図14(b)に示したとおり、高弾性率樹脂層7と低弾性率樹脂層4の機能素子5の上面の側の層とを貫通する電極端子ビアホール9、及び高弾性率樹脂層7と低弾性率樹脂層4と織布6とを貫通する内蔵層貫通ビアホール8を形成する。形成方法としては、レーザ、ドライエッチング法、ブラストなどが好適に用いられる。図14(b)では、電極端子ビアホール9及び内蔵層貫通ビアホール8を垂直な壁で示しているが、テーパ角を付けてもよい。本実施形態では、レーザにより電極端子ビアホール9及び内蔵層貫通ビアホール8を形成する。
次に、図14(c)に示したとおり、電極端子ビアホール9内の電極端子11、内蔵層貫通ビアホール8内の内蔵層貫通ビア10、高弾性率樹脂層7上の配線層12を形成する。電極端子11、内蔵層貫通ビア10は、配線層12と同じ工程で形成するか、電極端子ビアホール9、内蔵層貫通ビアホール8の内部を電解めっき法、無電解めっき法、印刷法等により導電材料で埋めることで電極端子11、内蔵層貫通ビア10を形成してから配線層12を形成してもよい。あるいは、機能素子5及び配線層2上に電極端子11及び内蔵層貫通ビア10となる金属ポストをめっき法や印刷法等により予め形成しておき、金属ポストを埋設するように織布6を含む低弾性率樹脂層4及び高弾性率樹脂層7を形成し、高弾性率樹脂層7の表面をバフ研磨、ドライエッチング法、CMP法、研削法、ラップ法などにより除去して金属ポストを露出させることで、電極端子11及び内蔵層貫通ビア10を形成してもよい。この場合、織布6には、特に内蔵層貫通ビア10が貫通する位置に、予め開口部を設ける必要がある。配線層12は、例えば前述の通り、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。微細な配線を形成する場合は、セミアディティブ法を選択し、給電層スパッタ法、無電解めっき法、CVD法、エアロゾル法等により形成する。配線層12を電極端子11及び内蔵層貫通ビア10と同時に形成する場合、給電層は電極端子ビアホール9、内蔵層貫通ビアホール8にも形成する必要がある。本実施形態では、レーザにより電極端子ビアホール9、内蔵層貫通ビアホール8を形成したのち、スパッタによる銅膜を給電層として、電極端子ビアホール9の内側、内蔵層貫通ビアホール8の内側及び高弾性率樹脂層7の表面に形成する。その後、フォトレジストをパターンレジストとして用いて電解銅めっきにより電極端子11、内蔵層貫通ビア10及び配線層12を形成する。配線層12の厚さは例えば10μmとする。
次に、図15(a)に示したとおり、支持体1を除去する。支持体1の除去方法は、ウェットエッチング法、ドライエッチング法、及び研磨法などのいずれかもしくはこれらの組み合わせにより行う。また、支持体1内に低密着力の剥離が容易な部分を設けていれば、剥離により行ってもよく、剥離後にウェットエッチング法、ドライエッチング法、及び研磨法などのいずれかもしくはこれらの組み合わせによる処理を行ってもよい。本実施形態では、まず、ウェットエッチングにより支持体1の銅板を除去する。その際、支持体1のNi層を銅板エッチング時のエッチングバリアとして使用する。その後、最終的には支持体1のNi層をウェットエッチングにて除去する。
次に、図15(b)に示したとおり、配線層2、12を覆うように低弾性率樹脂層13、14を形成する。低弾性率樹脂層13、14は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。また、低弾性率樹脂層13、14に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を用いる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。低弾性率樹脂層13、14は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成する。また、低弾性率樹脂層13、14は、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、低弾性率樹脂層13、14として、例えば10μm厚さで硬化後弾性率が15MPaのシート状エポキシ樹脂を用いて、真空ラミネータにより積層を行う。ただし、続く工程における高弾性率樹脂層15、16との接着層として用いるため、低弾性率樹脂層13、14のキュア工程はこの段階では実施しなくてもよい。
次に、図15(c)に示したとおり、低弾性率樹脂層13、14上に高弾性率樹脂層15、16を形成する。高弾性率樹脂層15、16は、例えば、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、BCB、PBO及びポリノルボルネン樹脂等の有機材料から形成することができる。特に、ポリイミド樹脂及びPBOは、膜強度、引張弾性率及び破断伸び率等の機械的特性が優れているため、高い信頼性を得ることができる。また、高弾性率樹脂層15、16に補強繊維を保有する材料を用いてもよい。補強繊維には、例えば、ガラス繊維、有機材料繊維を使用することができる。有機材料繊維は、例えばポリイミド、ポリアミド、PBO、液晶ポリマー、フッ素系樹脂などが剛性や薄型の面で適しており、コスト面や熱膨張係数の観点よりガラス繊維がより好適である。高弾性率樹脂層15、16は、液状の有機材料であれば、スピンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、スプレー法、印刷法等により形成する。また、高弾性率樹脂層15、16は、フィルム状の有機材料の場合は、ラミネート法、プレス法等により形成することができ、これらの方法を真空中で実施してもよい。本実施形態では、高弾性率樹脂層15、16として、例えば、硬化済みの10μm厚さで弾性率8GPaのシート状ポリイミド樹脂を用いて、低弾性率樹脂層13、14を接着層として用い、真空ラミネータにより積層を行う。その後、低弾性率樹脂層13、14に対して、キュア工程の熱処理を実施する。
次に、図16(a)に示したとおり、高弾性率樹脂層16及び低弾性率樹脂層14を貫通する層間ビアホール17、並びに高弾性率樹脂層15及び低弾性率樹脂層13を貫通する層間ビアホール18を形成する。形成方法としては、レーザ、ドライエッチング法、ブラストなどが好適に用いられる。本実施形態では、レーザにより層間ビアホール17、18を形成する。なお、図16(a)では層間ビアホール17、18を垂直な壁で示しているが、テーパ角を付けてもよい。
次に、図16(b)に示したとおり、層間ビアホール17、18内の層間ビア19、20、及び高弾性率樹脂層15、16上の配線層21、22を形成する。層間ビア19、20は、配線層21、22と同じ工程で形成することができる。その他に、層間ビアホール17、18の内部を電解めっき法、無電解めっき法、印刷法等により導電材料で埋めることで層間ビア19、20を形成してから配線層21、22を形成してもよい。あるいは、配線層2、12上に層間ビア19、20となる金属ポストをめっき法や印刷法等により予め形成しておき、金属ポストを埋設するように低弾性率樹脂層13、14、高弾性率樹脂層15、16を形成し、高弾性率樹脂層15、16の表面をバフ研磨、ドライエッチング法、CMP法、研削法、ラップ法などにより除去して金属ポストを露出させることで、層間ビア19、20を形成してもよい。配線層21、22は、例えば前述の通り、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の配線形成法により形成することができる。微細な配線を形成する場合は、セミアディティブ法を選択し、給電層をスパッタ法、無電解めっき法、CVD法、エアロゾル法等により形成する。層間ビア19、20を、配線層21、22と同時に形成する場合、給電層は層間ビアホール17、18にも形成する必要がある。本実施形態では、スパッタ法により、給電層となる銅膜を層間ビアホール17、18の内側及び高弾性率樹脂層15、16の表面に形成する。その後、フォトレジストをパターンレジストとして用いて電解銅めっきにより層間ビア19、20及び配線層21、22を形成する。配線層21、22の厚さは、例えば、ともに10μmとする。
なお、本発明の第4実施形態に係る機能素子内蔵基板400についての製造方法は、図12(a)から図15(a)のプロセスまで本実施形態と同一であり、図15(b)以降のプロセスを実施しない場合である。更に、本発明の第5実施形態に係る機能素子内蔵基板500についての製造方法は、図12(a)から図15(a)のプロセスのうち織布6に関わる工程を除く全ての工程で本実施形態と同一である。従って、低弾性率樹脂層6bについて織布6を含まないとして読み替えればよい。
尚、図17は、機能素子5の材料と、第1絶縁層(低弾性率樹脂層)4の候補として選ばれた複数の材料との間の、上記材料を適切な条件で硬化した場合の残留応力の測定値を示すグラフである。図18は、それぞれ弾性率の比率が異なる第1絶縁層(低弾性率樹脂層)4と第2絶縁層(高弾性率樹脂層)16、7、15、3とを含む複数の、本発明の第3実施形態の機能素子内蔵基板における、機能素子5を含む基板全体の歪みの値を示すグラフであり、複数のサンプルの測定結果データを片対数グラフ上の回帰直線でフィッティングしたものである。
図17のグラフから、第1絶縁層の材料の弾性率が、機能素子の材料の弾性率の100分の1以下である場合、それ以上の値のときよりも著しく残留応力が低下することが分かる。
また、図18のグラフから、第2絶縁層の材料の弾性率が、第1絶縁層の材料の弾性率よりも100倍以上であるとき、第2絶縁層の高い弾性率により機能素子内蔵基板の平坦性が確保され、歪みの値は数百ミクロン以下となることが分かる。一般に機能素子内蔵基板をBGA(Ball Grid Array)等の方法によりシステムボードに搭載する場合、BGAボールの直径が機能素子内蔵基板の歪みの制約条件となる。機能素子内蔵基板の歪みは、BGAボールの直径よりも充分に小さくなければならない。BGAボールの直径は一般に1ミリ以下であるため、機能素子内蔵基板の歪みの上限は数百ミクロンであることが望ましい。このような観点から、第2絶縁層の弾性率が第1絶縁層の弾性率よりも100倍以上大きいとき、機能素子内蔵基板の平坦性について望ましい値が得られることが分かる。
上述の実施形態に係る機能素子内蔵基板100、200、300、400、500、並びに本発明に係る機能性素子内蔵基板は、例えば、図19に示す携帯電話機600の他、PDA(Personal Digital Assistant)、ノートパソコン等、種々の電子機器に搭載することができ、これにより電子機器の小型化、薄型化、及び信頼性の向上に貢献することができる。
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
(付記1)
機能素子内蔵基板であって、
機能素子と、
前記機能素子を包囲するように、前記基板の略全面にわたって配置された第1絶縁層と、
前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層と、
前記配線層に接するように配置された1又は複数層の第2絶縁層と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする機能素子内蔵基板。
機能素子内蔵基板であって、
機能素子と、
前記機能素子を包囲するように、前記基板の略全面にわたって配置された第1絶縁層と、
前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層と、
前記配線層に接するように配置された1又は複数層の第2絶縁層と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする機能素子内蔵基板。
(付記2)
前記第1絶縁層内に前記基板の略全面にわたって配置されるとともに、前記機能素子が配置される開口部を有する補強体をさらに備え、
前記補強体の前記開口部と前記機能素子との間には前記第1絶縁層の材料が介在している、
ことを特徴とする付記1に記載の機能素子内蔵基板。
前記第1絶縁層内に前記基板の略全面にわたって配置されるとともに、前記機能素子が配置される開口部を有する補強体をさらに備え、
前記補強体の前記開口部と前記機能素子との間には前記第1絶縁層の材料が介在している、
ことを特徴とする付記1に記載の機能素子内蔵基板。
(付記3)
少なくとも前記第1絶縁層の一部を貫通し、前記機能素子と前記配線層とを電気的に接続するビアをさらに備える、
ことを特徴とする付記1又は2に記載の機能素子内蔵基板。
少なくとも前記第1絶縁層の一部を貫通し、前記機能素子と前記配線層とを電気的に接続するビアをさらに備える、
ことを特徴とする付記1又は2に記載の機能素子内蔵基板。
(付記4)
前記補強体は織布で形成されている、
ことを特徴とする付記2に記載の機能素子内蔵基板。
前記補強体は織布で形成されている、
ことを特徴とする付記2に記載の機能素子内蔵基板。
(付記5)
前記補強体は金属で形成されている、
ことを特徴とする付記2に記載の機能素子内蔵基板。
前記補強体は金属で形成されている、
ことを特徴とする付記2に記載の機能素子内蔵基板。
(付記6)
前記機能素子を中心として、前記第1絶縁層、複数の前記第2絶縁層及び複数の前記配線層が、積層方向において対称になるように配置されている、
ことを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板。
前記機能素子を中心として、前記第1絶縁層、複数の前記第2絶縁層及び複数の前記配線層が、積層方向において対称になるように配置されている、
ことを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板。
(付記7)
互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層とが他の前記第2絶縁層又は前記配線層に接することがないように、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層との少なくとも一方と、他の前記第2絶縁層又は前記配線層と、を隔離する1又は複数層の第3絶縁層をさらに備え、
前記第3絶縁層は、前記第2絶縁層の材料よりも弾性率が低い材料で形成されている、
ことを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板。
互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層とが他の前記第2絶縁層又は前記配線層に接することがないように、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層との少なくとも一方と、他の前記第2絶縁層又は前記配線層と、を隔離する1又は複数層の第3絶縁層をさらに備え、
前記第3絶縁層は、前記第2絶縁層の材料よりも弾性率が低い材料で形成されている、
ことを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板。
(付記8)
付記1乃至7のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板を備えることを特徴とする電子機器。
付記1乃至7のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板を備えることを特徴とする電子機器。
(付記9)
機能性素子内蔵基板の製造方法であって、
支持体上に、機能素子を包囲する第1絶縁層と、1又は複数層の第2絶縁層と、を含む積層体を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成される、
ことを特徴とする機能素子内蔵基板の製造方法。
機能性素子内蔵基板の製造方法であって、
支持体上に、機能素子を包囲する第1絶縁層と、1又は複数層の第2絶縁層と、を含む積層体を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成される、
ことを特徴とする機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記10)
前記積層体を形成する工程は、
前記支持体上又は上方に1の前記第2絶縁層を形成する工程と、
該第2絶縁層上又は上方に、前記機能素子を包囲するように前記第1絶縁層を形成する工程と、
該第1絶縁層上又は上方に他の前記第2絶縁層を形成する工程と、を含む、
ことを特徴とする付記9に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、
前記支持体上又は上方に1の前記第2絶縁層を形成する工程と、
該第2絶縁層上又は上方に、前記機能素子を包囲するように前記第1絶縁層を形成する工程と、
該第1絶縁層上又は上方に他の前記第2絶縁層を形成する工程と、を含む、
ことを特徴とする付記9に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記11)
前記積層体を形成する工程は、前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層を形成する工程を含み、
前記第2絶縁層と前記配線層とは、互いに接するように形成される、
ことを特徴とする付記9又は10に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層を形成する工程を含み、
前記第2絶縁層と前記配線層とは、互いに接するように形成される、
ことを特徴とする付記9又は10に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記12)
前記積層体を形成する工程は、前記第1絶縁層内に、前記機能素子と、前記基板の略全面にわたって配置されるとともに、前記機能素子が配置される開口部を有する補強体と、を埋設する工程を含み、
前記第1絶縁層は、前記補強体の前記開口部と前記機能素子との間に前記第1絶縁層の材料が介在するように形成される、
ことを特徴とする付記9乃至11のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、前記第1絶縁層内に、前記機能素子と、前記基板の略全面にわたって配置されるとともに、前記機能素子が配置される開口部を有する補強体と、を埋設する工程を含み、
前記第1絶縁層は、前記補強体の前記開口部と前記機能素子との間に前記第1絶縁層の材料が介在するように形成される、
ことを特徴とする付記9乃至11のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記13)
前記積層体を形成する工程は、少なくとも前記第1絶縁層の一部を貫通し、前記機能素子と前記配線層とを電気的に接続するビアを形成する工程を含む、
ことを特徴とする付記11に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、少なくとも前記第1絶縁層の一部を貫通し、前記機能素子と前記配線層とを電気的に接続するビアを形成する工程を含む、
ことを特徴とする付記11に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記14)
前記補強体は織布で形成されている、
ことを特徴とする付記12に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記補強体は織布で形成されている、
ことを特徴とする付記12に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記15)
前記補強体は金属で形成されている、
ことを特徴とする付記12に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記補強体は金属で形成されている、
ことを特徴とする付記12に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記16)
前記機能素子を中心として、前記第1絶縁層、複数の前記第2絶縁層及び複数の前記配線層が、積層方向において対称になるように配置される、
ことを特徴とする付記11に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記機能素子を中心として、前記第1絶縁層、複数の前記第2絶縁層及び複数の前記配線層が、積層方向において対称になるように配置される、
ことを特徴とする付記11に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
(付記17)
前記積層体を形成する工程は、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層とが他の前記第2絶縁層又は前記配線層に接することがないように、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層との少なくとも一方と、他の前記第2絶縁層又は前記配線層と、を隔離する1又は複数層の第3絶縁層を形成する工程を含み、
前記第3絶縁層は、前記第2絶縁層の材料よりも弾性率が低い材料で形成される、
ことを特徴とする付記11に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
前記積層体を形成する工程は、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層とが他の前記第2絶縁層又は前記配線層に接することがないように、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層との少なくとも一方と、他の前記第2絶縁層又は前記配線層と、を隔離する1又は複数層の第3絶縁層を形成する工程を含み、
前記第3絶縁層は、前記第2絶縁層の材料よりも弾性率が低い材料で形成される、
ことを特徴とする付記11に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
本出願は、2011年3月30日に出願された日本国特許出願2011−076011号を基礎とする優先権の主張を伴い、本明細書中に、日本国特許出願2011−076011号の明細書、特許請求の範囲、図面全体を参照として取りこむものとする。
1 支持体
2、12、21、22 配線層
3、7、15、16 高弾性率樹脂層
4、4a、4b、6b、13、14 低弾性率樹脂層
5 機能素子
6 織布
8 内蔵層貫通ビアホール
9 電極端子ビアホール
10 内蔵層貫通ビア
11 電極端子
17、18 層間ビアホール
19、20 層間ビア
23 開口部
100、200、300、400、500 機能素子内蔵基板
600 携帯電話機
2、12、21、22 配線層
3、7、15、16 高弾性率樹脂層
4、4a、4b、6b、13、14 低弾性率樹脂層
5 機能素子
6 織布
8 内蔵層貫通ビアホール
9 電極端子ビアホール
10 内蔵層貫通ビア
11 電極端子
17、18 層間ビアホール
19、20 層間ビア
23 開口部
100、200、300、400、500 機能素子内蔵基板
600 携帯電話機
Claims (10)
- 機能素子内蔵基板であって、
機能素子と、
前記機能素子を包囲するように、前記基板の略全面にわたって配置された第1絶縁層と、
前記機能素子と電気的に接続された1又は複数層の配線層と、
前記配線層に接するように配置された1又は複数層の第2絶縁層と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする機能素子内蔵基板。 - 前記第1絶縁層内に前記基板の略全面にわたって配置されるとともに、前記機能素子が配置される開口部を有する補強体をさらに備え、
前記補強体の前記開口部と前記機能素子との間には前記第1絶縁層の材料が介在している、
ことを特徴とする請求項1に記載の機能素子内蔵基板。 - 少なくとも前記第1絶縁層の一部を貫通し、前記機能素子と前記配線層とを電気的に接続するビアをさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の機能素子内蔵基板。 - 前記補強体は織布で形成されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の機能素子内蔵基板。 - 前記補強体は金属で形成されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の機能素子内蔵基板。 - 前記機能素子を中心として、前記第1絶縁層、複数の前記第2絶縁層及び複数の前記配線層が、積層方向において対称になるように配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板。 - 互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層とが他の前記第2絶縁層又は前記配線層に接することがないように、互いに接する前記第2絶縁層と前記配線層との少なくとも一方と、他の前記第2絶縁層又は前記配線層と、を隔離する1又は複数層の第3絶縁層をさらに備え、
前記第3絶縁層は、前記第2絶縁層の材料よりも弾性率が低い材料で形成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の機能素子内蔵基板を備えることを特徴とする電子機器。
- 機能性素子内蔵基板の製造方法であって、
支持体上に、機能素子を包囲する第1絶縁層と、1又は複数層の第2絶縁層と、を含む積層体を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程と、を備え、
前記第1絶縁層は、前記機能素子の弾性率の100分の1以下の弾性率を有する材料で形成され、
前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の材料の弾性率の100倍以上の弾性率を有する材料で形成される、
ことを特徴とする機能素子内蔵基板の製造方法。 - 前記積層体を形成する工程は、
前記支持体上又は上方に1の前記第2絶縁層を形成する工程と、
該第2絶縁層上又は上方に、前記機能素子を包囲するように前記第1絶縁層を形成する工程と、
該第1絶縁層上又は上方に他の前記第2絶縁層を形成する工程と、を含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の機能素子内蔵基板の製造方法。
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