JPWO2012124634A1 - 光変調素子及び光変調素子を備えた顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、駆動回路111から光変調素子103が有する液晶層に対して印加される駆動電圧は、例えば、パルス高さ変調(PHM)またはパルス幅変調(PWM)された交流電圧であってもよい。
そこで、本発明の第1の実施形態では、光変調素子103は、対物レンズ104を透過する光束をラジアル偏光にするよう構成される。
なお、位相反転素子2、偏光面回転素子3及び偏光板4の詳細については後述する。
回動支持部材5は、例えば、金属あるいは樹脂により形成され、略円筒形状を有する。そして回動支持部材5は、その内部に位相反転素子2及び偏光面回転素子3を保持する。位相反転素子2及び偏光面回転素子3は、それぞれ、位相反転素子2の光軸と偏光面回転素子3の光軸が一致するとともに、それら素子の光軸が回動支持部材5の中心線と略一致するように、回動支持部材5に保持される。以下では、位相反転素子2及び偏光面回転素子3の一致した光軸を光軸OAと呼ぶ。そして位相反転素子2及び偏光面回転素子3は、例えば、位相反転素子2及び偏光面回転素子3の外周が回動支持部材5の内壁と接着剤を用いて接着されることにより固定される。あるいは、位相反転素子2及び偏光面回転素子3は、他の固定方法、例えば、ネジなどの固定用部材を用いて回動支持部材5に固定されてもよい。
また回動支持部材5の外周には、光軸OAと直交する面と略平行に、回動支持部材5を筺体6と係合させるためのフランジ51が形成されている。さらに、回動支持部材5の位相反転素子2側の端部には、偏光板4を保持するためのガイドレール52が設けられている。
また筺体6は、光変調素子103をレーザ顕微鏡100に取り付けるための取り付け部を有する。例えば、筺体6は、そのような取り付け部として、筺体6の外周にネジ孔64を有する。あるいは、筺体6は、光照射装置が有する光変調素子の取り付け機構に取り付けることができる他の機構あるいは構造を取り付け部として有してもよい。
さらに、筺体6の側面には、位相反転素子2及び偏光面回転素子3が有する電極に電圧を印加するための配線を通す孔が形成されていてもよい。
位相反転素子2は、入射した直線偏光のうち、光軸OAを中心とする少なくとも一つの輪帯状の部分の位相を他の部分の位相に対して反転させる。また偏光面回転素子3は、位相反転素子2から出射した光をラジアル偏光に変換する。本実施形態では、位相反転素子2及び偏光面回転素子3は、それぞれ、液晶素子として構成される。
さらに、各基板、各透明電極及び各配向膜の外周には鏡枠29が配置され、この鏡枠29が、各基板を保持している。
透明電極23は、光軸OAと位相反転素子2の交点c0を中心とする、同心円状の少なくとも一つの輪帯状の電極を有する。本実施形態では、透明電極23は、円状の電極23aと、同心円状の少なくとも一つの輪帯状の電極とを有する。この例では、透明電極23は、円状の電極23aの周囲に、5個の輪帯状電極23b〜23fを有する。なお、輪帯状電極23dの外周が、図4に示された領域2aの外周に対応する。
さらに、各基板、各透明電極及び各配向膜の外周には鏡枠39が配置され、この鏡枠39が、各基板を保持している。なお、鏡枠29と鏡枠39とは、一体的に形成されてもよい。
本実施形態では、液晶層30は、時計回りに配置され、互いに配向方向が異なる8個の扇形領域30a〜30hを有し、各扇形領域30a〜30hの中心角は等しくなるように設定される。また図7において、矢印40a〜40hは、それぞれ、各扇形領域30a〜30hに含まれる液晶分子の配向方向を表す。また、矢印50a〜50hは、それぞれ、各扇形領域30a〜30hから出射する直線偏光の偏光面を表す。なお、矢印50a〜50hのうち、矢印の先端が反対方向を向いている二つの矢印は、それら矢印で表される直線偏光の位相が互いにπだけずれていることを表す。
なお、光軸OAと液晶層30との交点c1を通って扇形領域を2等分する直線を、その扇形領域の中心線と呼ぶ。
θ=360°×(n-1)/(2N) (n=1,2,...,N) (1)
ただし、Nは扇形領域の総数であり、本実施形態ではN=8である。
あるいは、第n番目の扇形領域を、扇形領域30aから反時計回りにn番目の領域としたとき、各扇形領域30b〜30hの配向方向と扇形領域30aを通る偏光成分の偏光面Aとがなす角は、それぞれ、時計回りを正として、-157.5°、-135°、-112.5°、-90°、-67.5°、-45°、-22.5°となるように、各扇形領域30b〜30hの配向方向は設定される。
ここで、透明電極33と34との間に電圧が印加されると、液晶分子がその電圧に応じて電圧が印加された方向に対して平行になる方向に傾く。液晶分子の長軸方向と、電圧が印加された方向とがなす角をψとすれば、液晶層30を透過する光は、長軸方向に対して角ψをなす。このとき、上記のように、液晶分子が配向された方向と平行な偏光成分に対する液晶分子の屈折率をnψとすると、no≦nψ≦neとなる。ただし、noは液晶分子の長軸方向に直交する偏光成分に対する屈折率であり、neは液晶分子の長軸方向に平行な偏光成分に対する屈折率である。
図8に示されるように、このラジアル偏光61は、光軸OAに対して放射状に偏光面を持つ8種類の直線偏光成分61a〜61hを有する。そして各直線偏光成分61a〜61hは、放射方向に沿って、第1の輪帯部分を透過した成分62a〜62cと、第2の輪帯部分を透過した成分62d〜62fに対応して6つに区分され、隣接する区分間で位相がπずれる。
この変形例において、矢印40i〜40nは、それぞれ、各扇形領域30i〜30nに含まれる液晶分子の配向方向を表す。また、矢印50i〜50nは、それぞれ、各扇形領域30i〜30nから出射する直線偏光の偏光面を表す。なお、矢印50i〜50nのうち、矢印の先端が反対方向を向いている二つの矢印は、それら矢印で表される直線偏光の位相が互いにπだけずれていることを表す。
この場合、各扇形領域30i〜30nの配向方向と扇形領域30aを通る偏光成分の偏光面Aとがなす角は、それぞれ、時計回りを正として、0°、30°、60°、90°、120°、150°となる。
これにより、交点c1から入射直線偏光の偏光面に沿って上方を向く方向を基準とし、時計回り方向を正とすると、各扇形領域30i〜30nを透過した直線偏光成分の偏光面の角度は、それぞれ、0°、60°、120°、180°、240°、300°となる。このように、偏光面回転素子3から出射する光線は、光軸OAを中心として放射状の直線偏光成分を持つ。
図10において、横軸は液晶層30に印加される電圧を表し、縦軸は光路長差を表す。グラフ1001は、波長405nmを持つ光について、印加電圧と光路長差の関係を表す。グラフ1002は、波長650nmを持つ光について、印加電圧と光路長差の関係を表す。グラフ1003は、波長780nmを持つ光について、印加電圧と光路長差の関係を表す。
また、例えば、波長650nmを持つ光に対して液晶層30を半波長板として機能させるために、透明電極33、34間には、650nmの整数倍に325nmを加えた光路長差が生じる電圧が印加されればよい。そこでグラフ1002を参照すると、透明電極33、34間に、光路長差975nmに相当する約1.5Vrmsの電圧が印加されればよい。
さらに、例えば、波長780nmを持つ光に対して液晶層30を半波長板として機能させるために、透明電極33、34間には、780nmの整数倍に390nmを加えた光路長差が生じる電圧が印加されればよい。そこでグラフ1003を参照すると、透明電極33、34間に、光路長差1170nmに相当する約1.1Vrmsの電圧が印加されればよい。
なお、本実施形態では、予め設定された偏光面の入射方向は、位相反転素子2が入射した直線偏光の偏光面を回転させない方向であり、すなわち、位相反転素子2の液晶層20内の液晶分子の配向方向である。
偏光板4は、入射した光のうち、特定の方向の偏光面を持つ直線偏光成分のみを透過させる。偏光板4は、例えば、ワイヤーグリッド型偏光板、あるいはヨウ素を含浸させたポリビニルアルコールを延伸することによって構成される薄膜型偏光板とすることができる。
偏光板4は、凸字状に形成されており、略矩形状の偏光板4の本体部分の一方の端部に、本体部分よりも幅の短い突起部41が設けられている。また、突起部41が設けられた端部の反対側の端部には、その端部に沿って略円柱状のストッパ42が取り付けられている。ストッパ42は、偏光板4が回動支持部材5から脱落することを防止する。そのために、ストッパ42の長さは、偏光板4の幅よりも長くなっている。
一例によれば、図12に示されるように、偏光板4の透過軸が位相反転素子2の液晶分子の配向方向と平行となるように、すなわち、偏光板4の透過軸が位相反転素子2が偏光面を回転させない方向と一致するように偏光板4は配置される。そして、レーザ顕微鏡100の光源101から発した直線偏光を偏光板4側から光変調素子103に入射させる。このとき、光変調素子103から出た光の強度は、直線偏光の偏光面が位相反転素子2の液晶分子の配向方向と平行となる場合に最も高くなる。上記のように、ガイドレール52は回動支持部材5の一端に固定的に設けられているので、回動支持部材5が回転することにより、偏光板4の透過軸の方向も光軸OAを回転軸として回転する。しかし、回動支持部材5が回転しても、位相反転素子2の液晶の配向方向と偏光板4の透過軸とがなす角は一定である。
再度図1を参照すると、対物レンズ104は、レンズ系内部だけでなく、レンズ先端から観察面までの光路の屈折率と間隔、例えばカバーガラスの厚さまたはカバーガラスの有無に応じた光路長で結像性能が最適化されるように設計されている。そのため、観察対象となる生体試料の深さ、またはカバーガラスの製造誤差による厚さのずれ等により、実際の光路長が光路長の設計値からずれて光学系の収差が大きくなり、その結果として結像性能が低下することがある。そこで第2の実施形態では、光路長の設計値からの実際の光路長のずれにより発生する波面収差をキャンセルするような位相分布を光変調素子にて生じさせることで、結像性能を向上させる。
図14に示されるように、透明電極71は、光軸OAと位相変調素子7の交点c0を中心とする、円状の電極71aと、同心円状の複数の輪帯状の電極71b〜71iとを有する。そして、輪帯状電極71iの外周が、液晶分子が駆動されるアクティブ領域の外周に対応する。アクティブ領域の直径は、例えば、対物レンズ104の瞳径と略一致するように設計される。
グラフ1601及び1602に示されるように、電極間の電圧が大きいほど、位相変調量も大きくなる。
したがって、この変形例による光変調素子11についても、第1の実施形態による光変調素子1についての入射偏光方向の調節手順と同様の手順を実施することにより、位相変調素子7−1及び7−2に入射する直線偏光の偏光面と位相変調素子7−1及び7−2が有する液晶の配向方向とを一致させることができる。
また、偏光板は、回動支持部材の一端に、光源からの光が偏光板を通って位相反転素子または位相変調素子に入射するように固定されていてもよい。この場合、偏光板は、比較的透過率が高いワイヤーグリッド型偏光板であることが好ましい。また偏光板の透過軸は、位相反転素子が入射した直線偏光の偏光面を回転させない方向、すなわち、位相反転素子の液晶分子の配向方向と平行となるように、偏光板は配置される。
101 レーザー光源
102 コリメート光学系
103 光変調素子
104 対物レンズ
105 試料
106 ビームスプリッター
107 コンフォーカル光学系
108 共焦点ピンホール
109 検出器
111 駆動回路
10、11 光変調素子
2 位相反転素子
3 偏光面回転素子
4 偏光板
41 突起部
42 ストッパ
5 回動支持部材(回転機構)
51 フランジ
52 ガイドレール
53 板状部材
54 脱落防止部材
6 筺体(回転機構)
61 溝
62 貫通孔
63 固定部材
20、30 液晶層
21、22、31、32 透明基板
23、24、33、34 透明電極
25、26、35、36 配向膜
27、37 液晶分子
28、38 シール部材
29、39 鏡枠
7、7−1、7−2 位相変調素子
Claims (12)
- 第1の方向に沿って配向された液晶分子が含まれる第1の液晶層と、
前記第1の液晶層を挟んで対向するように配置された二つの第1の透明電極とを有し、前記第1の液晶層を透過する光源から発した所定の波長を持つ直線偏光の位相を、前記二つの第1の透明電極の間に前記所定の波長に応じた電圧を印加することにより制御する第1の液晶素子と、
前記第1の液晶素子よりも前記光源側に配置され、前記第1の液晶素子が前記第1の方向あるいは前記第1の方向と直交する方向に沿った透過軸を持つ偏光板と、
前記第1の液晶素子及び前記偏光板を支持し、かつ前記第1の液晶素子の光軸を回転軸として、前記第1の液晶素子及び前記偏光板を一体として回転させる回転機構と、
を有する光変調素子。 - 前記偏光板は、前記回転機構に対して着脱自在に支持される、請求項1に記載の光変調素子。
- 前記回転機構は、前記第1の液晶素子よりも前記光源側に、前記光軸に対して直交する面に沿って、前記偏光板を前記第1の液晶素子に入射する前記直線偏光の光束と重ならない第1の位置から当該光束全体が前記偏光板を通る第2の位置までの範囲内で移動可能に保持するガイドレールを有する、請求項1または2に記載の光変調素子。
- 前記第1の液晶素子の前記二つの第1の透明電極のうちの一方は、前記光軸を中心とする同心円状の複数の輪帯のうちの少なくとも一つの第1の輪帯に対応した輪帯電極であり、
前記第1の液晶素子は、前記輪帯電極と前記二つの第1の透明電極の他方との間に前記所定の波長に応じた電圧が印加されることにより、前記第1の輪帯を透過する前記直線偏光の位相を前記複数の輪帯のうちの前記第1の輪帯と異なる第2の輪帯を透過する前記直線偏光の位相に対して反転させる、請求項1〜3の何れか一項に記載の光変調素子。 - 前記第1の液晶素子から出射した前記直線偏光をラジアル偏光に変換する偏光面回転素子をさらに有し、
前記回転機構は、前記第1の液晶素子、前記偏光面回転素子及び前記偏光板を支持し、かつ前記光軸を回転軸として、前記第1の液晶素子、前記偏光面回転素子及び前記偏光板を一体として回転させる、請求項4に記載の光変調素子。 - 前記光源と対物レンズとを有する顕微鏡装置に対して、前記光変調素子が前記光源から発した前記直線偏光をラジアル偏光に変換し、当該ラジアル偏光が前記対物レンズによって対象物上に集光されるように、前記光源と前記対物レンズの間に前記光変調素子を取り付ける取り付け部をさらに有する、請求項5に記載の光変調素子。
- 前記偏光面回転素子は、液晶分子が含まれる第2の液晶層と、該第2の液晶層を挟んで対向するように配置された第2の二つの透明電極とを有し、
前記第2の液晶層は、前記光軸を中心とする円周方向に沿って配置された複数の領域を有し、前記複数の領域のそれぞれに含まれる前記液晶分子の配向方向は互いに異なり、
前記第2の液晶層の前記複数の領域のそれぞれは、前記第2の二つの透明電極間に前記所定の波長に応じた電圧が印加されることにより、前記直線偏光のうちの当該領域を透過した成分の偏光面を、当該領域に含まれる前記液晶分子の配向方向に応じて前記光軸を中心とする放射方向に平行となるように回転させる、
請求項5または6に記載の光変調素子。 - 前記第1の液晶素子の前記二つの第1の透明電極のうちの一方は、前記光軸を中心とする同心円状の複数の輪帯のそれぞれに対応して配置された複数の輪帯電極であり、
前記第1の液晶素子は、前記複数の輪帯電極のそれぞれごとに、当該輪帯電極と前記二つの第1の透明電極の他方との間に印加される電圧を調節することにより、前記複数の輪帯ごとに当該輪帯を透過する前記直線偏光の位相変調量を制御する、請求項1〜3の何れか一項に記載の光変調素子。 - 前記光変調素子は、前記光源と対物レンズとを有する光学系内に配置され、
前記光学系にて生じる波面収差の位相分布を打ち消すように前記複数の輪帯のそれぞれを透過する前記直線偏光の位相変調量を生じさせるように、前記複数の輪帯電極のそれぞれごとに、当該輪帯電極と前記二つの第1の透明電極の他方との間に印加される電圧を調節する駆動装置をさらに有する、請求項8に記載の光変調素子。 - 前記光軸に沿って前記偏光板と前記第1の液晶素子との間に配置され、
前記第1の方向に沿って配向された液晶分子が含まれる第2の液晶層と、前記第2の液晶層を挟んで対向するように配置された二つの第2の透明電極とを有し、前記二つの第2の透明電極の間に前記所定の波長に応じた電圧を印加することにより、前記第2の液晶層を透過する前記直線偏光の位相を制御する第2の液晶素子をさらに有し、
前記回転機構は、前記第1の液晶素子、前記第2の液晶素子及び前記偏光板を支持し、かつ前記光軸を回転軸として、前記第1の液晶素子、前記第2の液晶素子及び前記偏光板を一体として回転させる、請求項8または9に記載の光変調素子。 - 前記二つの第2の透明電極のうちの少なくとも一方の電極パターンが前記二つの第1の透明電極の何れの電極のパターンとも異なる、請求項8〜10の何れか一項に記載の光変調素子。
- 所定の波長を持つ直線偏光を出力する光源と、
前記直線偏光の位相を制御する光変調素子と、
前記光変調素子を透過した光束を試料の所定のスポットに集光する対物レンズと、
前記所定のスポットからの光を受光する受光素子と、
を有し、
前記光変調素子は、
第1の方向に沿って配向された液晶分子が含まれる第1の液晶層と、
前記第1の液晶層を挟んで対向するように配置された二つの第1の透明電極とを有し、前記二つの第1の透明電極の間に前記所定の波長に応じた電圧を印加することにより、前記第1の液晶層を透過する前記直線偏光の位相を制御する液晶素子と、
前記液晶素子よりも前記光源側に配置され、前記液晶素子が前記第1の方向あるいは前記第1の方向と直交する方向に沿った透過軸を持つ偏光板と、
前記液晶素子及び前記偏光板を支持し、かつ前記液晶素子の光軸を回転軸として、前記液晶素子及び前記偏光板を一体として回転させる回転機構と、
を有することを特徴とする顕微鏡装置。
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