JPWO2011062213A1 - リーダ部材、基板、基板カートリッジ、基板処理装置、リーダ接続方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置 - Google Patents
リーダ部材、基板、基板カートリッジ、基板処理装置、リーダ接続方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011062213A1 JPWO2011062213A1 JP2011541944A JP2011541944A JPWO2011062213A1 JP WO2011062213 A1 JPWO2011062213 A1 JP WO2011062213A1 JP 2011541944 A JP2011541944 A JP 2011541944A JP 2011541944 A JP2011541944 A JP 2011541944A JP WO2011062213 A1 JPWO2011062213 A1 JP WO2011062213A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film
- reader
- unit
- leader
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 544
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 111
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 31
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 23
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 22
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 306
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 50
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 45
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 42
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 18
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 17
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 4
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 2
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLGBZMMZGDRARJ-UHFFFAOYSA-N Triphenylene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C3C2=C1 SLGBZMMZGDRARJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 125000005580 triphenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 229920006163 vinyl copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005493 welding type Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H75/00—Storing webs, tapes, or filamentary material, e.g. on reels
- B65H75/02—Cores, formers, supports, or holders for coiled, wound, or folded material, e.g. reels, spindles, bobbins, cop tubes, cans, mandrels or chucks
- B65H75/18—Constructional details
- B65H75/28—Arrangements for positively securing ends of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/10—Handled articles or webs
- B65H2701/12—Surface aspects
- B65H2701/124—Patterns, marks, printed information
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Advancing Webs (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
本願は、2009年11月19日に出願された特願2009−263752号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本発明の態様は、基板の搬送精度を向上させることを目的とする。
以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態を説明する。
(フィルム基板、リーダ部材)
図1は、フィルム基板FBの構成を示す平面図である。図1はフィルム基板FBの平面構成を示す図、図2はフィルム基板FBの断面構成を示す図である。
次に、上記のフィルム基板FBを収容する基板カートリッジの構成を説明する。以下の説明においては、説明の便宜上、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。
次に、上記のフィルム基板FBを用いて製造される素子の例として、有機EL素子の構成を説明する。図6Aは、有機EL素子の構成を示す平面図である。図6Bは、図6AにおけるB−B´断面図である。図6Cは、図6AにおけるC−C´断面図である。
基板処理装置100は、上記のフィルム基板FBを用いて図6A−図6Cに示す有機EL素子50を形成する装置である。図7に示すように、基板処理装置100は、基板供給部101、基板処理部102、基板回収部103及び制御部104を有している。フィルムFにリーダ部材LDRが接続されたフィルム基板FBは、基板供給部101から基板処理部102を経て基板回収部103へと自動的に搬送されるようになっている。また、該フィルム基板FBは、例えば基板処理装置100の各処理部(例、電極形成部92、発光層形成部93、等)の間を自動的に搬送されるようになっている。基板処理装置100は、フィルム基板FBのリーダ部材LDRを用いることによって、高精度に又は容易にフィルム基板FBを搬送することができる。制御部104は、基板処理装置100の動作を統括的に制御する。
図8に示すように、基板処理部102は、搬送ユニット105、素子形成部106、アライメント部107、基板切断部108、リーダ部材貼付装置300及び情報検出装置400を有している。基板処理部102は、基板供給部101から供給されるフィルム基板FBを搬送しつつ、当該フィルム基板FBに上記の有機EL素子50の各構成要素を形成し、有機EL素子50が形成されたフィルム基板FBを基板回収部103へと送り出す部分である。
本実施形態では、液滴塗布装置120として、例えばゲート電極Gを形成する際に用いられる液滴塗布装置120G、ゲート絶縁層Iを形成する際に用いられる液滴塗布装置120I、ソース電極S、ドレイン電極D及び画素電極Pを形成する際に用いられる液滴塗布装置120SD、有機半導体OSを形成する際に用いられる液滴塗布装置120OSなどが用いられている。
次に、上記のフィルム基板FBを製造する工程を説明する。図10(a)〜図10(d)は、フィルム基板FBの製造工程を示す図である。フィルム基板FBの製造は、例えば上記のリーダ部材貼付装置300と同様の構成を有する装置によって行われる。リーダ部材LDRの貼付は、例えば不図示のステージ上で行われる。図10(a)〜図10(c)に示す破線部分は、リーダ部材LDRの貼付予定位置である。
次に、上記のように構成された基板カートリッジ1にフィルム基板FBを収容する収容動作を説明する。図11A及び図11Bは、収容動作時の基板カートリッジ1の状態を示す図である。図11A及び図11Bにおいては、図を判別しやすくするため、基板カートリッジ1の外形を破線で示している。
次に、上記のように構成された基板処理装置100の動作を説明する。
本実施形態では、フィルム基板FBを収容した基板カートリッジ1を基板供給部101として供給側接続部102Aに接続する接続動作、基板供給部101による基板カートリッジ1によるフィルム基板FBの供給動作、基板処理部102による素子形成動作、基板カートリッジ1の取り外し動作、を順に行う。
図12に示すように、供給側接続部102Aについては、マウント部3に対応する形状に挿入口を形成しておく。
位置ずれの時間が短時間であれば、液滴塗布装置120の複数のノズル122のうち液滴を塗布するノズル122を切り替えることによって対応する。ずれが長時間続くようであれば、当該ズレを検出したアライメントカメラCAを挟む位置に設けられる2つのローラRRをX方向又はY方向に移動させ、フィルム基板FBのθZ方向の位置補正を行う。
取り外し動作では、マウント部3を−X方向に移動させて供給側接続部102Aから外す。マウント部3を外すようにする。
上記実施形態では、リーダ部材LDRの寸法は、例えば基板処理部102に設けられるローラRRのうち搬送方向(X方向)に隣接するローラRR同士の間隔よりも長くなるようにリーダ部材LDRのX方向の寸法を設定することができる。これにより、リーダ部材LDRが少なくとも2つ以上のローラRRによって支持された状態で搬送されることになるため、より確実に搬送することができる。
Claims (47)
- 基板に接続される接続部と、
少なくとも前記基板と前記接続部との間の位置合わせに用いられる位置基準部と
を備えるリーダ部材。 - 前記位置基準部は、前記基板と前記接続部とを非接触で位置合わせ可能な位置基準である
請求項1に記載のリーダ部材。 - 前記位置基準部は、切り欠き部を含む
請求項1又は請求項2に記載のリーダ部材。 - 前記切り欠き部は、前記接続部に形成されている
請求項3に記載のリーダ部材。 - 前記位置基準部は、パターンを含む
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のリーダ部材。 - 前記基板に関する情報を保持する情報保持部
を更に備える請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のリーダ部材。 - 前記情報保持部は、第2パターンを含む
請求項6に記載のリーダ部材。 - 前記情報保持部は、半導体チップを含む
請求項6又は請求項7に記載のリーダ部材。 - 前記情報保持部は、前記位置基準部として用いられる
請求項6から請求項8のうちいずれか一項に記載のリーダ部材。 - 前記接続部から外れた位置に設けられる1つ以上の開口部
を更に備える請求項1から請求項9のうちいずれか一項に記載のリーダ部材。 - 前記開口部のうち少なくとも1つが前記位置基準部として用いられる
請求項10に記載のリーダ部材。 - 前記基板は、表示素子用である
請求項1から請求項11のうちいずれか一項に記載のリーダ部材。 - 所定方向に搬送される基板本体と、
前記基板本体の端部に接続されるリーダと
を備え、
前記リーダとして、請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載のリーダ部材が用いられる
基板。 - 前記基板本体は、前記リーダ部材の前記位置基準部に対応する基板側基準部を有する
請求項13に記載の基板。 - 前記リーダ部材は、前記基板本体よりも剛性が高い
請求項13又は請求項14に記載の基板。 - 前記基板本体と前記リーダ部材とは、前記基板本体の搬送方向に直交する方向の寸法が同一である
請求項13から請求項15のうちいずれか一項に記載の基板。 - 前記リーダ部材は、前記位置基準部として切り欠き部を有し、
前記基板本体は、前記切り欠き部の少なくとも一部に重なっている
請求項13から請求項16のうちいずれか一項に記載の基板。 - 前記リーダ部材は、前記接続部に段部を有し、
前記基板本体は、前記段部に接続されている
請求項13から請求項17のうちいずれか一項に記載の基板。 - 前記段部は、前記リーダ部材の一面と前記基板本体の一面とが面一状態となるように形成される
請求項18に記載の基板。 - 基板を収容するカートリッジ本体を備え、
前記基板として、請求項13から請求項19のうちいずれか一項に記載の基板が収容される
基板カートリッジ。 - 前記カートリッジ本体は、前記基板を巻き取った状態で収容する
請求項20に記載の基板カートリッジ。 - 前記基板の巻き取り及び送り出しのうち少なくとも一方を行う基板駆動機構を有する
請求項20又は請求項21に記載の基板カートリッジ。 - 前記基板駆動機構は、突出部が設けられかつ回転可能に設けられる軸部材を有し、
前記リーダ部材は、前記軸部材の前記突出部に掛けられる開口部を有する
請求項22に記載の基板カートリッジ。 - 前記突出部は、前記軸部材の回転面に対して退避可能に設けられる
請求項23に記載の基板カートリッジ。 - 前記基板に設けられる前記リーダ部材は、前記軸部材に対して少なくとも1回転以上巻き取られる寸法に形成されている
請求項23又は請求項24に記載の基板カートリッジ。 - 基板を処理する基板処理部と、
前記基板処理部に前記基板を搬入する基板搬入部と、
前記基板処理部から前記基板を搬出する基板搬出部と
を備え、
前記基板搬入部及び前記基板搬出部のうち少なくとも一方として、請求項20から請求項25のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジが用いられる
基板処理装置。 - 前記基板処理部は、前記基板に関する情報を検出する検出部を有する
請求項26に記載の基板処理装置。 - 基板にリーダ部材を接続させるリーダ接続方法であって、
前記基板と前記リーダ部材との位置を合わせる位置合わせ工程と、
前記位置合わせ工程の後、前記基板と前記リーダ部材とを接続する接続工程と
を含むリーダ接続方法。 - 前記位置合わせ工程は、前記基板に設けられた基板側位置基準部と、前記リーダ部材に設けられた位置基準部とを用いて前記基板と前記リーダ部材との位置を検出する位置検出工程を有する
請求項28に記載のリーダ接続方法。 - 前記位置合わせ工程に先立って、前記リーダ部材に前記位置基準部を形成する
請求項29に記載のリーダ接続方法。 - 前記位置合わせ工程に先立って、前記基板に前記基板側位置基準部を形成する
請求項29又は請求項30に記載のリーダ接続方法。 - 前記位置合わせ工程は、前記基板側位置基準部として、前記基板の端部を用いる
請求項29から請求項31のうちいずれか一項に記載のリーダ接続方法。 - 前記位置合わせ工程は、前記位置基準部として、前記リーダ部材に設けられた切り欠き部を用いる
請求項29から請求項32のうちいずれか一項に記載のリーダ接続方法。 - 前記接続工程は、前記基板の一部と前記リーダ部材の一部とを貼り合わせて接続する
請求項28から請求項33のうちいずれか一項に記載のリーダ接続方法。 - 請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載のリーダ部材を用いて基板を搬送する工程と、
基板処理部において前記基板を処理する工程と、を有する
表示素子の製造方法。 - 前記基板処理部は、前記基板を搬送する少なくとも2つの搬送部を有し、
前記リーダ部材の搬送方向の長さは、前記2つの搬送部の配置間隔以上である
請求項35に記載の表示素子の製造方法。 - 前記基板処理部は、前記基板を処理する少なくとも2つの処理部を有し、
前記リーダ部材の搬送方向の長さは、前記2つの処理部の配置間隔以上である
請求項35に記載の表示素子の製造方法。 - 前記リーダ部材の搬送を補助する補助部を用いて前記基板を搬送する工程を有する
請求項35から請求項37のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造方法。 - 少なくとも一部が互いに重なるように収容された前記基板を搬送する工程を有する
請求項35から請求項38のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造方法。 - ロール状に収容された前記基板を搬送する工程を有する
請求項35から請求項39のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造方法。 - 前記基板の素子形成領域は、前記リーダ部材に対して位置合わせされる
請求項35から請求項40のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造方法。 - 基板に接続される請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載のリーダ部材を搬送する搬送ユニットと、
前記基板を処理する基板処理部と、
を備える表示素子の製造装置。 - 前記基板を少なくとも一部が互いに重なるように収容する基板カートリッジを備える
請求項42に記載の表示素子の製造装置。 - 前記基板をロール状に収容する基板カートリッジを備える
請求項42又は請求項43に記載の表示素子の製造装置。 - 前記搬送ユニットは、少なくとも2つの搬送部を有し、
前記リーダ部材の搬送方向の長さは、前記2つの搬送部の配置間隔以上である
請求項42から請求項44のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造装置。 - 前記基板処理部は、前記基板を処理する少なくとも2つの処理部を有し、
前記リーダ部材の搬送方向の長さは、前記2つの処理部の配置間隔以上である
請求項42から請求項44のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造装置。 - 前記リーダ部材の搬送を補助する補助部を備える
請求項42から請求項46のうちいずれか一項に記載の表示素子の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011541944A JP5751170B2 (ja) | 2009-11-19 | 2010-11-18 | シート基板、基板カートリッジ、基板処理装置、リーダ接続方法、表示素子の製造方法及び表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009263752 | 2009-11-19 | ||
JP2009263752 | 2009-11-19 | ||
JP2011541944A JP5751170B2 (ja) | 2009-11-19 | 2010-11-18 | シート基板、基板カートリッジ、基板処理装置、リーダ接続方法、表示素子の製造方法及び表示装置の製造方法 |
PCT/JP2010/070544 WO2011062213A1 (ja) | 2009-11-19 | 2010-11-18 | リーダ部材、基板、基板カートリッジ、基板処理装置、リーダ接続方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015103043A Division JP6070763B2 (ja) | 2009-11-19 | 2015-05-20 | 基板処理装置、基板カートリッジ、表示素子の製造方法及び基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011062213A1 true JPWO2011062213A1 (ja) | 2013-04-11 |
JP5751170B2 JP5751170B2 (ja) | 2015-07-22 |
Family
ID=44059687
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011541944A Active JP5751170B2 (ja) | 2009-11-19 | 2010-11-18 | シート基板、基板カートリッジ、基板処理装置、リーダ接続方法、表示素子の製造方法及び表示装置の製造方法 |
JP2015103043A Active JP6070763B2 (ja) | 2009-11-19 | 2015-05-20 | 基板処理装置、基板カートリッジ、表示素子の製造方法及び基板処理方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015103043A Active JP6070763B2 (ja) | 2009-11-19 | 2015-05-20 | 基板処理装置、基板カートリッジ、表示素子の製造方法及び基板処理方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9193560B2 (ja) |
JP (2) | JP5751170B2 (ja) |
KR (1) | KR101678717B1 (ja) |
CN (1) | CN102598863B (ja) |
HK (1) | HK1172191A1 (ja) |
TW (2) | TWI527145B (ja) |
WO (1) | WO2011062213A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013214500A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-10-17 | Nitto Denko Corp | 蒸着データ処理装置、有機elデバイスの製造装置及び製造方法 |
JP2016508891A (ja) | 2012-12-07 | 2016-03-24 | グラフェン・フロンティアズ,リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 基板間のフィルムの転写のための方法および装置 |
KR102352544B1 (ko) * | 2015-01-12 | 2022-01-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR102333180B1 (ko) * | 2015-08-05 | 2021-11-30 | 삼성전자주식회사 | 플렉서블 디스플레이 장치를 구비한 전자 장치 |
JP6744720B2 (ja) | 2016-01-05 | 2020-08-19 | 住友化学株式会社 | 有機デバイスの製造方法およびロール |
JP2017195115A (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 住友化学株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
JP7233250B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2023-03-06 | 株式会社Subaru | 塗布方法 |
CN112123251B (zh) * | 2020-08-31 | 2022-04-15 | 广东工业大学 | 一种基于视觉跟踪的海上风机螺栓组对中方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58181035A (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-22 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | カメラのフイルム装填装置 |
JPH027386A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Sharp Corp | 薄膜製造装置および薄膜製造方法 |
JPH07172017A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-11 | Canon Inc | インクシート巻回部材およびそれを用いる記録装置 |
JPH10177210A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Fuji Photo Optical Co Ltd | カメラ |
JP2003142897A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板用支持治具、並びに回路基板製造装置及び方法 |
JP2005285576A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Mitsubishi-Hitachi Metals Machinery Inc | インライン式有機エレクトロルミネセンス製造装置 |
JP2009093848A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Nikon Corp | エレクトロルミネッセンス素子の欠陥検査方法及び欠陥検出装置 |
JP2009231169A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Nikon Corp | 表示素子の製造装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01289092A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Nec Kansai Ltd | 電界発光灯の製造方法 |
JPH05155479A (ja) * | 1991-12-04 | 1993-06-22 | Fuji Xerox Co Ltd | ロール紙切断装置 |
US5765062A (en) * | 1994-04-19 | 1998-06-09 | Keepsake, Inc. | Reusable fun photography double exposure camera |
JPH11119292A (ja) | 1997-10-20 | 1999-04-30 | Fuji Photo Optical Co Ltd | カメラ |
KR100280644B1 (ko) * | 1999-02-12 | 2001-01-15 | 윤종용 | 기판의 반출입 시스템 및 반출입 방법 |
JP4283559B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2009-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び真空処理装置並びに常圧搬送装置 |
KR101029434B1 (ko) | 2003-03-04 | 2011-04-14 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 정밀 기판 수납 용기 |
US6888172B2 (en) * | 2003-04-11 | 2005-05-03 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for encapsulating an OLED formed on a flexible substrate |
US8080277B2 (en) * | 2005-03-18 | 2011-12-20 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Method of forming organic compound layer, method of manufacturing organic EL element and organic EL element |
JP5157440B2 (ja) | 2005-03-18 | 2013-03-06 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
-
2010
- 2010-11-18 TW TW099139640A patent/TWI527145B/zh active
- 2010-11-18 JP JP2011541944A patent/JP5751170B2/ja active Active
- 2010-11-18 CN CN201080049274.XA patent/CN102598863B/zh active Active
- 2010-11-18 WO PCT/JP2010/070544 patent/WO2011062213A1/ja active Application Filing
- 2010-11-18 TW TW105103665A patent/TWI582889B/zh active
- 2010-11-18 KR KR1020127007215A patent/KR101678717B1/ko active IP Right Grant
-
2012
- 2012-05-18 US US13/475,368 patent/US9193560B2/en active Active
- 2012-12-12 HK HK12112828.9A patent/HK1172191A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2015
- 2015-05-20 JP JP2015103043A patent/JP6070763B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58181035A (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-22 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | カメラのフイルム装填装置 |
JPH027386A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Sharp Corp | 薄膜製造装置および薄膜製造方法 |
JPH07172017A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-11 | Canon Inc | インクシート巻回部材およびそれを用いる記録装置 |
JPH10177210A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Fuji Photo Optical Co Ltd | カメラ |
JP2003142897A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板用支持治具、並びに回路基板製造装置及び方法 |
JP2005285576A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Mitsubishi-Hitachi Metals Machinery Inc | インライン式有機エレクトロルミネセンス製造装置 |
JP2009093848A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Nikon Corp | エレクトロルミネッセンス素子の欠陥検査方法及び欠陥検出装置 |
JP2009231169A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Nikon Corp | 表示素子の製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI527145B (zh) | 2016-03-21 |
US9193560B2 (en) | 2015-11-24 |
KR20120093170A (ko) | 2012-08-22 |
HK1172191A1 (en) | 2013-04-12 |
JP6070763B2 (ja) | 2017-02-01 |
CN102598863B (zh) | 2015-07-29 |
TW201620068A (zh) | 2016-06-01 |
TW201125065A (en) | 2011-07-16 |
JP2015195211A (ja) | 2015-11-05 |
JP5751170B2 (ja) | 2015-07-22 |
US20120231694A1 (en) | 2012-09-13 |
TWI582889B (zh) | 2017-05-11 |
WO2011062213A1 (ja) | 2011-05-26 |
KR101678717B1 (ko) | 2016-11-23 |
CN102598863A (zh) | 2012-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6070763B2 (ja) | 基板処理装置、基板カートリッジ、表示素子の製造方法及び基板処理方法 | |
US9072210B2 (en) | Substrate cartridge, substrate processing apparatus, substrate processing system, control apparatus, and method of manufacturing display element | |
US9379339B2 (en) | Substrate cartridge, substrate-processing apparatus, substrate-processing system, substrate-processing method, control apparatus, and method of manufacturing display element | |
JP5556105B2 (ja) | 基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、制御装置及び表示素子の製造方法 | |
KR101880017B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 표시 소자의 제조 방법 | |
JP5743004B2 (ja) | 電気回路の製造方法 | |
JP5743005B2 (ja) | 表示素子の製造方法 | |
JP2011084402A (ja) | 基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、制御装置及び表示素子の製造方法 | |
KR101678716B1 (ko) | 기판 카트리지, 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템, 기판 처리 방법, 및 전기 회로의 제조 방법 | |
JP2011098809A (ja) | 基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、基板処理方法、制御装置及び表示素子の製造方法 | |
TWI587558B (zh) | Substrate handling device, substrate processing system, substrate processing system, control device and manufacturing method of display element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140812 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150421 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150504 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5751170 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |