JPWO2011036775A1 - 不揮発性半導体メモリ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる不揮発性半導体メモリ(電荷蓄積部の上下で粒径が異なるMONOS型メモリ)の素子構造を示す断面図である。なお、以下では1つのメモリの構成を示すが、このメモリをスイッチング素子等と組み合わせて複数配置することにより、半導体記憶装置を構成することができる。
図5(a)〜(c)は、本発明の第2の実施形態に係わる不揮発性半導体メモリ(電荷蓄積部の上下で粒径が相異なる浮遊ゲートメモリ)の製造工程を示す断面図である。
図8(a)〜(c)は、本発明の第3の実施形態に係わる不揮発性半導体メモリ(電荷蓄積部の上下で粒径が異なる2層蓄積部MONOS型メモリ)の製造工程を示す断面図である。
図11(a)〜(c)は、本発明の第4の実施形態に係わる多値化に有利な不揮発性半導体メモリ(電荷蓄積部の上下で粒径が相異なる2層蓄積部浮遊ゲートメモリ)の製造工程を示す断面図である。
図14(a)〜(c)は、本発明の第5の実施形態に係わる不揮発性半導体メモリ(ブロック層内に極微小Si微結晶層を有するMONOS型メモリ)の製造工程を示す断面図である。
図18(a)(b)は、本発明の第6の実施形態に係わる不揮発性半導体メモリ(Si微結晶層ブロック層浮遊ゲートメモリ)の製造工程を示す断面図である。
次に、本発明が効果を発現するための、幾つかの望ましい条件を説明する。なお、以下では導電性微粒子を挟む絶縁膜として酸化膜を用いた場合の例で説明するが、酸化膜以外の絶縁膜であっても同様に適用することができる。
ΔE−ΔE1 ×(Tox/Tox1)>kBT
が最低限必要なエネルギー差である。エネルギーバリア主要因であるクーロンブロッケイドエネルギーq/(2πεd)で、粒径に関する条件を導き出せる。下側(粒径大の側)Si微結晶の粒径をd1[nm]、上側(粒径小の側)Si微結晶の粒径をd[nm]として、
d1 >d×(Tox/Tox1)/{1−kBT(2πεd)/q}
が望ましい粒径差である。薄いトンネル酸化膜厚はできるだけ薄くするのが、トンネル抵抗が低くなるため粒径大の側で高速書込みするのに有利であり、粒径小の側でブロックさせるためにも、エネルギーバリアが同一電界で高くなるため有利である。従って、通常制御可能な最も薄い酸化膜厚(1nm程度と予想される)とすることが予想され、ToxとTox1 がほぼ等しい場合が典型的になると考えられる。よって、最低限必要なエネルギー差
ΔE−ΔE1 >kBT
最低限必要な粒径差
d1 >d/{1−kBT(2πεd)/q}
が典型的な条件である。ここで、トンネル絶縁膜部がSi酸化膜で、εがSi酸化膜の誘電率、かつ室温だとすると、d1 >d/(1−d/30nm)となる。
ΔE−ΔE1 ×(Tox/Tox1)≧0.1[eV/nm]×Tox
であることがより望ましい。粒径では
d1 ≧d×(Tox/Tox1)/{1−0.1[eV/nm]×Tox(2πεd)/q}
であることがより望ましい条件である。典型的な制御可能な最も薄い膜厚同士でTox=Tox1=1nmの場合を考えると、
ΔE−ΔE1 ≧0.1[eV]
d1 ≧d/{1−0.1[eV]×(2πεd)/q}
であることがより望ましい。ここで、トンネル絶縁膜部がSi酸化膜で、εがSi酸化膜の誘電率、かつ室温だとすると、d1 >d/(1−d/8nm)となる。
ΔE−ΔE1 ×(Tox/Tox1)≧0.2[eV/nm]×Tox
であることがより望ましい。粒径では
d1 ≧d×(Tox/Tox1)/{1−0.2[eV/nm]×Tox(2πεd)/q}
であることがより望ましい条件である。典型的な制御可能な最も薄い膜厚同士でTox=Tox1=1nmの場合を考えると、
ΔE−ΔE1 ≧0.2[eV]
d1 ≧d/{1−0.2[eV]×(2πεd)/q}
であることがより望ましい。ここで、トンネル絶縁膜部がSi酸化膜で、εがSi酸化膜の誘電率、かつ室温だとすると、d1 >d/(1−d/4nm)となる。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
101,201,301,401,501,601…チャネル領域
102,202,302,402,502,602…ソース領域
103,203,303,403,503,603…ドレイン領域
110,210,310,410,510,610…トンネル絶縁膜(第1のゲート絶縁膜)
111,113,131,133,211,213,215,231,233,235,311,313,331,333,411,413,415,431,433,435,531,533,571,573,631,633,671,673…酸化膜
112,212,214,312,412,414…Si微結晶層(第1の微粒子層)
112a,212a,214a,312a,412a,414a…Siナノ微結晶(第1の導電性微粒子)
116,136…a−Si層
120,320,520…電荷蓄積層(電荷蓄積部)
130,230,330,430,530,570,630,670…ブロック絶縁膜(第2のゲート絶縁膜)
132,232,234,332,432,434,532,572,632,672…Si微結晶層(第2の微粒子層)
132a,232a,234a,332a,432a,434a,532a,572a,632a,672a…Siナノ微結晶(第2の導電性微粒子)
140,240,340,440,540,640…ゲート電極
220,421,422,620…浮遊ゲート(電荷蓄積部)
321,323…Si窒化膜(電荷蓄積部)
322,452,560,660…アルミナ膜
320,450…ブロック層
451,453…酸化膜
Claims (10)
- 半導体基板のチャネル領域上に形成された第1のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜中に形成された、クーロンブロッケイド条件を満たす第1の導電性微粒子を含む第1の微粒子層と、
前記第1のゲート絶縁膜上に形成された電荷蓄積部と、
前記電荷蓄積部上に形成された第2のゲート絶縁膜と、
前記第2のゲート絶縁膜中に形成された、前記第1の導電性微粒子とは平均粒径が異なり、クーロンブロッケイド条件を満たす第2の導電性微粒子を含む第2の微粒子層と、
前記第2のゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
を具備したことを特徴とする不揮発性半導体メモリ。 - 前記第1及び第2のゲート絶縁膜は、前記微粒子層を上下から挟む酸化膜でそれぞれ形成され、前記酸化膜の少なくとも一方は、膜厚2.4nmのSi酸化膜よりもトンネル抵抗が低くなる厚さに形成されていることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1の微粒子層と前記第2の微粒子層とで、電子1個の帯電に必要な平均エネルギーの大きさが異なり、前記平均エネルギーが大きい方のエネルギーバリアΔEと前記平均エネルギーが小さい方のエネルギーバリアΔE1 との差が、ボルツマン定数をkB 、絶対温度をTとして、
ΔE−ΔE1 >kBT
を満たすことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体メモリ。 - 前記第1の導電性微粒子と前記第2の導電性微粒子のうちの粒径が大きい方の平均粒径d1[nm]と粒径が小さい方の平均粒径d[nm]が、ボルツマン定数をkB 、絶対温度をT、前記酸化膜の誘電率をε、素電荷をqとして、
d1 >d/{1−kBT(2πεd)/q}
の関係を満たすことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。 - 前記第1の微粒子層と前記第2の微粒子層とで、電子1個の帯電に必要な平均エネルギーが異なり、前記平均エネルギーが大きい方のエネルギーバリアΔEと前記平均エネルギーが小さい方のエネルギーバリアΔE1 との差が、前記ΔEを与える側の微粒子層を挟む酸化膜のうち薄い方の膜厚をTox[nm]として、
ΔE−ΔE1 ≧0.1[eV/nm]×Tox
を満たすことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。 - 前記第1の導電性微粒子と前記第2の導電性微粒子のうちの粒径が大きい方の平均粒径d1[nm]と粒径が小さい方の平均粒径d[nm]が、ボルツマン定数をkB 、絶対温度をT、前記酸化膜の誘電率をε、前記粒径が小さい方の微粒子を挟む酸化膜のうち薄い方の膜厚をTox[nm]、素電荷をqとして、
d1 ≧d/{1−0.1[eV/nm]×Tox(2πεd)/q}
の関係を満たすことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。 - 前記第1の微粒子層と前記第2の微粒子層とで、電子1個の帯電に必要な平均エネルギーが異なり、前記平均エネルギーが大きい方のエネルギーバリアΔEと前記平均エネルギーが小さい方のエネルギーバリアΔE1 との差が、前記ΔEを与える側の微粒子層を挟む酸化膜のうち薄い方の膜厚をTox[nm]として、
ΔE−ΔE1 ≧0.2[eV/nm]×Tox
を満たすことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。 - 前記第1の導電性微粒子と前記第2の導電性微粒子のうちの粒径が大きい方の平均粒径d1[nm]と粒径が小さい方の平均粒径d[nm]が、ボルツマン定数をkB 、絶対温度をT、前記酸化膜の誘電率をε、前記粒径が小さい方の微粒子を挟む酸化膜のうち薄い方の膜厚をTox[nm]、素電荷をqとして、
d1 ≧d/{1−0.2[eV/nm]×Tox(2πεd)/q}
の関係を満たすことを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。 - 前記電荷蓄積部は、絶縁膜を介して2層に形成され、前記第1の微粒子層に近い方の下側電荷蓄積部と前記第2の微粒子層に近い方の上側電荷蓄積部とで、独立に電荷の蓄積を可能にしたことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1の微粒子層は2層に形成され、一方の層は酸化膜を介して前記チャネル領域と接し、もう一方の層は酸化膜を介して前記電荷蓄積部と接し、
前記第2の微粒子層は2層に形成され、一方の層は酸化膜を介して前記電荷蓄積部と接し、もう一方の層は酸化膜を介して前記ゲート電極と接することを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体メモリ。
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