JPWO2011013437A1 - 積層コイル部品 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明の積層コイル部品は、
Cuを含むフェライトを主たる成分とするフェライト層を積層してなる積層体を焼成することにより形成され、コイル形成用のAgを主成分とする内部導体を層間接続させることにより形成された螺旋状コイルをその内部に有する積層コイル部品であって、
前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面には空隙が存在せず、
前記内部導体と前記フェライトとの界面が解離し、
前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面へのCuの偏析率が5%以下であること
を特徴としている。
内部導体とその周囲のフェライトとの界面へのCuの偏析率は3%以下であることがさらに望ましい。
なお、本発明で「Cuの偏析率」という場合の「Cu」は、金属銅(Cu)に限らず、酸化銅(CuO)も含む概念である。
すなわち、「Cuの偏析率」という場合の「Cu」は、偏析している物質がCuとCuOのいずれか一方である場合において、CuまたはCuOを意味し、CuとCuOの両方が析出している場合には、CuとCuOの両方を意味する概念である。
Cuを含むフェライトを主たる成分とする複数のフェライトグリーンシートと、前記フェライトグリーンシートを介して積層された、Agを主成分とするコイル形成用の複数の内部導体パターンとを備えた積層体を焼成して、螺旋状コイルを内部に備えたフェライト素子を形成する工程と、
前記フェライト素子の側面から、前記内部導体の側部と前記フェライト素子の側面との間の領域であるサイドギャップ部を経て、錯化剤溶液を前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面に到達させることにより、前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面を解離させる工程と
を備え、
前記錯化剤溶液として、アミノカルボン酸およびその塩、オキシカルボン酸およびその塩、アミン類、りん酸およびその塩、およびラクトン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む溶液を用いること
を特徴としている。
前記アミノカルボン酸およびその塩が、グリシン、グルタミン酸、アスパラギン酸、およびそれらの塩からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
前記オキシカルボン酸およびその塩が、くえん酸、酒石酸、グルコン酸、グルコヘプトン酸、グリコール酸、およびそれらの塩からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
前記アミン類が、トリエタノールアミン、エチレンジアミン、およびエチレンジアミン四酢酸からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
りん酸およびその塩が、ピロりん酸およびその塩から選ばれる少なくとも1種であり、
ラクトン化合物が、グルコノラクトンおよびグルコヘプトノラクトンから選ばれる少なくとも1種であること
が望ましい。
なお、内部導体とフェライトとの界面へのCuの偏析率を3%以下とすることにより、さらに確実に内部導体とフェライトとの界面を解離させることが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。
また、サイドギャップ部のポア面積率を6〜20%にすることは、通常の積層コイル部品の製造工程で用いられる、フェライトグリーンシートと内部導体形成用の導電性ペーストの組み合わせを考慮することにより効率よく実現することが可能である。
また、フェライト素子3の両端部には、螺旋状コイル4の両端部4a,4bと導通するように一対の外部電極5a,5bが配設されている。
また、図3に示されているように、フェライト素子3の、上側最外層の内部導体2aと下側最外層の内部導体2b間に位置する中央領域7の、内部導体2の側部2sと、フェライト素子3の側面3aとの間の領域であるサイドギャップ部8は、ポア面積率が6〜20%(この実施例1の積層コイル部品では14%)のポーラスなフェライトから構成されている。
なお、この実施例の積層コイル部品10の寸法は、長さ寸法L=0.6mm、厚み寸法T=0.3mm、幅方向寸法W=0.3mmである。
(1)Fe2O3を48.0mol%、ZnOを29.5mol%、NiOを14.5mol%、CuOを8.0mol%の比率で秤量した磁性体原料を調製し、ボールミルにて48時間の湿式混合を行った。次に、湿式混合したスラリーをスプレードライヤーにより乾操し、700℃にて2時間仮焼した。それから、得られた仮焼粉を予備粉砕して、次の(2)の工程で使用するセラミック(フェライト)原料とした。
なお、上記導電性ペーストとしては、不純物元素が0.1重量%以下のAg粉末と、ワニスと、溶剤とを配合してなり、Ag含有率が85重量%の導電性ペーストを用いた。
この未焼成のフェライト素子23は、その内部に、各内部導体パターン(コイルパターン)22がビアホール24により接続されてなる積層型の螺旋状コイルを備えている。なお、コイルのターン数は19.5ターンとした。
なお、外部電極形成用の導電性ペーストとしては、平均粒径が0.8μmのAg粉末と耐めっき性に優れたB−Si−K系の平均粒径が1.5μmのガラスフリットとワニスと溶剤とを配合した導電性ペーストを用いた。そして、この導電性ペーストを焼き付けることにより形成された外部電極は、以下のめっき工程でめっき液によって侵食されにくい緻密なものであった。
なお、この実施例では、錯化剤溶液として、くえん酸一水和物の0.2mol/L水溶液を用いているが、その濃度はこれに限られるものではなく、種々の条件を考慮して適切な濃度とすることが可能である。また、水溶性に限らず、水以外の溶剤に溶解させた溶液を用いることも可能である。
上述のように、浸漬時間を3、6、12、24時間の条件で、錯化剤(または塩酸)溶液に浸漬する工程を経て作製した、実施例および比較例の積層インピーダンス素子(試料)について、内部導体と、その周囲のフェライトとの界面のCu偏析率を調べるとともに、インピーダンス(|Z|at100Mz)の値を調べた。そして、|Z|の値と、内部導体2と、その周囲のフェライト11との界面のCu偏析率の関係について検討した。さらに、各試料について、抗折強度を調べるとともに、サイドギャップ部のポア面積率を調べた。
1)チップをニッパで破断し、内部電極/フェライト界面を剥離させる。
2)次に、WDX(波長分散型X線分析マイクロアナライザー)により、フェライト表面のCuについてマッピング分析を行う。
装置名 : 日本電子 JXA8800R
分析条件 : 加速電圧 15kV
照射電流 :100nA
ピクセル数(画素数):256×256
ピクセルサイズ(1画素の大きさ):0.64μm
Dwell Time(1つの画素での取り込み時間):50ms
深さ方向の分析領域:約1〜2μm
所定の測定点のカウント数が(測定点全体のカウント数の平均値+1σ)以上である時、その測定点をCu偏析とする。
そして、任意の測定エリアについて、Cu偏析数をその測定エリアの全測定点の数で割って100をかけた値をCu偏析率とする。
なお、図4のCuのマッピング像、および、表1のマッピング分析結果を用いて説明すると以下のようになる。
また、図4の領域(1)(内部導体接触部)では、測定点数が4225である場合に、Cu偏析数が72であることから、Cu偏析率は、(72/4225)×100=1.7%となる。
また、図4の領域(2)(コイルの内側の内部導体不接触部)では、測定点数が4225である場合に、Cu偏析数が367であることから、Cu偏析率は、(367/4225)×100=8.7%となる。
50個の試料について、インピーダンスアナライザ(ヒューレット・パッカード社製HP4291A)を用いてインピーダンスの測定を行い平均値(n=50pcs)を求めた。
50個の試料について、EIAJ−ET−7403に規定の試験方法にて測定を行い、ワイブルプロットした場合における破壊確率=1%のときの強度を抗折強度とした(n=50pcs)。
図3の内部導体2の側部2sと、フェライト素子3の側面3aとの間のサイドギャップ部8のポア面積率は、以下の方法で測定した。
積層インピーダンス素子(試料)の幅方向と厚み方向で規定される断面(以下、「W−T面」という)を鏡面研磨し、収束イオンビーム加工(FIB加工)した面を走査電子顕微鏡(SEM)により観察し、磁性体セラミック中のポア面積率を測定した。
FIB装置 :FEI製FIB200TEM
FE−SEM(走査電子顕微鏡) :日本電子製JSM−7500FA
WINROOF(画像処理ソフト):三谷商事株式会社製、Ver.5.6
図5に示すように、上述の方法で鏡面研磨した試料の研磨面に対し、入射角θ=5°でFIB加工を行った。
SEM観察は、以下の条件で行った。
加速電圧 :15kV
試料傾斜 :0゜
信号 :二次電子
コーティング :Pt
倍率 :5000倍
ポア面積率は、以下の方法で求めた。
a)計測範囲を決める。小さすぎると測定箇所による誤差が生じる。
(この実施例では、22.85μm×9.44μmとした)
b)磁性体セラミックとポアが識別しにくければ明るさ、コントラストを調節する。 c)2値化処理を行い、ポアのみを抽出する。画像処理ソフトWINROOFの「色抽出」では完全でない場合には手動で補う。
d)ポア以外を抽出した場合はポア以外を削除する。
e)画像処理ソフトの「総面積・個数計測」で総面積、個数、ポアの面積率、計測範囲の面積を測定する。
本発明におけるポア面積率は、上述のようにして測定した値である。
この結果から、Cu偏析率が5%以下になると、十分な応力緩和効果が得られることがわかる。
その結果を表3に示す。
この結果より、Cu偏析率が5%以下(より望ましくは3%以下)になると、十分な応力緩和効果が得られることがわかる。
その結果を表4に示す。
また、試料をニッパで破断した際に、内部電極とフェライトの界面で剥離せず、Cu偏析率を測定することはできなかった。
2 内部導体
2a 上側最外層の内部導体
2b 下側最外層の内部導体
2s 内部導体の側部
3 フェライト素子
3a フェライト素子の側面
4 螺旋状コイル
4a,4b 螺旋状コイルの両端部
5a,5b 外部電極
7 中央領域
8 サイドギャップ部
10 積層コイル部品(積層インピーダンス素子)
11 フェライト
21 中央領域用のフェライトグリーンシート
21a 外層領域用のフェライトグリーンシート
22 内部導体パターン(コイルパターン)
23 積層体(未焼成のフェライト素子)
24 ビアホール
Claims (5)
- Cuを含むフェライトを主たる成分とするフェライト層を積層してなる積層体を焼成することにより形成され、コイル形成用のAgを主成分とする内部導体を層間接続させることにより形成された螺旋状コイルをその内部に有する積層コイル部品であって、
前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面には空隙が存在せず、
前記内部導体と前記フェライトとの界面が解離し、
前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面へのCuの偏析率が5%以下であること
を特徴とする積層コイル部品。 - 前記フェライト素子の、前記内部導体の側部と、前記フェライト素子の側面との間の領域であるサイドギャップ部を構成するフェライトのポア面積率が6〜20%の範囲にあることを特徴とする請求項1記載の積層コイル部品。
- Cuを含むフェライトを主たる成分とする複数のフェライトグリーンシートと、前記フェライトグリーンシートを介して積層された、Agを主成分とするコイル形成用の複数の内部導体パターンとを備えた積層体を焼成して、螺旋状コイルを内部に備えたフェライト素子を形成する工程と、
前記フェライト素子の側面から、前記内部導体の側部と前記フェライト素子の側面との間の領域であるサイドギャップ部を経て、錯化剤溶液を前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面に到達させることにより、前記内部導体とその周囲のフェライトとの界面を解離させる工程と
を備え、
前記錯化剤溶液として、アミノカルボン酸およびその塩、オキシカルボン酸およびその塩、アミン類、りん酸およびその塩、およびラクトン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む溶液を用いること
を特徴とする積層コイル部品の製造方法。 - 前記アミノカルボン酸およびその塩が、グリシン、グルタミン酸、アスパラギン酸、およびそれらの塩からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
前記オキシカルボン酸およびその塩が、くえん酸、酒石酸、グルコン酸、グルコヘプトン酸、グリコール酸、およびそれらの塩からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
前記アミン類が、トリエタノールアミン、エチレンジアミン、およびエチレンジアミン四酢酸からなる群より選ばれる少なくとも1種であり、
りん酸およびその塩が、ピロりん酸およびその塩から選ばれる少なくとも1種であり、
ラクトン化合物が、グルコノラクトンおよびグルコヘプトノラクトンから選ばれる少なくとも1種であること
を特徴とする請求項3記載の積層コイル部品の製造方法。 - 前記フェライト素子を形成する工程において、前記内部導体の側部と、前記フェライト素子の側面との間の領域であるサイドギャップ部を構成するフェライトのポア面積率が6〜20%の範囲にあるフェライト素子を形成することを特徴とする請求項3または4記載の積層コイル部品の製造方法。
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