JPWO2010119507A1 - 半導体測定装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の半導体測定装置の実施形態の一具体例であるプローブ装置の基本的な構成例について、図1を参照しながら説明する。ここに図1は、本実施例に係るプローブ装置の基本的な構成例を示す概略図である。
続いて、図3を参照して、本実施例のプローブ装置1における基本的な動作の例について説明する。図3は、プローブ装置1の基本的な動作の流れを示すフローチャートの一例である。
100…テーブル
110…テーブル位置調整部
200…第1プローブ
210…第1検査針
220…第1プローブ基部
300…第2プローブ
310…第2検査針
320…第2プローブ位置調整部
330…第2プローブ基部
400…制御部
500…チップ
510…粘着シート
Claims (6)
- 電子部品の電気的特性を測定する半導体測定装置であって、
前記電子部品が複数個載置される載置手段と、 前記電子部品を載置する面と平行する面内で前記載置手段を移動可能とする第1移動手段と、
当該半導体測定装置に固定され、一の電子部品に接触することで電気的特性を測定する第1プローブと、
前記一の電子部品とは異なる他の電子部品に接触することで電気的特性を測定する第2プローブと、
前記電子部品を載置する面と平行な面内で前記第2プローブを移動可能とする第2移動手段と、
前記第1プローブと前記電子部品を載置する面との距離を近づける、または遠ざける方向へ前記載置手段を移動可能とする第3移動手段と、
を備え、
前記第1移動手段は、前記一の電子部品の測定部位が前記第1プローブに対向するよう、前記載置手段を移動可能にし、
前記第2移動手段は、前記他の電子部品の測定部位に対向するよう、前記第2プローブを移動可能にし、
前記第3移動手段は、前記第1プローブと前記一の電子部品、及び前記第2プローブと前記他の電子部品の夫々が接触するよう、前記載置手段を移動可能とすることを特徴とする半導体測定装置。 - 前記第2プローブと前記電子部品を載置する面との距離を近づける、または遠ざける方向へ前記第2プローブを移動可能とする第4移動手段を更に備え、
前記第4移動手段は、前記他の電子部品が存在しない場合、前記第2プローブと前記電子部品を載置する面との距離を遠ざけることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の半導体測定装置。 - 前記他の電子部品が測定対象電子部品であるか否かを判別する判別手段を更に備え、
前記第4移動手段は、前記他の電子部品が測定対象電子部品でないと判別される場合、前記第2プローブと前記電子部品を載置する面との距離を遠ざけることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の半導体測定装置。 - 前記第2プローブは、複数のプローブであって、前記第2移動手段は、該複数のプローブの夫々に対応し、対応するプローブの夫々を、相異なる前記他の電子部品の測定位置に対向するよう移動させる複数の移動手段であることを特徴とする請求の範囲第1項から第3項のいずれか一項に記載の半導体測定装置。
- 前記載置手段上に載置される前記複数の電子部品の位置情報を記憶する記憶手段を更に備え、
前記第1移動手段は、前記位置情報に基づいて前記載置手段を移動させ、
前記第2移動手段は、前記位置情報に基づいて前記第2プローブを移動させることを特徴とする請求の範囲第1項から第4項のいずれか一項に記載の半導体測定装置。 - 載置手段上に載置される複数個の電子部品に対し、該電子部品の測定部位に接触することで電気的特性を測定する第1プローブ及び第2プローブとを備える半導体測定装置の半導体測定方法であって、
一の電子部品の測定部位が前記第1プローブに対向するよう、前記電子部品を載置する面と平行する面内で前記載置手段を移動させる第1移動工程と、
前記一の電子部品とは異なる他の電子部品の測定部位に対向するよう、前記電子部品を載置する面と平行な面内で前記第2プローブを移動させる第2移動工程と、
前記第1プローブと前記一の電子部品、及び前記第2プローブと前記他の電子部品の夫々が接触するよう、前記載置手段を移動させる第3移動工程と
を備える特徴とする半導体測定方法。
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