JPWO2010100922A1 - 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2010100922A1 JPWO2010100922A1 JP2010542470A JP2010542470A JPWO2010100922A1 JP WO2010100922 A1 JPWO2010100922 A1 JP WO2010100922A1 JP 2010542470 A JP2010542470 A JP 2010542470A JP 2010542470 A JP2010542470 A JP 2010542470A JP WO2010100922 A1 JPWO2010100922 A1 JP WO2010100922A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- region
- organic
- line
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 105
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 74
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 369
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 70
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 60
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 48
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 48
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 40
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 22
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 18
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 16
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 14
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 14
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 12
- -1 polyphenylene vinylene Polymers 0.000 description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 12
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 10
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 6
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 6
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 4
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 4
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 4
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 4
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910015202 MoCr Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 2
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
Abstract
Description
[1]有機EL素子がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有する有機ELディスプレイパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長い、有機ELディスプレイパネル。
[2]有機EL素子がマトリクス状に配列された素子配列領域と、予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有する有機ELディスプレイパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の側部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さの2倍以上である、有機ELディスプレイパネル。
[3]画素電極がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有するベースパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長い、ベースパネルを準備するステップと、2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記予備領域上に配置するステップと、前記予備領域上で前記ノズルから前記インクを一定のインターバルごとに吐出し、前記予備吐出領域内にインクを着弾させるステップと、前記インターバルごとの吐出を維持したまま、前記インクジェットヘッドを、前記予備領域から、前記素子配列領域に移動するステップと、前記インクジェットヘッドを前記ライン方向に沿って移動し、前記ライン状領域に前記インクを塗布するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。
[4]画素電極がマトリクス状に配列された素子配列領域と、予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有するベースパネルであって、前記ライン状領域内には、前記画素電極が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の側部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さの2倍以上である、ベースパネルを準備するステップと、2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記予備領域上に配置するステップと、前記予備領域上で前記ノズルから前記インクを吐出し、前記予備吐出領域内にインクを着弾させるステップと、前記インクジェットヘッドを、前記予備領域から、前記素子配列領域に移動するステップと、前記インクジェットヘッドを前記ライン方向と垂直な方向に沿って移動し、前記ライン状領域に前記インクを塗布するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。
本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法は、1)予備吐出領域からなる予備領域と、複数のライン状領域を有する素子配列領域と、を有するベースパネルを準備する第1ステップと、2)2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、予備領域上に配置する第2ステップと、3)予備吐出領域内にノズルからインクを吐出(予備吐出)する第3ステップと、4)インクジェットヘッドを予備領域から素子配列領域に移動する第4ステップと、5)ライン状領域にインクを塗布し、有機層を形成する第5ステップと、を有する。
縦塗りが採用された場合、予備領域は、ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、ライン状領域のライン方向の側部に隣接しない(図3参照)。この場合、予備領域は、ライン状領域のライン方向(以下単に「ライン方向」とも称する)と垂直な方向に沿った長軸を有し、ライン方向に沿った短軸を有する。予備領域の長軸は、素子配列領域のライン方向と垂直な方向の長さよりも長くなる(図3参照)。
横塗りが採用された場合、予備領域は、ライン状領域のライン方向の側部のみに隣接し、ライン状領域のライン方向の端部に隣接しない(図15参照)。この場合、予備領域は、ライン方向に沿った長軸を有し、ライン方向と垂直な方向に沿った短軸を有する。また、横塗りが採用された場合、予備領域は1つの予備吐出領域からなることが好ましい。
予備吐出の時間は通常、0.01s〜5sである。また、1のノズルが1度に吐出するインクの量(ノズルが吐出するインク一滴の量)は、通常3pl〜20plである。
次に上述した有機ELディスプレイパネルの製造方法によって製造された有機ELディスプレイについて説明する。本発明の有機ELディスプレイパネルは、基板と、基板上に配置されたバンクと、基板上にマトリクス状に配置された有機EL素子と、を有する。
基板は、素子配列領域と予備領域とを有する。素子配列領域では有機EL素子がマトリクス状に配置されている。素子配列領域は後述のライン状バンクによって規定され、かつ互いに平行な複数のライン状領域を有する。ライン状領域内には有機EL素子が列状に配列されている。また、素子配列領域内では、基板は有機EL素子を駆動するための駆動TFTを内蔵していてもよい。
バンクは、基板上に配置され、塗布形成される層を規定する障壁である。バンクの高さ(基板面からバンクの頂点までの距離)は0.5μm〜2μmであることが好ましい。
上述のように有機EL素子は、素子配列領域のそれぞれのライン状領域内に列状に配列される。それぞれ有機EL素子は、レッド、グリーンまたはブルーのいずれかの色の光を発する副画素として機能する。同一のライン状領域内に配置された有機EL素子は全て同色の光を発する。有機EL素子は、基板上に配置された画素電極、画素電極上に配置された有機層、および有機層上に配置された対向電極を有する。
実施の形態1では、縦塗りを採用した有機ELディスプレイパネルの製造方法について説明する。また、実施の形態1で製造される有機ELディスプレイパネルは、アクティブマトリクス型である。
実施の形態1では、予備領域が1つの予備吐出領域からなる形態について説明した。実施の形態2では、予備領域が複数の予備吐出領域からなる形態について説明する。
このように実施の形態2の有機ELディスプレイパネルによれば、乾燥ムラを低減することができることから、より均一な膜厚を有する有機ELディスプレイパネルが得られる。
実施の形態3では、バンクの代わりに自己組織化単分子膜(SAM)を用いた例について説明する。
実施の形態1〜3では、縦塗りを採用した形態について説明した。実施の形態4では、横塗りを採用した有機ELディスプレイパネルの製造方法について説明する。
ベースパネル110、210、310、410
101 基板
102 画素電極
103 境界バンク
104 ライン状領域
105 素子配列領域
106 ライン状バンク
107、207 予備領域
108、208、 予備吐出領域
109 対向電極
120 インクジェットヘッド
121 ノズル
130 インク
140 有機EL素子
203 予備吐出領域を規定するバンク
303、306 SAM
[1]有機EL素子がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有する有機ELディスプレイパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長く、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクの幅は、前記ライン状バンクの幅よりも狭く、10μm〜300μmである、有機ELディスプレイパネル。
[2]画素電極がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有するベースパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長く、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクの幅は、前記ライン状バンクの幅よりも狭く、10μm〜300μmである、ベースパネルを準備するステップと、2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記予備領域上に配置するステップと、前記予備領域上で前記ノズルから前記インクを一定のインターバルごとに吐出し、前記予備吐出領域内にインクを着弾させるステップと、前記インターバルごとの吐出を維持したまま、前記インクジェットヘッドを、前記予備領域から、前記素子配列領域に移動するステップと、前記インクジェットヘッドを前記ライン方向に沿って移動し、前記ライン状領域に前記インクを塗布するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。
本発明の有機ELディスプレイパネルの製造方法は、1)予備吐出領域からなる予備領域と、複数のライン状領域を有する素子配列領域と、を有するベースパネルを準備する第1ステップと、2)2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、予備領域上に配置する第2ステップと、3)予備吐出領域内にノズルからインクを吐出(予備吐出)する第3ステップと、4)インクジェットヘッドを予備領域から素子配列領域に移動する第4ステップと、5)ライン状領域にインクを塗布し、有機層を形成する第5ステップと、を有する。
縦塗りが採用された場合、予備領域は、ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、ライン状領域のライン方向の側部に隣接しない(図3参照)。この場合、予備領域は、ライン状領域のライン方向(以下単に「ライン方向」とも称する)と垂直な方向に沿った長軸を有し、ライン方向に沿った短軸を有する。予備領域の長軸は、素子配列領域のライン方向と垂直な方向の長さよりも長くなる(図3参照)。
横塗りが採用された場合、予備領域は、ライン状領域のライン方向の側部のみに隣接し、ライン状領域のライン方向の端部に隣接しない(図15参照)。この場合、予備領域は、ライン方向に沿った長軸を有し、ライン方向と垂直な方向に沿った短軸を有する。また、横塗りが採用された場合、予備領域は1つの予備吐出領域からなることが好ましい。
予備吐出の時間は通常、0.01s〜5sである。また、1のノズルが1度に吐出するインクの量(ノズルが吐出するインク一滴の量)は、通常3pl〜20plである。
次に上述した有機ELディスプレイパネルの製造方法によって製造された有機ELディスプレイについて説明する。本発明の有機ELディスプレイパネルは、基板と、基板上に配置されたバンクと、基板上にマトリクス状に配置された有機EL素子と、を有する。
基板は、素子配列領域と予備領域とを有する。素子配列領域では有機EL素子がマトリクス状に配置されている。素子配列領域は後述のライン状バンクによって規定され、かつ互いに平行な複数のライン状領域を有する。ライン状領域内には有機EL素子が列状に配列されている。また、素子配列領域内では、基板は有機EL素子を駆動するための駆動TFTを内蔵していてもよい。
バンクは、基板上に配置され、塗布形成される層を規定する障壁である。バンクの高さ(基板面からバンクの頂点までの距離)は0.5μm〜2μmであることが好ましい。
上述のように有機EL素子は、素子配列領域のそれぞれのライン状領域内に列状に配列される。それぞれ有機EL素子は、レッド、グリーンまたはブルーのいずれかの色の光を発する副画素として機能する。同一のライン状領域内に配置された有機EL素子は全て同色の光を発する。有機EL素子は、基板上に配置された画素電極、画素電極上に配置された有機層、および有機層上に配置された対向電極を有する。
実施の形態1では、縦塗りを採用した有機ELディスプレイパネルの製造方法について説明する。また、実施の形態1で製造される有機ELディスプレイパネルは、アクティブマトリクス型である。
実施の形態1では、予備領域が1つの予備吐出領域からなる形態について説明した。実施の形態2では、予備領域が複数の予備吐出領域からなる形態について説明する。
このように実施の形態2の有機ELディスプレイパネルによれば、乾燥ムラを低減することができることから、より均一な膜厚を有する有機ELディスプレイパネルが得られる。
実施の形態3では、バンクの代わりに自己組織化単分子膜(SAM)を用いた例について説明する。
実施の形態1〜3では、縦塗りを採用した形態について説明した。実施の形態4では、横塗りを採用した有機ELディスプレイパネルの製造方法について説明する。
ベースパネル110、210、310、410
101 基板
102 画素電極
103 境界バンク
104 ライン状領域
105 素子配列領域
106 ライン状バンク
107、207 予備領域
108、208、 予備吐出領域
109 対向電極
120 インクジェットヘッド
121 ノズル
130 インク
140 有機EL素子
203 予備吐出領域を規定するバンク
303、306 SAM
[1]有機EL素子がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有する有機ELディスプレイパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長く、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクの幅は、前記ライン状バンクの幅よりも狭く、20μm〜50μmである、有機ELディスプレイパネル。
[2]画素電極がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有するベースパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長く、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクの幅は、前記ライン状バンクの幅よりも狭く、20μm〜50μmである、ベースパネルを準備するステップと、2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記予備領域上に配置するステップと、前記予備領域上で前記ノズルから前記インクを一定のインターバルごとに吐出し、前記予備吐出領域内にインクを着弾させるステップと、前記インターバルごとの吐出を維持したまま、前記インクジェットヘッドを、前記予備領域から、前記素子配列領域に移動するステップと、前記インクジェットヘッドを前記ライン方向に沿って移動し、前記ライン状領域に前記インクを塗布するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。
Claims (14)
- 有機EL素子がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、
前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、
前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有する有機ELディスプレイパネルであって、
前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、
前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、
前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長い、有機ELディスプレイパネル。 - 前記予備領域と前記素子配列領域とを区切るバンクの幅は、10μm〜300μmであり、
前記予備領域と前記素子配列領域とを区切るバンクの形状は、順テーパ状である、請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。 - 前記予備領域と前記素子配列領域とを区切るバンクの幅は、20μm〜50μmである、請求項2に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 前記予備領域と前記素子配列領域とを区切るバンクのテーパ角度は、20°〜50°である、請求項2に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 前記予備領域と前記素子配列領域とを区切るバンクの頂面におけるアニソールの接触角は、30°〜70°である、請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 前記予備領域は、1の前記予備吐出領域からなる請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 前記予備領域は、2以上の前記予備吐出領域からなる請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 有機EL素子がマトリクス状に配列された素子配列領域と、予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、
前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、
前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有する有機ELディスプレイパネルであって、
前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、
前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の側部のみに隣接し、
前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さの2倍以上である、有機ELディスプレイパネル。 - 画素電極がマトリクス状に配列された素子配列領域と、1または2以上の予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有するベースパネルであって、前記ライン状領域内には、前記有機EL素子が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の端部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さよりも長い、ベースパネルを準備するステップと、
2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記予備領域上に配置するステップと、
前記予備領域上で前記ノズルから前記インクを一定のインターバルごとに吐出し、前記予備吐出領域内にインクを着弾させるステップと、
前記インターバルごとの吐出を維持したまま、前記インクジェットヘッドを、前記予備領域から、前記素子配列領域に移動するステップと、
前記インクジェットヘッドを前記ライン方向に沿って移動し、前記ライン状領域に前記インクを塗布するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。 - 前記インターバルは、0.05ms〜1msである、請求項9に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。
- 前記インクジェットヘッドを、前記素子配列領域方向に移動しながら、前記インクを前記予備領域上で吐出する、請求項9に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。
- 前記ノズルの1つが一度に吐出するインクの量は、3pl〜20plである、請求項9に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。
- 前記インクジェットヘッドのベースパネルに対する移動速度は、1mm/s〜100mm/sである、請求項9に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。
- 画素電極がマトリクス状に配列された素子配列領域と、予備吐出領域からなる予備領域と、を有する基板と、前記基板上に配置され、前記予備領域と、前記素子配列領域とを区切るバンクと、前記基板上に配置され、前記素子配列領域内に、2以上の互いに平行なライン状領域を規定するライン状バンクと、を有するベースパネルであって、前記ライン状領域内には、前記画素電極が列状に配列され、前記予備領域は、前記ライン状領域のライン方向の側部のみに隣接し、前記予備吐出領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さは、前記ライン状領域の前記ライン方向と垂直な方向の長さの2倍以上である、ベースパネルを準備するステップと、
2以上のノズルを有し、有機層の材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記予備領域上に配置するステップと、
前記予備領域上で前記ノズルから前記インクを吐出し、前記予備吐出領域内にインクを着弾させるステップと、
前記インクジェットヘッドを、前記予備領域から、前記素子配列領域に移動するステップと、
前記インクジェットヘッドを前記ライン方向と垂直な方向に沿って移動し、前記ライン状領域に前記インクを塗布するステップと、を有する有機ELディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010542470A JP4755314B2 (ja) | 2009-03-06 | 2010-03-03 | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009053520 | 2009-03-06 | ||
JP2009053520 | 2009-03-06 | ||
JP2010542470A JP4755314B2 (ja) | 2009-03-06 | 2010-03-03 | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 |
PCT/JP2010/001471 WO2010100922A1 (ja) | 2009-03-06 | 2010-03-03 | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4755314B2 JP4755314B2 (ja) | 2011-08-24 |
JPWO2010100922A1 true JPWO2010100922A1 (ja) | 2012-09-06 |
Family
ID=42709488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010542470A Active JP4755314B2 (ja) | 2009-03-06 | 2010-03-03 | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4755314B2 (ja) |
WO (1) | WO2010100922A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3376550A1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9472606B2 (en) | 2011-11-07 | 2016-10-18 | Joled Inc. | Organic electroluminescence display panel and organic electroluminescence display apparatus |
JP5974372B2 (ja) * | 2011-11-07 | 2016-08-23 | 株式会社Joled | 有機el表示パネル及び有機el表示装置 |
JP2017054723A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 住友化学株式会社 | バンク付き基板 |
JP2018186046A (ja) | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社Joled | 表示装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3814469B2 (ja) * | 2000-07-10 | 2006-08-30 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法および製造装置、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法、表示装置を備えた装置の製造方法 |
JP2003246053A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-02 | Seiko Epson Corp | 製膜装置とその塗布液吐出方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス |
JP3690380B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2005-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 材料の配置方法、電子装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
JP4342917B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2009-10-14 | シャープ株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
JP5233099B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2013-07-10 | 凸版印刷株式会社 | 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
EP2151867B1 (en) * | 2007-05-30 | 2016-08-03 | Joled Inc. | Organic el display panel |
-
2010
- 2010-03-03 JP JP2010542470A patent/JP4755314B2/ja active Active
- 2010-03-03 WO PCT/JP2010/001471 patent/WO2010100922A1/ja active Application Filing
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3376550A1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
US10658438B2 (en) | 2017-03-13 | 2020-05-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus comprising self-assembled layer containing fluorine and method of manufacturing the same |
US11164924B2 (en) | 2017-03-13 | 2021-11-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus comprising self-assembled layer containing fluorine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4755314B2 (ja) | 2011-08-24 |
WO2010100922A1 (ja) | 2010-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4604131B2 (ja) | 有機elディスプレイおよびその製造方法 | |
US20230020506A1 (en) | High resolution organic light-emitting diode devices, displays, and related methods | |
US7503823B2 (en) | Method of producing an organic EL light-emitting device | |
JP2010277944A (ja) | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
JP4612741B2 (ja) | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
CN111435676B (zh) | 有机el显示面板和制造有机el显示面板的方法 | |
JP4755314B2 (ja) | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
JP4311084B2 (ja) | 薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法 | |
JP6539848B2 (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
JP2005270725A (ja) | パターン基板、パターン基板の製造方法、及びパターン基板の製造装置 | |
JP5262343B2 (ja) | 表示装置、および表示装置の製造方法 | |
JP2008066054A (ja) | 電気光学装置およびその製造方法 | |
JP4864041B2 (ja) | 有機デバイスの製造装置 | |
JP4321059B2 (ja) | 画像表示素子及びその製造方法 | |
CN114649391A (zh) | 显示面板 | |
JP2009163931A (ja) | 表示パネル製造装置及び表示パネルの製造方法 | |
CN113871440B (zh) | 有机发光二极管基板及其制造方法 | |
JP2006269325A (ja) | 液滴吐出ヘッド、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 | |
WO2013111300A1 (ja) | 有機elパネル及びその製造方法 | |
GB2463670A (en) | A method for inkjet printing organic electronic devices | |
JP2012048933A (ja) | 有機el装置の製造方法 | |
JP2017094235A (ja) | 液滴吐出方法および液滴吐出プログラム | |
JP2006202587A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器 | |
JP4918470B2 (ja) | 有機デバイスおよびその製造方法 | |
JP5096641B1 (ja) | 有機elパネル及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110524 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110526 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4755314 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |