JPWO2010095691A1 - 導電性酸化物焼結体、これを用いたサーミスタ素子、及びこれを用いた温度センサ - Google Patents
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Abstract
Description
これに対し、特許文献1では、温度勾配定数(B定数)が、2000〜3000K程度となる導電性酸化物焼結体が示されている。
このようなサーミスタ素子では、例えば、上述のような排ガス温度測定の用途において、−40℃〜+600℃の温度範囲で適切に温度検知ができ、しかも、温度センサの故障検知として、低温側での断線検知や高温側での短絡検知を、温度センサ(サーミスタ素子)の出力から正確に行いうる。
かくして、広い温度範囲において、適切に温度を測定することができる。
また、第2元素群RE2は、第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群である。従って、例えば、第1元素群RE1が、YとYbである場合には、第2元素群RE2としては、Yのみ、Ybのみのほか、YとYbの2種の場合も含まれる。このように、第1元素群RE1と第2元素群RE2とが、同じ元素群であっても良い。
また、第1結晶相及び第2結晶相(ペロブスカイト型の結晶構造を有する結晶相)の存在は、それぞれ、X線回折法により、同一結晶系で類似組成の結晶に合致する特有のピークが存在すること、及び、当該結晶相に該当する各元素が存在することから、確認できる。
さらに、第2結晶相のAサイトにおいて、第2元素群RE2と固溶(置換)する元素群SLは、2A族元素(2族元素)のSr,Ca,Mgのうち、少なくとも、Srをモル比で主とする。従って、元素群SLにおいて、全てがSrであっても良いし、Srがモル比で半分以上を占めており、残部にCa、Mg、あるいは両者を含んでいても良い。
さらに、第2結晶相の係数aの下限は、a≧0.19とするのが好ましい。この場合、第1結晶相、第2結晶相の存在下で、確実にB定数(-40〜600℃)を2000K以下にできる。
さらに、係数aの下限を、a≧0.24とするのが好ましい。これにより、さらに、B定数(-40〜600℃)を1950K以下にすることができる。
0.40≦x≦0.90
0.05≦w≦0.65
0.90≦x+w≦1.1
このように、Bサイトに元素群M1を含ませることで、ペロブスカイト構造の第2結晶相を形成、維持しやすくなり、焼結体を導電体として確実に機能させることができる。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.60
0<z≦0.05
0.90≦x+y+z≦1.1
かくして、広い温度範囲において、適切に温度を測定することができる。
さらに、係数aの下限を、a≧0.24とするのが好ましい。これにより、さらに、B定数(-40〜600℃)を1950K以下にすることができる。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.60
0<z≦0.05
0.90≦x+y+z≦1.1
0.65≦x≦0.85
0.15≦y≦0.35
0<z≦0.03
0.95≦x+y+z≦1.05
かくして、例えば、このサーミスタ素子を用いて、前述したように、排気ガス温度検知用の温度センサを構成した場合には、自身の出力に基づいて、低温側での断線検知、及び、高温側での短絡検知の何れをも、正確に行うことが可能となる。
かくして、例えば、この温度センサを、前述したように、排気ガス温度検知用に用いた場合には、用いているサーミスタ素子からの出力に基づいて、低温側での断線検知、及び、高温側での短絡検知のいずれをも、正確に行うことが可能となる。
まず、実施例1〜16及び比較例1〜6にかかる導電性酸化物焼結体1及びサーミスタ素子2の製造について説明する。原料粉末として、Y2O3,Nd2O3,Yb2O3,Lu2O3,SrCO3(表1ではSrO換算で表示),CaCO3(表1ではCaO換算で表示),MgO,Al2O3,MnO2,Fe2O3,Cr2O3(全て純度99%以上の市販品を用いた。)を用いて、表1に示す原料仕込み組成(モル%)となるように、それぞれ秤量し、これらの原料粉末を湿式混合して乾燥することにより原料粉末混合物を調整した。次いで、この原料粉末混合物を大気雰囲気下1400℃で2Hr仮焼し、平均粒径1〜2μmの仮焼粉末を得た。その後、樹脂ポットと高純度アルミナ玉石とを用い、エタノールを分散媒として、湿式混合粉砕を行った。
なお、使用しうるバインダーとしては、上述のポリビニルブチラールに特に限定されず、例えばポリビニルアルコール、アクリル系バインダー等が挙げられる。バインダーの配合量は上述の仮焼粉末全量に対し、通常5〜20重量部、好ましくは10〜20重量部とする。
また、バインダーと混合するにあたり、サーミスタ合成粉末の平均粒子径は2.0μm以下としておくのが好ましく、これによって均一に混合することができる。
さらに、実施例6は、実施例2におけるYb2O3に代えて、Lu2O3を用いたものである。一方、実施例7は、実施例2におけるYb2O3に代えて、Yb2O3とLu2O3とをモル比で同量用いたものである。
また、実施例12,13は、Y2O3に代えて、Nd2O3を用いたものである。さらに、この実施例13は、MnO2に代えて、Fe2O3を用いている。
また、実施例14は、実施例2におけるSrOの一部(10mol%)を、CaOに代えたものである。同様に、実施例15は、実施例2におけるSrOの一部(10mol%)を、MgOに代えたものである。
また、実施例3と実施例16とは、同一の組成で、焼成温度も同一であるが、後述するように、実施例16のサーミスタ素子は、実施例3の焼成体に耐還元性の被膜を形成したものである。
さらに、比較例5は、実施例14に近似しており、実施例2におけるSrOの一部(50mol%)を、CaOに代えたものである。同様に、比較例6は、実施例15に近似しており、実施例2におけるSrOの一部(50mol%)を、MgOに代えたものである。
ついで上述の造粒粉末を用いて、20MPaの圧力で一軸プレスを行い、19mmφ×2mmの円柱状に成形した。その後、150MPaの圧力でCIP(冷間等方静水圧プレス)処理を行い、この成形体を大気雰囲気において1550℃で4時間焼成して、実施例1〜16及び比較例1,2,4〜6に係る導電性酸化物焼結体のX線調査用サンプルを得た。一方、実施例3とは、焼成温度のみ異なる1450℃とした比較例3をも作成した。
これらにおいて、○印で示したのは、結晶がYAlO3であると仮定した場合の、回折ピークデータに合致するピークであり、ペロブスカイト構造に特有のピーク配列が現れていることが判る。この結果から、実施例2,3及び比較例1,3とも、ペロブスカイト構造の結晶相(第2結晶相)が存在していることが確認できる。なお、YAlO3のピークデータを用いたのは、AサイトにYのほか、Yb(あるいはLu),Srが含まれていることが予測される、またBサイトには、Alのほか、Mn,Crが含まれると予測されるが、それらは各々のサイトに固溶しているため、第2結晶相が存在しているので有れば、YAlO3と類似のパターンを示すと考えられるからである。
さらに、EPMA/WDSにより、各々の結晶相、特に導電相であるペロブスカイト型結晶相(第2結晶相)の組成分析を行った。これによると、ペロブスカイト型の結晶相には、Y,Alのほか、Yb(あるいはLu)Sr,Mn,Crの存在が確認された。従って、このペロブスカイト型の第2結晶相は、YAlO3ではなく、((Y,Yb)1−aSra)(Al,Mn,Cr)O3の組成を有しているものであると考えられる。
また、実施例2,3及び比較例3については、◇印で示されるピークから、SrAl2O4 の存在を特定した。さらに、実施例2,3及び比較例1,3において、□印で示されるピークから、Yb2O3の存在を特定した。
なお、他の実施例及び比較例についても同様にして、各結晶相を特定している。
一方、比較例1,3(図3,図4参照)では、○印で示される第2結晶相:((Y,Yb)1−aSra)(Al,Mn,Cr)O3は生成されているが、▽印のピークが無く、第1結晶相:(Y,Yb)4Al2O9は生成されていない。
なお、実施例6においては、第1結晶相として(Y,Lu)4Al2O9が、第2結晶相として((Y,Lu)1−aSra)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
また、実施例7においては、第1結晶相として(Y,Yb,Lu)4Al2O9が、第2結晶相として((Y,Yb,Lu)1−aSra)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
さらに、実施例12においては、第1結晶相として(Nd,Yb)4Al2O9が、第2結晶相として((Nd,Yb)1−aSra)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
また、実施例13においては、第1結晶相として(Nd,Yb)4Al2O9が、第2結晶相として((Nd,Yb)1−aSra)(Al,Fe,Cr)O3が生成されていた。
また、実施例14においては、第1結晶相として(Y,Yb)4Al2O9が、第2結晶相として((Y,Yb)1−a(Sr,Ca)a)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
一方、実施例15においては、第1結晶相として(Y,Yb)4Al2O9が、第2結晶相として((Y,Yb)1−a(Sr,Mg)a)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
一方、比較例5においては、第2結晶相として((Y,Yb)1−a(Sr,Ca)a)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
また、実施例6においては、第2結晶相として((Y,Yb)1−a(Sr,Mg)a)(Al,Mn,Cr)O3が生成されていた。
但し、いずれの比較例についても、第1結晶相は生成されていなかった。
なお、◇印で示されるSrAl2O4は、比較例3にも、また、□印で示されるYb2O3は、比較例1,3の何れにも存在しているので、特にこれらの存在が、実施例に係る焼結体に特異的であるとは言えないことも判る。
一方、前述の造粒粉末を用いて、金型成型法によりプレス成形(プレス圧:440MPa=4500kg/cm2)して、図5に示すように、Pt−Rh合金製の一対の電極線2a,2bの一端側が埋設された六角形板状(厚さ1.24mm)の未焼成成形体を得た。その後、大気中1550℃で4Hr焼成し、実施例1〜6及び実施例7〜15のサーミスタ素子2を製造した。なお、比較例1,2,4〜6に係るサーミスタ素子も、同様にして製造した。さらに、比較例3については、実施例3とは焼成温度のみを異ならせ、1450℃で焼成した。
サーミスタ素子2の各寸法は、一辺1.15mmの六角形状で、厚み1.00mm、電極線2a,2bの径φ0.3mm、電極中心間距離0.74mm(ギャップ0.44mm)、電極挿入量1.10mmである。
B(-40〜600)=ln[R(600)/R(-40)]/[1/T(600)−1/T(-40)] …(1)
なお、R(-40):−40℃におけるサーミスタ素子の抵抗値(kΩ)、R(600):600℃におけるサーミスタ素子の抵抗値(kΩ)である。
各実施例等についての、R(-40)、R(600)、及びB(-40〜600)の測定結果を、表3に示す。
なお、実施例16の、耐還元性被膜1bを有するサーミスタ素子2のB定数(=1858K)は、同じ組成で、被膜を有さない実施例3のサーミスタ素子2のB定数(=1868K)と、ほぼ同じ大きさとなった。このことから、耐還元性被膜1bの有無は、B定数の大きさに実質的に影響がないことが判る。
また、比較例5における「O.R.」は、オーバーレンジ、即ち、R(600)が、機器における抵抗の測定範囲外の大きな抵抗値となったことを示す。
また、Laを除く3A族元素(3族元素)のうち少なくとも1種からなる元素群RE2であって、上記第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、4A,5A,6A,7A及び8族元素(4族元素〜10族元素)のうち少なくとも1種からなる元素群をM1とし、この元素群M1及びAlからなる元素群をMとし、Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含む元素群をSLとしたとき、ABO3と表記されるペロブスカイト構造を有し、(RE21−aSLa)MO3で表される第2結晶相をも含んでいることが判る。
さらに、この第2結晶相における係数aは、いずれも、0.18<a<0.50の範囲内となっている。
なお、第2元素群RE2の本実施例1〜16における具体例も、YとYb、YとLu、YとYbとLu、あるいは、NdとYbである。また、元素群M1は、具体的には、Mn,Fe及びCrである。
また、比較例5,6のように、元素群SLとして、CaあるいはMgを、Srと同量含んでいる場合、即ち、Srが主となっていない場合には、B定数が非常に大きな値となることから、元素群SLは、Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含むものとするのがよいことが判る。
さらに、係数aの下限を、a≧0.24とするのが好ましい。これにより、さらに、B定数:B(-40〜600)を1950K以下にすることができる。
但し、実施例1〜13,16のサーミスタ素子2(焼結体)のように、元素群SLを、Srとすると、これらCaやMgを元素群SLに含む(第2結晶相のAサイトに含む)ものに比して、B定数を低くできる点で好ましい。
第2結晶相のBサイトにおいて、Alと固溶する元素群M1において、MnあるいはFeを用いると、焼結体やこれを用いたサーミスタ素子について、広い温度範囲で適切な電気特性(B定数や抵抗値)を確実に得られる利点がある。さらに、Crを用いると、焼結体やサーミスタ素子について、電気特性を安定して得やすい利点がある。
第2結晶相のBサイトにおいて、Alと固溶(置換)する元素群M1について、MnとCrとを用いると、さらに焼結体やこれを用いたサーミスタ素子において、適切な電気特性を安定して得られる利点がある。
0.40≦x≦0.90
0.05≦w≦0.65
0.90≦x+w≦1.1
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.60
0<z≦0.05
0.90≦x+y+z≦1.1
また、Laを除く3A族元素(3族元素)のうち少なくとも1種からなる元素群RE2であって、上記第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、4A,5A,6A,7A及び8族元素(4族元素〜10族元素)のうち少なくとも1種及びAlからなる元素群をMとしたとき、ABO3と表記されるペロブスカイト構造を有し、(RE21−aSra)MO3で表される第2結晶相をも含んでいることが判る。
さらに、この第2結晶相における係数aは、0.18<a<0.50の範囲内となっている。
なお、第2元素群RE2の本実施例における具体例も、YとYb、YとLu、YとYbとLu、あるいはNdとYbである。また、元素群Mは、具体的には、Al,Mn,Fe及びCrである。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.60
0<z≦0.05
0.90≦x+y+z≦1.1
このうち、比較例1では、その組成中に、Y,Yb,Alが含まれている(表1の比較例1参照)が、先ずもって、第1結晶相((Y,Yb)4Al2O9)が生成されていない(図3参照)。さらに、係数aが、a=0.15≦0.18であり、0.18<a<0.50の範囲を外れている。
また、比較例2においても、その組成中に、Y,Alが含まれている(表1の比較例2参照)が、第1結晶相あるいはこれに類似の(Y4Al2O9)の生成が確認できていない。さらに、係数aが、a=0.11≦0.18であり、0.18<a<0.50の範囲を外れている。
さらに、比較例3でも、第1結晶相が形成されておらず(図4参照)、また、係数aが、a=0.10≦0.18であり、0.18<a<0.50の範囲を外れている。
比較例1〜3では、このような違いを有するため、B定数が大きくなったものと考えられる。
一方、比較例4では、係数a=0.17としているため、B定数が、B(-40〜600)=2116Kとなっている。このことから、B定数を、B(-40〜600)<2000Kとするのには、係数aを、a>0.18とすることが良いことが判る。
特に、比較例3では、実施例3と、焼成温度を異ならせた点のみが異なっている。
この点から、焼成温度を調整することにより、特異的に第1結晶相:例えば(Y,Yb)4Al2O9を生成させ得ると考えられる。
一方、シース部材8から後端側に突き出した芯線7は、加締め端子11を介して一対のリード線12に接続されている。芯線7同士及び加締め端子11同士は、絶縁チューブ15により互いに絶縁されている。
また、この温度センサ100では、検出回路において適切なプルアップ抵抗を選択することにより、例えば、温度センサ100に5Vの電圧を印加した場合、その出力を、−40℃〜+600℃の範囲において、4.8V〜0.2Vの変化範囲に収めることができる。このため、この出力を、最大入力電圧が5Vの回路に入力する場合でも、適切に温度検知ができる。その上、温度センサ100(サーミスタ素子2)の低温時(−40℃)でも、出力が4.8V程度となり、5.0Vにまで至らないため、断線との差異を知ることができ、断線検知を容易にかつ正確に行いうる。また、同じく、高温時(+600℃)でも、出力が0.2V程度となり、0Vに至らないため、短絡との差異を知ることができ、容易かつ正確に短絡検知を行うことができる。
導電性酸化物焼結体(サーミスタ素子)の製造において、原料粉末としては、各実施例において例示した各元素を含む化合物の粉末を使用することができる。そのほか、酸化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等の化合物を用いることができる。なお、特に酸化物、炭酸塩を用いるのが好ましい。
1b 耐還元性被膜
2 サーミスタ素子
2a,2b 電極線
100 温度センサ
Claims (11)
- Yb,Luの少なくともいずれか、及び、Yb,Lu,Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群を第1元素群RE1とし、
Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群RE2であって、上記第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、
4A,5A,6A,7A及び8族元素のうち少なくとも1種からなる元素群をM1とし、
上記元素群M1及びAlからなる元素群をMとし、
Sr,Ca,Mgのうち、少なくともSrをモル比で主として含む元素群をSLとしたとき、
RE14Al2O9と表記される組成を有する第1結晶相と、
(RE21−aSLa)MO3と表記されるペロブスカイト構造を有する第2結晶相と、
を含み、
上記第2結晶相の係数aが、0.18<a<0.50の範囲であることを特徴とする
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群SLは、Srである
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1または請求項2に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群M1は、少なくともMn,Feのいずれか、及びCrを含む
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1または請求項2に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群M1は、少なくともMn及びCrを含む
導電性酸化物焼結体。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記第2結晶相を、(RE21−aSLa)(AlxM1w)O3と表記したとき、
係数x,wが以下を満たしてなる
導電性酸化物焼結体。
0.40≦x≦0.90
0.05≦w≦0.65
0.90≦x+w≦1.1 - 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群M1は、Mn及びCrを含み、
前記第2結晶相を、(RE21−aSLa)(AlxMnyCrz)O3と表記したとき、
係数x,y,zが以下を満たしてなる
導電性酸化物焼結体。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.60
0<z≦0.05
0.90≦x+y+z≦1.1 - Yb,Luの少なくともいずれか、及び、Yb,Lu,Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群を第1元素群RE1とし、
Laを除く3A族元素のうち少なくとも1種からなる元素群RE2であって、上記第1元素群RE1をなす元素群のうち少なくとも1種を含む元素群を第2元素群RE2とし、 4A,5A,6A,7A及び8族元素のうち少なくとも1種及びAlからなる元素群をMとしたとき、
RE14Al2O9と表記される組成を有する第1結晶相と、
(RE21−aSra)MO3と表記されるペロブスカイト構造を有する第2結晶相と、
を含み、
上記第2結晶相の係数aが、0.18<a<0.50の範囲であることを特徴とする
導電性酸化物焼結体。 - 請求項7に記載の導電性酸化物焼結体であって、
前記元素群Mは、Al,Mn及びCrを含み、
前記第2結晶相を、(RE21−aSra)(AlxMnyCrz)O3と表記したとき、
係数x,y,zが、以下を満たしてなる
導電性酸化物焼結体。
0.40≦x≦0.90
0.05≦y≦0.60
0<z≦0.05
0.90≦x+y+z≦1.1 - 請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の導電性酸化物焼結体を用いてなる
サーミスタ素子。 - 請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の導電性酸化物焼結体と、
上記導電性酸化物焼結体を被覆する耐還元性の耐還元性被膜と、を備える
サーミスタ素子。 - 請求項9または請求項10に記載のサーミスタ素子を用いてなる
温度センサ。
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