JPWO2010061617A1 - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
GaNの結晶成長が可能な表面を有する基板と、
上記基板の表面を覆うように設けられ該基板の表面が部分的に露出する開口が形成されていると共にGaNの結晶成長が不能な表面を有するマスク層と、
上記マスク層及び該マスク層の開口から露出した上記基板の表面を覆うように設けられたGaN層と、
を備え、
上記マスク層は、その屈折率がSiO2の屈折率よりも大きく且つ上記GaN層の屈折率よりも小さい。
GaNの結晶成長が可能な表面を有する基板と、
上記基板の表面を覆うように設けられ該基板の表面が部分的に露出する開口が形成されていると共にGaNの結晶成長が不能な表面を有するマスク層と、
上記マスク層及び該マスク層の開口から露出した上記基板の表面を覆うように設けられたGaN層と、
を備えた半導体発光素子の製造方法であって、
マスク層を、その屈折率がSiO2の屈折率よりも大きく且つGaN層の屈折率よりも小さくなるようにCVD法により成膜して形成するものである。
図1は本実施形態に係る半導体発光素子10を示す。
次に、本実施形態に係る半導体発光素子10の製造方法について図2(a)〜(f)に基づいて説明する。以下の本実施形態に係る半導体発光素子10の製造方法では、サファイアウエハ11’(基板11)上に酸化窒化ケイ素のマスク層12を設け、その上にu-GaN層13、n型GaN層14(Siドープ)、発光層である多重量子井戸層15(井戸層15a:InGaN、障壁層15b:GaN)、p型AlGaN層16(Mgドープ)、及びp型GaN層17(Mgドープ)の各半導体層を順に形成した後、n型GaN層14及びp型GaN層17の上にそれぞれn型電極18及びp型電極19を形成するものを例とする。
サファイアウエハ11’を準備する。サファイアウエハ11’は、その直径によっても変わるが厚さが0.3〜3.0mm、及び直径が50〜300mmである。なお、直径50mmのサファイアウエハ11’の場合では、1枚のサファイアウエハ11’上に5000〜12000個の半導体発光素子10を作り込むことができる。
マスク層12形成方法としては、プラズマCVD法、常圧CVD法、スパッタリング法等が挙げられる。
以下の各半導体層の形成方法としては、有機金属気相成長法(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy:MOVPE)、分子線エピタキシ法(Molecular Beam Epitaxy:MBE)、ハイドライド気相成長法(Hydride Vapor Phase Epitaxy:HVPE)等が挙げられ、これらのうち有機金属気相成長法が最も一般的である。以下では、有機金属気相成長法を利用した各半導体層の形成方法について説明する。
上記MOVPE装置を用いて、マスク層12を設けたサファイアウエハ11’をマスク層12の表面が上向きになるように石英トレイ上にセットした後、サファイアウエハ11’を1050〜1150℃に加熱すると共に反応容器内の圧力を10k〜100kPaとし、また、反応容器内に設置したフローチャネル内にキャリアガスとしてH2を流通させ、その状態を数分間保持することによりサファイアウエハ11’をサーマルクリーニングする。
反応容器内の圧力を10k〜100kPaとし、また、反応容器内にキャリアガスH2を5〜15L/min(以下、ガス流量は基準状態(0℃、1気圧)での値とする)の流量で流通させながら、そこに反応ガスとして、V族元素供給源(NH3)、III族元素供給源1(TMG)、及びn型ドーピング元素供給源(SiH4)を、それぞれの供給流量が0.1〜5L/min、50〜150μmol/min、及び1〜5×10−3μmol/minとなるように流す。
サファイアウエハ11’の温度を800℃程度とすると共に反応容器内の圧力を10k〜100kPaとし、また、反応容器内にキャリアガスN2を5〜15L/minの流量で流通させながら、そこに反応ガスとして、V族元素供給源(NH3)、III族元素供給源1(TMG)、及びIII族元素供給源2(TMI)を、それぞれの供給流量が0.1〜5L/min、5〜15μmol/min、及び2〜30μmol/min流す。このとき、n型GaN層14に連続してInGaNが結晶成長して井戸層15aが形成される。
サファイアウエハ11’の温度を1000〜1100℃とすると共に反応容器内の圧力を10k〜100kPaとし、また、反応容器内にキャリアガスのH2を5〜15L/minの流量で流通させながら、そこに反応ガスとして、V族元素供給源(NH3)、III族元素供給源1(TMG)、III族元素供給源3(TMA)、及びp型ドーピング元素供給源(Cp2Mg)を、それぞれの供給流量0.1〜5L/min、50〜150μmol/min、2〜80μmol/min、及び0.03〜30μmol/min流す。
半導体層を積層形成したサファイアウエハ11’を部分的に反応性イオンエッチングすることによりn型GaN層14を露出させた後、真空蒸着、スパッタリング、CVD(Chemical Vapor Deposition)等の方法によりn型GaN層14上にn型電極18及びp型GaN層17上にp型電極19をそれぞれ形成する。
サファイア基板上に並行に延びる複数の溝(上記実施形態におけるマスク層に形成した開口部相当)を形成した上にu-GaN層を設けたことを除いて上記実施形態と同様の構成の半導体発光素子では、外部量子効率が43%であった。なお、この半導体発光素子は、上記実施形態に係る半導体発光素子において、マスク層の屈折率がサファイア基板の屈折率と同一である場合に相当する。
プラズマCVD装置(反応ガス供給部とウエハテーブルとの間の間隔:25mm)を用い、ウエハテーブル上にサファイアウエハをセットした後、サファイアウエハの温度を350℃に加熱すると共に反応容器内の放電圧力を100Paとし、反応容器内に反応ガスとして、モノシラン、アンモニア、及び窒素を、それぞれの供給流量が5mL/min、2mL/min、及び50mL/minとなるように供給し、サファイアウエハ上に被膜を成膜した。また、放電周波数を13.56MHzとし、高周波電力を50Wとした。
試験評価2で用いたのと同一のプラズマCVD装置を用い、ウエハテーブル上にサファイアウエハをセットした後、サファイアウエハの温度を350℃に加熱すると共に反応容器内の放電圧力を100Paとし、反応容器内に反応ガスとして、モノシラン、アンモニア、窒素、及び笑気を、それぞれの供給流量が5mL/min、2mL/min、50mL/min、及び3mL/minとなるように供給し、サファイアウエハ上に酸化窒化ケイ素の被膜を成膜した。また、放電周波数を13.56MHzとし、高周波電力を50Wとした。
反応ガスとして窒素の一部又は全部を不活性ガスであるアルゴンに置換したことを除いて、試験評価2における反応ガスをモノシラン、アンモニア、及び窒素とした場合と同様にサファイアウエハ上に酸化窒化ケイ素の被膜を成膜した。被膜の成膜は、アルゴンの置換量を変えて複数回行った。
放電周波数を変えたことを除いて、試験評価2における反応ガスをモノシラン、アンモニア、及び窒素とした場合と同様にサファイアウエハ上に酸化窒化ケイ素の被膜を成膜した。被膜の成膜は放電周波数を変えて複数回行った。
11 基板
12 マスク層
12a 開口
13 u-GaN層
14 n型GaN層
15 多重量子井戸層
15a 井戸層
15b 障壁層
16 p型AlGaN層
17 p型GaN層
18 n型電極
19 p型電極
Claims (7)
- GaNの結晶成長が可能な表面を有する基板と、
上記基板の表面を覆うように設けられ該基板の表面が部分的に露出する開口が形成されていると共にGaNの結晶成長が不能な表面を有するマスク層と、
上記マスク層及び該マスク層の開口から露出した上記基板の表面を覆うように設けられたGaN層と、
を備え、
上記マスク層は、その屈折率がSiO2の屈折率よりも大きく且つ上記GaN層の屈折率よりも小さい半導体発光素子。 - 請求項1に記載された半導体発光素子において、
上記マスク層の屈折率が1.45よりも大きく且つ2.54よりも小さい半導体発光素子。 - 請求項1又は2に記載された半導体発光素子において、
上記マスク層が酸化窒化ケイ素で形成されている半導体発光素子。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載された半導体発光素子において、
上記マスク層は、その屈折率が厚さ方向に変化している半導体発光素子。 - 請求項4に記載された半導体発光素子において、
上記マスク層は、その屈折率が厚さ方向の上記GaN層側から上記基板側に向かって漸次小さくなるように変化している半導体発光素子。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載された半導体発光素子において、
上記基板がサファイア基板である半導体発光素子。 - GaNの結晶成長が可能な表面を有する基板と、
上記基板の表面を覆うように設けられ該基板の表面が部分的に露出する開口が形成されていると共にGaNの結晶成長が不能な表面を有するマスク層と、
上記マスク層及び該マスク層の開口から露出した上記基板の表面を覆うように設けられたGaN層と、
を備えた半導体発光素子の製造方法であって、
マスク層を、その屈折率がSiO2の屈折率よりも大きく且つGaN層の屈折率よりも小さくなるようにCVD法により成膜して形成する半導体発光素子の製造方法。
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