JPWO2010024234A1 - 分散配置リニアモータおよび分散配置リニアモータの駆動システム - Google Patents
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Abstract
固定子の分散配置に適したリニアモータを提供する。固定子10Aと可動子20Aとが互いに相対運動するリニアモータ1Aであって、固定子10Aと可動子20Aとは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極12、22と、複数の種類の極が種類の順に相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、固定子10Aは、相対運動の方向に複数離れて配列、隣り合う固定子10Aの極同士の最小距離D2が、可動子20Aの極22同士の最大距離Lmv以下であり、かつ、隣り合う固定子10Aの同じ種類の極同士の最小距離D1が、固定子10Aの周期構造の1周期の長さCpの自然数倍である。
Description
本発明は、搬送装置の台車の駆動などに用いられるリニアモータに関し、特に、リニアモータの固定子が分散されて配置された分散配置リニアモータ、およびそのリニアモータを制御するモータ駆動装置を備えた分散配置リニアモータ駆動システムに関する。
部品やワーク等の搬送等に使用されるリニアモータは、1つの固定子上を可動子が移動する構造が一般的である。しかし、搬送路が長くなると、設備コストが高くなる等の問題が生じるため、固定子を分散させて配置する方法が提案されている。このような分散配置(非連続配置)された固定子において、例えば、特許文献1には、二次側台車の位置と加速度との関係を把握し、オープンループで駆動する地上一次側分散配置方式を採用しても速度むらが生じないようなリニアモータの速度変動低減方法が開示されている。
また、リニアモータにおいて、可動子の位置制御を正確に行うために光学式や磁気式のリニアスケールとこのリニアスケールを読み取るセンサとが使用されている。例えば、特許文献2には、位置検出手段は、一次側のベッドに配設された被検知部としてのリニア磁気スケールと、該リニア磁気スケールに対応して二次側のテーブルに配設されたリニアスケールセンサ部等とから成っている技術が開示されている。
また、リニアスケールを使用する際、可動子の位置の基準を定めるために、リニアスケールとは別に、光学式のセンサが読み取れるように印が原点として付けられたり原点信号用の着磁部を設けたりしている。例えば、特許文献3には、リニア磁気スケールは、ベッドの長手方向に沿って、N、Sの磁極が交互に微細ピッチで多極着磁されると共に、一端に原点信号着磁部が形成されているという技術が開示されている。
ところで、分散配置された固定子においては、1つの固定子上において1つの可動子を制御する場合と異なり、複数の固定子や複数の可動子の互いの関連性等を考慮する必要があるので、制御の仕方も多様となる。
しかしながら、特許文献1の技術は、主に加速度が変化している時の運転における速度むらをなくすためのリニアモータの速度変動低減方法である。特に、可動子が固定子から一旦離れて、再び次の固定子に移動する場合の制御方法である。
そのため、可動子が固定子間を跨ぐ場合等、固定子の分散配置を十分考慮したリニアモータとは言えない。
また、分散配置されたリニアモータにおいて位置制御を正確に行うため、特許文献2等の従来技術を利用するならば、各リニアモータに、リニアスケールとこれを読み取るセンサとを設ける必要がある。さらに各リニアモータに、リニアスケールを長手方向に正確に貼る必要がある。
このため、分散配置されたリニアモータのシステムにおいて、リニアモータの数が増えるほど、リニアスケール等の部品数を増やす必要があり、また、各リニアモータにリニアスケールを設ける手間がかかる。
さらに、分散配置されたリニアモータにおいて位置制御を正確に行うため、特許文献3等の従来技術を利用するならば、各リニアモータに、原点用のマークと原点検出用のセンサとを設ける必要がある。このため、分散配置されたリニアモータのシステムにおいて、リニアモータの数が増えるほど、原点用のマークと原点検出用のセンサ等の部品数を増やす必要がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、固定子の分散配置に適したリニアモータを提供することを課題とする。
上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、固定子と可動子とが互いに相対運動するリニアモータであって、前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列され、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う前記固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、前記固定子の周期構造の1周期の長さの自然数倍であることを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、固定子と可動子とが互いに相対運動するリニアモータであって、前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列され、隣り合う前記固定子の各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であることを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をするコイルを有し、前記固定子の極が、前記コイルに電流を流すことにより前記可動子側に生じる極であることを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をする永久磁石を有し、前記固定子の極が、前記永久磁石により前記可動子側に生じる極であることを特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、前記リニアモータは、前記相対運動の方向に延びた被検出対象と、前記相対運動する前記被検出対象を検出する検出器と、を更に備え、前記検出器は、前記相対運動の方向に配列された第1および第2の検出器を有し、前記第1の検出器と前記第2の検出器との距離が、前記被検出対象の長さ以下であることを特徴とする。
また、請求項6に記載の発明は、前記リニアモータは、前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出装置を更に備え、前記位置検出装置は、前記周期構造に基づき前記相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力する磁気センサと、前記正弦波状信号および前記余弦波状信号に基づいて、前記位置を検出する位置検出回路と、を有することを特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、前記磁気センサは、磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、前記位置検出回路は、前記正弦波状信号および前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分とから、位相角データを求める位相角データ算出手段と、位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、を有することを特徴とする。
また、請求項8に記載の発明は、前記分散配置リニアモータの各リニアモータが、前記リニアモータを制御するモータ駆動装置を備えたことを特徴とする。
また、請求項9に記載の発明は、互いに相対運動する固定子および可動子と、前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出装置と、を備えるリニアモータであって、前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、前記位置検出装置は、前記周期構造に基づき前記相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号として出力する磁気センサと、前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号に基づいて、前記位置を検出する位置検出回路と、を有し、前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列されたことを特徴とする。
また、請求項10に記載の発明は、前記磁気センサは、磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、前記位置検出回路は、前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分とから、位相角データを求める位相角データ算出手段と、位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、を有することを特徴とする。
また、請求項11に記載の発明は、前記磁気センサは、前記相対運動の方向に配列された第1および第2の磁気センサを有し、前記第1および第2の磁気センサは、前記固定子および前記可動子のいずれか一方に設けられ、前記第1の磁気センサと前記第2の磁気センサとの距離が、前記固定子および前記可動子のいずれか他方における前記極同士の最大距離以下であることを特徴とする。
また、請求項12に記載の発明は、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う前記固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、前記固定子の周期構造の1周期の長さ自然数倍であることを特徴とする。
また、請求項13に記載の発明は、隣り合う前記固定子の各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であることを特徴とする。
また、請求項14に記載の発明は、前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をするコイルを有し、前記固定子の極が、前記コイルに電流を流すことにより前記可動子側に生じる極であることを特徴とする。
また、請求項15に記載の発明は、前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をする永久磁石を有し、前記固定子の極が、前記永久磁石により前記可動子側に生じる極であることを特徴とする。
また、請求項16に記載の発明は、前記分散配置リニアモータの各リニアモータが、前記リニアモータを制御するモータ駆動装置を備えたことを特徴とする。
また、請求項17に記載の発明は、互いに相対運動する固定子および可動子と、前記相対運動の方向に延びた被検出対象と、前記相対運動する前記被検出対象を検出する検出器と、を備えるリニアモータであって、前記検出器は、前記相対運動の方向に複数配列され、隣り合う前記検出器同士の距離が、前記被検出対象の長さ以下であることを特徴とする。
また、請求項18に記載の発明は、前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列され、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う前記固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、前記固定子の周期構造の1周期の長さの自然数倍であることを特徴とする。
また、請求項19に記載の発明は、前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列され、隣り合う前記固定子の各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であることを特徴とする。
また、請求項20に記載の発明は、前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をするコイルを有し、前記固定子の極が、前記コイルに電流を流すことにより前記可動子側に生じる極である特徴とする。
また、請求項21に記載の発明は、前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をする永久磁石を有し、前記固定子の極が、前記永久磁石により前記可動子側に生じる極である特徴とする。
また、請求項22に記載の発明は、前記リニアモータは、前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出装置を更に備え、前記位置検出装置は、前記検出器として、前記周期構造に基づき前記相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号として出力する磁気センサを有し、更に、前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号に基づいて、前記位置を検出する位置検出回路と、を有することを特徴とする。
また、請求項23に記載の発明は、前記磁気センサは、磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、前記位置検出回路は、前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分とから、位相角データを求める位相角データ算出手段と、位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、を有することを特徴とする。
また、請求項24に記載の発明は、前記分散配置リニアモータの各リニアモータが、前記リニアモータを制御するモータ駆動装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、リニアモータにおける隣り合う固定子の極同士の最小距離が、可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、固定子の周期構造の1周期の長さの自然数倍になるように、固定子が分散配置されているので、可動子が固定子から隣の固定子に移動する際、固定子の極と可動子の極とが可動子の推進力に損失が生じないように互いに作用し、また、可動子が隣り合う固定子の少なくともいずれか一方から推進力が得られ速度制御ができるという、固定子の分散配置に適したリニアモータを提供することができる。
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態に係る分散配置リニアモータの駆動システムの概略構成および機能について、図に基づき説明する。
図1は、本実施形態に係る分散配置リニアモータの駆動システムの概略構成を示すブロック図である。図2は、図1の分散配置リニアモータの固定子と可動子とを示す斜視図である。図3は、図1の固定子の配列を示す平面図である。図4は、図1における固定子および可動子の極の周期構造を示す模式図である。
図1に示すように、分散配置リニアモータ1Aの駆動システムは、部品やワーク等を搬送する分散配置リニアモータ1Aと、分散配置リニアモータ1Aを制御する複数個のモータ駆動装置40と、複数個のモータ駆動装置40を制御する上位コントローラ50と、を備えている。
分散配置リニアモータ1Aは、リニアモータ1A1、1A2、1A3が、搬送方向に所定の距離D1の間隔で離れて配列されている。
分散配置リニアモータ1Aの各リニアモータ1A1、1A2、1A3は、磁気的な作用により互いに相対運動する固定子10Aおよび可動子20Aと、固定子10Aに対する可動子20Aの相対的な位置を検出する複数個の位置検出装置30と、複数個の位置検出装置30からの信号を切り替える位置情報切替器35と、を有する。
上位コントローラ50と各々のモータ駆動装置40とは、制御ライン51により接続されている。モータ駆動装置40と位置情報切替器35とは、エンコーダケーブル52により接続されている。位置情報切替器35と、同じ固定子10Aに設置された位置検出装置30とは、エンコーダケーブル52により接続されている。モータ駆動装置40と固定子10Aとは、動力ケーブル53により接続されている。
なお、各リニアモータ1A1、1A2、1A3の可動子20Aは、移動して次のリニアモータの固定子上に移るので、常に同じ各リニアモータ1A1、1A2、1A3に属する訳ではない。また、可動子20Aは、図示しない案内装置により、所定の軌道を案内され、また、固定子10Aと可動子20Aとのギャップが維持される。
図2に示すように、固定子10Aは、3相交流電流が供給され可動子20Aと磁気的に作用をするコイル11と、コイル11が巻かれた突極12と、を有する。コイル11は、U相用のコイル11a、V相用のコイル11b、および、W相用のコイル11cの3種類がある。突極12は、コイル11a、11b、11cに対応してU相用の突極12aと、V相用の突極12b、W相用の突極12cの3種類がある。これらが、コイル11に電流を流すことにより可動子20A側に生じる極の一例である。そして、これらコイル11a、11b、11cおよび突極12a、12b、12cが、U相、V相、W相の順に、固定子10Aと可動子20Aの相対運動の方向に周期的に配列された周期構造が形成される。すなわち、相対運動の方向の一例である固定子10Aの長手方向にコイル11および突極12はU相・V相・W相の周期構造を形成している。
なお、突極12を含む固定子10Aの電磁石のコア部は、珪素鋼などの磁気ヒステリシス損失の少ない磁性材料からなり、図2に示したように、コア部は、固定子10Aの幅方向に延びて可動子20Aの対向する側に突出した突極12を形成し、この突極12が固定子10Aの長手方向に櫛歯状に並んでいる。
図3に示すように、固定子10Aは、ある間隔を開けて、相対運動の方向の一例である固定子10Aの長手方向に固定子10A1、10A2、10A3等の順に離れて配列されている。
次に、可動子20は、図2に示したように、部品やワーク等を載せるテーブル21と、テーブル21の下面に設置された駆動用の永久磁石22と、を有し、部品やワーク等のキャリアとして機能する。永久磁石22は、図4に示すように、固定子10Aに対向する側の極がN極であるN極磁石22aと、S極であるS極磁石22bとを有する。そして、N極、S極の順に、N極磁石22aとS極磁石22bとが交互に、固定子10Aと可動子20Aの相対運動の方向に周期的に配列された周期構造が形成される。すなわち、可動子20Aは、相対運動の方向の一例である固定子10Aの長手方向にN極・S極の周期構造を有している。
そして、固定子10Aの各コイル11a、11b、11cに流された3相交流の電流の向きや強さに応じて移動磁界が発生し、突極12a、12b、12cと、N極磁石22aおよびS極磁石22bとが磁気的に作用して、固定子10Aの長手方向に固定子10Aと可動子20Aの相対運動が生じる。すなわち、固定子10Aと可動子20Aとは、互いに磁気的に作用をし、可動子20Aは、固定子10Aの長手方向に相対運動する。
次に、固定子10Aの配列関係等を図4に基づき詳細に説明する。
図4に示すように、固定子10Aの突極12は、コイルピッチCpの1周期の長さで、突極12a、12b、12cの順に配列されている。固定子10Aの周期構造における1周期の長さの一例であるコイルピッチCpは、UVW相のうち、同じ相の突極同士の最小距離である。例えば、U相用の突極12aと次のU相用の突極12aとの距離である。なお、図4では、突極12の中心部分を基準に距離を描いている。ここで、固定子10Aや可動子20Aにおける距離や長さの測り方は、突極12や永久磁石22の極の種類を考慮しない周期構造における同じ位相のところを結んで測ればよい。例えば、突極12の中心の他、突極12の一方側の角を結んだ距離や長さでもよい。
隣り合う固定子10A1、10A2の同じ種類の極同士の最小距離D1の一例は、固定子10A1において、最も固定子10A2側にあるU相の突極12aと、固定子10A2において、最も固定子10A1側にあるU相の突極12aとを結んだ距離である。
この距離D1が、コイルピッチCpの自然数倍になるように、固定子10A同士の間隔がとられ、固定子10Aが離れて配列されている。また、別の見方をすると、固定子10A1の周期構造の位相と固定子10A2周期構造の位相とが互いに一致している。すなわち、固定子10A1のUVW相の周期構造を、図4中破線で示すように固定子10A2側に仮想的に延長させて、この延長上に固定子10A2の周期構造が重なるように、固定子10Aが配置されている。
また、図4に示すように、隣り合う固定子10A1、10A2の極同士の最小距離D2の一例は、固定子10A1において、最も固定子10A2側にあるW相の突極12cと、固定子10A2において、最も固定子10A1側にあるU相の突極12aとを結んだ距離である。この距離D2は、可動子20Aの長さLmv以下である。ここで、可動子20Aの長さLmvは、図4に示すように、可動子20Aの相対運動方向の両端にある永久磁石22同士を結んだ距離である。すなわち、可動子20Aの極同士の最大距離の一例である。
このように、距離D2が可動子20Aの長さLmv以下であると、可動子20Aが、固定子10A1と固定子10A2とに跨いだ状態が可能であり、固定子10Aの極のいずれかと、可動子20Aの極いずれかと、が常に対向している状態になる。
なお、固定子10A1の周期構造の位相と固定子10A2の周期構造の位相とが互いに一致していること等を言い換えると、固定子10A1から固定子10A2まで連続して、コイル11や突極12の周期構造を有して続いた1つの固定子において、距離D2の部分のコイル11や突極12を省いたことに相当する。但し、距離D2の両端部分のコイル11や突極12を除く。また、図4の場合、距離D1は、コイルピッチCpの2以上の自然数倍である。また、固定子10A1における固定子10A1側の端にあるV、W相の突極12b、12cがなく、U相の突極12aが最も固定子10A1側にある場合を想定すると、距離D1は、コイルピッチCpの1以上の自然数倍である。
次に図5に示すように、位置検出装置30は、磁気を検出する磁気センサ31と、磁気センサ31からの信号を、位置を特定して検出するための信号に変換する位置検出回路32と、を有する。ここで、磁気センサ31は、検出器の一例である。
磁気センサ31は、固定子10Aに設置された位置検出装置30において、可動子20Aに対向する側の中心部分にある。
位置検出装置30は、図1や図3に示したように、固定子10Aの長手方向の両端にある突極12の外側に配列され、かつ、固定子10Aの幅方向の中央に配置されている。そして、固定子10Aの可動子20Aに対向する側に磁気センサ31が面するように設置されている。位置検出装置30の設置位置は、固定子10Aの長手方向に離れて設けられ、コイル11の影響を受けにくいところならばよい。
そして、磁気センサ31は、固定子10Aおよび可動子20Aの相対運動の方向に延びた被検出対象の一例である可動子20Aの永久磁石22による磁界を検出する。磁気センサ31は、固定子10Aおよび可動子20Aが相対運動することによる磁界の変化を検出する。特に、磁気センサ31は、磁界の方向を検出するセンサである(後に詳述)。位置検出装置30間の距離Ds、すなわち磁気センサ31間の距離Dsが、可動子20Aの長さLmv以下である。つまり、これが、第1の磁気センサ31と第2の磁気センサ31との距離が、可動子20Aにおける極同士の最大距離以下である一例である。
次に、位置情報切替器35は、図1や図5に示したように、複数の位置検出装置30からの入力信号が複数あると、そのうち1つを選択して、モータ駆動装置40に対して出力する。例えば、位置情報切替器35は、最新に入力した入力信号を出力する。また、位置情報切替器35は、入力信号が1つの場合は、そのまま出力し、入力信号がない場合は、出力をしない。
次に、モータ駆動装置40は、図5に示したように、センサ等の情報に基づきリニアモータの固定子10Aに流す電流を制御する制御器41と、制御器41に基づき電源45から電力を変換する電力変換器42と、電力変換器42が固定子10Aに流している電力を検出する電流センサ43と、を有する。
制御器41は、電流センサ43と、制御ライン51により上位コントローラ50と、エンコーダケーブル52により位置情報切替器35と接続されている。
そして、制御器41は、上位コントローラ50からの指令値どおりに可動子20Aが移動するように、PWMインバータ(PWM:Pulse Width Modulation)等の電力変換器42を制御し、最終的には固定子10Aのコイル11に供給する電流を制御する。制御器41の制御系は、位置制御を行う位置制御ループと、速度制御を行う速度制御ループと、電流制御を行う電流制御ループと、から構成される。
モータ駆動装置40は、上位コントローラ50からの指令値により制御され、上位コントローラ50の指令値どおりの位置に達するまで、固定子10Aのコイル11に電流を供給する。
なお、リニアモータ1A1、1A2、1A3等は、可動子または固定子の一方として、N極およびS極の磁極が交互に並べられた1つの軸線方向と直交する方向の両端面にN極およびS極の磁極が着磁される複数個の永久磁石が、軸線方向に並べられる界磁マグネットを有し、可動子または固定子の他方として、界磁マグネットにすきまを介して対向する複数のコイルを有するフラットタイプリニアモータの一例である。
次に、位置検出装置30の磁気センサ31および位置検出回路32について図に基づき詳細に説明する。
まず、磁気センサ31について、図6から図14に基づき説明する。
図6は、磁気センサ31の原理を示す斜視図である。図7は、磁気センサ31の抵抗値と磁界の方向の角度θとの関係を示すグラフである。図8や図10(A)や図11(A)は、磁気センサ31の強磁性薄膜金属の形状を示す平面図である。図9や図10(B)や図11(B)は、磁気センサ31の等価回路図である。なお、図10は、ホイーストン・ブリッジから構成される磁気センサ31を示す図である。
図6に示すように磁気センサ31は、Si若しくはガラス基板31aと、その上に形成されたNi,Feなどの強磁性金属を主成分とする合金の強磁性薄膜金属で構成される磁気抵抗素子31bを有する。磁気センサ31は、特定の磁界方向で抵抗値が変化するためにAMR(Anisotropic- Magnetro-Resistance)センサ(異方性磁気抵抗素子)と呼ばれる。
磁気抵抗素子31bに電流を流し、抵抗変化量が飽和する磁界強度を印加し、その磁界(H)の方向を電流方向Yに対して角度変化θを与えたとする。図7に示されるように、抵抗変化量(△R)は、電流方向と磁界の方向が垂直(θ=90°,270°)の時に最大となり、電流方向と磁界の方向が平行(θ=0°,180°)の時に最小となる。抵抗値Rは、電流方向と磁界方向の角度成分に応じて、下記の(1)式のように変化する。
R=R0−△Rsin2θ…(1)
R0:無磁界中の強磁性薄膜金属の抵抗値
△R:抵抗変化量
θ:磁界方向を示す角度
R0:無磁界中の強磁性薄膜金属の抵抗値
△R:抵抗変化量
θ:磁界方向を示す角度
飽和感度領域以上であれば、△Rは定数になり、抵抗値Rは磁界の強度には影響されなくなる。
次に、飽和感度領域以上の磁界強度で、磁界の方向を検出する磁気センサの強磁性薄膜金属の形状を図8に示す。縦方向に形成された強磁性薄膜金属エレメント(R1)と横方向のエレメント(R2)が直列に結線した形状になる。
エレメント(R1)に対して最も大きな抵抗変化を促す垂直方向の磁界は、エレメント(R2)に対し最小の抵抗変化となる。抵抗値R1とR2は次式で与えられる。
R1=R0−△Rsin2θ…(2)
R2=R0−△Rcos2θ…(3)
この磁気センサの等価回路(ハーフブリッジ)を図9に示す。出力Voutは次式で与えられる。
Vout=R1・Vcc/(R1+R2)…(4)
(4)式に(2),(3)式を代入し、整理すると、
Vout=Vcc/2+αcos2θ…(5)
α=△R・Vcc/2(2R0−△R)
が成立する。
α=△R・Vcc/2(2R0−△R)
が成立する。
図10に示されるように強磁性薄膜金属の形状を形成すれば、一般的に知られているホイーストン・ブリッジの構成となる。二つの出力Vout+とVout−を用いることにより、中点電位の安定性の向上と増幅を行うことが可能になる。
次に、二組のフルブリッジ構成のエレメントにおいて、飽和感度領域以上の磁界強度で、磁界の方向を検出する磁気センサ31の強磁性薄膜金属の形状を図11に示す。
この磁気センサ31は、図11(B)に示すように、互いに45°傾いた二組のフルブリッジ構成のエレメントを有している。
まず、説明ため、縦方向に形成された強磁性薄膜金属エレメント(R1)と横方向のエレメント(R3)が直列に結線した場合を想定する。そして、直列に接続されたエレメント(R1)のエレメント(R3)において、エレメント(R3)側をグランド(GND)に接続し、エレメント(R1)側に電圧Vccを加える。また、出力Voutをエレメント(R1)とエレメント(R3)との結線部分から取り出す。このようにハーフブリッジの等価回路を想定して、関係式をまず求める。
エレメント(R1)に対して最も大きな抵抗変化を促す垂直方向の磁界は、エレメント(R3)に対し最小の抵抗変化となる。抵抗値R1とR3は次式で与えられる。
R1=R0−△Rsin2θ…(6)
R3=R0−△Rcos2θ…(7)
このハーフブリッジの出力Voutは次式で与えられる。
Vout=R1・Vcc/(R1+R3)…(8)
(8)式に(6),(7)式を代入し、整理すると、
Vout=Vcc/2+αcos2θ…(9)
α=△R・Vcc/2(2R0−△R)
が成立する。
α=△R・Vcc/2(2R0−△R)
が成立する。
ここで、図11に示したように、エレメント(R2)、エレメント(R4)、エレメント(R6)およびエレメント(R8)の4つのエレメント、または、エレメント(R1)、エレメント(R3)、エレメント(R5)およびエレメント(R7)の4つのエレメントは、各々、一般的に知られているホイーストン・ブリッジの構成となる。二つの出力VoutA+とVoutA−または二つの出力VoutB+とVoutB−を用いることにより、中点電位の安定性の向上と増幅を行うことが可能になる。
次に、可動子20Aが直線運動するときの磁界方向の変化と磁気センサ31の出力について説明する。図12に示されるように、磁気センサ31を、飽和感度領域以上の磁界強度が印加されるギャップGsの位置に、かつ磁界の方向変化がセンサ面に寄与するように配置する。図13に示されるように、可動子20が距離 λを直線移動したとき、センサ面では磁界の方向が1回転となる。このときに電圧の信号は1周期の正弦波になる。より正確にいえば、(5)式や(9)式のVout=Vcc/2+αcos2θより出力波形は2周期の波形となる。しかし、磁気センサ31のエレメントの延伸方向に対して45°にバイアス磁界を掛けるならば、周期が半減し、可動子20Aがλを直線移動したときに1周期の出力波形が得られる。
運動の方向を知るためには、図11に示したように、二組のフルブリッジ構成のエレメントを、互いに45°傾くように1つの基板上に形成すればよい。二組のフルブリッジ回路によって得られた出力VoutAとVoutBは、図14に示されるように、互いに90°の位相差を持つ余弦波および正弦波となる。
このように磁気センサ31は、可動子20Aの永久磁石22の周期構造に基づき、相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力する。
次に、位置検出装置30の位置検出回路32について、図15および図16に基づき説明する。
図15は、位置検出回路32の構成図を示す。磁気センサ31が出力する正弦波状信号および余弦波状信号は、位置検出回路32に取り込まれる。内挿回路(インターポレータ)である位置検出回路32は、90°位相が異なる正弦波状信号および余弦波状信号にディジタル的な内挿処理を加えて高分解能の位相角データを出力する。可動子20の磁極間のピッチMpは例えば数十mmのオーダーであり、磁気式のエンコーダの数百μmのオーダーに比べてはるかに大きい。可動子20を磁気式リニアスケールとして流用するときには、磁気センサ31が出力する正弦波状信号および余弦波状信号を細分化し、分解能を上げる必要がある。磁気センサ31が出力する正弦波状信号および余弦波状信号の変化は、分解能を上げた位置検出回路に大きな影響を及ぼす。
このため、磁気センサ31が出力する正弦波状信号および余弦波状信号の変化は小さいことが望まれる。
90°位相が異なる正弦波状信号および余弦波状信号それぞれは、A/D変換器32aに入力される。A/D変換器32aは、正弦波状信号および余弦波状信号それぞれを所定の周期でディジタルデータDA,DBにサンプリングする。
予め、図16に示されるように、ルックアップテーブルメモリ32cには、逆正接関数(TAN−1)を用いた次の式に基づいて作成されたルックアップテーブルデータが記録されている。
u=TAN−1(DB/DA)
図16には、8ビット×8ビットのアドレス空間に1周期1000分割の位相角データを持たせる場合のルックアップテーブルメモリ32cのメモリ構成が示されている。
位相角データ算出手段の一例である信号処理部32bは、ディジタルデータDA,DBをそれぞれx,yアドレスとしてルックアップテーブルデータを検索し、x,yアドレスに対応した位相角データuを得る。これにより、1波長(0から2πまでの区間)内を分割・内挿することが可能になる。なお、ルックアップテーブルメモリ32cを用いる替わりに、u=TAN−1(DB/DA)の演算をして、位相角データuを算出することにより、1波長(0から2πまでの区間)内を分割・内挿してもよい。
次に、パルス信号発生手段の一例である信号処理部32bは、位相角データuからA相エンコーダパルス信号およびB相エンコーダパルス信号を生成し、1周期に1度のZ相パルス信号を生成する。信号処理部32bが出力するA相パルス信号、B相パルス信号、Z相パルス信号は、位置情報切替器35を介してモータ駆動装置40に出力される。図5に示したようにモータ駆動装置40は、これらA相エンコーダパルス信号、B相エンコーダパルス信号およびZ相パルス信号の位置信号に基づいて、電力変換器42を制御する。
次に、各リニアモータ1A2の原点を定める動作を図に基づき説明する。
図17の各図17(A)〜(E)は、可動子20Aの移動に従い、リニアモータ1A2における基準位置としての原点を定める動作を示す模式図である。なお、図17(A)に示すように可動子20Aが固定子10A1の上にある位置から、図17(E)に示すように可動子20Aが固定子10A2の上にある目標位置まで移動させる動作で説明する。なお、位置検出装置30L、30R間の距離Dsと可動子20Aの長さLmvがほぼ等しい場合である。
図17(A)に示すように、可動子20Aが固定子10A1上にあるときは、固定子10A1の2つの位置検出装置30L、30Rは信号を出力する。ここで、位置情報切替器35は、位置検出装置30Rからの信号を出力しているとする。一方、固定子10A2の2つの位置検出装置30L、30Rは、可動子20Aが固定子10A2にないので、信号を出力していない。なお、図中、矢印により位置検出装置30L、30Rや位置情報切替器35の出力の有無を表している。また矢印に種類により、位置情報切替器35が位置検出装置30L、30Rどちらの信号を出力しているか表している。
図17(B)に示すように、可動子20Aが固定子10A1の位置検出装置30Lから外れると、位置検出装置30Lは信号を出力しなくなる。位置情報切替器35は、位置検出装置30Rからの信号を出力し続ける。
図17(C)に示すように、可動子20Aが固定子10A2に差し掛かると、可動子20Aの下面にある永久磁石22に反応して、固定子10A2の位置検出装置30Lは信号を出力する。そして、位置情報切替器35は信号を出力していない状態から信号を出力する状態に変わる。このとき、モータ駆動装置40は、位置情報切替器35からの信号の変化を検出する。
ここで、この固定子10A2の位置検出装置30Lが、信号を出力し始めた時点で、位置検出装置30Lの位置を、第1の原点とする。なお、正確には、位置検出装置30L等に磁気センサ31が設置されている位置が原点である。この第1の原点から、可動子20Aを距離Ds移動させると、目標位置に達する。この目標位置は、可動子20Aが固定子10A2の位置検出装置30Rに達した位置とする。また、この第1の原点に基づき補正も行う。例えば、可動子20Aが固定子10A1上にあるとき、何かの原因で可動子20Aに負荷にかかりすぎ、可動子20Aの位置や速度がずれたとき、固定子10A2上の原点により可動子20Aの位置や速度を正確に割り出し、位置や速度の補正をする。また、固定子10A間の距離が、距離D1からずれている場合でも、補正制御をすることにより、可動子20Aを正確な停止位置に止める。これらの制御は、モータ駆動装置40が行う。ここで、原点とする位置検出装置30R、Lを、図中、塗りつぶして表している。
図17(C)の状態のときに、固定子10A2の位置情報切替器35は、固定子10A2を駆動するモータ駆動装置40に出力する。そして、モータ駆動装置40は、固定子10A2に電流の供給を始め、可動子20Aは、固定子10A2からも推進力を得る。
次に、図17(D)に示すように、可動子20Aが固定子10A1から外れると、固定子10A1の位置検出装置30L、30Rは信号を出力しなくなる。可動子20Aは、固定子10A2の位置検出装置30Lの出力信号のみにより制御される。
そして、図17(E)に示すように、可動子20Aが固定子10A2の位置検出装置30Rに達すると、固定子10A2の位置情報切替器35は、位置検出装置30Lからの信号から位置検出装置30Rからの信号へと出力を切り替える。モータ駆動装置40が、この変化を検出する。なお、この固定子10A2の位置検出装置30Rの位置を第2の原点である。先の磁気センサ31がオンの状態で、次の磁気センサ31がオンの状態になったとき、次の磁気センサ31の位置が原点となる。そして、この第2の原点が目標位置となる。したがって、可動子20Aが固定子10A2の位置検出装置30Rに達すると、停止するように制御する。また、図17(C)の動作で説明したように、この第2の原点に基づき補正制御も行う。
このように、位置情報切替器35に信号の入力がない状態から信号が入力された状態に変わったとき、その信号を出している位置検出装置30の磁気センサ31が設置されているところや、位置情報切替器35の信号の出力が切り替わったとき、新たに信号を出してきた位置検出装置30の磁気センサ31が設置されているところを原点とする。
次に、可動子20Aの動作の様々なパターンを図に基づき説明する。
まず、固定子10A上にある可動子20Aが、同期して隣の固定子10Aに移動する動作を図18〜図20に基づき説明する。
図18は、可動子20Aの動作のパターンの一例を示す平面図である。図19は、分散配置リニアモータ1Aの駆動システムにおける信号の流れを示す模式図である。図20は、位置情報切替器35の動作のパターンの一例を示す模式図である。
図18に示すような動作をさせるため、図19に示すように、まず、上位コントローラ50は、制御ライン51を通して各固定子10Aの各モータ駆動装置40に指令値のパルス信号を送る。上位コントローラ50からの指令値を受信したモータ駆動装置40は、指令値と位置情報切替器35からの情報とを比較して、駆動している可動子20Aが目標位置に達していないとき、動力ケーブル53に電流を流し続ける。
なお、上位コントローラ50は、予め設定してある作業の手順に従い、各モータ駆動装置40に指令値を出力する。また、上位コントローラ50の初期設定は、上位コントローラ50に手動で入力してもよいし、位置検出装置30からの情報により把握してもよい。また、初期位置を固定しておいて、あとは、作業の手順に従い動作させてもよい。
次に、図20(A)〜(E)に基づき、可動子20Aの動きに対する位置情報切替器35の出力を説明する。
図20(A)に示すように、固定子10A1、10A2、10A3等の上に可動子20A1、20A2、20A3等が各々搭載されている。このとき、位置情報切替器35は、位置検出装置30L、30Rから入力信号を得て、位置検出装置30Rからの信号を出力しているとする。モータ駆動装置40により、可動子20A1は固定子10A2まで、可動子20A2は固定子10A3まで等、一斉に動き始める。モータ駆動装置40は、位置検出装置30Rからの信号に基づき、可動子20A1、20A2、20A3等を制御している。
図20(B)に示すように、可動子20A1、20A2、20A3等は、位置検出装置30Lから外れ、位置検出装置30Lの出力信号がなくなる。
次に、図20(C)に示すように、可動子20A1、20A2、20A3等が、固定子10A1、10A2、10A3等の位置検出装置30Lにさしかかると、位置検出装置30Lは、信号を出力し、位置情報切替器35は、位置検出装置30Lからの信号を出力する。そして、例えば、可動子20A1は、固定子10A1と固定子10A2とを跨いだ状態となり、可動子20A1の永久磁石22のいずれかと、固定子10A1および固定子10A2におけるコイル11(突極12)のいずれとが対向していて、両固定子10A1、10A2から推進力を受ける。もし何かの原因で可動子20A1の速度が目標速度より落ちた場合は、可動子20A1の速度が目標速度になるように速度制御をする。また、固定子10A1、10A2の距離D1が、コイルピッチCpの自然数倍であるので、固定子10A2上にさしかかった可動子20A1の永久磁石22a、22bと、固定子10A2の突極12a、12b、12cと同期がとれている。すなわち、可動子20A1が固定子10A1から隣の固定子10A2に移動する際、固定子10A2の突極12a、12b、12cと20A1の永久磁石22a、22bとが可動子の推進力に損失が生じることを防止するように作用する。ここで、この位置検出装置30Lを第1の原点とし、この第1の原点から可動子20A1を距離Ds移動させると、目標位置に達する。
さらに、この第1の原点により、可動子20A1が、固定子10A1から隣の固定子10A2に通過している際等に、上位コントローラ50からの移動速度や通過予定時間等に関する指令値との誤差があった場合、モータ制御装置40により、可動子20A1が補正制御される。
図20(D)に示すように、可動子20A1、20A2、20A3等が、位置検出装置30Rから外れると、位置検出装置30Rの信号がなくなる。可動子20A1、20A2、20A3等は、進行方向の隣の固定子10A1、10A2、10A3等のみから推進力を得て、さらに目標位置まで移動する。
図20(E)に示すように、可動子20A1、20A2、20A3等が、位置検出装置30Rに達し、位置検出装置30Rが信号を出力し、位置情報切替器35が出力を切り替えたとき、モータ駆動装置40が可動子20A1、20A2、20A3等を停止させる。なお、この固定子10A2の位置検出装置30Rの位置を第2の原点とする。もし、目標位置に達していない可動子20Aがあれば、その可動子20が載っている固定子10Aには、モータ駆動装置40が電流を流し続け、その可動子20を目標位置である第2の原点まで移動させて、位置を補正する。
次に、可動子が図20に示した動作とは逆向きに移動するパターンを図21に基づき説明する。なお、図20等で説明した動作を同じような動作は省略し、主に異なる動作のみを説明する。その他の移動パターンでも同様とする。
モータ駆動装置40は逆向きに可動子20A1、20A2、20A3等が動くように、各固定子10A1、10A2、10A3等のコイル22に電流を流す。そして、図21(A)から図21(E)に示すように、可動子20A1、20A2、20A3等の動いた位置と位置検出装置30R、30Lとの位置関係により、位置情報切替器35の出力が変化する。
モータ駆動装置40は、位置情報切替器35からの可動子20A1、20A2、20A3等の位置情報や、位置情報切替器35の出力信号の切り替わり等を検出して可動子20A1、20A2、20A3等を制御する。
次に、可動子20Aのうち、可動子20A1のみを移動させるパターンを図22および図23に基づき説明する。
図22や図23に示すように、可動子20A1を、固定子10A1から固定子10A2まで移動させ、他の可動子20Aは移動させない制御を行う。
まず、図22に示したように、上位コントローラ50が、固定子10A1、10A2のモータ駆動装置40に指令値を出力する。そして、固定子10A1の位置情報切替器35から信号が来ているので、固定子10A1のモータ駆動装置40が、固定子10A1に電流を供給する。図23(B)に示す状態を経由して図23(C)に示す状態になると、固定子10A2のモータ駆動装置40にも、位置情報切替器35から信号が来るので、固定子10A2のモータ駆動装置40も電流を固定子10A2に供給し始める。なお、高速で可動子20A1を移動させる等の場合、予め、固定子10A2に電流を供給しておいてもよい。そして、図23(D)に示す状態になると、固定子10A1のモータ駆動装置40は、固定子10A1への電流の供給を止める。
図23(E)に示すような状態で、可動子20A1が停止する。
次に、可動子20A1が1つの固定子10A2を通過して、固定子10A3で停止するパターンについて図24および図25に基づき、説明する。
まず図24に示すように、上位コントローラ50が、固定子10A1、10A2、10A3のモータ駆動装置40に指令値を出力する。そして、固定子10A1の位置情報切替器35から信号が来ているので、固定子10A1のモータ駆動装置40が、固定子10A1に電流を供給する。
図25(A)に示すような状態から、図25(B)に示すような状態になると、固定子10A2の位置検出装置30Lが信号を出力し始め、この信号を位置情報切替器35がモータ駆動装置40に出力する。そして、図25(C)に示すような状態になると、固定子10A2の位置検出装置30Rが信号を出力し始め、この信号に、位置情報切替器35が出力信号を切り替える。ここで、固定子10A上の原点は、図25(B)に示すような状態での位置検出装置30Lでも、図25(C)に示すような状態での位置検出装置30Rでもよい。これら原点により、可動子20A1の位置を途中で補正してもよいが、次の固定子10A3上で、最終的に位置の補正をしてもよい。そして、図25(D)の状態を経由して、図25(E)に示すような目標位置に達する。
以上、分散配置リニアモータの駆動システムにおいて、リニアモータ1Aにおける固定子10A1、10A2のように隣り合う固定子10A1の同じ種類の突極12aと固定子10A2の同じ種類の突極12aとの最小距離D1が、固定子10A1、10A2の突極12の周期構造における1周期の長さCpの自然数倍、すなわち、固定子10A1および固定子10A2のように隣り合う固定子10Aの各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う固定子10A1の突極12と固定子10A2の突極12との最小距離D2が、可動子20A1等の永久磁石22間の最大距離、すなわち可動子20A1の長さLmv以下になるように、固定子10A1、10A2等が分散配置されているので、可動子20A1等が固定子10A1から隣の固定子10A2等に移動する際、固定子10A2の突極12と可動子20A1等の永久磁石22の極とが可動子20A1等の推進力に損失が生じることを防止するように作用し、また、可動子20A1等が固定子10A1および固定子10A2の少なくともいずれか一方から推進力が得られ速度制御ができるという、固定子10A1、10A2等の分散配置に適した制御をすることができる。このように、各固定子10Aの間隔の距離D1を、周期構造における1周期の長さCpの自然数倍に設定するだけの簡易な構成で、分散配置に適した制御をすることができる。
また、固定子10Aごとにモータ駆動装置40を配置し、固定子10A1、10A2、10A3を各々独立に動かすことができるので、動きの自由度の高い搬送システムを形成させることができる。例えば、図18〜図25に示したように、様々な移動パターンを実現でき、作業の手順に合わせ、可動子20Aを柔軟に制御できる。
さらに、固定子10Aと可動子20Aとに対応して相対運動する被検出対象の一例である可動子20Aに配列された永久磁石12を、検出器の一例の磁気センサ31が検出し、2つの磁気センサ31が、相対運動方向に可動子20Aの長さ以下に配置されているので、各リニアモータ1A1、1A2、1A3等における基準位置を定めることができ、しかも、いずれかの磁気センサ31が可動子20Aを常に検出できる。したがって、リニアモータ1A1、1A2、1A3等ごとに、原点用のマークと原点検出用のセンサとが不要となり、より簡易な構成により正確に位置制御ができる。このように原点用のマークと原点検出用のセンサの分の部品の数が減り、また、これらを設置する手間が省ける。さらに、図17(C)や図17(E)に示した第1の原点や第2の原点のように、可動子20Aの状況に応じて原点を定めることができ、指令値に対して誤差があった場合に補正するので精度の高い搬送システムを実現することができる。
また、可動子20Aが有する極の周期構造に基づき、相対運動によって周期的変化し生ずる磁界の方向を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力し、これら正弦波状信号および余弦波状信号に基づいて、可動子20Aの位置を検出することにより、各固定子10Aや各可動子20Aに設置するリニアスケールが不要になり、固定子10Aが分散配置されたリニアモータ1Aをより簡易な構成にすることができる。また、位置制御を正確に行うためにリニアスケールを精度よく設置する必要があったが、リニアスケールを設置する手間が省くことができる。
また、磁気センサ31が磁界の方向の変化を検出するので、たとえ固定子10Aまたは可動子20Aの一方と磁気センサ31との間の距離がずれても、磁気センサ31が出力する正弦波状信号および余弦波状信号には変化が少ない。よって、可動子20Aの正確な位置の検出が可能になると共に、磁気センサ31の取り付け調整が容易になる。また本来、推力を発生させるための固定子10Aまたは可動子20Aの一方の磁極を磁気スケールとして流用するので、より安価で小型な磁気センサ31を実現できる。
また、磁気センサ31が出力する正弦波状信号および余弦波状信号を位置検出回路32が内挿処理するので、磁気式エンコーダよりも磁極間のピッチが長い固定子10Aまたは可動子20Aに一方の磁極を磁気スケールとして流用しても、分解能の高い位置検出システムが得られる。
また、軸線方向と直交する方向の両端面にN極およびS極の磁極が着磁される複数の永久磁石22を軸線方向に並べることで、界磁マグネットに発生する磁束密度の分布を理想的な正弦波に近づけることができる。したがって、磁気センサ31によって可動子20Aの正確な位置を検出することができる。
さらに、固定子10A側に磁気センサ31が設置され、可動子20にはAエンコーダケーブル52を設ける必要がなく、エンコーダケーブル52を引き回したり、エンコーダケーブル52同士が絡まったりすることがないため、可動子20Aが複数ある搬送システムでは、特に有効である。また、可動子20Aに駆動用の永久磁石22が設置され、可動子20Aが動力ケーブルを有する必要がないため、完全にケーブルレスの可動子20Aにすることでき、可動子20Aが複数ある搬送システムでは特に有効である。
以上また、本発明によれば、リニアモータの固定子が分散配置されて、固定子と可動子が有する極の周期構造に基づき、相対運動によって周期的変化し生ずる磁界の方向を、90°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号として出力し、これら正弦波状信号および余弦波状信号に基づいて、可動子の位置を検出することにより、各固定子や各可動子に設置するリニアスケールが不要になり、固定子が分散配置されたリニアモータをより簡易な構成にすることができる。このように、より簡易な構成でリニアスケールが不要で、複数の固定子を配置する際、手間が省け、固定子の分散配置に適したリニアモータを提供することができる。
例えば、分散配置リニアモータの駆動システムにおいて、可動子20Aが有する極の周期構造に基づき、相対運動によって周期的変化し生ずる磁界の方向を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力し、これら正弦波状信号および余弦波状信号に基づいて、可動子20Aの位置を検出することにより、各固定子10Aや各可動子20Aに設置するリニアスケールが不要になり、固定子10Aが分散配置されたリニアモータ1Aをより簡易な構成にすることができる。また、位置制御を正確に行うためにリニアスケールを精度よく設置する必要があったが、リニアスケールを設置する手間が省くことができる。
また、リニアモータ1Aにおける固定子10A1、10A2のように隣り合う固定子10A1の同じ種類の突極12aと固定子10A2の同じ種類の突極12aとの最小距離D1が、固定子10A1、10A2の突極12の周期構造における1周期の長さCpの自然数倍、すなわち、固定子10A1および固定子10A2のように隣り合う固定子10Aの各周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う固定子10A1の突極12と固定子10A2の突極12との最小距離D2が、可動子20A1等の永久磁石22間の最大距離、すなわち可動子20A1の長さLmv以下になるように、固定子10A1、10A2等が分散配置されているので、可動子20A1等が固定子10A1から隣の固定子10A2等に移動する際、固定子10A2の突極12と可動子20A1等の永久磁石22の極とが可動子20A1等の推進力に損失が生じることを防止するように作用し、また、可動子20A1等が固定子10A1および固定子10A2の少なくともいずれか一方から推進力が得られ速度制御ができるという、固定子10A1、10A2等の分散配置に適した制御をすることができる。このように、各固定子10Aの間隔の距離D1を、周期構造における1周期の長さCpの自然数倍に設定するだけの簡易な構成で、分散配置に適した制御をすることができる。
さらに、固定子10Aと可動子20Aとに対応して相対運動する可動子20Aに配列された永久磁石12を、磁気センサ31が検出し、2つの磁気センサ31が、相対運動方向に可動子20Aの長さ以下に配置されているので、各リニアモータ1A1、1A2、1A3等における基準位置を定めることができ、しかも、いずれかの磁気センサ31が可動子20Aを常に検出できる。したがって、リニアモータ1A1、1A2、1A3等ごとに、原点用のマークと原点検出用のセンサが不要となり、より簡易な構成により正確に位置制御ができる。このように原点用のマークと原点検出用のセンサの分の部品の数が減り、また、これらを設置する手間が省ける。さらに、図17(C)や図17(E)に示した第1の原点や第2の原点のように、可動子20Aの状況に応じて原点を定めることができ、指令値に対して誤差があった場合に補正するので精度の高い搬送システムを実現することができる。
以上さらに、本発明によれば、リニアモータにおける固定子と可動子とに対応して相対運動する被検出対象を検出する検出器が、被検出対象の長さ以下に配置されているので、各リニアモータにおける基準位置を定めることができ、より簡易な構成により正確に位置制御ができる。このように、原点用のマークやセンサを設ける必要がなく、複数の固定子を配置する際、手間が省け、しかも、正確に位置制御ができ、固定子の分散配置に適したリニアモータを提供することができる。
例えば、分散配置リニアモータの駆動システムにおいて、固定子10Aと可動子20Aとに対応して相対運動する被検出対象の一例である可動子20Aに配列された永久磁石12を、検出器の一例の磁気センサ31が検出し、2つの磁気センサ31が、相対運動方向に可動子20Aの長さLmv以下に配置されているので、各リニアモータ1A1、1A2、1A3等における基準位置を定めることができる。したがって、リニアモータ1A1、1A2、1A3等ごとに、原点用のマークと原点検出用のセンサとが不要となり、より簡易な構成により正確に位置制御ができる。このように原点用のマークと原点検出用のセンサの分の部品の数が減り、また、これらを設置する手間が省ける。さらに、図17(C)や図17(E)に示した第1の原点や第2の原点のように、可動子20Aの状況に応じて原点を定めることができ、指令値に対して誤差があった場合に補正するので精度の高い搬送システムを実現することができる。
さらにまた、リニアモータ1Aにおける固定子10A1、10A2のように隣り合う固定子10A1の同じ種類の突極12aと固定子10A2の同じ種類の突極12aとの最小距離D1が、固定子10A1、10A2の突極12の周期構造における1周期の長さCpの自然数倍、すなわち、固定子10A1および固定子10A2のように隣り合う固定子10Aの各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う固定子10A1の突極12と固定子10A2の突極12との最小距離D2が、可動子20A1等の永久磁石22間の最大距離、すなわち可動子20A1の長さLmv以下になるように、固定子10A1、10A2等が分散配置されて、さらに、固定子10Aと可動子20Aとに対応して相対運動する被検出対象の一例である固定子10Aに配列された永久磁石12を、検出器の一例の磁気センサ31が検出し、2つの磁気センサ31が、相対運動方向に固定子10Aの長さ以下に配置されているので、各リニアモータ1A1、1A2、1A3等における基準位置を定めることができ、しかも、いずれかの磁気センサ31が可動子20Aを常に検出できる。
特に、固定子10A1および固定子10A2のように隣り合う固定子10Aの各周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う固定子10A1の突極12と固定子10A2の突極12との最小距離D2が、可動子20A1等の永久磁石22間の最大距離、すなわち可動子20A1の長さLmv以下になるように、固定子10A1、10A2等が分散配置されているので、可動子20A1等が固定子10A1から隣の固定子10A2等に移動する際、固定子10A2の突極12と可動子20A1等の永久磁石22の極とが可動子20A1等の推進力に損失が生じることを防止するように作用し、また、可動子20A1等が固定子10A1および固定子10A2の少なくともいずれか一方から推進力が得られ速度制御ができるという、固定子10A1、10A2等の分散配置に適した、より簡易な構成により正確に位置制御ができる。このように、各固定子10Aの間隔の距離D1を、周期構造における1周期の長さCpの自然数倍に設定するだけの簡易な構成で、分散配置に適した制御をすることができる。
なお、第1実施形態の第1変形例として、図26に示すように、分散配置リニアモータ1Bにおける可動子20Bの長さが固定子10Bより短い場合は、可動子20Bの長さ以下の間隔で、位置検出装置30L、30M、30Rを設置する。この場合の位置情報切替器36は、位置検出装置30L、30M、30Rからの入力信号に対して、最新に入力された信号をモータ駆動装置40に出力する。
図26(A)に示すような位置に、可動子20Bがいるとき、固定子10B1の位置検出装置30Mが信号を出力する。位置情報切替器36は、位置検出装置30Mからの信号を出力する。
図26(B)に示すような位置に、可動子20Bが達したとき、固定子10B1の位置情報切替器36は、位置検出装置30Rからの信号を出力する。このとき、この位置情報切替器36の出力が切り替わるので、これを固定子10B1の原点としてもよい。
そして、図26(C)の状態を経由して、図26(D)に示すような位置に、可動子20Bが達すると、固定子10B2の位置検出装置30Lからの信号を、固定子10B2の位置情報切替器36は、出力を始める。この位置検出装置30Lの位置を、第1の原点となる。第1の原点から、位置検出装置30Lから位置検出装置30Mまでの距離に、可動子20Bの長さの1/2を加えたところが、目標位置である。但し、位置検出装置30Mが位置検出装置30Lと位置検出装置30Rとの中点に設置されているとする。
そして、図26(E)の状態を経由して、図26(F)に示すように、固定子10B2の位置検出装置30Mからの信号を、固定子10B2の位置情報切替器36は、出力を始める。この位置検出装置30Mの位置が、第2の原点となる。第2の原点から、可動子20Bの長さの1/2の距離が、目標位置である。最後に、図26(G)に示すような目標位置に可動子20Bが達する。
このように、可動子の長さに合わせて、位置検出装置30を設置することにより、原点を定め、可動子を正確に制御できる。
さらに、図27に示すように、第1実施形態の第2変形例として、分散配置リニアモータ1Cの各リニアモータを配置してもよい。
固定子10Aが長方形に一周するようにある間隔を隔てて接続されている。各角の位置には、方向切替装置15が配置されている。方向切替装置15は、固定子10Aの下部の中心部分に、回転装置(図示せず)が設けられていて、長方形の一方の辺から他の辺に切り替えるように、固定子10Aを回転させる。なお、各固定子10Aには、モータ駆動装置40が接続され、このモータ駆動装置40は上位コントローラ50により制御される。
このように各固定子10Aが、固定子10A同士が間隔を開けて配置されているという間欠構造により接続できるので、方向切替装置15の回転する固定子10Aとも接続できる。また、方向切替装置15により、このような様々な配置も実現できる。
さらにまた、図28に示すように、第1実施形態の第3変形例として、分散配置リニアモータ1Dは、可動子20Cに光学式や磁気式のリニアスケール23と、固定子10Cにリニアスケール23を読み取る位置検出装置30Bとを備えてもよい。なお、リニアスケール23の長さは、可動子20Cの両端の極を結ぶ距離に合わせてある。
このようなリニアスケール23と位置検出装置30Bとにより、第1実施形態と同様、各リニアモータ1A1、1A2、1A3等における基準位置を定めることができ、しかも、いずれかのが可動子20Cを常に検出できる。
なお、固定子10A同士の各間隔は、等しくなくてもよい。距離D1がコイルピッチCpの自然数倍であればよい。また、コイル11に流す電流は、3相交流に限らず、2相、4相等他の相でも構わない。この場合、コイル11の極の種類の数が異なってくる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る分散配置リニアモータの駆動システムについて説明する。まず、第2実施形態に係る分散配置リニアモータの駆動システムの概略構成について、図29〜図31を用いて説明する。なお、前記第1実施形態と同一または対応する部分には、同一の符号を用いて異なる構成および作用のみを説明する。その他の実施形態および変形例も同様とする。
図29は、本発明の第2実施形態に係る分散配置リニアモータの駆動システムの概略構成を示すブロック図である。図30は、図29の分散配置リニアモータの固定子および可動子の一例を示す斜視図である。図31は、図29の固定子の極の周期構造を示す模式図である。
図29に示すように、第1実施形態のリニアモータと異なり、固定子に駆動用の永久磁石が配列され、可動子に3相用のコイルや位置検出装置等が設けられている。
分散配置リニアモータ2Aの駆動システムは、部品やワーク等を搬送する分散配置リニアモータ2Aと、分散配置リニアモータ2Aを制御する複数個のモータ駆動装置40と、複数個のモータ駆動装置40を制御する上位コントローラ50と、を備えている。
分散配置リニアモータ2Aは、磁気的な作用により互いに相対運動する複数の固定子60Aおよび可動子70A、70B等を有する。分散配置リニアモータ2Aにおいて、複数の固定子60Aが、搬送方向に所定の間隔で離れて配列されている。
第1実施形態とは異なり、可動子70A、70Bが位置検出装置30を有している。そして、可動子70A、70Bとモータ駆動装置40とが、動力ケーブル53により接続されている。可動子70A、70Bの位置検出装置30と位置情報切替器35とが、位置情報切替器35とモータ駆動装置40とが、エンコーダケーブル52により接続されている。各々のモータ駆動装置40と上位コントローラ50とが、制御ライン51により接続されている。
図30に示したように、固定子60A1、60A2は、ベース61と、ベース61の上面に設置された永久磁石62と、を各々有する。永久磁石62は、図30や図31に示すように、可動子70Aに対向する側の極がN極であるN極磁石62aと、S極であるS極磁石62bとを有し、可動子70Aに磁気的に作用をする。これらN極、S極が、前記永久磁石62により可動子70A側に生じる極の一例である。そして、N極、S極の順に、N極磁石62aとS極磁石62bとが交互に、固定子60A1、60A2と可動子70Aの相対運動の方向に周期的に配列された周期構造が形成される。すなわち、固定子60A1、60A2は、相対運動の方向の一例である固定子60Aの長手方向にN極・S極の周期構造を各々有している。
次に、図30に示すように、可動子70A等は、3相交流電流が供給されるコイル71と、コイル71が巻かれた突極72と、を有する。コイル71は、U相用のコイル71a、V相用のコイル71b、および、W相用のコイル71cの3種類がある。突極72は、コイル71a、71b、71cに対応してU相用の突極72aと、V相用の突極72b、W相用の突極72cの3種類がある。これらコイル71a、71b、71cおよび突極72a、72b、72cが、U相、V相、W相の順に、固定子60A1、60A2と可動子70Aの相対運動の方向に周期的に配列された周期構造が形成される。すなわち、相対運動の方向の一例である可動子70A等の長手方向にコイル71および突極72はU相・V相・W相の周期構造を形成している。
そして、可動子70Aの各コイル71a、71b、71cに流された3相交流の電流の向きや強さに応じて移動磁界が発生し、各コイル71a、71b、71cに対応した突極72と、N極磁石62aおよびS極磁石62bとが磁気的に作用して、固定子60A1、60A2の長手方向に固定子60A1、60A2と可動子70Aの相対運動が生じる。すなわち、固定子60A1、60A2と可動子70Aとは、互いに磁気的に作用をし、可動子70Aは、固定子60A1、60A2の長手方向に相対運動する。
次に、固定子60A1、60A2の配列関係を図31に基づき詳細に説明する。
図31に示すように、固定子60Aの永久磁石62は、マグネットピッチMpの1周期の長さで、N極磁石62a、S極磁石62bの順に交互に配列されている。固定子60Aの周期構造における1周期の長さの一例であるマグネットピッチMpは、N極磁石62a、S極磁石62bのうち、同極同士の最小距離である。例えば、N極磁石62aと次のN極磁石62aとの距離である。
隣り合う固定子60A1、60A2の同じ種類の極同士の最小距離D1の一例は、固定子60A1において、最も固定子60A2側にあるN極磁石62aと、固定子60A2において、最も固定子60A1側にあるN極磁石62aとを結んだ距離である。
この距離D1が、マグネットピッチMpの自然数倍になるように、固定子60A同士の間隔がとられ、固定子60Aが離れて配列されている。また、別の見方をすると、固定子60A1の周期構造の位相と固定子60A2の周期構造の位相とが互いに一致している。すなわち、固定子60A1の永久磁石62のN極S極による周期構造は、図31中破線で示すように固定子60A2側に仮想的に延長させて、この延長上に固定子60A2の周期構造の位相が一致している。
また、図29に示すように、隣り合う固定子60A1、60A2の極同士の最小距離D2の一例は、固定子60A1において、最も固定子60A2側にあるS極磁石62bと、固定子60A2において、最も固定子60A1側にあるN極磁石62aとを結んだ距離である。この距離D2は、可動子70Aの長さLmv1や可動子70Bの長さLmv2以下である。ここで、可動子70Aの長さLmv1や可動子70Bの長さLmv2は、図29に示すように、可動子70A、70Bの相対運動方向の両端にあるそれぞれの突極72同士を結んだ距離である。すなわち、可動子70A、70Bの極同士の最大距離の一例である。
このように、距離D2が、可動子70Aの長さLmv1以下、および、可動子70Bの長さLmv2以下であると、可動子70A、70Bが、固定子60A1と固定子60A2とに跨いだ状態が可能であり、固定子60Aの極のいずれかと、可動子70A、70Bの極いずれかと、が常に対向している状態になる。
なお、固定子60A1の周期構造の位相と固定子60A2の周期構造の位相とが互いに一致していること等を言い換えると、固定子60A1から固定子60A2まで連続して、永久磁石62のN極S極による周期構造を有して続いた1つの固定子において、距離D2の部分のN極磁石62a、S極磁石62bを省いたことに相当する。但し、距離D2の両端部分のN極磁石62a、S極磁石62bを除く。また、図31の場合、距離D1は、マグネットピッチMpの2以上の自然数倍である。また、固定子60A1における固定子60A1側の端にあるS極磁石62bがなく、N極磁石62aが最も固定子60A1側にある場合を想定すると、距離D1は、マグネットピッチMpの1以上の自然数倍である。
次に、磁気センサ31を有する位置検出装置30は、図30に示すように、可動子70A、70Bの長手方向の両端にある突極72の外側に配列されている。そして、可動子70A、70Bの固定子60Aに対向する側に磁気センサ31が面するように設置されている。位置検出装置30の設置位置は、可動子70A、70Bの長手方向に離れて設けられ、コイル71の影響を受けにくいところならばよい。
そして、磁気センサ31は、固定子60Aおよび可動子70A、70Bの相対運動の方向に延びた被検出対象の一例である固定子60Aの永久磁石62による磁界を検出する。磁気センサ31は、固定子60Aおよび可動子70A、70Bが相対運動することによる磁界の変化を検出する。位置検出装置30間の距離Ds1、Ds2、すなわち磁気センサ31間の距離Dsが、固定子60Aの長さLst以下である。つまり、これが、第1の磁気センサ31と第2の磁気センサ31との距離が固定子60Aにおける極同士の最大距離以下である一例である。
次に、可動子70Aの場合の原点を定める動作を図32に基づき説明する。
図32の各図32(A)〜(E)は、可動子70Aの移動に従い、原点を定める動作を示す模式図である。可動子70Aの位置検出装置30L、30R間の距離Ds1と固定子60Aの長さLstがほぼ等しい場合である。
なお、第1実施形態に対して、固定子と可動子が逆になった点を除けば、第1実施形態における図17における動作の説明と、原点を求める動作は基本的に同じである。すなわち、位置情報切替器35の状態の変化に基づき原点を定める。
但し、固定子を基準にすると、図32(C)の状態であるときの位置検出装置30Rが検出している永久磁石62、すなわち、固定子60A1側にある固定子60A2の端の永久磁石62を第1の原点とする。この第1の原点から距離Ds1を目標位置とする。そして、図32(E)の状態のときの位置検出装置30Lが検出している永久磁石62、すなわち、固定子60A1側にある固定子60A2の端の永久磁石62を第2の原点とする。この第2の原点が目標位置とする。
次に、可動子70Bの場合の原点を定める動作を図に基づき説明する。
図33の各図33(A)〜(E)は、可動子70Bの移動に従い、原点を定める動作を示す模式図である。可動子70Bの位置検出装置30L、30R間の距離Ds2が、固定子60Aの長さLstより短い場合である。
原点の定め方は、可動子70Aの場合とほぼ同じである。但し、図33(C)の状態であるときの位置検出装置30Rが検出している永久磁石62、すなわち、固定子60A1側にある固定子60A2の端の永久磁石62を第1の原点とする。この第1の原点から固定子60A2の長さLstを目標位置とする。そして、図33(E)の状態のときの位置検出装置30Lが検出している永久磁石62、すなわち、固定子60A1側にある固定子60A2の端の永久磁石62を第2の原点とする。この第2の原点から距離(Lst−Ds2)/2を目標位置とする。
以上、リニアモータ2Aにおける固定子60A1、60A2のように隣り合う固定子60A1のN極磁石62aと固定子60A2のN極磁石62aとの最小距離D1が、固定子60A1、60A2の極の周期構造における1周期Mpの長さの自然数倍、すなわち、固定子60A1および固定子60A2のように隣り合う固定子60Aの各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う固定子60A1の永久磁石62の極と固定子60A2の永久磁石62の極との最小距離D2が、可動子70A、70Bの突極72間の最大距離、すなわち70A、70Bの長さLmv1、Lmv2以下になるように、固定子60A1、60A2等が分散配置されているので、可動子70A、70Bが固定子60A1から隣の固定子60A2等に移動する際、固定子60A2の永久磁石62の極と可動子70A、70Bの突極72とが可動子70A、70Bの推進力に損失が生じることを防止するように作用し、また、可動子70A、70Bが固定子60A1および固定子60A2の少なくともいずれか一方から推進力が得られ速度制御ができるという、固定子60A1、60A2等の分散配置に適した制御をすることができる。このように、各固定子60Aの間隔の距離D1を、周期構造における1周期の長さMpの自然数倍に設定するだけの簡易な構成で、分散配置に適した制御をすることができる。
以上また、本実施形態の分散配置リニアモータの駆動システムにおいて、固定子60Aが有する極の周期構造に基づき、相対運動によって周期的変化し生ずる磁界の方向を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力し、これら正弦波状信号および余弦波状信号に基づいて、可動子70Aの位置を検出することにより、各固定子60Aや各可動子70Aに設置するリニアスケールが不要になり、固定子60Aが分散配置されたリニアモータ2Aをより簡易な構成にすることができる。
以上さらに、本実施形態の分散配置リニアモータの駆動システムにおいても、固定子60Aと可動子70A、70Bとに対応して相対運動する被検出対象の一例である固定子60Aに配列された永久磁石62を、検出器の一例である位置検出装置30の磁気センサ31が検出し、2つの磁気センサ31が、相対運動方向に固定子60Aの長さLst以下に配置されているので、リニアモータ2Aの各リニアモータにおける基準位置を定めることができ、より簡易な構成により正確に位置制御ができる。
また、本実施形態においても、ケーブルレスにならない点を除いて、第1実施形態と同様な効果を奏する。特に、可動子70A、70Bにモータ駆動装置40が直結しているため、各可動子70A、70Bに対して別々に細かい移動をさせることができる。
また、固定子60Aが有する極の周期構造に基づき、相対運動によって周期的変化し生ずる磁界の方向を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力し、これら正弦波状信号および余弦波状信号に基づいて、可動子70Aの位置を検出することにより、各固定子60Aや各可動子70Aに設置するリニアスケールが不要になり、固定子60Aが分散配置されたリニアモータ2Aをより簡易な構成にすることができる。
また、各固定子60Aに位置検出装置30が不要であるため、様々な長さの可動子70A、70Bに対応できる。
なお、第2実施形態の第1変形例として、図34に示すように、分散配置リニアモータ2Bは、固定子60Bに光学式や磁気式のリニアスケール23Bと、可動子70Cにリニアスケール23Bを読み取る位置検出装置30Bとを備えてもよい。なお、リニアスケール23Bの長さは、固定子60Bの両端の極を結ぶ距離に合わせてある。
このようなリニアスケール23と位置検出装置30Bとにより、第1実施形態と同様、各リニアモータ1A1、1A2、1A3等における基準位置を定めることができ、しかも、いずれかが可動子20Cを常に検出できる。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態に係る分散配置型リニアモータの駆動システムついて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る分散配置型リニアモータの駆動システムついて説明する。
まず、第3実施形態に係るの概要構成について、図35を用いて説明する。
図35は、第3実施形態に係る分散配置型リニアモータの駆動システムの概略構成の一例を示すブロック図である。
図35に示すように、本実施形態のリニアモータ3Aの構成は、第1実施形態のリニアモータ1Aとほぼ同じであるが、固定子10A同士の距離D3が、可動子20Aの長さLmvより長い点が、第1実施形態のリニアモータ1Aと異なる。なお、第1実施形態の第1変形例や第2実施形態のリニアモータにおいても、固定子間の距離D1を距離D3まで離す構成もできる。
次に、各リニアモータ3Aの原点を定める動作を図36に基づき説明する。
図36に示すように、可動子20Aは、図36(A)に示すような状態から、図36(B)に示すような状態を経由して、図36(C)に示すように、固定子10A1から離れる。この状態では、可動子20Aは、固定子10Aと対向していないため、位置制御や、速度制御はできない。
そして、図36(D)に示すように、可動子20Aが達すると、固定子10A2の位置検出装置30Lからの信号を、固定子10A2の位置情報切替器35は、出力を始める。この位置検出装置30Lの位置を、第1の原点となる。この第1の原点から、位置検出装置30L、30R間の距離Dsが目標位置である。
そして、図36(E)の状態を経由して、図36(F)に示すような位置に可動子20Aが達すると、固定子10A2の位置検出装置30Rからの信号を、固定子10A2の位置情報切替器36は、出力を始める。この位置検出装置30Rの位置が、第2の原点で、目標位置である。
本実施形態は、固定子10A、10A2間の距離を距離D3にせざるをえない場合、例えば、次の処理工程まで距離があり、しかも、固定子10A1、10A2間における途中の正確な位置制御や速度制御が不要であり、精度等を気にせず、ワーク等をすばやく搬送させたい場合に適用できる。また、可動子20Aがケーブルレスであるため、加速して次の固定子10Aに移動させやすい。
なお、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではない。上記各実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
特願2008−222534号公報、特願2008−222535、および、特願2008−222536号公報の全ての内容は、参照することにより本明細書に組み込まれる。
1A、1B、1C、1D、2A、2B 分散配置リニアモータ、 10A、10B、10C、60A、60B 固定子、 11 コイル、 12 突極、 20A、20B、20C、70A、70C 可動子、 22、80 永久磁石、 30、30B 位置検出装置、 31 磁気センサ、 32 位置検出回路、 32a A/D変換器、 32b 信号処理部、 40 モータ制御装置
Claims (24)
- 固定子と可動子とが互いに相対運動するリニアモータであって、
前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、
前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列され、
隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う前記固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、前記固定子の周期構造の1周期の長さの自然数倍であることを特徴とする分散配置リニアモータ。 - 固定子と可動子とが互いに相対運動するリニアモータであって、
前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、
前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列され、
隣り合う前記固定子の各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であることを特徴とする分散配置リニアモータ。 - 前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をするコイルを有し、
前記固定子の極が、前記コイルに電流を流すことにより前記可動子側に生じる極であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をする永久磁石を有し、
前記固定子の極が、前記永久磁石により前記可動子側に生じる極であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記リニアモータは、
前記相対運動の方向に延びた被検出対象と、前記相対運動する前記被検出対象を検出する検出器と、を更に備え、
前記検出器は、
前記相対運動の方向に配列された第1および第2の検出器を有し、
前記第1の検出器と前記第2の検出器との距離が、前記被検出対象の長さ以下であることを特徴とする請求項1から請求項4に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記リニアモータは、
前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出装置を更に備え、
前記位置検出装置は、
前記周期構造に基づき前記相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号および余弦波状信号として出力する磁気センサと、前記正弦波状信号および前記余弦波状信号に基づいて、前記位置を検出する位置検出回路と、を有することを特徴とする請求項1から請求項5に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記磁気センサは、磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、
前記位置検出回路は、
前記正弦波状信号および前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、
前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分とから、位相角データを求める位相角データ算出手段と、
位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、
を有することを特徴とする請求項6に記載の分散配置リニアモータ。 - 請求項1から請求項7のいずれか1つに記載の前記分散配置リニアモータの各リニアモータが、前記リニアモータを制御するモータ駆動装置を備えたことを特徴とする分散配置リニアモータ駆動システム。
- 互いに相対運動する固定子および可動子と、前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出装置と、を備えるリニアモータであって、
前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、
前記位置検出装置は、
前記周期構造に基づき前記相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号として出力する磁気センサと、前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号に基づいて、前記位置を検出する位置検出回路と、を有し、
前記固定子は、前記相対運動の方向に複数離れて配列されたことを特徴とするリニアモータ。 - 前記磁気センサは、磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、
前記位置検出回路は、
前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、
前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分とから、位相角データを求める位相角データ算出手段と、
位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、
を有することを特徴とする請求項9に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記磁気センサは、前記相対運動の方向に配列された第1および第2の磁気センサを有し、
前記第1および第2の磁気センサは、前記固定子および前記可動子のいずれか一方に設けられ、
前記第1の磁気センサと前記第2の磁気センサとの距離が、前記固定子および前記可動子のいずれか他方における前記極同士の最大距離以下であることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の分散配置リニアモータ。 - 隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う前記固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、前記固定子の周期構造の1周期の長さ自然数倍であることを特徴とする請求項9から請求項11に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。
- 隣り合う前記固定子の各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であることを特徴とする請求項9から請求項11に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。
- 前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をするコイルを有し、
前記固定子の極が、前記コイルに電流を流すことにより前記可動子側に生じる極であることを特徴とする請求項9から請求項13に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をする永久磁石を有し、
前記固定子の極が、前記永久磁石により前記可動子側に生じる極であることを特徴とする請求項9から請求項13に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 請求項9から請求項15のいずれか1つに記載の前記分散配置リニアモータの各リニアモータが、前記リニアモータを制御するモータ駆動装置を備えたことを特徴とする分散配置リニアモータ駆動システム。
- 互いに相対運動する固定子および可動子と、前記相対運動の方向に延びた被検出対象と、前記相対運動する前記被検出対象を検出する検出器と、を備えるリニアモータであって、
前記検出器は、
前記相対運動の方向に複数配列され、
隣り合う前記検出器同士の距離が、前記被検出対象の長さ以下であることを特徴とする分散配置リニアモータ。 - 前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、
前記固定子は、
前記相対運動の方向に複数離れて配列され、
隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であり、かつ、隣り合う前記固定子の同じ種類の極同士の最小距離が、前記固定子の周期構造の1周期の長さの自然数倍であることを特徴とする請求項17に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記固定子と前記可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極と、前記複数の種類の極が前記種類の順に前記相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、
前記固定子は、
前記相対運動の方向に複数離れて配列され、
隣り合う前記固定子の各々の周期構造の位相が互いに一致し、かつ、隣り合う前記固定子の極同士の最小距離が、前記可動子の極同士の最大距離以下であることを特徴とする請求項17に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をするコイルを有し、
前記固定子の極が、前記コイルに電流を流すことにより前記可動子側に生じる極である特徴とする請求項17から請求項19に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記固定子が、前記可動子と前記磁気的に作用をする永久磁石を有し、
前記固定子の極が、前記永久磁石により前記可動子側に生じる極である特徴とする請求項17から請求項19に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記リニアモータは、
前記固定子に対する前記可動子の相対的な位置を検出する位置検出装置を更に備え、
前記位置検出装置は、
前記検出器として、前記周期構造に基づき前記相対運動によって周期的に生ずる磁界の方向の変化を、90°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号として出力する磁気センサを有し、更に、前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号に基づいて、前記位置を検出する位置検出回路と、を有することを特徴とする請求項17から請求項21に記載のいずれか1項に記載の分散配置リニアモータ。 - 前記磁気センサは、磁界の方向によって抵抗値が変化する磁気抵抗素子を有し、
前記位置検出回路は、
前記正弦波状信号及び前記余弦波状信号を所定の周期でサンプリングしてディジタルデータに変換するA/D変換器と、
前記ディジタルデータに変換された正弦成分と余弦成分とから、位相角データを求める位相角データ算出手段と、
位相角データに応じたパルス信号を生成するパルス信号出力手段と、
を有することを特徴とする請求項22に記載の分散配置リニアモータ。 - 請求項17から請求項23のいずれか1つに記載の前記分散配置リニアモータの各リニアモータが、前記リニアモータを制御するモータ駆動装置を備えたことを特徴とする分散配置リニアモータ駆動システム。
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