JPH11150935A - リニアモータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 余分な動力を用いることなくリニアモータの
可動部を位置保持したり、容易に可動部の位置の検出が
できるようにするリニアモータを提供する。 【解決手段】 固定部と、この固定部に対して移動可能
に配置され、磁性体を備えた可動部と、前記固定部に設
けられ、前記可動部を所定の停止位置に停止させる磁界
を前記磁性体に対して与える永久磁石とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１９は、従来のコイル可動形のリニア
モータの断面図である。図１９において、１はヨーク、
２は永久磁石、３は励磁コイルである。励磁コイル３に
図１９に示すような向きに電流が流れているとき、永久
磁石２から発生する磁束（図中点線矢印で示した）のた
めにフレミング左手則により推力Ｆが発生し、励磁コイ
ル３は図の右方向へと移動する。一方、図２０のように
励磁コイル３に流れる電流が図１９の場合と逆向きであ
れば、逆向きの推力が発生し、励磁コイル３は図の左方
向へと移動する。

【０００３】この原理を利用したものに、例えば特開平
５−６２３８３号公報に示されたディスクドライブ装置
がある。これは磁気ヘッド等をリニアに移動するタイプ
のディスクドライブ装置であり、図２１はその構成を示
す断面図である。図２１において、１８はシャーシ、１
９はシャーシ１８上に配置されたヘッド基台であり、こ
のヘッド基台１９には図示しない２枚の板バネの基端が
支持され、この各板バネの先端には図示しないヘッド素
子がそれぞれ固定されている。また、２０は前記シャー
シ１８に固定されたレールであり、このレール２０に案
内されてヘッド基台１９がスライド自在に設けられてい
る。２１はヘッド基台１９の左右対称位置に設けられた
リニアモータであり、各リニアモータ２１は固定部と可
動部から成る。固定部は前記シャーシ１８に固定された
ヨーク２２を有し、このヨーク２２は前記レール２０と
同一方向に長手方向が配置されている。ヨーク２２の長
手方向には上板部２２ａと下板部２２ｂとその中央のセ
ンター部２２ｃとが一定間隔で平行に設けられ、上板部
２２ａの下面と下板部２２ｂの上面には永久磁石２３
ａ、２３ｂが固定されている。これら永久磁石２３ａ、
２３ｂは左右のリニアモータ２１で磁束の方向が逆にな
るよう構成されている。一方、可動部は前記ヘッド基台
１９に固定されたコイル部２４を有し、この各コイル部
２４に前記各センター部２２ｃが挿入された構造になっ
ている。また、可動部のヘッド基台１９と共に移動する
ヘッド素子の位置決めのために、固定部に対するヘッド
基台１９の位置を検出している。このヘッド基台１９の
位置検出手段としてマグネスケール２５と磁気センサＳ
１を用い、マグネスケール２５はレール２０の長手方向
に形成された溝２６に埋設され、磁気センサＳ１はヘッ
ド基台１９の内底面に固定され、マグネスケール２５に
対向して位置されている。マグネスケール２５の製造は
磁性材を単一の磁気ヘッドに対して磁性材を近接して配
置し、この磁性材を一定速度で移動してＳ極とＮ極を交
互に着磁することによって行う。磁気センサ（例えばＭ
Ｒ素子）Ｓ１は電流方向に直交する磁束が存在するとき
に電気抵抗値が変化する現象を利用するもので、マグネ
スケール２５から受ける磁力の強さに比例した正弦波を
出力し、この正弦波出力信号は図示しない波形処理回路
に導かれ、この波形処理回路にて目盛信号、移動方向信
号等が形成され、この目盛信号等に基づいてリニアモー
タ２１がフィードバック制御される。また、磁気センサ
Ｓ１は左右のリニアモータ２１の中心位置に設けられて
いる。

【０００４】次に動作について説明する。図２１に示す
ディスクドライブ装置は、ヘッド基台１９をリニアモー
タ２１を用いてリニアに移動させることによって、ヘッ
ド基台１９に固定された図示しないヘッド素子をディス
クの半径方向に移動させる。例えば、ヘッド基台１９が
基準位置にある場合に目標のトラックデータが入力され
ることにより、図２１に示すように各リニアモータ２１
のコイル部２４に電流ｉを流す。すると、この電流が永
久磁石２３ａ、２３ｂ及びヨーク２２で形成される磁路
内を直交することによって、ヘッド基台１９に固定され
たコイル部２４に対してヨーク２２の長手方向に推進力
が与えられ、この推進力によりヘッド基台１９がレール
２０に沿って移動する。このヘッド基台１９の移動でヘ
ッド基台１９の底面側に固定された各磁気センサＳ１が
マグネスケール２５上を移動して正弦波信号を出力し、
この出力信号によって前記リニアモータ２１がフィード
バック制御される。ここで、左右の永久磁石２３ａ、２
３ｂによる漏洩磁束はお互いの磁束が反対方向であるた
めキャンセルされる。したがって、磁気センサＳ１は漏
洩磁束による悪影響を受けない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のリニアモータは
以上のように構成されている。このようなリニアモータ
を用いたディスクドライブ装置において、可動部である
コイル部を所定の位置に保持するためには、リニアモー
タの外部に設けたセンサの検出結果を用いてフィードバ
ック制御を行いコイル部に電流を流すことにより常に位
置を調整するようにする必要がある。このため、常にコ
イル部に電流を通電しておく必要があった。例えば、リ
ニアモータ自体が傾いている場合など、ある位置にコイ
ル部を保持するために、コイル部にかかる重力に釣り合
う力を常に発生しておく必要があり、そのためコイル部
に電流を通電し続ける必要があった。また、所定の位置
に励磁コイルを正確に位置決めするには、リニアモータ
の外部に磁気センサを設け、この検出結果を用いている
が、リニアモータの永久磁石による漏洩磁束のセンサへ
の影響を考慮する必要があり、構成が複雑となるという
問題があった。

【０００６】本発明は上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、余分な動力を用いることなくリニ
アモータの可動部を位置保持したり、容易に可動部の位
置の検出ができるリニアモータを得ることを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係るリニアモー
タは、固定部と、この固定部に対して移動可能に配置さ
れ、磁性体を備えた可動部と、前記固定部に設けられ、
前記可動部を所定の停止位置に停止させる磁界を前記磁
性体に対して与える永久磁石とを備えたものである。

【０００８】また、本発明に係るリニアモータは、固定
部と、この固定部に対して移動可能に配置され、磁性体
を備えた可動部と、前記固定部に設けられた永久磁石
と、この永久磁石により発生された磁界を前記可動部を
所定の停止位置に停止させる磁界を前記磁性体に対して
与える磁界とする磁界設定手段とを備えたものである。

【０００９】また、前記可動部に固定され、前記永久磁
石により発生された磁界に基づいて前記固定部に対する
前記可動部の位置を検出する位置検出手段を備えたもの
である。

【００１０】また、前記位置検出手段は、前記可動部に
備えられた磁性体にコイルを巻回して構成したものであ
る。

【００１１】また、前記コイルが巻回された前記磁性体
を所定距離ずらして複数個備えたものである。

【００１２】また、前記位置検出手段は、磁気センサを
備えたものである。

【００１３】また、前記永久磁石により発生された磁界
を特定の位置において固有の磁束密度を生じる磁界とす
る磁束密度設定手段を備えたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の一
実施形態におけるコイル可動形のリニアモータの概略構
成を示す断面図である。図１において、１は固定部とし
てのヨーク、２はこのヨーク１に固定された永久磁石、
３は可動部としての励磁コイル、４は磁界設定手段とし
ての複数のスリットを有するスリット板、５は磁性体で
ある。スリット板４は磁性体から成り、永久磁石２の励
磁コイル３と対向する面に密着して設けられ、磁性体５
はこのスリット板４に対向して励磁コイル３に密着して
設けられている。図２は本発明の一実施の形態における
スリット板４の形状を示す上面図であり、励磁コイル３
（可動部）の停止位置と対応する位置に同一形状のスリ
ットが等間隔で複数設けられている。

【００１５】次に動作について説明する。励磁コイル３
の移動可能な方向をＸ軸とすると、磁性体５の位置する
場所における磁束密度分布は、スリット板４を永久磁石
２に密着して設けたことにより、図３のようになる。こ
のため、磁性体５は磁束密度が最大となる位置に移動す
るよう推進力を受け、その位置に移動して安定する。し
たがって、励磁コイル３を所定の停止位置に保持するこ
とが可能である。

【００１６】例えばディスク装置の場合、ディスクのト
ラックの位置に合わせて励磁コイル３が停止すればよ
い。この場合、スリット板４のスリット位置をディスク
のトラックの位置に合わせて設けるようにする。これに
より、ディスクのトラックの位置に合わせて磁束密度の
最大値がくるよう磁界が発生されるため、ディスクのト
ラックの位置に合わせて停止可能となる。つまり、ヘッ
ドをある位置へ移動してその位置でヘッドを保持したい
場合、まず励磁コイル３に電流を通電することによりあ
る位置まで移動する。その後、その位置においては励磁
コイル３に電流を通電しなくても、永久磁石２とスリッ
ト板４により発生される磁力により位置を保持すること
ができる。

【００１７】以上、説明したように永久磁石２にスリッ
ト板４を設け、これらによる磁力を受ける磁性体５を励
磁コイル３に設けたことにより、励磁コイル３（可動
部）に電流を通電することなしにこの励磁コイル３を所
定の位置に保持できるため、低消費電力化の効果があ
る。

【００１８】なお、本実施の形態では、スリット板４に
設けたスリットが同一形状で等間隔である構成について
説明したが、各スリットが異なる形状であったり、或は
等間隔でない間隔で設けられていても位置を保持する機
能を得ることが可能である。また、本実施の形態では、
スリット板４は永久磁石２に密着して設けられている
が、図４に示すように、スリット板４を永久磁石２に密
着せずに他の支持部材で支持するようにして設けても同
様の効果を得ることが可能である。また、図５に示すよ
うにスリット板４をヨーク１のセンターヨークに密着し
て設けても、或は密着せずに設けても、同様の効果を得
ることが可能である。また、スリット板４の代わりに、
図６に示すように複数の磁性体６を永久磁石２に密着さ
せても同様の効果を得ることが得ることが可能である。
つまり、励磁コイル３の所定の停止位置に合わせて磁束
密度の最大値がくるように磁界を設定させることができ
れば、同様の効果を得ることができるものである。ま
た、スリット板４や図６の磁性体６等を使用せず、永久
磁石２自体を加工し、励磁コイル３の所定の停止位置に
合わせて磁束密度の最大値がくるように磁界を設定させ
ることができれば、同様の効果を得ることができる。ま
た、磁性体５に磁石を使用しても同様の効果を得ること
が可能である。この場合、磁石の反発する力を利用して
磁束密度が最小の位置に安定させることも可能である。
また、励磁コイル３の一例を図７に示し、これは磁性体
の芯７にコイル８を巻回したものである。芯７の縁を突
出させて突出部７ａを設け、これが図１における磁性体
５と同様の役割を果たしている。このように可動部と磁
性体が一体或は可動部自体が磁性体となっている場合に
も同様の効果を得ることが可能である。また、可動部を
所定の停止位置に安定させるための磁界を、リニアモー
タの駆動のための磁界と別に設けてもよい。図８はリニ
アモータを上から見た場合の励磁コイル３を示し、励磁
コイル３は駆動用の磁界９内に位置するが、この励磁コ
イル３に支持体１０を介して固定された磁性体５が所定
の停止位置に安定させるための磁界１１内に存在する。
この場合にも同様の効果を得ることが可能である。

【００１９】実施の形態２．本実施の形態では磁性体５
に位置検出機能を持たせた例を示す。図９は、本実施の
形態における位置検出機能を持たせたリニアモータの構
成図である。図９において１２はコイルであり、磁性体
５にコイル１２を巻回し位置検出手段を構成している。

【００２０】位置検出手段は磁性体５を備えているた
め、上記実施の形態１と同様に通電しない状態でも位置
保持機能を有している。本実施の形態は、更に磁性体５
にコイル１２を巻回することにより、励磁コイル３の移
動量を検出できるようにしたものである。

【００２１】次に動作について説明する。図９におい
て、励磁コイル３が一定の速度で移動している場合、コ
イル１２からは電磁誘導により図１０（ａ）に示すよう
な三角波信号が得られる。これを一定レベルの信号Ｖａ
と比較することにより図１０（ｂ）のような矩形波が得
られ、矩形波の周期をカウントすることにより励磁コイ
ル３の移動量を知ることができる。以上のように、本実
施形態のリニアモータは、可動部の移動量を検知するた
めにリニアモータの外部に位置検出用の特別なセンサを
設ける必要がなく、省スペースの効果がある。

【００２２】また、図１１に、コイル１２を巻回した磁
性体５を複数個設けた例を示す。図１１において、コイ
ル１２ａを巻回した第１の磁性体５ａと、コイル１２ｂ
を巻回した第２の磁性体５ｂとが励磁コイル３に固定さ
れている。磁性体５ａと５ｂとは、スリット板４による
磁束密度のピーク間の距離の１／４と同じ間隔だけ離れ
て配置されており、コイル１２ａ、１２ｂが検出する信
号は９０度の位相がずれることになる。

【００２３】励磁コイル３が一定の速度で移動している
場合、第１の磁性体５ａ及び第２の磁性体５ｂに巻回さ
れたコイル１２ａ及び１２ｂからは、電磁誘導により図
１２（ａ）、（ｂ）に示すような信号が得られる。これ
を一定レベルの信号Ｖｂと比較すれば図１２（ｃ）、
（ｄ）のような矩形波が得られる。この矩形波（ｃ）、
（ｄ）の排他的論理和をとると図１２（ｅ）に示すよう
な矩形波が得られる。図１２（ｅ）の信号は図１０
（ｂ）に示されるようなコイルが一つの場合に検出でき
る矩形波の１／２の周期の信号である。つまり、コイル
１２を巻回した磁性体５を複数個設けることにより、よ
り分解能を高くして励磁コイル３の移動量を知ることが
できる。

【００２４】以上、説明したように磁性体５にコイル１
２を巻回することにより、励磁コイル３の移動量を検出
することができるため、リニアモータの外部に位置検出
用の特別なセンサを設ける必要がなく、省スペースの効
果がある。また、コイル１２を巻回した磁性体５を複数
個設けることにより、より分解能を高くして励磁コイル
３の移動量を知ることができるため、より精度を高くし
て同様の効果を得ることが可能である。

【００２５】実施の形態３．本実施の形態では、位置検
出手段として図１３に示すような磁気センサ１３を備え
た例を示す。磁気センサ１３とは磁束の大きさを検出す
るもので、例えばＭＲ素子などがある。図１３におい
て、励磁コイル３に磁性体５が固定されているため、上
記実施の形態と同様に通電しない状態でも位置保持機能
を有している。本実施の形態は、この磁性体５による位
置保持機能に加えて、磁気センサから得られる信号を用
いてフィードバック制御により高精度な位置決めを行う
ことを可能としたものである。上記実施の形態２におけ
るコイル１２を巻回した磁性体５で構成された位置検出
手段は、電磁誘導を利用したものであるため、可動部が
停止している時は信号を得ることができない。また、可
動部の移動速度によって信号の振幅が変化する等の問題
がある。これに対し、磁気センサは磁束の大きさを直接
検出するものであるため、停止中も検出可能であり、検
出される信号の大きさは移動速度に無関係である。した
がって、より高精度に位置検出を行うことが可能であ
る。

【００２６】次に動作について説明する。図１４は、位
置検出手段として磁気センサ１３を備え、位置決め動作
を行うための制御回路を含めた構成図である。図１４に
おいて１４は信号処理回路、１５は制御補償器、１６は
駆動回路である。信号処理回路１４は磁気センサ１３か
ら得られる信号を処理して目的位置からの誤差信号を制
御補償器１５に与える。制御補償器１５は誤差信号をフ
ィルタ演算し位置誤差が零になるような指令を駆動回路
１６に与える。駆動回路１６は制御補償器１５からの指
令値に応じた電流を励磁コイル３に供給する。例えば、
図１５に示すような磁界が存在し、現在座標Ｘ１に位置
しており、座標Ｘ０を目的の位置とする場合、信号処理
回路１４は任意の磁束密度に対応する座標を記憶してい
る（すなわち磁束密度Ｖ１となるのは座標Ｘ１であるこ
とを記憶している）ため、現在位置の磁束密度Ｖ１を磁
気センサ１３より得て、この磁束密度Ｖ１から現在位置
の座標Ｘ１を求め、座標Ｘ１の（外部より与えられた）
目的位置の座標Ｘ０に対する差を誤差信号として制御補
償器１５に与える。制御補償器１５は与えられた誤差信
号をフィルタ演算し、位置誤差が０になるような指令、
つまり現在位置Ｘ１から目的位置Ｘ０に移動する指令を
駆動回路１６に与える。駆動回路１６は与えられた指令
値に応じた電流を励磁コイル３に供給する。この結果、
励磁コイル３は目的位置Ｘ０に移動する。その後、磁性
体５を備えているため励磁コイル３に電流を流すことな
く位置が保持される。

【００２７】以上、説明したように位置検出手段として
磁気センサ１３を備えることにより、磁気センサ１３に
より可動部の移動速度に無関係で停止中も磁束密度を検
出可能であるため、より高精度に位置検出を行うことが
可能である。また、磁性体５を備えているため、励磁コ
イル３に電流を流すことなく位置を保持することが可能
である。

【００２８】実施の形態４．上記実施の形態では、磁束
密度の値と位置を示す座標が１対１に対応している場合
についての位置検出について説明した。例えば図１６に
おいて、可動部がＸ２からＸ３の範囲内でのみ移動する
場合には、磁束密度の値と位置を示す座標が１対１に対
応しているため、上記実施の形態で説明したように位置
の検出が可能である。しかし、可動部がＸ２からＸ４の
範囲内で移動する場合、磁束密度Ｖ３に対応する座標に
はＸ３とＸ４とが存在し、１対１に対応していない。こ
のため、位置を検出するためには、Ｘ３とＸ４を識別す
るための機能が必要となる。そこで、本実施の形態で
は、この問題を解決するため基準位置を設定し、任意の
位置の検出を可能とする例について説明する。

【００２９】基準位置を設定するため、磁界設定手段と
して図１７に示すようなスリット板１７を使用する。リ
ニアモータの構成は図１３と同様であるので省略する。
図１７のスリット板１７は他のスリットと異なる形状の
スリットが特定の位置（一番左端）に設けられている。
このため、磁気センサ１３から得られる信号は図１８の
（ａ）のように特定の位置で振幅の大きな信号となる。
これを３種類の一定レベルの信号Ｖｄ、Ｖｅ、Ｖｆと比
較して、図１８の（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）のような矩形
波を得る。これらの信号を使用して任意の位置の検出を
可能とする。（ｃ）、（ｄ）における１〜１０の数字は
基準位置からの距離値である。

【００３０】例えば、Ｘ５とＸ６の磁束密度は同じＶ５
である。ここで、Ｘ５は図１８の（ｃ）における基準位
置からの距離値３から４の間に位置し、図１８の（ｄ）
における基準位置からの距離値４から５の間に位置す
る。すなわち図１８の（ｄ）における距離値４から
（ｃ）における距離値４の間において、磁束密度Ｖ５に
対応する座標はＸ５のみである。一方、Ｘ６は図１８の
（ｃ）における基準位置からの距離値７から８の間に位
置し、図１８の（ｄ）における基準位置からの距離値７
から８の間に位置する。すなわち図１８の（ｃ）におけ
る距離値７から（ｄ）における距離値８の間において、
磁束密度Ｖ５に対応する座標はＸ６のみである。したが
って、磁束密度が同じ値である場合にも、基準位置から
の距離を考慮することにより、任意の位置の検出が可能
となる。

【００３１】以上、説明したように磁界設定手段により
特定の位置に固有の磁束密度を生じることにより、基準
位置が設定されるため、この基準位置からの距離を用い
て任意の位置の検出が可能となる。

【００３２】なお、本実施の形態では図１３におけるス
リット板４の代わりに図１７のスリット板１７を用いた
が、基準位置を設定できるようスリット板４に更に別の
スリット板を加えても同様の効果を得ることができる。
また、基準位置を設定できれば、図６のようにスリット
板を用いなくても同様の効果を得ることができる。ま
た、スリット板４やスリット板１７等を使用しなくて
も、永久磁石２自体を加工して基準位置を設定できれ
ば、同様の効果を得ることができる。また、磁気センサ
を使用する代わりにコイルを巻回した磁性体を使用して
も同様の効果を得ることができる。

【００３３】

【発明の効果】以上、説明したように固定部と、この固
定部に対して移動可能に配置され、磁性体を備えた可動
部と、前記固定部に設けられ、前記可動部を所定の停止
位置に停止させる磁界を前記磁性体に対して与える永久
磁石とを備えることにより、磁性体が所定の停止位置に
おいて永久磁石からの磁力を受けるため、余分な動力を
必要とせず可動部を所定の停止位置に保持することがで
きる。

【００３４】また、固定部と、この固定部に対して移動
可能に配置され、磁性体を備えた可動部と、前記固定部
に設けられた永久磁石と、この永久磁石により発生され
た磁界を前記可動部を所定の停止位置に停止させる磁界
を前記磁性体に対して与える磁界とする磁界設定手段と
を備えることにより、磁性体が所定の停止位置において
磁界設定手段により設定された永久磁石からの磁力を受
けるため、余分な動力を必要とせず可動部を所定の停止
位置に保持することができる。

【００３５】また、前記可動部に固定され、前記永久磁
石により発生された磁界に基づいて前記固定部に対する
前記可動部の位置を検出する位置検出手段を備えること
により、位置検出機能を有するため、可動部の位置を容
易に検出することができる。

【００３６】また、前記可動部に備えられた磁性体にコ
イルを巻回することにより、磁束の変化を検出できるた
め、可動部の位置を容易に検出することができる。

【００３７】また、前記コイルが巻回された前記磁性体
を所定距離ずらして複数個備えることにより、複数の検
出結果を得ることができるため、より高精度に可動部の
位置を検出することができる。

【００３８】また、磁気センサを備えることにより、磁
束の大きさを検出できるため、高精度に可動部の位置を
検出することができる。

【００３９】また、前記永久磁石により発生された磁界
を特定の位置において固有の磁束密度を生じる磁界とす
る磁束密度設定手段を備えることにより、この固有の磁
束密度に対応する位置に基づいて任意の位置を検出する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態におけるリニアモータの断
面図

【図２】本発明の一実施形態におけるスリット板４の形
状を示す上面図

【図３】本発明の一実施形態における磁性体の位置での
磁束密度分布を示す特性図

【図４】本発明の一実施形態におけるリニアモータの断
面図

【図５】本発明の一実施形態におけるリニアモータの断
面図

【図６】本発明の一実施形態における磁界設定手段の例
を示す説明図

【図７】本発明の一実施形態における励磁コイルの例を
示す斜視図

【図８】駆動用磁界と別に位置安定用の磁界を設ける場
合を示す説明図

【図９】本発明の別の実施形態におけるリニアモータの
断面図

【図１０】本発明の別の実施形態における位置検出機能
の動作を説明する説明図

【図１１】本発明の別の実施形態におけるリニアモータ
の断面図

【図１２】本発明の別の実施形態における位置検出機能
の動作を説明する説明図

【図１３】本発明の更に別の実施形態におけるリニアモ
ータの断面図

【図１４】位置決め動作を行うための制御回路を含む構
成図

【図１５】位置決め動作を説明するための説明図

【図１６】基準位置の設定の必要性を説明するための説
明図

【図１７】基準位置を設定するスリット板の上面図

【図１８】任意の位置を検出する動作を説明する説明図

【図１９】従来のコイル可動形のリニアモータの断面図

【図２０】従来のコイル可動形のリニアモータの断面図

【図２１】従来のディスクドライブ装置の断面図

【符号の説明】

１ ヨーク ２ 永久磁石 ３ 励磁コイル ４ スリット板 ５ 磁性体 ６ 磁性体 ７ 磁性体の芯 ８ コイル ９ 磁界 １０ 支持体 １１ 磁界 １２ コイル １３ 磁気センサ １４ 信号処理回路 １５ 制御補償器 １６ 駆動回路 １７ スリット板

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定部と、この固定部に対して移動可能
   に配置され、磁性体を備えた可動部と、前記固定部に設
   けられ、前記可動部を所定の停止位置に停止させる磁界
   を前記磁性体に対して与える永久磁石とを備えたことを
   特徴とするリニアモータ。
2. 【請求項２】 固定部と、この固定部に対して移動可能
   に配置され、磁性体を備えた可動部と、前記固定部に設
   けられた永久磁石と、この永久磁石により発生された磁
   界を前記可動部を所定の停止位置に停止させる磁界を前
   記磁性体に対して与える磁界とする磁界設定手段とを備
   えたことを特徴とするリニアモータ。
3. 【請求項３】 前記可動部に固定され、前記永久磁石に
   より発生された磁界に基づいて前記固定部に対する前記
   可動部の位置を検出する位置検出手段を備えたことを特
   徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のリ
   ニアモータ。
4. 【請求項４】 前記位置検出手段は、前記可動部に備え
   られた磁性体にコイルを巻回して構成したことを特徴と
   する請求項３に記載のリニアモータ。
5. 【請求項５】 前記コイルが巻回された前記磁性体を所
   定距離ずらして複数個備えたことを特徴とする請求項４
   に記載のリニアモータ。
6. 【請求項６】 前記位置検出手段は、磁気センサを備え
   たことを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。
7. 【請求項７】 前記永久磁石により発生された磁界を特
   定の位置において固有の磁束密度を生じる磁界とする磁
   束密度設定手段を備えたことを特徴とする請求項４ない
   し請求項６のいずれかに記載のリニアモータ。